JPWO2010058689A1 - 非接触搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 搬送レール
2a 端部
2b 端面
2c 段差
2d 間隙
3 ガラス
3a 端部
3b 端面
4(4a、4b) 旋回流形成体
5(5a、5b) 給気経路
6 スロットプレート
6a 取付ねじ
6b 凹部
6c 噴出スロット
7 斜角ブロック
7a、7b 給気経路
7c スロットプレートの配置面
10 非接触搬送装置
41 貫通孔
42 凹部
44 噴出口
45 貫通孔
46 環状溝
Claims (7)
- 複数の搬送レールを被搬送物の搬送方向に沿って配置し、該複数の搬送レール上で該被搬送物を浮上させながら搬送する非接触搬送装置であって、
前記搬送レールの端部以外の搬送面に設けられ、上昇旋回流を生じさせて前記被搬送物を浮上させる第1の流体噴出手段と、
前記搬送レールの端部の搬送面に設けられ、該搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う前記搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、該被搬送物の端部に流体を吹き付け、該被搬送物の端部を浮上させる第2の流体噴出手段とを備えることを特徴とする非接触搬送装置。 - 前記第2の流体噴出手段は、前記搬送レールの端部において、該搬送レールの搬送面から上方に向けて流体を噴出する上面視細長状の噴出スロットであることを特徴とする請求項1に記載の非接触搬送装置。
- 前記第2の流体噴出手段は、前記被搬送物の端面に対して斜めに交差するように配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触搬送装置。
- 前記第2の流体噴出手段と前記被搬送物の端面とのなす角度が10°以上であることを特徴とする請求項3に記載の非接触搬送装置。
- 前記第2の流体噴出手段と前記被搬送物の端面とのなす角度が10°以上45°以下であることを特徴とする請求項3に記載の非接触搬送装置。
- 前記第1の流体噴出手段は、表面から裏面に貫通する横断面円形の貫通孔を有するリング状部材の裏面に、流体噴出口を備え、該流体噴出口から流体を噴出することにより、該リング状部材の表面側に該表面から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせるとともに、該リング状部材の表面側の前記貫通孔の開口部近傍に前記裏面方向への流体流れを生じさせることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の非接触搬送装置。
- 前記第1の流体噴出手段は、前記搬送レールの搬送面に2列にわたって各列に複数個配置され、一方の列に属する第1の流体噴出手段の各々の旋回流の向きと、他方の列に属する第1の流体噴出手段の各々の旋回流の向きとが互いに異なることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の非接触搬送装置。
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JP4493742B2 (ja) * | 1998-10-12 | 2010-06-30 | 株式会社渡辺商行 | 浮上搬送装置用の気体噴出構造 |
JP3476005B2 (ja) * | 1999-08-06 | 2003-12-10 | 川崎重工業株式会社 | 空気浮上式ベルトコンベア装置 |
JP4669252B2 (ja) * | 2000-06-09 | 2011-04-13 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体および非接触搬送装置 |
JP4229670B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2009-02-25 | 株式会社日本設計工業 | 薄板状材の搬送方法及び装置 |
JP4299111B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2009-07-22 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP4501713B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2010-07-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | エア浮上搬送装置 |
JP2007176638A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
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KR100768908B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2007-10-19 | (주)멕스코리아아이엔씨 | 기판 반송장치 |
JP4243766B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2009-03-25 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
JP4740414B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2011-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置 |
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CN102083720B (zh) * | 2008-07-10 | 2016-03-02 | 翁令司工业股份有限公司 | 涡流形成体和非接触式运送装置 |
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