JP2013116804A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置間の乗り継ぎにおけるワークの搬送方向の先端部分の垂下を防止し、ワークの搬送ができる。
【解決手段】搬送装置１００は、複数の回転体１１０と、複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークＷを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部１１２と、複数の搬送部の間に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる第１浮上部１１６と、を含む搬送ユニット１００ａが、ワークの搬送方向に離間して複数連設され、複数の搬送ユニットの連設部分に、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークを浮上させる第２浮上部１１８が配される。
【選択図】図１

Description

本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に関する。

従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、例えば、ベルトコンベアが用いられている。このベルトコンベアは、長距離搬送や、搬送距離の変更に対応するため、搬送方向に複数連設して配されることがある。この場合、ベルトコンベアの連設部分にプーリが配される構造上、ベルトコンベアは搬送面の高さに対してプーリの外形に沿って凹む。つまり、ベルトコンベアの連設部分において、ベルトコンベアがワークと非接触となる隙間が生じることとなる。搬送中のワークが、この隙間を乗り越えてベルトコンベア間を乗り継ぐとき、ワークの搬送方向の先端部分が鉛直下方に湾曲し垂下してしまう。

そこで、上述した連設部分において、搬送方向の上流側のベルトコンベアの一部と下流側のベルトコンベアの一部が、互いにオーバーラップした搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１）。また、気体を噴出する多孔質体を複数配した浮上テーブルを挟んで、１対のベルトコンベアを設置し、噴出する気体の圧力およびベルトコンベアによってワークを下方支持しながら搬送する搬送装置も提案されている（例えば、特許文献２）。この搬送装置では、浮上テーブルの始端または終端となる部分に配された多孔質体の気体噴出量を他よりも大きくしている。

特開２００６−３０６５９３号公報 特開２００７−８６４４号公報

特許文献１に記載の搬送装置であれば、搬送装置間の乗り継ぎにおいても、ワークの先端部分が垂下することはない。しかし、この搬送装置は、搬送方向に隣り合うベルトコンベアを、搬送方向に垂直なワークの幅方向の位置を異ならせて交互にオーバーラップさせて配置しなければならないため、設置やメンテナンスが煩雑となる。その上、搬送方向に垂直なワークの幅方向に、ベルトコンベアが配される位置が複数あるため、ワークのうち、ベルトコンベアと非接触な状態で搬送を完了できる面積が小さくなり、ワークに傷や汚れが生じる可能性が高まってしまう。

また、特許文献２に記載の搬送装置では、ワークのうち、搬送方向に垂直な幅方向の中央側は、鉛直下方に多孔質体が配されるが、幅方向の外側は、ベルトコンベアが位置するため鉛直下方に多孔質体が配されない。上述したように、ベルトコンベア間の乗り継ぎにおいては、ベルトコンベアも鉛直下方に離隔してしまうため、特に、搬送方向の前側や後ろ側の端部の幅方向の外側が垂下してしまう。このとき、ワークの垂下した部分が、搬送方向の下流側のベルトコンベアに衝突して傷付いてしまうおそれがある。このような搬送装置では、特に、ワークが薄くなるほど垂下し易く、傷の発生要因となる可能性が高まる。

本発明の目的は、装置間の乗り継ぎにおけるワークの搬送方向の前側や後ろ側の端部の垂下を防止し、ワークの搬送が可能な搬送装置を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、複数の搬送部の間に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる第１浮上部と、を含む搬送ユニットが、ワークの搬送方向に離間して複数連設され、複数の搬送ユニットの連設部分に、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークを浮上させる第２浮上部が配されたことを特徴とする。

上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、複数の搬送部の間に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる第１浮上部と、複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークを浮上させる第２浮上部と、を備えたことを特徴とする。

搬送時のワークの高さより上方であり、かつ、第２浮上部と対向して配置され、第２浮上部が鉛直上方への気体の流れを生じさせるために噴出した気体を吸引する吸引部をさらに備えてもよい。

吸引部による気体の吸い込み流量は、第２浮上部による気体の噴出流量よりも大きくてもよい。

第２浮上部は、ワークの搬送方向の前側または後ろ側の端部近傍を浮上させるように、間欠的に気体を噴出させてもよい。

本発明によれば、装置間の乗り継ぎにおけるワークの搬送方向の前側や後ろ側の端部の垂下を防止し、ワークの搬送ができる。

第１の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。 ピン付きベルトコンベアとローラコンベアとの比較を説明するための説明図である。 搬送中のワークの形状を説明するための説明図である。 従来のワークの乗り継ぎを説明するための説明図である。 第１の実施形態の搬送装置におけるワークの乗り継ぎを説明するための説明図である。 第２の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。

本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、板厚０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の可撓性を有するガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。

図１は、第１の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。特に、図１（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図１（ｂ）は、搬送装置１００の正面図を示し、図１（ｃ）は、搬送装置１００の側面図を示す。ただし、図１（ａ）では、理解を容易にするため、後述する２つの吸引部１２０のうち、図中右側に位置する方を省略し、図中左側に位置する方のみを示す。

図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、搬送装置１００は、複数（本実施形態では２つ）の搬送ユニット１００ａが、ワークの搬送方向（矢印Ｘで示す）に離間して複数連設して構成される。ここでは、まず、搬送ユニット１００ａについて詳述する。

搬送ユニット１００ａは、回転体１１０と、搬送部１１２と、突起部１１４と、第１浮上部１１６とを含んで構成される。

回転体１１０は、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数（本実施形態では２つ）配置される。また、回転体１１０は、その回転軸が水平かつ搬送方向に垂直に複数配置され、回転体１１０の貫通孔には、それぞれ１本ずつシャフト１１０ａの一端が挿通される。そして、回転体１１０の貫通孔の内周面と、シャフト１１０ａの外周面とに設けられたキー溝にキーが嵌合することで、回転体１１０とシャフト１１０ａが一体となって回転可能となる。

ベース１０２は、搬送ユニット１００ａの土台である。支持脚１０４は、このベース１０２に固定して立てられている。そして、支持脚１０４の上部には貫通孔１０４ａが設けられている。シャフト１１０ａは、この貫通孔１０４ａの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。

搬送方向の上流側に配された２本のシャフト１１０ａの他端には、プーリ１１０ｂが取り付けられている。プーリ１１０ｂも回転体１１０と同様、中央に貫通孔が設けられ、キーおよびキー溝の嵌め合い構造によって、プーリ１１０ｂとシャフト１１０ａが一体となって回転可能となる。

支持脚１０４の下部には貫通孔１０４ｂが設けられている。シャフト１１０ｃは、対向する貫通孔１０４ｂの両方に挿通され、貫通孔１０４ｂの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。

シャフト１１０ｃには、プーリ１１０ｄが取り付けられている。プーリ１１０ｄも回転体１１０と同様、中央に貫通孔が設けられ、キーおよびキー溝の嵌め合い構造によって、プーリ１１０ｄとシャフト１１０ｃが一体となって回転可能となる。

ベルト１１０ｅは、プーリ１１０ｂとプーリ１１０ｄによって無端状に張架され、プーリ１１０ｄの回転力をプーリ１１０ｂに伝達する。

シャフト１１０ｃの一端には、軸継手１１０ｆが設けられる。軸継手１１０ｆのうち、シャフト１１０ｃの逆側には、モータ等の駆動装置１１０ｇのシャフトの一端が嵌入される。シャフト１１０ｃには、軸継手１１０ｆによって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達される。

回転体１１０は、このような機構によって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達されて回転する。ここでは、１つの駆動装置１１０ｇが回転体１１０を回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置１１０ｇが同期して回転体１１０を回転させてもよい。また、ここでは、プーリ１１０ｂ、１１０ｄが、回転体１１０の対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体１１０の対向方向の外側に配されてもよい。

搬送部１１２は、例えばベルトで構成され、複数の回転体１１０によって無端状に張架されて、回転体１１０の回転に伴って矢印Ｙの方向に回転する。図１（ａ）に示すように、搬送部１１２は、搬送方向に平行に複数（本実施形態では２つ）、対向配置される。

突起部１１４は、例えば樹脂等で構成され、搬送部１１２の表面に複数配されてワークを接触支持する。搬送部１１２は、矢印Ｙの方向に回転することで、突起部１１４に接触支持されたワークを矢印Ｘの方向に搬送する。

第１浮上部１１６は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部１１２の間のベース１０２の上に載置されている。第１浮上部１１６は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。

具体的には、ワークを突起部１１４で接触支持した状態で、第１浮上部１１６が気体（圧縮空気）を噴出することで鉛直上方への気体の流れを生じさせると、第１浮上部１１６とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、突起部１１４の反力で支持されることとなる。

このとき、第１浮上部１１６は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向に向かう動圧よりも、ワークの下方の空間が狭いために、空気が四方に分散しようとする動きを抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない動力でワークを支持可能となる。

図２は、ピン付きベルトコンベアとローラコンベアとの比較を説明するための説明図である。特に、図２（ａ）は、ピン付きベルトコンベア（搬送部１１２）を用いた、搬送装置１００によるワークＷの搬送状態を示し、図２（ｂ）、（ｃ）は、ローラコンベア１０を用いた搬送装置によるワークＷの搬送状態を示す。

図２（ｂ）に示すように、ローラコンベア１０の鉛直上側に載置されたワークＷは、ローラコンベア１０の各ローラ１０ａの回転に伴って搬送される。このとき、ワークＷが薄く剛性が低いと、ワークＷの搬送方向の前側や後ろ側の端部Ｗａは、隣接するローラ１０ａの間で垂下してしまう。この場合、ワークＷの搬送が進むと、図２（ｃ）に示すように、ワークＷの端部Ｗａがローラ１０ａの側方に衝突してしまう。この現象は、特に、ワークＷが薄くなるほど顕著となる。本実施形態では、図２（ａ）に示すように、ワークＷと搬送部１１２の鉛直上側部分とが一体となって搬送方向に進み、その間、ワークＷと突起部１１４が接触状態を維持する。そのため、搬送部１１２は、ワークＷの上述したような衝突を回避可能となる。

図３は、搬送中のワークＷの形状を説明するための説明図である。図３（ｂ）に示すように、ピン付きベルトコンベア２を用いた搬送装置１であっても、ワークＷが薄くなり、その剛性が低下しすぎると、突起部３の間に位置するワークＷの端部Ｗａが垂下し、鉛直下方に湾曲してしまう。そこで、図３（ａ）に示すように、本実施形態の第１浮上部１１６は、ワークＷの下方に、ワークＷが水平に保たれる圧力より低い圧力を生じさせ、ワークＷは、搬送方向に沿って中央部分Ｗｂが、例えば、ワークＷの幅（搬送方向に垂直な長さ）３００ｍｍに対して、厚さ方向（鉛直下方）に１ｍｍ〜２ｍｍ程度凹む。搬送ユニット１００ａは、ワークＷの中央部分Ｗｂを水平よりも鉛直下方に凹ませることで、ワークＷの剛性を高くできる。そのため、突起部３の数を減らしたり（間隔を広げたり）、後述する搬送ユニット１ａの連設部分の搬送ユニット１ａ間の間隔を大きく取ることが可能となる。

しかし、上述したようにワークＷの中央部分Ｗｂを鉛直下方に凹ませて剛性を高めても、ワークＷの薄化が進むと、従来の搬送装置では安定した搬送が困難となるおそれがある。

図４は、従来のワークＷの乗り継ぎを説明するための説明図である。特に、図４（ａ）は、従来の搬送装置１の上面図を示し、図４（ｂ）は、搬送装置１の側面図を示し、図４（ｃ）は、従来の他の搬送装置４の側面図を示す。

図４（ｂ）に示すように、搬送装置１を構成する搬送ユニット１ａ間は、搬送部２の突起部３が干渉しないように離間している。つまり、搬送ユニット１ａの連設部分において、搬送部２がワークＷと非接触となる隙間が生じることとなる。この搬送ユニット１ａ間をワークＷが乗り継ぐ際、ワークＷの中央部分Ｗｂを鉛直下方に凹ませて剛性を高めてあっても、ワークＷの板厚が薄いと、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ワークＷの端部Ｗａの幅方向の外側（例えば角部分）が鉛直下方に垂下してしまう。

図４（ｃ）に示す他の搬送装置４では、搬送部５に突起部が設置されていない。搬送部５は、ワークＷに接触しながらワークを搬送する。このような構成の搬送装置４であっても、搬送装置４を構成する２つの搬送ユニット４ａの連設部分に回転体６が配される構造上、搬送部５は搬送面（ワークＷが位置する高さを示す面）に対して回転体６の外形に沿って凹む。そのため、搬送装置１と同様、この搬送ユニット４ａ間をワークＷが乗り継ぐ際、ワークＷの中央部分Ｗｂを鉛直下方に凹ませて剛性を高めてあっても、ワークＷの端部Ｗａの幅方向の外側が鉛直下方に垂下してしまう。

そこで、本実施形態の搬送装置１００は、搬送ユニット１００ａの他に、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、第２浮上部１１８、吸引部１２０を備える。

第２浮上部１１８は、複数の搬送ユニット１００ａの連設部分に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークＷを浮上させる。第２浮上部１１８は、搬送ユニット１００ａの間の設置面に立てられた支持台１２２に、搬送部１１２より低い位置に固設される。

吸引部１２０は、搬送時のワークＷの高さより上方であり、かつ、第２浮上部１１８と対向して配置される。具体的には、吸引部１２０は、支持台１２２の上端部で、搬送部１１２より高い位置に固設される。そして、吸引部１２０は、第２浮上部１１８が鉛直上方への気体の流れを生じさせるために噴出した気体を吸引する。

吸引部１２０には、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタが取り付けられており、吸引した気体のコンタミをフィルタリング可能となっている。また、吸引部１２０は、ＨＥＰＡフィルタを取り付ける代わりに、吸引した気体を、ダクト等を通じて搬送装置１００から離隔し、ワークＷにコンタミの影響を与えない場所に排気してもよい。

図５は、第１の実施形態の搬送装置１００におけるワークＷの乗り継ぎを説明するための説明図である。特に、図５（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図５（ｂ）は、搬送装置１００の側面図を示し、図５（ｃ）は、搬送装置１００の正面図を示す。ただし、理解を容易とするため、図５（ａ）では、２つの吸引部１２０のうち、図中下側に位置する方を省略し、図中上側に位置する方のみを示し、図５（ｂ）では、支持台１２２の図示を省略する。

ワークＷの搬送ユニット１００ａ間の乗り継ぎにおいて、それぞれの搬送ユニット１００ａの搬送部１１２の間には、図５（ｂ）に示すように、第２浮上部１１８による鉛直上方への気体の流れが生じている。ワークＷの端部Ｗａの幅方向の外側は、この気体の流れを受けて持ち上げられ、垂下することなく搬送方向に延在している。

このように、搬送装置１００は、搬送ユニット１００ａ間の乗り継ぎにおいて、ワークＷを、端部Ｗａの幅方向の外側を垂下させず滑らかに搬送できる。このとき、搬送部１１２は略直線上に配される。そのため、搬送ユニット１００ａを乗り継いでも、ワークＷのうち、搬送部１１２と接触する位置がほとんど変わらないため、搬送部１１２と非接触な状態で搬送を完了可能な面積を大きく確保することができる。

また、第２浮上部１１８は、搬送部１１２の間に配され、気体を噴出する範囲を、ワークＷのうち幅方向の外側近傍に範囲を限定することで、噴出する気体の流量を絞ることが可能となる。そのため、搬送装置１００の第２浮上部１１８として、圧縮空気を供給する装置の代わりにファン等の簡易な送風装置を用いることも可能となり、省エネルギー化を実現できる。

さらに、第２浮上部１２０は、ワークＷの端部Ｗａ近傍を浮上させるように、間欠的に気体を噴出させる。すなわち、第２浮上部１２０は、ワークＷが搬送ユニット１００ａの連設部分を通過する時点を含む、前後所定時間のみ気体を噴出し、それ以外のときは気体の噴出を停止する。

かかる構成により、搬送装置１００は、より省エネルギー化を実現可能であると共に、ワークＷの端部Ｗａおよび端部Ｗａ近傍以外の部分に気体が不必要に当たることを避け、ワークＷをより安定して搬送できる。

また、吸引部１２０を備える構成により、搬送装置１００は、ワークＷの搬送方向の端部Ｗａの幅方向の外側が垂下してしまう事態を安定して回避可能となる。さらに、第２浮上部１１８が吹き上げた空気を吸引部１２０が吸引することで、吹き上げられた空気に含まれるコンタミのワークＷへの付着を防止すると共に、吹き上げられた空気に伴い上昇気流が周囲に広がって、付近に落ちていたコンタミが拡散してしまう事態を防止できる。

本実施形態において、吸引部１２０による気体の吸い込み流量は、第２浮上部１１８による気体の噴出流量よりも大きい。

かかる構成により、第２浮上部１１８が吹き上げた空気を吸引部１２０が吸引する可能性が高まり、搬送装置１００は、コンタミの拡散をより確実に防止できる。

また、図５（ｃ）に示すように、第２浮上部１１８は、ワークＷの搬送方向に垂直な幅方向の端部Ｗｃよりも、幅方向の外側に延在する。そして、吸引部１２０は、その吸引面１２０ａが、搬送方向を軸に傾いて設置される。吸引面１２０ａは、搬送装置１００の側面から視認される向きに傾く。ただし、吸引面１２０ａはワークＷの上面に沿った向きとする。さらに、支持台１２２は、第２浮上部１１８および吸引部１２０よりも幅方向外側に配置される。

このような第２浮上部１１８、吸引部１２０、および支持台１２２の配置によって、第２浮上部１１８から噴出した気体は、図５（ｃ）に黒塗りの矢印で示すように、ワークＷの搬送方向の端部Ｗａの幅方向の外側を巻き込み、端部Ｗａの幅方向の外側近傍で渦流が生じやすくなる。渦流が生じることで、搬送装置１００は、少ない流量の気体で効率的にワークＷの端部Ｗａの幅方向の外側を持ち上げることが可能となる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態の搬送装置２００における第２浮上部２１８、吸引部２２０、および支持台２２２について説明する。第２の実施形態では、上記第１の実施形態と第２浮上部２１８、吸引部２２０、および支持台２２２のみが異なる。したがって、ここでは上記第１の実施形態と同じ構成については説明を省略し、構成が異なる第２浮上部２１８、吸引部２２０、および支持台２２２についてのみ説明する。

図６は、第２の実施形態における搬送装置２００の構造を説明するための説明図である。特に、図６（ａ）は、搬送装置２００の上面図を示し、図６（ｂ）は、搬送装置２００の正面図を示し、図６（ｃ）は、搬送装置２００の側面図を示す。ただし、図６（ａ）では、理解を容易とするため、２つの吸引部２２０のうち、図中右側に位置する方を省略し、図中左側に位置する方のみを示す。

第１の実施形態では、複数の搬送ユニット１００ａの間に、第２浮上部１１８および吸引部１２０を配した。本実施形態では、搬送装置２００は、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、１の搬送ユニット２００ａのみで構成され、第２浮上部２１８、吸引部２２０、および支持台２２２は、搬送部１１２の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方に配される。第２浮上部２１８、吸引部２２０、および支持台２２２は、その配置以外は、第２浮上部１１８、吸引部１２０および支持台１２２と同様の構成である。そして、第２浮上部２１８、吸引部２２０および支持台２２２に対して、搬送ユニット２００ａと逆側に他の装置が配置される。

本実施形態の搬送装置２００は、他の装置から搬送装置２００への乗り継ぎ、または搬送装置２００から他の装置への乗り継ぎにおいて、ワークＷを、搬送方向の端部Ｗａの幅方向の外側を垂下させず滑らかに搬送できる。また、第２浮上部２１８は、搬送部１１２の前方または後方に配され、他の装置から搬送装置２００への乗り継ぎ、または搬送装置２００から他の装置への乗り継ぎにおけるワークＷの端部Ｗａの幅方向の外側近傍に絞って気体を噴出可能となる。そのため、搬送装置２００は、第１の実施形態の搬送装置１００と同様、第２浮上部２１８として、ファン等の簡易な送風装置を用いて省エネルギー化を実現できる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば、上述した吸引部１２０、２２０に、空気を噴出する多孔質パッドを設置してもよい。かかる多孔質パッドを設置することで、吸引部１２０、２２０は、空気を吸引しすぎてワークＷが吸い上げられ、吸引部１２０、２２０と接触してしまう事態を回避できる。この場合、吸引部１２０、２２０による気体の吸い込み流量は、第２浮上部１１８、２１８による気体の噴出流量と、多孔質パッドによる気体の噴出流量の和よりも大きいとよい。

本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に利用することができる。

１００、２００ …搬送装置
１００ａ、２００ａ …搬送ユニット
１１０ …回転体
１１２ …搬送部
１１４ …突起部
１１６ …第１浮上部
１１８、２１８ …第２浮上部
１２０、２２０ …吸引部
Ｗ …ワーク

Claims (5)

1. 複数の回転体と、該複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、該複数の搬送部の間に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、該ワークの一部を浮上させる第１浮上部と、を含む搬送ユニットが、該ワークの搬送方向に離間して複数連設され、
   前記複数の搬送ユニットの連設部分のうち、水平かつ前記搬送方向に垂直な方向の端側に、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、前記ワークを浮上させる第２浮上部が配されたことを特徴とする搬送装置。
2. 複数の回転体と、
   前記複数の回転体によって無端状に張架され、可撓性を有するワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
   前記複数の搬送部の間に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、前記ワークの一部を浮上させる第１浮上部と、
   前記複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方のうち、水平かつ前記搬送方向に垂直な方向の端側に配され、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、前記ワークを浮上させる第２浮上部と、
   を備えたことを特徴とする搬送装置。
3. 搬送時の前記ワークの高さより上方であり、かつ、前記第２浮上部と対向して配置され、該第２浮上部が鉛直上方への気体の流れを生じさせるために噴出した気体を吸引する吸引部をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記吸引部による気体の吸い込み流量は、前記第２浮上部による気体の噴出流量よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記第２浮上部は、前記ワークの搬送方向の前側または後ろ側の端部近傍を浮上させるように、間欠的に前記気体を噴出させることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の搬送装置。

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