JP2015020808A - 非接触搬送装置及び非接触搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】薄型の被搬送物の搬送不良を防止し、安定して非接触で搬送することができる非接触搬送装置等を提供する。
【解決手段】複数の搬送レール２を被搬送物の搬送方向に沿って配置し、複数の搬送レール上で被搬送物を浮上させながら搬送する非接触搬送装置１であって、搬送レールの端部の搬送面に設けられ、搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、被搬送物の端部に流体を噴出して該端部を浮上させる流体噴出手段（噴出スロット６ｂ）と、流体噴出手段から噴出される空気を乱流とする乱流形成手段とを備える非接触搬送装置１。乱流形成手段は、流体噴出手段の噴出口の内面に設けられる凹部（微細孔６ｄ）又は／及び凸部６ｅとすることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、非接触搬送装置及び非接触搬送方法に関し、特に、薄型のＦＰＤパネルや太陽電池パネル等の浮上搬送に用いる装置及び方法に関する。

従来、ＦＰＤパネルや太陽電池パネルの生産に際し、一枚のパネルを大型化することで生産効率を上げている。例えば、液晶ガラスの場合には、第１０世代で２８５０×３０５０×０．７ｍｍの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶パネルを乗せて転がり搬送すると、シャフトの撓みやローラ高さのばらつきによりガラスに局部的に強い力が働き、ガラスを傷付ける虞がある。さらに、プロセス工程では非接触での搬送が求められるため、空気浮上搬送が採用され始めている。

空気浮上搬送装置の一例として、液晶用のガラスを浮上させるにあたり、小径の孔を複数個設け、これらの小径の孔から空気が噴出する板状のレールを複数個繋ぎ合わせて搬送レーンを構成するものが存在する。また、多孔質カーボンをレール材に用い、その気孔から空気を噴出させる方法も存在する。

ところで、上記搬送レーンにおいて、被搬送物の搬送距離を延ばす場合には、搬送レールを被搬送物の搬送方向に継ぎ足して距離を稼ぐことになるが、その際、搬送レールの継ぎ目に段差が生じたり、測定用センサースペースの確保、及び洗浄機、水切りエアノズル等の配置により搬送レール間の間隙が大きくなると、被搬送物が搬送レールの継ぎ目を乗り越えられず、途中で引っ掛かって搬送不良が生じたり、被搬送物に傷が付く虞がある。

そこで、特許文献１には、図５及び図６に示すような非接触搬送装置１１が記載されている。この非接触搬送装置１１は、複数の搬送レール２を被搬送物１２の搬送方向に沿って配置し、被搬送物１２を浮上させながら搬送するものであって、搬送面に設けられた旋回流形成体４と、搬送レール２の端部２ａの搬送面に設けられ、搬送レール２上を搬送される被搬送物１２の端部１２ａが、隣り合う搬送レール２間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、被搬送物１２の端部１２ａに空気を吹き付け、端部１２ａを浮上させる上面視細長状の噴出スロット２ｂとを備える。

国際公開第２０１０／０５８６８９号パンフレット

しかし、上記特許文献１に記載の非接触搬送装置１１では、噴出スロット２ｂから噴出する空気が噴出スロット２ｂの上方に渦を形成し、噴出スロット２ｂによって被搬送物１２が浮上する前に、渦によって被搬送物１２に下向きの力が加わる。そのため、薄型の被搬送物については、搬送レール２の上面に被搬送物１２が接触したり、被搬送物１２が搬送レール２に接近し、被搬送物１２が搬送レール２の継ぎ目を乗り越えられず、途中で引っ掛かるなどの搬送不良が生じる虞も僅かにあった。このため、薄型の被搬送物をより安定して搬送することが求められていた。

そこで、本発明は、上記従来技術における問題点に鑑みてなされたものであって、薄型の被搬送物であっても搬送不良が生じることなく、安定して非接触で搬送することができる非接触搬送装置等を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、複数の搬送レールを被搬送物の搬送方向に沿って配置し、該複数の搬送レール上で該被搬送物を浮上させながら搬送する非接触搬送装置であって、前記搬送レールの端部の搬送面に設けられ、該搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う前記搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、該被搬送物の端部に流体を噴出して該端部を浮上させる流体噴出手段と、該流体噴出手段から噴出される流体を乱流とする乱流形成手段とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、流体噴出手段から噴出される流体を乱流とすることで、流体噴出手段の上方に渦が発生するのを防ぎ、流体噴出手段による被搬送物の吸着を弱めることができ、薄型の被搬送物であっても、搬送レールの上面に被搬送物が接触したり、被搬送物と搬送レールとの距離が近くなって被搬送物が搬送レールの継ぎ目を乗り越えられず、途中で引っ掛かるなどの搬送不良を防ぐことができる。

前記非接触搬送装置において、前記流体噴出手段を、前記搬送レールの端部に、該搬送レールの搬送面から上方に向けて流体を噴出する噴出口を有するものとし、前記乱流形成手段を、該噴出口の内面に設けられる凹部又は／及び凸部とすることができ、簡易な構成で乱流を発生させることができる。

前記凹部又は／及び凸部を複数列設け、隣接する列の前記凹部又は／及び凸部を互いに千鳥に配置することができる。これにより噴出口から噴出する空気が直接外部に出ることを防止し、確実に乱流とすることができる。

前記噴出口の内面に複数の凸部を設け、該複数の凸部の各々の高さを前記噴出口の開口幅の１／２以上とすることができ、噴出口から噴出する空気を確実に乱流とすることができる。

前記噴出口を上面視細長状のスロット状に形成することができ、流体噴出手段に供給される流体を圧縮しながら噴出することで、被搬送物の端部に十分な浮上力を付与することができ、被搬送物の端部を適切に浮上させることが可能になる。

前記流体噴出手段を前記被搬送物の端面に対して斜めに交差するように配置することができ、流体噴出手段からの流体を被搬送物の端部に吹き付けた際に、被搬送物の上方に渦気流が発生するのを抑制することができ、被搬送物が上下に振動するのを抑制することが可能になる。

また、本発明は、被搬送物を複数の搬送レールに沿って該複数の搬送レール上で浮上させながら搬送する非接触搬送方法であって、前記搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う前記搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、該被搬送物の端部に流体を噴出して該端部を浮上させる際に、該噴出する流体を乱流とすることを特徴とする。

本発明によれば、噴出する流体を乱流とすることで、噴出された流体に渦が発生するのを防ぎ、流体の噴出による被搬送物の吸着を弱める。これにより、薄型の被搬送物であっても搬送レールの上面に被搬送物が接触したり、搬送レールの継ぎ目を乗り越えられず途中で引っ掛かるなどの搬送不良が生じることを防ぐことができる。

以上のように、本発明によれば、薄型の被搬送物であっても、搬送不良を回避しながら安定して非接触で搬送することができる。

本発明に係る非接触搬送装置の一実施の形態を示す部分拡大図である。 図１に示す非接触搬送装置の斜視図である。 本発明に係る非接触搬送装置を構成するスロットプレートの斜視図である。 スロットプレートに設ける凸部の一例を示す断面図である。 従来の非接触搬送装置の一例を示す上面図である。 搬送レール間の継ぎ目における被搬送物の搬送状態を示す図である。

次に、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶用のガラス（不図示）を搬送する場合を例にとって説明する。

図１〜図３は、本発明に係る非接触搬送装置１の一実施の形態を示し、この非接触搬送装置１は、図４に示した搬送レール２と同様、ガラスの搬送方向Ｘに延び、ガラスの搬送方向及び該搬送方向と直交する方向に並べて配置される角柱状の搬送レール２と、各々の搬送レール２の端部に装着された、上面視直角三角形の斜角ブロック３と、上昇旋回流を生じさせてガラスを浮上させる旋回流形成体４ａ、４ｂと、ポンプ（不図示）から供給される空気を搬送する給気経路５ａ、５ｂと、板状のスロットプレート６と、斜角ブロック３とスロットプレート６とを固着する取付ねじ７等を備える。

斜角ブロック３は、スロットプレート６をガラスの端面に対して斜めに交差するように配置するために備えられる。斜角ブロック３の内部には、搬送レール２内の給気経路５ａ、５ｂと、スロットプレート６内の凹部（空気経路）６ａとを繋ぐ給気経路３ａ、３ｂが設けられる。また、スロットプレート６の配置面３ｃには、スロットプレート６をねじ止めするための複数の取付穴（不図示）が設けられる。

旋回流形成体４ａ、４ｂは、搬送レール２に設けられ、上昇旋回流を生じさせてガラスを浮上させると共に、負圧による下方への空気流を生じさせ、浮上高さ精度を保つ。

スロットプレート６の内部には、給気経路３ａ、３ｂに連通するように配置された凹部６ａと、凹部６ａの上部から斜角ブロック３の表面に向けて延びる上面視細長状の噴出スロット６ｂとが設けられる。ここで、噴出スロット６ｂの長さは、給気経路３ａ、３ｂの直径よりも大きく形成される。また、噴出スロット６ｂの幅（奥行き）は、凹部６ａを介して供給される空気を圧縮して噴き出すため、凹部６ａの幅（奥行き）よりも小さく形成され、具体的には０．１ｍｍ以下とすることが好ましい。

スロットプレート６は、斜角ブロック３のスロットプレート６の配置面３ｃに配置される。図３は、スロットプレート６を配置面３ｃ側から見た斜視図であって、スロットプレート６へねじ止めするための複数の取付穴の図示を省略したものである。同図に示すように、スロットプレート６の噴出スロット６ｂの内面６ｃには、ポンチ等で叩いて形成した微細孔６ｄが複数列設けられ、隣接する列の各孔は互いに千鳥に配置され、この微細孔６ｄにより噴出スロット６ｂから噴出される空気が直接外部に出ることを防止し、確実に乱流とすることができる。

次に、上記構成を有する非接触搬送装置１の動作について、図１〜図３を参照しながら説明する。

図１に示す旋回流形成体４ａ、４ｂの上方に上昇旋回流を発生させ、この旋回流にてガラスを浮上させる。旋回流形成体４ａ、４ｂの旋回流は互いに逆方向であり、各々の旋回流形成体４ａ、４ｂが形成した旋回流の水平分力が相殺される。これにより、旋回流によってガラスに付加される力は、浮上力及び吸引力の２つの鉛直成分の力のみとなり、ガラスの回転を確実に防止することができる。また、旋回流形成体４ａ、４ｂによってガラスに負圧がかかり、浮上高さ精度を保つことができる。

このようにして浮上したガラスに、図示しないリニアモータ、摩擦コロ、ベルト等により搬送駆動力を与えて搬送する。ガラスの端部が搬送レール２の継ぎ目に近付くと、スロットプレート６の噴出スロット６ｂから噴出する空気をガラスの裏面に吹き付け、ガラスの端部に浮上力を付与する。その結果、ガラスの端部及びその近傍領域が浮上し、搬送レール２の継ぎ目の段差及び搬送レール２間の間隙をガラスが容易に乗り越えることができる。

上記非接触搬送装置１においては、ガラスの端部が搬送レール２の継ぎ目に近付いた際、ガラスと噴出スロット６ｂとが斜めに交差する状態で、ガラスの裏面に空気を吹き付ける。この場合、ガラスの裏面に一気に渦気流が発生しないため振動を発生させる力は弱く、ガラスの上方での渦気流の発生が軽減される。これにより、ガラスが上下に振動するのを抑制することができ、円滑に搬送レール２の継ぎ目を移動させることが可能になる。

また、スロットプレート６の内面６ｃに形成した微細孔６ｄよって噴出スロット６ｂから噴出する空気を乱流とすることで、噴出スロット６ｂの上方に渦が発生するのを防ぐことができ、噴出スロット６ｂによるガラスの吸着を弱め、薄型のガラスであっても搬送レール２の上面に接触したり、搬送レール２の継ぎ目を乗り越えられず、途中で引っ掛かるなどの搬送不良を防止し、安定して搬送することができる。

尚、上記実施の形態においては、噴出スロット６ｂから噴出される空気を乱流にする手段として、スロットプレート６の内面６ｃに微細孔６ｄを設けたが、図４に示すように、内面６ｃに凸部６ｅを設けてもよい。凸部６ｅの高さｈは、噴出スロット６ｂの隙間Ｈの１／２以上、すなわちｈ≧０．５Ｈとし、上記微細孔６ｄの場合と同様に千鳥に配置する。また、これら以外にも噴出スロット６ｂから噴出される空気を乱流とすることができる構造であればよい。

また、搬送レール２間の継ぎ目でガラスの端部を浮上させる手段として、上面視細長状の噴出スロット６ｂを設けたが、上面視楕円状等の貫通孔を設けたり、複数の小さな貫通孔を直線上に並べて穿設するようにしてもよく、これらの貫通孔の内面に貫通孔から噴出される空気を乱流とすることで同様の効果を奏する。

さらに、斜角ブロック３を設けてスロットプレート６をガラスの端面に対して斜めに交差するように配置したが、必ずしも斜角ブロック３を設ける必要はなく、スロットプレート６をガラスの端面に対して平行に配置してもよい。また、流体として空気を用いる場合について説明したが、空気以外の窒素等のプロセスガスを使用することもできる。

１ 非接触搬送装置
２ 搬送レール
３ 斜角ブロック
３ａ、３ｂ 給気経路
３ｃ スロットプレートの配置面
４（４ａ、４ｂ） 旋回流形成体
５ａ、５ｂ 給気経路
６ スロットプレート
６ａ 凹部
６ｂ 噴出スロット
６ｃ 内面
６ｄ 微細孔
６ｅ 凸部
７ 取付ねじ

Claims (7)

1. 複数の搬送レールを被搬送物の搬送方向に沿って配置し、該複数の搬送レール上で該被搬送物を浮上させながら搬送する非接触搬送装置であって、
   前記搬送レールの端部の搬送面に設けられ、該搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う前記搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、該被搬送物の端部に流体を噴出して該端部を浮上させる流体噴出手段と、
   該流体噴出手段から噴出される流体を乱流とする乱流形成手段とを備えることを特徴とする非接触搬送装置。
2. 前記流体噴出手段は、前記搬送レールの端部に、該搬送レールの搬送面から上方に向けて流体を噴出する噴出口を有し、
   前記乱流形成手段は、該噴出口の内面に設けられる凹部又は／及び凸部であることを特徴とする請求項１に記載の非接触搬送装置。
3. 前記凹部又は／及び凸部は複数列設けられ、隣接する列の前記凹部又は／及び凸部は互いに千鳥に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
4. 前記噴出口の内面に複数の凸部を設け、該複数の凸部の各々の高さを前記噴出口の開口幅の１／２以上としたことを特徴とする請求項２又は３に記載の非接触搬送装置。
5. 前記噴出口は、上面視細長状のスロット状に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
6. 前記流体噴出手段は、前記被搬送物の端面に対して斜めに交差するように配置されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の非接触搬送装置。
7. 被搬送物を複数の搬送レールに沿って該複数の搬送レール上で浮上させながら搬送する非接触搬送方法であって、
   前記搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う前記搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、該被搬送物の端部に流体を噴出して該端部を浮上させる際に、該噴出する流体を乱流とすることを特徴とする非接触搬送方法。

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