TW201520157A - 非接觸搬運裝置及非接觸搬運方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種非接觸搬運裝置等，可防止薄型之被搬運物的搬運不良，且安定地以非接觸來進行搬運。非接觸搬運裝置(1)，係將複數的搬運軌道(2)沿著被搬運物的搬運方向配置，並在複數的搬運軌道上一邊使被搬運物懸浮一邊進行搬運，該非接觸搬運裝置(1)具備：流體噴出手段(噴出狹縫(6b))，其設置在搬運軌道之端部的搬運面處，使在搬運軌道上被搬運之被搬運物的端部，在到達相鄰之搬運軌道之間的接縫處或接近該處時，對著被搬運物的端部噴出流體而使該端部懸浮；及亂流形成手段，是使由流體噴出手段所噴出之空氣成為亂流。亂流形成手段，可以是設在流體噴出手段之噴出口內面的凹部(微細孔(6d))或/及凸部(6e)。

Description

非接觸搬運裝置及非接觸搬運方法

本發明關於非接觸搬運裝置及非接觸搬運方法，特別是關於薄型FPD面板或太陽能電池面板等懸浮搬運所使用之裝置及方法。

以往，在FPD面板或太陽能電池面板的生產之際，藉由使一片的面板大型化來提高生產效率。例如，為液晶玻璃的情況，在第十世代是成為2850×3050×0.7mm的大小。因此，若是如以往般將液晶面板放在複數個並排的輥上來滾動搬運時，會因軸的撓曲或輥的高度差而在玻璃局部作用強大的力，有著損傷玻璃之虞。此外，在製程工程中，要求著非接觸的搬運，於是開始採用空氣懸浮搬運。

作為空氣懸浮搬運裝置的一例，存在有將板狀的軌道以複數個連接來構成搬運軌道，該板狀軌道是為了使液晶用玻璃懸浮而設有複數個小徑的孔，且從該等小徑的孔噴出空氣。且，亦存在使用多孔質碳來作為軌道材 料，並從該氣孔噴出空氣的方法。

但是，在上述搬運軌道中，為了延伸被搬運物的搬運距離時，需將搬運軌道朝被搬運物的搬運方向連接而延伸距離，此時，於搬運軌道的接縫處會產生階差，或是因測定用感測器空間的確保、及洗淨機、除水空氣噴嘴等的配置而使搬運軌道間的間隙變大時，被搬運物將無法跨越搬運軌道的接縫處，有著在途中卡住而產生搬運不良，或是損傷被搬運物之虞。

在此，於專利文獻1，記載有如圖5及圖6所示般的非接觸搬運裝置11。該非接觸搬運裝置11，是將複數的搬運軌道2沿著被搬運物12的搬運方向配置，並一邊使被搬運物12懸浮一邊進行搬運者，其具備：設在搬運面的旋流形成體4、及俯視時為細長狀的噴出狹縫2b，該噴出狹縫2b是設置在搬運軌道2之端部2a的搬運面處，使在搬運軌道2上被搬運之被搬運物的12端部12a，在到達相鄰之搬運軌道2之間的接縫處或接近該處時，對著被搬運物12的端部12a噴出空氣而使端部12a懸浮。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2010/058689號說明書

但是，上述專利文獻1所記載之非接觸搬運裝置11中，從噴出狹縫2b噴出的空氣會在噴出狹縫2b的上方形成渦流，而在藉由噴出狹縫2b使被搬運物12懸浮之前，會藉由渦流而對被搬運物12施加向下的力。因此，關於薄型的被搬運物，會偶有被搬運物12接觸到搬運軌道2的上面，或是被搬運物12接近搬運軌道2，使被搬運物12無法跨越搬運軌道2而卡在途中等產生搬運不良之虞。因此，要求著對薄型的被搬運物更加安定的搬運。

在此，本發明為鑑於上述以往技術的問題點而完成，其目的在於提供一種非接觸搬運裝置等，其不會產生薄型之被搬運物的搬運不良，可安定地以非接觸來進行搬運。

為了達成上述目的，本發明是將複數的搬運軌道沿著被搬運物的搬運方向配置，並在該複數的搬運軌道上一邊使該被搬運物懸浮一邊進行搬運的非接觸搬運裝置，其特徵為，具備：流體噴出手段，其設置在前述搬運軌道之端部的搬運面處，使在該搬運軌道上被搬運之被搬運物的端部，在到達相鄰之前述搬運軌道之間的接縫處或接近該處時，對著該被搬運物的端部噴出流體而使該端部 懸浮；及亂流形成手段，是使由該流體噴出手段所噴出之流體成為亂流。

根據本發明，使從流體噴出手段噴出之流體成為亂流，藉此防止在流體噴出手段的上方形成渦流，可減弱流體噴出手段所致之對被搬運物的吸力，即使為薄型的被搬運物，亦可防止被搬運物接觸搬運軌道的上面，或是被搬運物與搬運軌道之間的距離變近使被搬運物無法跨越搬運軌道的接縫處而卡在途中等搬運不良。

前述非接觸搬運裝置中，前述流體噴出手段，在前述搬運軌道的端部具有從該搬運軌道的搬運面朝向上方噴出流體的噴出口，可將前述亂流形成手段，形成為設在該噴出口之內面的凹部或/及凸部，可以簡易的構造來產生亂流。

前述凹部或/及凸部為複數列設置，鄰接之列的前述凹部或/及凸部，可互相配置成交錯狀。藉此防止由噴出口所噴出之空氣直接往外部噴出，可確實地成為亂流。

在前述噴出口的內面設置複數凸部，該複數凸部之各自的高度可為前述噴出口之開口寬度的1/2以上，藉此可將由噴出口所噴出之空氣確實地成為亂流。

可將前述噴出口形成俯視時為細長狀的狹縫狀，藉由將供給至流體噴出手段之流體一邊壓縮一邊噴出，可對被搬運物的端部賦予充分的浮力，而可適當地使被搬運物的端部懸浮。

前述流體噴出手段，可配置成相對於前述被搬運物的端面呈傾斜交叉，藉此在從流體噴出手段將流體往被搬運物的端部噴付之際，可抑制在被搬運物上方所產生的渦氣流，而可抑制被搬運物的上下振動。

且，本發明係使被搬運物沿著複數的搬運軌道一邊在該複數的搬運軌道上懸浮一邊進行搬運的非接觸搬運方法，其特徵為：在前述搬運軌道上被搬運之被搬運物的端部，在到達相鄰之前述搬運軌道之間的接縫處或接近該處時，對著該被搬運物的端部噴出流體而使該端部懸浮之際，使該噴出之流體成為亂流。

根據本發明，使噴出之流體成為亂流，藉此防止所噴出之流體產生渦流，可減弱流體之噴出所致之對被搬運物的吸力。因此，即使為薄型的被搬運物，亦可防止被搬運物接觸搬運軌道的上面，或是被搬運物無法跨越搬運軌道的接縫處而卡在途中等搬運不良的發生。

如以上所述，根據本發明，即使是薄型的被搬運物，亦可一邊迴避搬運不良一邊安定地進行非接觸搬運。

1‧‧‧非接觸搬運裝置

2‧‧‧搬運軌道

3‧‧‧斜角塊

3a、3b‧‧‧供氣通路

3c‧‧‧狹縫板的配置面

4(4a、4b)‧‧‧旋流形成體

5a、5b‧‧‧供氣通路

6‧‧‧狹縫板

6a‧‧‧凹部

6b‧‧‧噴出狹縫

6c‧‧‧內面

6d‧‧‧微細孔

6e‧‧‧凸部

7‧‧‧安裝螺絲

圖1為表示關於本發明之非接觸搬運裝置之一實施型 態的部份擴大圖。

圖2為表示圖1所示之非接觸搬運裝置的立體圖。

圖3為關於構成本發明之非接觸搬運裝置之狹縫板的立體圖。

圖4為表示設在狹縫板之凸部之一例的剖面圖。

圖5為表示以往之非接觸搬運裝置之一例的俯視圖。

圖6為表示在搬運軌道之間的接縫處之被搬運物的搬運狀態圖。

接著，針對用以實施本發明的型態來一邊參照圖式一邊進行說明。且，關於以下的說明，是使用空氣作為搬運用流體，且，作為被搬運物，以搬運液晶用玻璃(未圖示)的情況作為例子進行說明。

圖1~圖3是表示關於本發明之非接觸搬運裝置1的一實施型態，該非接觸搬運裝置1具備：與圖4所示之搬運軌道2相同，朝玻璃的搬運方向X延伸，且在玻璃的搬運方向及與該搬運方向正交的方向並排配置之角柱狀的搬運軌道2；安裝在各個搬運軌道2的端部，且俯視時呈直角三角形的斜角塊3；產生上升旋流使玻璃懸浮的旋流形成體4a、4b；搬運從泵(未圖示)所供給之空氣的供氣通路5a、5b；板狀的狹縫板6；以及將斜角塊3與狹縫板6予以固定的安裝螺絲7等。

斜角塊3，是為了使狹縫板6對著玻璃的端面 配置成傾斜交叉而具備者。在斜角塊3的內部設有：搬運軌道2內的供氣通路5a、5b；以及與狹縫板6內的凹部(空氣通路)6a聯繫的供氣通路3a、3b。且，在狹縫板6的配置面3c，設置有用來以螺絲鎖住狹縫板6的複數個安裝孔(未圖示)。

旋流形成體4a、4b是設在搬運軌道2，在產生上升旋流使玻璃懸浮的同時，以負壓產生朝下方的空氣流，保持懸浮高度的精度。

在狹縫板6的內部設有：配置成與供氣通路3a、3b連通的凹部6a；以及從凹部6a的上部朝斜角塊3的表面延伸之俯視時為細長狀的噴出狹縫6b。在此，噴出狹縫6b的長度，是形成為比供氣通路3a、3b的直徑還要大。且，噴出狹縫6b的寬度(深度)，是為了將透過凹部6a所供給之空氣予以壓縮之後噴出，故形成比凹部6a的寬度(深度)還小，具體來說以0.1mm以下為佳。

狹縫板6是配置在斜角塊3之狹縫板6的配置面3c處。圖3是從配置面3c側觀看狹縫板6的立體圖，圖中省略用來以螺絲鎖住狹縫板6之複數的安裝孔。如該圖所示般，在狹縫板6之噴出狹縫6b的內面6c，複數列設置有以衝床等衝壓形成之微細孔6d，且鄰接之列的各孔是互相配置成交錯狀，藉由該微細孔6d防止從噴出狹縫6d所噴出之空氣直接往外部噴出，可確實地形成亂流。

接著，關於具有上述構造之非接觸搬運裝置1 的動作，參照圖1~圖3進行說明。

在圖1所示之旋流形成體4a、4b的上方產生昇旋流，並以該昇旋流使玻璃懸浮。旋流形成體4a、4b的旋流是互相為反方向，且各個旋流形成體4a、4b所形成之旋流的水平分量力互相抵銷。藉此，以旋流而附加於玻璃的力，僅為懸浮力及吸引力兩種鉛直成份的力，可確實地防止玻璃旋轉。且，藉由旋流形成體4a、4b對玻璃施加負壓，可保持懸浮高度的精度。

如上述般懸浮之玻璃，是藉由未圖示之線性馬達、摩擦輥、輸送帶等賦予搬運驅動力來進行搬運。當玻璃的端部接近搬運軌道2的接縫處時，由狹縫板6的噴出狹縫6b所噴出之空氣會吹向玻璃的內面，對玻璃的端部賦予懸浮力。其結果，玻璃的端部及其附近區域會懸浮，可容易地使玻璃跨越搬運軌道2之接縫處的階差及搬運軌道2間的間隙。

上述非接觸搬運裝置1中，在玻璃的端部接近搬運軌道2的接縫處時，是使玻璃與噴出狹縫6b呈傾斜交叉的狀態，將空氣吹向玻璃的內面。此時，由於渦流不會一口氣地產生於玻璃的內面，故產生振動的力量較弱，而減輕在玻璃上方之渦氣流的產生。藉此，可抑制玻璃的上下振動，可圓滑地在搬運軌道2的接縫處移動。

且，藉由在狹縫板6的內面6c所形成之微細孔6d，使由噴出狹縫6b所噴出之空氣成為亂流，藉此可防止噴出狹縫6b的上方產生渦流，能減弱噴出狹縫6b所 致之對玻璃的吸附，即使為薄型的玻璃，亦可防止其接觸搬運軌道2的上表面，或是無法跨越搬運軌道2的接縫處而卡在途中等搬運不良，可以安定地搬運。

且，上述實施型態中，作為將從噴出狹縫6b所噴出的空氣成為亂流的手段，是在狹縫板6的內面6c設置微細孔6d，但如圖4所示般，亦可在內面6c設置凸部6e。凸部6e的高度h，是設為噴出狹縫6b之間隙H的1/2以上，亦即h≧0.5H，且與上述微細孔6d的情況同樣地配置成交錯狀。且，除此之外，只要是能夠將從噴出狹縫6b所噴出之空氣成為亂流的構造即可。

且，作為在搬運軌道2之間的接縫處使玻璃的端部懸浮的手段，是設置俯視時為細長狀的噴出狹縫6b，但亦可設置俯視時為橢圓狀等的貫通孔，或是將複數之細小的貫通孔並排地穿透設置在直線上，並在該等貫通孔的內面使從貫通孔噴出之空氣成為亂流，藉此發揮同樣的效果。

此外，雖設置斜角塊3使狹縫板6配置成對玻璃的端面呈傾斜交叉，但並不一定要設置斜角塊3，亦可使狹縫板6對玻璃的端面配置成平行。且，雖針對使用空氣來作為流體的情況進行了說明，但亦可使用空氣以外之氮氣等製程氣體。

1‧‧‧非接觸搬運裝置

2‧‧‧搬運軌道

3‧‧‧斜角塊

3a、3b‧‧‧供氣通路

3c‧‧‧狹縫板的配置面

4a、4b‧‧‧旋流形成體

5a、5b‧‧‧供氣通路

6‧‧‧狹縫板

6a‧‧‧凹部

6b‧‧‧噴出狹縫

6c‧‧‧內面

7‧‧‧安裝螺絲

Claims (7)

1. 一種非接觸搬運裝置，係將複數的搬運軌道沿著被搬運物的搬運方向配置，並在該複數的搬運軌道上一邊使該被搬運物懸浮一邊進行搬運的非接觸搬運裝置，其特徵為，具備：流體噴出手段，其設置在前述搬運軌道之端部的搬運面處，使在該搬運軌道上被搬運之被搬運物的端部，在到達相鄰之前述搬運軌道之間的接縫處或接近該處時，對著該被搬運物的端部噴出流體而使該端部懸浮；及亂流形成手段，是使由該流體噴出手段所噴出之流體成為亂流。
2. 如申請專利範圍第1項所述之非接觸搬運裝置，其中，前述流體噴出手段，在前述搬運軌道的端部具有從該搬運軌道的搬運面朝向上方噴出流體的噴出口，前述亂流形成手段，是設在該噴出口之內面的凹部或/及凸部。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之非接觸搬運裝置，其中，前述凹部或/及凸部為複數列設置，鄰接之列的前述凹部或/及凸部，是互相配置成交錯狀。
4. 如申請專利範圍第2或3項所述之非接觸搬運裝置，其中，在前述噴出口的內面設置複數凸部，該複數凸部之各自的高度為前述噴出口之開口寬度的1/2以上。
5. 如申請專利範圍第1或2項所述之非接觸搬運裝置，其中，前述噴出口是形成俯視時為細長狀的狹縫狀。
6. 如申請專利範圍第1~5中任一項所述之非接觸搬運裝置，其中，前述流體噴出手段，是配置成相對於前述被搬運物的端面呈傾斜交叉。
7. 一種非接觸搬運方法，係使被搬運物沿著複數的搬運軌道一邊在該複數的搬運軌道上懸浮一邊進行搬運的非接觸搬運方法，其特徵為：在前述搬運軌道上被搬運之被搬運物的端部，在到達相鄰之前述搬運軌道之間的接縫處或接近該處時，對著該被搬運物的端部噴出流體而使該端部懸浮之際，使該噴出之流體成為亂流。