JP5445863B2 - 板状体搬送装置 - Google Patents

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Description

本発明は、矩形状の板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される板状体の下面に接触して当該板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられ、板状体を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、板状体を前記主搬送方向と直交する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、前記上流側搬送部から受け取った板状体の搬送方向を前記主搬送方向から前記副搬送方向に切り換えて前記下流側搬送部に受け渡す中継搬送部とが設けられている板状体搬送装置に関する。
かかる板状体搬送装置は、上流側搬送部にて板状体を主搬送方向に沿って搬送してその板状体を中継搬送部に受け渡し、中継搬送部において板状体の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換え、中継搬送部において板状体を副搬送方向に沿って搬送してその板状体を下流側搬送部に受け渡すようにして板状体を搬送するものであり、板状体の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に変更するときに用いられるものである（例えば、特許文献１参照。）。
この特許文献１では、一対の主搬送推進力付与手段のうちの副搬送方向の上流側に位置する主搬送推進力付与手段は、上流側搬送部から中継搬送部に亘って配設されているが、副搬送方向の下流側に位置する主搬送推進力付与手段は、上流側搬送部にのみ配設されており中継搬送部には配設されていない。
また、一対の副搬送推進力付与手段のうちの主搬送方向の下流側に位置する副搬送推進力付与手段は、中継搬送部から下流側搬送部に亘って配設されているが、主搬送方向の上流側に位置する副搬送推進力付与手段は、下流側搬送部にのみ配設されており中継搬送部には配設されていない。
つまり、中継搬送部では、板状体を主搬送方向に搬送する場合は、副搬送方向の上流側に位置する主搬送推進力付与手段のみを板状体の下面に接触させて、板状体に対して主搬送方向に推進力を付与し、板状体を副搬送方向に搬送する場合は、主搬送方向の下流側に位置する副搬送推進力付与手段のみを板状体の下面に接触させて、板状体に対して副搬送方向に推進力を付与するようになっている。
特開２００５−７５５４３号公報
上記した特許文献１の板状体搬送装置において、中継搬送部に、副搬送方向の下流側の主搬送推進力付与手段と主搬送方向の上流側の副搬送推進力付与手段とを設け、中継搬送部においても、板状体を主搬送方向に搬送する場合は、板状体における副搬送方向の両端部の下面に主搬送推進力付与手段を接触させて、一対の主搬送推進力付与手段にて板状体に対して主搬送方向に適確に推進力を付与し、板状体を副搬送方向に搬送する場合は、板状体における主搬送方向の両端部の下面に副搬送推進力付与手段を接触させて、一対の副搬送推進力付与手段にて板状体に対して副搬送方向に適確に推進力を付与して、板状体を主搬送方向や副搬送方向に搬送することが考えられる。
そして、推進力付与手段の近くで送風式支持手段にて板状体を非接触支持すると、板状体の浮上により推進力付与手段の板状体に対する接触圧が低下する。この推進力付与手段の板状体の下面に対する接触圧の低下を抑制するために、一対の主搬送推進力付与手段の間で且つ一対の副搬送推進力付与手段の間に設ける中継送風式支持手段は、副搬送方向の下流側の主搬送推進力付与手段に対して副搬送方向の上流側に離間し且つ主搬送方向の上流側の副搬送推進力付与手段に対しては主搬送方向の下流側に離間する状態で設ける必要がある。
しかしながら、上流側搬送部から中継搬送部に板状体を搬送する場合、主搬送方向の上流側の副搬送推進力付与手段と中継送風式支持手段との間に形成される第１隙間の上方を板状体が搬送されることとなるが、この第１間隙には送風式支持手段が設けられていないため板状体の副搬送方向の中央部が下方に撓み、このように撓んだ板状体が主搬送方向の下流側に搬送されて中継送風式支持手段に接触して破損する虞がある。
また、中継搬送部から下流側搬送部に搬送する場合も同様に、副搬送方向の下流側の主搬送推進力付与手段と中継送風式支持手段との間に形成される第２隙間の上方を搬送されるときに板状体の主搬送方向の中央部が下方に撓んで破損する虞がある。
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、板状体に対して適確に推進力を付与し且つ板状体を搬送するときに板状体が破損することを未然に防止することができる板状体搬送装置を提供する点にある。
本発明にかかる板状体搬送装置は、矩形状の板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される板状体の下面に接触して当該板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられ、板状体を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、板状体を前記主搬送方向と直交する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、前記上流側搬送部から受け取った板状体の搬送方向を前記主搬送方向から前記副搬送方向に切り換えて前記下流側搬送部に受け渡す中継搬送部とが設けられているものであって、
その第１特徴構成は、前記推進力付与手段として、前記上流側搬送部から前記中継搬送部に亘って配設されて板状体における前記副搬送方向の両端部の下面に接触して当該板状体に対して前記主搬送方向での推進力を付与する一対の主搬送推進力付与手段と、前記中継搬送部から前記下流側搬送部に亘って配設されて板状体における前記主搬送方向の両端部の下面に接触して当該板状体に対して前記副搬送方向での推進力を付与する一対の副搬送推進力付与手段とが設けられ、前記送風式支持手段として、前記一対の主搬送推進力付与手段の間において当該一対の主搬送推進力付与手段の夫々から前記副搬送方向に離間する状態で前記上流側搬送部に設けられた上流側送風式支持手段と、前記一対の副搬送推進力付与手段の間において当該一対の副搬送推進力付与手段の夫々から前記主搬送方向に離間する状態で前記下流側搬送部に設けられた下流側送風式支持手段と、前記一対の主搬送推進力付与手段の間において当該一対の主搬送推進力付与手段の夫々から前記副搬送方向に離間する状態で且つ前記一対の副搬送推進力付与手段の間において当該一対の副搬送推進力付与手段の夫々から前記主搬送方向に離間する状態で前記中継搬送部に設けられた中継送風式支持手段とが設けられ、前記中継搬送部が、前記一対の主搬送推進力付与手段と前記一対の副搬送推進力付与手段とを相対的に昇降移動させることで、前記一対の主搬送推進力付与手段を板状体の下面に接触させて板状体の搬送方向を前記主搬送方向に切り換えた主搬送状態と、前記一対の副搬送推進力付与手段を板状体の下面に接触させて板状体の搬送方向を前記副搬送方向に切り換えた副搬送状態とに切り換え自在に構成され、板状体の下面に向けて清浄空気を供給する空気供給部を、前記中継搬送部における前記一対の副搬送推進力付与手段と前記中継送風式支持手段との間の一対の隙間のうち少なくとも主搬送方向の上流側に位置する第１隙間に配設した主搬送補助送風手段が設けられ、前記空気供給部を、前記中継搬送部における前記一対の主搬送推進力付与手段と前記中継送風式支持手段との間の一対の隙間のうち少なくとも副搬送方向の下流側に位置する第２隙間に配設した副搬送補助送風手段が設けられ、前記主搬送補助送風手段及び前記副搬送補助送風手段の夫々が、前記空気供給部の上方に位置する板状体を非接触状態に支持するべく清浄空気を供給する供給状態と、前記空気供給部からの清浄空気の供給を停止させた供給停止状態とに切り換え自在に構成され、前記中継搬送部が前記副搬送状態から前記主搬送状態に切り換えられる場合は、前記主搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え、かつ、前記中継搬送部が前記主搬送状態から前記副搬送状態に切り換えられる場合は、前記主搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換える送風状態切換手段が設けられている点にある。
すなわち、中継搬送部を主搬送状態に切り換えることで、一対の主搬送推進力付与手段にて板状体に対して主搬送方向に推進力を付与することができ、板状体を上流側搬送部から中継搬送部に搬送することができる。また、板状体を中継搬送部に搬送した後、中継搬送部を副搬送状態に切り換えることで、一対の副搬送推進力付与手段にて板状体に対して副搬送方向に推進力を付与することができ、板状体を中継搬送部から下流側搬送部に搬送することができる。
そして、中継搬送部が主搬送状態に切り換えられる場合には、主搬送補助送風手段を供給状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段を供給停止状態に切り換えられるので、板状体を上流側搬送部から中継搬送部に搬送するときは、主搬送補助送風手段は供給状態に切り換えられており、副搬送補助送風手段は供給停止状態に切り換えられている。
よって、上流側搬送部から中継搬送部に板状体を搬送する場合、主搬送方向の上流側の副搬送推進力付与手段と中継送風式支持手段との間に形成される第１隙間の上方を板状体が搬送されることとなるが、第１隙間には主搬送補助送風手段の空気供給部が設けられ、その主搬送補助送風手段は供給状態に切り換えられているため、板状体を第１隙間の上方を搬送されるときは主搬送補助送風手段にて板状体が支持されるので、板状体を主搬送方向に搬送するときの板状体の撓みを抑えることができ、板状体が破損することを未然に防止することができる。
また、このとき、板状体の副搬送方向の下流側の端部の下方には第２隙間が位置し、その第２隙間には副搬送補助送風手段の空気供給部が設けられているが、副搬送補助送風手段は供給停止状態に切り換えられているため、板状体の副搬送方向の下流側の端部が副搬送補助送風手段にて支持されないため、この端部を接触支持する主搬送推進力付与手段の板状体に対する接触圧は低下せず、一対の主搬送推進力付与手段にて板状体を主搬送方向に適確に搬送することができる。
中継搬送部から下流側搬送部に板状体を搬送する場合は、主搬送補助送風手段は供給停止状態に切り換えられ且つ副搬送補助送風手段は供給状態に切り換えられているので、板状体を副搬送方向に搬送するときの板状体の撓みを抑えることができ、板状体が他物に接触して破損することを未然に防止することができながら、副搬送推進力付与手段の板状体に対する接触圧は低下させずに、一対の副搬送推進力付与手段にて板状体を副搬送方向に適確に搬送することができる。
要するに、中継搬送部に、一対の主搬送推進力付与手段と一対の副搬送推進力付与手段とを設け、第１隙間に主搬送補助送風手段の空気供給部を設け、第２隙間に副搬送補助送風手段の空気供給部を設けて、中継搬送部の副搬送状態と主搬送状態との切り換えに応じて主搬送補助送風手段及び副搬送補助送風手段の状態を供給状態と供給停止状態とに切り換えることにより、主搬送方向や副搬送方向に板状体を搬送するときに、板状体に対して適切に推進力を付与しながら、板状体の破損を未然に防ぐことができる板状体搬送装置を提供することができるに至った。
本発明にかかる板状体搬送装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記送風状態切換手段が、前記中継搬送部が前記主搬送状態から前記副搬送状態に切り換えられて中継搬送部において板状体の副搬送方向への搬送が開始される前に、前記主搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換えるように構成されている点にある。
すなわち、中継搬送部が主搬送状態から副搬送状態に切り換えられて中継搬送部において板状体の副搬送方向への搬送が開始される前に、主搬送補助送風手段を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段を供給状態に切り換えることで、搬送開始直後から板状体を副搬送補助送風手段にて非接触支持することができるため、副搬送方向に搬送するときの板状体の撓みを抑えることができ、板状体が破損することを未然に防ぐことができる。
本発明にかかる板状体搬送装置の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記主搬送推進力付与手段が、板状体の下面に接触して板状体に対して推進力を付与する回転体を前記主搬送方向に沿って複数並設して構成され、前記副搬送推進力付与手段が、前記回転体を前記副搬送方向に沿って複数並設して構成され、前記主搬送補助送風手段における前記空気供給部が、平面視において前記第１隙間から前記副搬送推進力付与手段における前記副搬送方向に隣接する前記回転体の間に亘って設けられ、前記副搬送補助送風手段における前記空気供給部が、平面視において前記第２隙間から前記主搬送推進力付与手段における前記主搬送方向に隣接する前記回転体の間に亘って設けられている点にある。
すなわち、主搬送補助送風手段における空気供給部を、第１隙間だけでなくこの第１隙間から副搬送方向に並設された回転体の間まで設けることにより、主搬送方向に搬送される板状体に対して主搬送方向に広い範囲で主搬送補助送風手段にて板状体を支持することができるので、主搬送方向に搬送するときに主搬送方向に広い範囲で板状体の撓みを抑えることができる。そして、空気供給部を回転体の間に設けることで、上述の如く広い範囲で板状体を支持しながら回転体にて接触支持される板状体の近くに空気供給部を設けることができるため、空気供給部から比較的少量の清浄空気を噴出することで板状体を支持することができる。
また、同様に、副搬送補助送風手段における空気供給部を、第２隙間から回転体の間に亘って設けることにより、副搬送方向に搬送するときに副搬送方向に広い範囲で板状体の撓みを抑えることができ、また、空気供給部から比較的少量の清浄空気を噴出することで板状体を支持することができる。
本発明にかかる板状体搬送装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記主搬送補助送風手段の前記空気供給部が、前記第１隙間を含む前記上流側送風式支持手段と前記中継送風式支持手段との間の隙間における前記主搬送方向の全幅又は略全幅に亘って設けられ、前記副搬送補助送風手段の前記空気供給部が、前記第２隙間を含む前記中継送風式支持手段と前記下流側送風式支持手段との間の隙間における前記副搬送方向の全幅又は略全幅に亘って設けられている点にある。
すなわち、上流側送風式支持手段と中継送風式支持手段との間には、副搬送推進力付与手段を設け且つ第１隙間を形成するために主搬送方向に比較的大きな隙間が形成されているが、その隙間の全幅又は略全幅に亘って空気供給部を設けることで、板状体を主搬送方向に搬送するときに、上流側送風式支持手段と中継送風式支持手段との間の全範囲又は略全範囲に亘って板状体の撓みを抑えることができる。
また、中継送風式支持手段と下流側送風式支持手段との間の隙間の全幅又は略全幅に亘って空気供給部を設けることで、板状体を副搬送方向に搬送するときに、中継送風式支持手段と下流側送風式支持手段との間の全範囲又は略全範囲に亘って板状体の撓みを抑えることができる。
本発明にかかる板状体搬送装置の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記主搬送補助送風手段における前記空気供給部が、前記中継搬送部における前記副搬送方向の中央部での当該空気供給部同士の間隔より、前記中継搬送部における前記副搬送方向の端部側における当該空気供給部同士の間隔が広くなる状態で、前記副搬送方向に多数並設され、前記副搬送補助送風手段における前記空気供給部が、前記中継搬送部における前記主搬送方向の中央部での当該空気供給部同士の間隔より、前記中継搬送部における前記主搬送方向の端部側における当該空気供給部同士の間隔が広くなる状態で、前記副搬送方向に多数並設されている点にある。
すなわち、主搬送方向に搬送される板状体は、その副搬送方向の両端部が一対の主搬送推進力付与手段にて接触支持されているため、板状体は副搬送方向の中央が大きく下方に撓む状態となり、そのように撓んだ板状体を主搬送補助送風手段にて非接触支持することとなるが、大きく撓む中央部では空気供給部を狭い間隔で設けて多量の清浄空気を供給し、撓みが小さくなる端部側ほど空気供給部を広い間隔で設けて少量の清浄空気を供給することで、板状体に対してその姿勢に適した量の清浄空気を供給することができ、主搬送方向に搬送される板状体の副搬送方向の中央部を主搬送補助送風手段にて適切に支持できる。また、同様に、副搬送方向に搬送される板状体の主搬送方向の中央部を副搬送補助送風手段にて適切に支持できる。
本発明にかかる板状体搬送装置の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記空気供給部が、スリット状の噴出口を有する噴出ノズルにて構成されている点にある。
すなわち、スリット状の噴出口から清浄空気を噴出させることで、この噴出口から清浄空気を噴出させて清浄空気を板状体の下面に供給することができるとともに、この噴出口から噴出させた清浄空気の気流にて周囲の清浄空気を吸引してその吸引した周囲の清浄空気も板状体の下面に供給することができる。
よって、少量の清浄空気の噴出で多量の清浄空気を板状体の下面に供給することができるので、板状体の下面に供給される清浄空気の量にしては空気供給部の小型化を図ることができる。
本発明にかかる板状体搬送装置の第７特徴構成は、第１〜第６特徴構成のいずれか１つにおいて、前記主搬送状態において前記一対の主搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体と同高さで且つ前記副搬送状態において前記一対の副搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体における前記主搬送方向の下流側の側面に当接する規制位置と、前記主搬送状態において前記一対の主搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体の下面及び前記副搬送状態において前記一対の副搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体の下面より下方側で且つ前記規制位置より前記主搬送方向の下流側に位置する規制解除位置とに移動自在な当接体が設けられている点にある。
すなわち、当接体を規制位置に移動させておくことで、主搬送方向の下流側に向けて搬送させる板状体を受け止めることができ、このように受け止められた板状体における主搬送方向の両端部の下方には一対の副搬送推進力付与手段が位置しているため、中継搬送部を主搬送状態から副搬送状態に切り換えたときに、一対の副搬送推進力付与手段にて板状体の主搬送方向の両端部の下面を支持することができ、板状体の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向へ適切に切り換えることができる。
そして、当接体を規制解除位置に移動させておくことで、一対の副搬送推進力付与手段にて板状体を副搬送方向に搬送するときに板状体に当接体が当接しないため、副搬送方向に板状体を搬送するときに板状体に当接体が当接することにより板状体が破損することを回避することができる。
また、当接体を規制解除位置では、板状体より下方に位置しているため、板状体を副搬送方向に搬送するときに板状体が主搬送方向にずれたとしても、板状体が当接体に当接することがない。つまり、板状体が主搬送方向にずれることを考慮して当接体を主搬送方向の下流側に大きく移動させる必要がないので、当接体を主搬送方向に小さなスペースに設けることができる。
また、当接体を規制位置から規制解除位置に直線状に移動させた場合、その当接体は主搬送方向の下流側に斜め下方に移動することとなる。このように当接体を主搬送方向の下流側の斜め下方に移動させて規制位置から規制解除位置に移動させることで、当接体とこの当接体にて受け止められた板状体との間に擦れが生じず、この擦れによる板状体の破損を未然に防止することができる。
板状体搬送装置の平面図 中継搬送部の平面図 中継搬送部の側面図 主搬送状態の中継搬送部の側面図 副搬送状態の中継搬送部の側面図 補助送風手段の側面図 副昇降式推進力付与部の斜視図 並設された空気供給部を示す図 当接体を示す図 板状体搬送装置の搬送作用図 板状体搬送装置の搬送作用図 制御ブロック図 中継搬送部の制御フロー図
以下、本発明に係る板状体搬送装置を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、板状体搬送装置は、板状体としての液晶用のガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給してガラス基板１を非接触状態で支持する送風式支持手段２と、ガラス基板１の下面を接触支持してガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段３と設けて構成されている。
また、板状体搬送装置は、ガラス基板１を主搬送方向Ｘに搬送する上流側搬送部Ａと、ガラス基板１を主搬送方向Ｘと直交する副搬送方向Ｙに搬送する下流側搬送部Ｃと、上流側搬送部Ａから受け取ったガラス基板１の搬送方向を主搬送方向Ｘから副搬送方向Ｙに切り換えて下流側搬送部Ｃに受け渡す中継搬送部Ｂとから構成されており、これら搬送部Ａ〜Ｃは、夫々に送風式支持手段２及び推進力付与手段３が設けられてユニット状に構成されている。尚、搬送部Ａ〜Ｃは、ガラス基板１を同高さで搬送するように設けられている。
上流側搬送部Ａの主搬送方向Ｘの下流側に中継搬送部Ｂが並設されており、送風式支持手段２にてガラス基板１を非接触状態で支持し且つ推進力付与手段３にてガラス基板１を接触状態で支持した状態で、推進力付与手段３にてガラス基板１に対して主搬送方向Ｘの下流側に向けて推進力を付与することで、当該ガラス基板１を上流側搬送部Ａから中継搬送部Ｂに搬送し、推進力付与手段３にてガラス基板１に対して主搬送方向Ｘの上流側に向けて推進力を付与することで、当該ガラス基板１を中継搬送部Ｂから上流側搬送部Ａに搬送するように構成されている。
また、中継搬送部Ｂの副搬送方向Ｙの下流側に下流側搬送部Ｃが並設されており、送風式支持手段２にてガラス基板１を非接触状態で支持し且つ推進力付与手段３にてガラス基板１を接触状態で支持した状態で、推進力付与手段３にてガラス基板１に対して副搬送方向Ｙの下流側に向けて推進力を付与することで、当該ガラス基板１を中継搬送部Ｂから下流側搬送部Ｃに搬送し、推進力付与手段３にてガラス基板１に対して副搬送方向Ｙの上流側に向けて推進力を付与することで、当該ガラス基板１を下流側搬送部Ｃから中継搬送部Ｂに搬送するように構成されている。
このように、板状体搬送装置は、上流側搬送部Ａから中継搬送部Ｂを経由して下流側搬送部Ｃにガラス基板１を搬送する正方向の搬送に加えて、下流側搬送部Ｃから中継搬送部Ｂを経由して上流側搬送部Ａにガラス基板１を搬送する逆方向の搬送を行えるように構成されている。
〔推進力付与手段〕
推進力付与手段３として、上流側搬送部Ａから中継搬送部Ｂに亘って配設されてガラス基板１における副搬送方向Ｙの両端部の下面に接触して当該ガラス基板１に対して主搬送方向Ｘでの推進力を付与する一対の主搬送推進力付与手段５と、中継搬送部Ｂから下流側搬送部Ｃに亘って配設されてガラス基板１における主搬送方向Ｘの両端部の下面に接触して当該ガラス基板１に対して副搬送方向Ｙでの推進力を付与する一対の副搬送推進力付与手段６とが設けられている。
図２や図４及び図５に示すように、一対の主搬送推進力付与手段５の夫々は、ガラス基板１の下面における副搬送方向Ｙの端部を接触支持する回転体としての回転ローラ７を主搬送方向Ｘに沿って複数並設し、回転ローラ７を回転駆動させる電動モータ８が複数の回転ローラ７の夫々に対して各別に設けて構成されている。そして、複数の回転ローラ７を電動モータ８にて各別に回転駆動させて、回転ローラ７に接触するガラス基板１に対して主搬送方向Ｘでの推進力を付与するように構成されている。
図４及び図５に示すように、複数の回転ローラ７とこれを回転駆動する電動モータ８とは一連の支持枠９に支持されており、複数の回転ローラ７は支持枠９に対して副搬送方向Ｙの送風式支持手段２が位置する内方側に位置するように支持され、複数の電動モータ８は支持枠９に対して副搬送方向Ｙの外方側に位置するように支持されている。
図６及び図８に示すように、主搬送推進力付与手段５に備えられた回転ローラ７の夫々は、Ｏリングが取り付けられてガラス基板１の下面を載置支持する小径部７ａと、その小径部７ａより副搬送方向Ｙの外方側に位置してガラス基板１の側面に当接することによりガラス基板１の副搬送方向Ｙへの移動を規制する大径部７ｂとを備えて構成されている。
そして、図１に示すように、主搬送推進力付与手段５における上流側搬送部Ａに設けられている部分（以下、主固定式推進力付与部５ｂと称する）については、上流側搬送部Ａに位置固定状態で設けられており、主搬送推進力付与手段５における中継搬送部Ｂに設けられている部分（以下、主昇降式推進力付与部５ａと称する）については、中継搬送部Ｂに昇降移動自在に設けられている。
また、一対の副搬送推進力付与手段６の夫々は、ガラス基板１の下面における主搬送方向Ｘの端部を接触支持する回転ローラ７を副搬送方向Ｙに沿って複数並設されており、主搬送方向Ｘに沿って設けられた主搬送推進力付与手段５とは設置方向が異なる点以外は同様に構成されている。つまり、副搬送推進力付与手段６は、副搬送方向Ｙに沿って設けられているが、主搬送推進力付与手段５と同様に回転ローラ７や電動モータ８を備えて構成し、副搬送推進力付与手段６における中継搬送部Ｂに設けられている部分（以下、副昇降式推進力付与部６ａと称する）については、中継搬送部Ｂに昇降移動自在に設けられており、副搬送推進力付与手段６における下流側搬送部Ｃに設けられている部分（以下、副固定式推進力付与部６ｂ）については、下流側搬送部Ｃに位置固定状態で設けられている。
〔送風式支持手段〕
また、送風式支持手段２として、一対の主搬送推進力付与手段５の間において当該一対の主搬送推進力付与手段５の夫々から副搬送方向Ｙに離間する状態で上流側搬送部Ａに設けられた上流側送風式支持手段１１と、一対の副搬送推進力付与手段６の間において当該一対の副搬送推進力付与手段６の夫々から主搬送方向Ｘに離間する状態で下流側搬送部Ｃに設けられた下流側送風式支持手段１３と、一対の主搬送推進力付与手段５の間において当該一対の主搬送推進力付与手段５の夫々から副搬送方向Ｙに離間する状態で且つ一対の副搬送推進力付与手段６の間において当該一対の副搬送推進力付与手段６の夫々から主搬送方向Ｘに離間する状態で中継搬送部Ｂに設けられた中継送風式支持手段１２とが設けられている。
図３に示すように、中継送風式支持手段１２は、塵埃を除去する除塵フィルタ１４と、その除塵フィルタ１４を通してガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１５とを備えて構成されている。説明を加えると、中継送風式支持手段１２は、縦軸芯周りに回転する送風ファン１５と、その送風ファン１５の上方を覆う板状の除塵フィルタ１４とを一体的に組み付けて構成されたファンフィルタユニット１６を、図１に示すように主搬送方向Ｘ及び副搬送方向Ｙに複数並設して構成されている。
そして、中継送風式支持手段１２は、送風ファン１５の送風作用により、中継送風式支持手段１２の下方の空気を吸引して除塵フィルタ１４を通した空気を中継送風式支持手段１２の上方に向けて清浄空気として噴出するように構成されており、このように清浄空気を噴出することにより、中継搬送部Ｂにて搬送されるガラス基板１の下面に清浄空気を供給して、ガラス基板１を水平又は略水平姿勢で支持するように構成されている。
ちなみに、中継送風式支持手段１２は、清浄空気を噴出する上面が推進力付与手段３におけるガラス基板１を支持する支持高さより下方に位置するように位置固定状態で中継搬送部Ｂに設けられている。
そして、上流側送風式支持手段１１及び下流側送風式支持手段１３の夫々も、中継送風式支持手段１２と同様に除塵フィルタ１４及び送風ファン１５を備えて構成されており、ファンフィルタユニット１６の大きさが異なる点以外は同様に構成されている。尚、上流側送風式支持手段１１及び下流側送風式支持手段１３は、中継送風式支持手段１２と同高さに設けられている。
〔中継搬送部〕
次に、中継搬送部Ｂについて説明する。
図４及び図５に示すように、中継搬送部Ｂは、一対の主搬送推進力付与手段５と一対の副搬送推進力付与手段６とを相対的に昇降移動させることで、一対の主搬送推進力付与手段５をガラス基板１の下面に接触させてガラス基板１の搬送方向を主搬送方向Ｘに切り換えた主搬送状態（図４参照）と、一対の副搬送推進力付与手段６をガラス基板１の下面に接触させてガラス基板１の搬送方向を副搬送方向Ｙに切り換えた副搬送状態（図５参照）とに切り換え自在に構成されている。
説明を加えると、一対の主昇降式推進力付与部５ａは、それを支持する支持枠９を主搬送用昇降操作手段１７にて昇降移動させることで、一対の主固定式推進力付与部５ｂや一対の副固定式推進力付与部６ｂと同じ高さの上昇位置（図４参照）と、この上昇位置より下方の下降位置（図５参照）とに昇降移動自在に構成されている。
また、一対の副昇降式推進付与部６ａも同様に、それを支持する支持枠９を副搬送用昇降操作手段１８にて昇降移動させることで、一対の主固定式推進力付与部５ｂや一対の副固定式推進付与部６ｂと同じ高さの上昇位置（図５参照）と、この上昇位置より下方の下降位置（図４参照）とに昇降移動自在に構成されている。
尚、主搬送用昇降操作手段１７及び副搬送用昇降操作手段１８の夫々は、エアーシリンダにて構成されている。
そして、図４に示すように、主昇降式推進付与部５ａを上昇位置に上昇させ且つ副昇降式推進付与部６ａを下降位置に下降させることで中継搬送部Ｂが主搬送状態に切り換えられる。このように主搬送状態に切り換えられている状態では、主昇降式推進付与部５ａがガラス基板１の下面に接触し、副昇降式推進付与部６ａがガラス基板１の下面から下方に離間している。
また、図５に示すように、主昇降式推進付与部５ａを下降位置に下降させ且つ副昇降式推進付与部６ａを上昇位置に上昇させることで中継搬送部Ｂが副搬送状態に切り換えられる。このように副搬送状態に切り換えられている状態では、主昇降式推進付与部５ａがガラス基板１の下面から下方に離間し、副昇降式推進付与部６ａがガラス基板１の下面に接触している。
〔補助送風手段〕
図２に示すように、中継搬送部Ｂには、送風式支持手段２（中継送風式支持手段１２）とは別に、ガラス基板１を非接触状態で支持するための主搬送補助送風手段１９及び副搬送補助送風手段２０が設けられている。これら主搬送補助送風手段１９及び副搬送補助送風手段２０の夫々は、ガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給する空気供給部２１と、この空気供給部２１に清浄空気を供給する配管途中に設けられたフィルタ（図示せず）及び開閉バルブ（図示せず）とを備えて構成されている。
主搬送補助送風手段１９及び副搬送補助送風手段２０の夫々は、開閉バルブを開閉操作することで、空気供給部２１の上方に位置するガラス基板１を非接触状態に支持するべく清浄空気を供給する供給状態と、空気供給部２１からの清浄空気の供給を停止させた供給停止状態とに切り換え自在に構成されている。
また、空気供給部２１は、スリット状の噴出口２１ａを有する噴出ノズル、いわゆるエアナイフにて構成されている。ちなみに、噴出口２１ａは空気供給部２１の上端部に形成されており、空気供給部２１は、噴出口２１ａから真上に向けて清浄空気を噴出するように構成されている。また、図６に示すように、空気供給部２１は、その噴出口２１ａの高さが、送風式支持手段２の上面より下方に位置するように位置固定状態で中継搬送部Ｂに設けられている。
図２に示すように、主搬送補助送風手段１９は、中継搬送部Ｂにおける一対の副搬送推進力付与手段６（副昇降式推進力付与部６ａ）と中継送風式支持手段１２との間に形成される一対の隙間のうちの主搬送方向Ｘの上流側に位置する第１隙間ｇ１及び主搬送方向Ｘの下流側に位置する第３隙間ｇ３の両方に空気供給部２１を配設して構成されている。
主搬送補助送風手段１９における第１隙間ｇ１に設けられた空気供給部２１は、副搬送方向Ｙに多数並設されている。この多数の空気供給部２１の夫々は、噴出口２１ａが主搬送方向Ｘに沿う姿勢で、平面視において第１隙間ｇ１から主搬送方向Ｘの上流側に位置する副搬送推進力付与手段６における副搬送方向Ｙに隣接する回転ローラ７の間に亘って設けられている。また、主搬送補助送風手段１９における第３隙間ｇ３に設けられた空気供給部２１も同様に、副搬送方向Ｙに多数並設されており、その多数の空気供給部２１の夫々が、噴出口２１ａが主搬送方向Ｘに沿う姿勢で、平面視において第３隙間ｇ３から主搬送方向Ｘの下流側に位置する副搬送推進力付与手段６における副搬送方向Ｙに隣接する回転ローラ７の間に亘って設けられている。
ちなみに、図６に示すように、空気供給部２１を支持する支持体２４は、第１隙間ｇ１（又は第２隙間ｇ２）に位置しており、空気供給部２１は、支持体２４にて片持ち状に支持されて、回転ローラ７と副搬送方向Ｙに並ぶ状態で設けられている。
また、図１に示すように、主搬送補助送風手段１９における第１隙間ｇ１に設けられた空気供給部２１及び第３隙間ｇ３に設けられた空気供給部２１の夫々は、副搬送方向Ｙに６個並設されており、副搬送方向Ｙの最も中央側に位置する２つの空気供給部２１同士の間には回転ローラ７が２つ、当該空気供給部２１とこれの副搬送方向Ｙの外方側に隣接する空気噴出部２１との間には回転ローラ７が３つ、当該空気供給部２１と副搬送方向Ｙの最も外方側に位置する空気供給部２１との間には回転ローラ７が４つ位置している。
つまり、図８に示すように、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１は、中継搬送部Ｂにおける副搬送方向Ｙの中央部での当該空気供給部２１同士の間隔より、中継搬送部Ｂにおける副搬送方向Ｙの端部側における空気供給部２１同士の間隔が広くなる状態で、副搬送方向Ｙに多数並設されている。
このように、主搬送補助送風手段１９は、副搬送方向Ｙの端部側よりも中央部に多量の清浄空気を供給するようにして、ガラス基板１の副搬送方向Ｙの端部側よりも中央部を高い支持力で非接触支持するように構成されている。
また、主搬送補助送風手段１９における第１隙間ｇ１に設けられた空気供給部２１については、図６に示すように、第１隙間ｇ１を含む上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との間の隙間における主搬送方向Ｘの略全幅に亘って設けられている。
説明を加えると、上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との間には、副昇降式推進力付与部６ａを設け且つ第１隙間ｇ１を形成するために主搬送方向Ｘに比較的大きな隙間が形成されているが、空気供給部２１を上述の如く設けることで、上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との間においてもガラス基板１を適切に支持できるように構成されている。
図２に示すように、副搬送補助送風手段２０は、中継搬送部Ｂにおける一対の主搬送推進力付与手段５（主昇降式推進力付与部５ａ）と中継送風式支持手段１２との間に形成される一対の隙間のうちの副搬送方向Ｙの下流側に位置する第２隙間ｇ２及び副搬送方向Ｙの上流側に位置する第４隙間ｇ４の両方に空気供給部２１を配設して構成されている。
副搬送補助送風手段２０における第２隙間ｇ２に設けられた空気供給部２１は、主搬送方向Ｘに多数並設されており、その多数の空気供給部２１の夫々が、噴出口２１ａが副搬送方向Ｙに沿う姿勢で、平面視において第２隙間ｇ２から副搬送方向Ｙの下流側に位置する主搬送推進力付与手段５における主搬送方向Ｘに隣接する回転ローラ７の間に亘って設けられている。また、副搬送補助送風手段２０における第４隙間ｇ４に設けられた空気供給部２１も同様に、主搬送方向Ｘに多数並設されており、その多数の空気供給部２１の夫々が、噴出口２１ａが副搬送方向に沿う姿勢で、平面視において第４隙間ｇ４から副搬送方向Ｙの上流側に位置する主搬送推進力付与手段５における副搬送方向Ｘに隣接する回転ローラ７の間に亘って設けられている。
そして、副搬送補助送風手段２０における空気供給部２１は、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１と同様に、中継搬送部Ｂにおける主搬送方向Ｘの中央部での当該空気供給部２１同士の間隔より、中継搬送部Ｂにおける主搬送方向Ｘの端部側における空気供給部２１同士の間隔が広くなる状態で、主搬送方向Ｘに多数並設されている。
また、副搬送補助送風手段２０における第２隙間ｇ２に設けられた空気供給部２１については、主搬送補助送風手段１９における第１隙間ｇ１に設けられた空気供給部２１と同様に、第２隙間ｇ２を含む中継送風式支持手段１２と下流側送風式支持手段１３との間の隙間における副搬送方向Ｙの略全幅に亘って設けられている。
〔規制部材〕
図２に示すように、中継搬送部Ｂには、主搬送推進力付与手段５にて主搬送方向Ｘの下流側に向けて正方向に搬送されるガラス基板１が、主搬送方向Ｘの下流側終端位置よりも主搬送方向Ｘの下流側に搬送されることを規制する主搬送規制部材（当接体に相当）２５と、副搬送推進力付与手段６にて副搬送方向Ｙの上流側に向けて逆方向に搬送されるガラス基板１が、副搬送方向Ｙの上流側終端位置よりも副搬送方向Ｙの上流側に搬送されることを規制する副搬送規制手段２６とが設けられている。
ちなみに、主搬送方向Ｘの下流側終端位置にガラス基板１が位置する状態では、当該ガラス基板１の主搬送方向Ｘの両端部夫々の真下に副昇降式推進力付与部６ａにおける回転ローラ７の小径部７ａが位置し、且つ、当該ガラス基板１の主搬送方向Ｘの両端より外方側に副昇降式推進力付与部６ａにおける回転ローラ７の大径部７ｂが位置する状態となっている。また、副搬送方向Ｙの上流側終端位置にガラス基板１が位置する状態では、当該ガラス基板１の副搬送方向Ｙの両端部夫々の真下に主昇降式推進力付与部５ａにおける回転ローラ７の小径部７ａが位置し、且つ、当該ガラス基板１の副搬送方向Ｙの両端より外方側に主昇降式推進力付与部５ａにおける回転ローラ７の大径部７ｂが位置する状態となっている。
図９に示すように、主搬送規制部材２５は、副搬送状態において一対の副搬送推進力付与手段６にて載置支持されるガラス基板１と同高さで且つ当該ガラス基板１における主搬送方向Ｘの下流側の側面に当接する規制位置（図９（ａ）参照）と、副搬送状態において一対の副搬送推進力付与手段６にて載置支持されるガラス基板１の下面より下方側で且つ規制位置より主搬送方向Ｘの下流側に位置する規制解除位置（図９（ｂ）参照）とに移動自在に構成されている。
そして、主搬送規制部材２５を支持する支持部材２７を主規制用昇降操作手段２８にて斜め方向に直線状に昇降移動させることで、主搬送規制部材２５が規制位置と規制解除位置との昇降移動するように構成されている。つまり、主搬送規制部材２５は、規制位置から主搬送方向Ｘの下流側に移動しながら下方側に移動して規制解除位置まで斜め移動し、また、規制解除位置から主搬送方向Ｘの上流側に移動しながら上方側に移動して規制位置まで斜めに移動するように構成されている。
また、副搬送規制部材２６も、主搬送規制部材２５と同様に、副搬送規制部材２６を支持する支持部材２７を副規制用昇降操作手段２９にて直線状に昇降移動させることで、規制位置と規制解除位置とに移動自在に構成されている。この副搬送規制部材２６の規制位置は、主搬送状態において一対の主搬送推進力付与手段５にて載置支持されるガラス基板１と同高さで且つ当該ガラス基板１における副搬送方向Ｙの上流側の側面に当接する位置となっており、副搬送規制部材２６の規制解除位置は、主搬送状態において一対の主搬送推進力付与手段５にて載置支持されるガラス基板１の下面より下方側で且つ規制位置より主搬送方向Ｘの下流側に位置となっている。
〔制御装置〕
図１２に示すように、板状体搬送装置には、送風式支持手段２及び推進力付与手段３の作動、並びに、中継搬送部Ｂにおける主搬送補助送風手段１９、副搬送補助送風手段２０、主搬送用昇降操作手段１７、副搬送用昇降操作手段１８、主規制用昇降操作手段２８及び副規制用昇降操作手段２９の作動を制御する制御装置Ｈが設けられている。
制御装置Ｈは、中継搬送部Ｂを副搬送状態から主搬送状態に切り換える場合は、主搬送補助送風手段１９を供給状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給停止状態に切り換え、かつ、中継搬送部Ｂを主搬送状態から副搬送状態に切り換える場合は、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換えるように構成されている。尚、制御装置Ｈが、送風状態切換手段に相当する。
また、制御装置Ｈには、ガラス基板１の存否を検出する主搬送第１検出センサ３１、主搬送第２検出センサ３２、副搬送第１検出センサ３３及び副搬送第２検出センサ３４の検出情報が入力されるように構成されている。これら４つの検出センサ３１〜３４は、平面視で一対の主昇降式推進力付与部５ａと一対の副昇降式推進力付与部６ａとで囲まれた空間内に設けられている。
そして、主搬送第２検出センサ３２は、主搬送第１検出センサ３１よりも主搬送方向Ｘの下流側に設けられており、主搬送方向Ｘの下流側に向けて搬送されるガラス基板１は、主搬送第１検出センサ３１にて検出された後、主搬送第２検出センサ３２にて検出されるように構成されている。
また、副搬送第２検出センサ３４は、副搬送第１検出センサ３３よりも副搬送方向Ｙの上流側に設けられており、副搬送方向Ｙの上流側に向けて搬送されるガラス基板１は、副搬送第１検出センサ３３にて検出された後、副搬送第２検出センサ３４にて検出されるように構成されている。
尚、ガラス基板１が適正位置に位置する状態（ガラス基板１が主搬送方向Ｘの下流側終端位置で且つ副搬送方向Ｙの上流側終端位置に位置する状態）では、４つの検出センサ３１〜３４の全てが適正位置に位置するガラス基板１を検出する状態となっている。
次に、制御装置Ｈによる中継搬送部Ｂの作動について説明する。
まず、図１３に基づいて、ガラス基板１を正方向に搬送する場合について説明する。ちなみに、ガラス基板１を正方向に搬送する場合、ガラス基板１の主搬送方向Ｘの下流側端部が第１隙間ｇ１まで搬送される前に、中継搬送部Ｂは、中継送風式支持手段１２を作動状態に切り換え、主昇降式推進力付与部５ａを上昇位置に上昇移動させ、副昇降式推進力付与部６ａを下降位置に下降移動させ、主搬送補助送風手段１９を供給状態に切り換え、副搬送補助送風手段２０を供給停止状態に切り換え、主搬送規制部材２５を規制位置に移動させ、副搬送規制部材２６を規制解除位置に移動させて、正方向主搬送状態に切り換えられている。
主搬送推進力付与手段５（主昇降式推進力付与部５ａ）の作動によりガラス基板１が通常搬送速度で主搬送方向Ｘの下流側に向けて搬送される〈Ｓ１〉。
このとき、主搬送補助送風手段１９は供給状態に切り換えられており、この主搬送補助送風手段１９から噴出される清浄空気により、上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との間に形成される隙間上のガラス基板１を非接触支持することができるので、ガラス基板１を適切に支持できる。また、副搬送補助送風手段２０は供給停止状態に切り換えられているので、ガラス基板１における副搬送方向Ｙの両端が主搬送推進力付与手段５から浮上し難く、主搬送推進力付与手段５にてガラス基板１に対して適切に推進力を付与することができる。
ガラス基板１を主搬送方向Ｘの下流側に向けて搬送して、図１０に示すように主搬送第１出力センサ３１がガラス基板１を検出すると〈Ｓ２〉、主昇降式推進力付与部５ａ（主搬送推進力付与手段５）の作動速度を減速させて主推進力付与手段５による搬送速度を低速搬送速度に減速してガラス基板１を搬送する〈Ｓ３〉。
その後、主搬送第２出力センサ３２がガラス基板１を検出すると、この検出から停止用設定時間（ガラス基板１が主搬送第２出力センサ３２に検出されてから適正位置に搬送されるのに要する時間）後に〈Ｓ４〉、主昇降式推進力付与部５ａ（主搬送推進力付与手段５）の作動を停止させる〈Ｓ５〉。このとき、図ガラス基板１は主搬送方向Ｘの下流側終端位置まで搬送されて図１１に示すような適正位置に位置している。
上述の如くガラス基板１を適正位置に位置させた状態で、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換え、主昇降式推進力付与部５ａを下降させ且つ副昇降式推進力付与部６ａを上昇させ、主搬送規制部材２５を規制解除位置に移動させて、中継搬送部Ｂを正方向副搬送状態に切り換える〈Ｓ６〉。ちなみに、これら主搬送補助送風手段１９の供給停止状態への切り換え、副搬送補助送風手段２０の供給状態への切り換え、副昇降式推進力付与部６ａの上昇、主昇降式推進力付与部５ａの下降、主搬送規制部材２５の規制解除位置への移動の順序は適宜設定すればよく、これらの一部又は全部を同時に行ってもよい。
このように、中継搬送部Ｂが主搬送状態から副搬送状態に切り換えられて中継搬送部Ｂにおいてガラス基板１の副搬送方向Ｙへの搬送が開始される前に、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換えるように構成されている。
その後、副搬送推進力付与手段６の作動を開始させて、ガラス基板１を副搬送方向Ｙの下流側に向けて通常搬送速度で搬送する〈Ｓ７〉。
このとき、主搬送補助送風手段１９は供給停止状態に切り換えられているので、ガラス基板１における主搬送方向Ｘの両端が副搬送推進力付与手段６から浮上し難く、副搬送推進力付与手段６にてガラス基板１に対して適切に推進力を付与することができる。また、副搬送補助送風手段２０は供給状態に切り換えられており、この副搬送補助送風手段２０から噴出される清浄空気により、中継送風式支持手段１２と下流側送風式支持手段１３との間に形成される隙間上でガラス基板１を非接触支持することができ、ガラス基板１を適切に支持できる。
副搬送推進力付与手段６の作動を開始した後、切り換え用設定時間（ガラス基板１が中継搬送部Ｂから下流側搬送部Ｃに搬送されるのに要する時間）経過すると〈Ｓ８〉、中継搬送部Ｂは正方向準備状態に切り換えられる〈Ｓ９〉。
次に、ガラス基板１を逆方向に搬送する場合について説明する。ちなみに、ガラス基板を逆方向に搬送する場合、ガラス基板１が下流側搬送部Ｃから中継搬送部Ｂに搬送される前に、中継送風式支持手段１２を作動状態に切り換え、主昇降式推進力付与部５ａを下降位置に下降移動させ、副昇降式推進力付与部６ａを上昇位置に上昇移動させ、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え、副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換え、主搬送規制部材２５を規制解除位置に移動させ、副搬送規制部材２６を規制位置に移動させて、中継搬送部Ｂは逆方向副搬送状態に切り換えられる。
そして、副搬送推進力付与手段６を作動させて、ガラス基板１を通常搬送速度で副搬送方向Ｙの上流側に向けて搬送し、副搬送第１出力センサ３３がガラス基板１を検出すると、副搬送推進力付与手段６による搬送速度を低速搬送速度に減速してガラス基板１を搬送し、副搬送第２出力センサ３４がガラス基板１を検出すると、この検出から停止用設定時間後に副搬送推進力付与手段６の作動を停止させる。このとき、ガラス基板１は副搬送方向Ｙの上流側終端位置まで搬送されて適正位置に位置している。
上述の如くガラス基板１を適正位置に位置させた状態で、主搬送補助送風手段１９を供給状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給停止状態に切り換え、主昇降式推進力付与部５ａを上昇させ且つ副昇降式推進力付与部６ａを下降させ、副搬送規制部材２６を規制解除位置に移動させて、中継搬送部Ｂを逆方向正搬送状態に切り換えられる。
その後、主搬送推進力付与手段５を作動させて、ガラス基板１を主搬送方向Ｘの上流側に向けて通常搬送速度で搬送する。
主搬送推進力付与手段５の作動を開始した後、切り換え用設定時間（ガラス基板１の全体が上流側搬送部Ａに搬送されるのに要する時間）経過すると、中継搬送部Ｂは逆方向副搬送状態に切り換えられる。
要するに、第１隙間ｇ１に主搬送補助送風手段１９の空気供給部２１を設け、第２隙間ｇ２に副搬送補助送風手段２０の空気供給部２１を設けて、中継搬送部Ｂの副搬送状態と主搬送状態との切り換えに応じて主搬送補助送風手段１９及び副搬送補助送風手段２０の状態を供給状態と供給停止状態とに切り換えることにより、主搬送方向Ｘや副搬送方向Ｙにガラス基板１を適確に搬送しながら、ガラス基板１の破損を未然に防ぐことようになっている。
〔別実施形態〕
（１） 上記実施形態では、中継搬送部Ｂが主搬送状態から副搬送状態に切り換えられて中継搬送部Ｂにおいて板状体１の副搬送方向Ｙの下流側への搬送が開始される前に、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換えたが、中継搬送部Ｂにおいて板状体１の副搬送方向Ｙの下流側への搬送の開始と同時又は直後に、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換えるようにしてもよい。
（２） 上記実施形態では、主搬送推進力付与手段５を、板状体１の下面に接触して板状体１に対して推進力を付与する回転ローラ７を主搬送方向Ｘに複数並設してローラ式に構成したが、主搬送推進力付与手段５を、板状体１の下面に接触して板状体１に対して推進力を付与する無端ベルトを主搬送方向Ｘに沿って配設したベルト式に構成してもよい。
ちなみに、主搬送推進力付与手段５をベルト式とした場合、回転体としての無端ベルトを主搬送方向Ｘに複数並設してもよく、また、単一の無端ベルトを主搬送方向Ｘに沿って設置してもよい。
また同様に、副搬送推進力付与手段６についても、ベルト式に構成してもよい。
（３） 上記実施形態では、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１を、平面視において第１隙間ｇ１から回転ローラ７の間に亘って設け、第１隙間ｇ１を含む上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との間の隙間における略全幅に亘って設けたが、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１を、上流側送風式支持手段１１と中継送風式支持手段１２との夫々に接触させてこれらの間の隙間における全幅に亘って設けてもよく、また、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１を、平面視において第１隙間ｇ１にのみ位置するように設けてもよい。
また同様に、副搬送補助送風手段２０における空気供給部２１を、中継送風式支持手段１２と下流側送風式支持手段１３の間の隙間の全幅に亘って設けてもよく、また、副搬送補助送風手段２０における空気供給部２１を、平面視において第２隅間ｇ２にのみ位置するように設けてもよい。
（４） 上記実施形態では、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１を、中継搬送部Ｂにおける副搬送方向Ｙの中央部での当該空気供給部２１同士の間隔より、中継搬送部Ｂにおける副搬送方向Ｙの端部側における当該空気供給部２１同士の間隔が広くなる状態で、副搬送方向Ｙに多数並設したが、主搬送補助送風手段１９における空気供給部２１を、副搬送方向Ｙに等間隔で多数並設してもよい。ちなみに、空気供給部２１を副搬送方向Ｙに等間隔で多数並設した場合でも、副搬送方向Ｙの中央側に位置する空気供給部２１からの清浄空気の流量を、端部側の空気供給部２１からの清浄空気の流量よりも多くして、ガラス基板１の副搬送方向Ｙの端部側よりも中央部を高い支持力で非接触支持するように構成してもよい。
（５） 上記実施形態では、空気供給部２１を、スリット状の噴出口を有する噴出ノズルにて構成したが、空気供給部２１を、丸形状の噴出口を１つ又は複数有する噴出ノズルにて構成してもよく、空気供給部２１を、小型のファンフィルタユニットにて構成してもよい。
また、上記実施形態では、第１隙間や第２隙間に空気供給部２１を複数並設したが、スリット状の噴出口２１ａを有する噴出ノズルを、噴出口２１ａが副搬送方向Ｙに沿う姿勢で第１隙間ｇ１に設け、噴出口２１ａが主搬送方向Ｘに沿う姿勢で第２隙間ｇ２に設ける等により、第１隙間ｇ１や第２隙間ｇ２に単一の空気供給部２１を設けるようにしてもよい。
（６） 上記実施形態では、当接体２５を設け、その当接体２５の規制解除位置を、規制位置より下方側で且つ規制位置より主搬送方向Ｘの下流側に位置させて、規制位置に位置する当接体２５を斜め下方に移動させて規制解除位置に移動させるように構成したが、規制位置に位置する当接体２５を主搬送方向Ｘの下流側に水平に移動させて規制解除位置に移動させるように構成してもよく、また、規制位置に位置する当接体２５を鉛直下方に移動させて規制解除位置に移動させるように構成してもよい。また、当接体２５を設けなくてもよい。
（７） 上記実施形態では、中継搬送部Ｂの主搬送方向Ｘの上流側に上流側搬送部Ａを並設し、中継搬送部Ｂの副搬送方向Ｙの下流側に下流側搬送部Ｃを並設して、板状体搬送装置をＬ字状に構成したが、中継搬送部Ｂの主搬送方向Ｘの下流側に上流側搬送部Ａと同構成の第２下流側搬送部を並設する、または、中継搬送部Ｂの副搬送方向Ｙの上流側に下流側搬送部Ｃと同構成の第２上流側搬送部を並設して、板状体搬送装置をＴ字状に構成してもよく、また、第２下流側搬送部と第２上流側搬送部との両方を並設して、板状体搬送装置を十字状に構成してもよい。
ちなみに、中継搬送部Ｂにおいて板状体１の搬送方向を切り換えないことにより、上流側搬送部Ａから中継搬送部Ｂを介して第２下流側搬送部に板状体１を搬送することや、第２上流側搬送部から中継搬送部Ｂを介して下流側搬送部Ｃに板状体１を搬送することができる。
（８） 上記実施形態では、一対の主搬送推進力付与手段５と一対の副搬送推進力付与手段６との両方を昇降移動させることで、中継搬送部Ｂを主搬送状態と副搬送状態とに切り換えるように構成したが、一対の主搬送推進力付与手段５と一対の副搬送推進力付与手段６とのいずれか一方を昇降移動させることで、中継搬送部Ｂを主搬送状態と副搬送状態とに切り換えるように構成してもよい。このように構成した場合、主搬送状態と副搬送状態とで板状体１を支持する高さが異なるが、板状体１の支持高さの変化に応じて中継送風式支持手段１２の高さを合わせるべく、中継送風式支持手段１２を昇降移動自在に構成してもよい。
１ 板状体
２ 送風式支持手段
３ 推進力付与手段
５ 主搬送推進力付与手段
６ 副搬送推進力付与手段
７ 回転体
１１ 上流側送風式支持手段
１２ 中継送風式支持手段
１３ 下流側送風式支持手段
１９ 主搬送補助送風手段
２０ 副搬送補助送風手段
２１ 空気供給部
２５ 当接体
Ａ 上流側搬送部
Ｂ 中継搬送部
Ｃ 下流側搬送部
ｇ１ 第１隙間
ｇ２ 第２隙間
Ｈ 送風状態切換手段
Ｘ 主搬送方向
Ｙ 副搬送方向

Claims (7)

  1. 矩形状の板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される板状体の下面に接触して当該板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが設けられ、
    板状体を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、板状体を前記主搬送方向と直交する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、前記上流側搬送部から受け取った板状体の搬送方向を前記主搬送方向から前記副搬送方向に切り換えて前記下流側搬送部に受け渡す中継搬送部とが設けられている板状体搬送装置であって、
    前記推進力付与手段として、前記上流側搬送部から前記中継搬送部に亘って配設されて板状体における前記副搬送方向の両端部の下面に接触して当該板状体に対して前記主搬送方向での推進力を付与する一対の主搬送推進力付与手段と、前記中継搬送部から前記下流側搬送部に亘って配設されて板状体における前記主搬送方向の両端部の下面に接触して当該板状体に対して前記副搬送方向での推進力を付与する一対の副搬送推進力付与手段とが設けられ、
    前記送風式支持手段として、前記一対の主搬送推進力付与手段の間において当該一対の主搬送推進力付与手段の夫々から前記副搬送方向に離間する状態で前記上流側搬送部に設けられた上流側送風式支持手段と、前記一対の副搬送推進力付与手段の間において当該一対の副搬送推進力付与手段の夫々から前記主搬送方向に離間する状態で前記下流側搬送部に設けられた下流側送風式支持手段と、前記一対の主搬送推進力付与手段の間において当該一対の主搬送推進力付与手段の夫々から前記副搬送方向に離間する状態で且つ前記一対の副搬送推進力付与手段の間において当該一対の副搬送推進力付与手段の夫々から前記主搬送方向に離間する状態で前記中継搬送部に設けられた中継送風式支持手段とが設けられ、
    前記中継搬送部が、前記一対の主搬送推進力付与手段と前記一対の副搬送推進力付与手段とを相対的に昇降移動させることで、前記一対の主搬送推進力付与手段を板状体の下面に接触させて板状体の搬送方向を前記主搬送方向に切り換えた主搬送状態と、前記一対の副搬送推進力付与手段を板状体の下面に接触させて板状体の搬送方向を前記副搬送方向に切り換えた副搬送状態とに切り換え自在に構成され、
    板状体の下面に向けて清浄空気を供給する空気供給部を、前記中継搬送部における前記一対の副搬送推進力付与手段と前記中継送風式支持手段との間の一対の隙間のうち少なくとも主搬送方向の上流側に位置する第１隙間に配設した主搬送補助送風手段が設けられ、
    前記空気供給部を、前記中継搬送部における前記一対の主搬送推進力付与手段と前記中継送風式支持手段との間の一対の隙間のうち少なくとも副搬送方向の下流側に位置する第２隙間に配設した副搬送補助送風手段が設けられ、
    前記主搬送補助送風手段及び前記副搬送補助送風手段の夫々が、前記空気供給部の上方に位置する板状体を非接触状態に支持するべく清浄空気を供給する供給状態と、前記空気供給部からの清浄空気の供給を停止させた供給停止状態とに切り換え自在に構成され、
    前記中継搬送部が前記副搬送状態から前記主搬送状態に切り換えられる場合は、前記主搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え、かつ、前記中継搬送部が前記主搬送状態から前記副搬送状態に切り換えられる場合は、前記主搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換える送風状態切換手段が設けられている板状体搬送装置。
  2. 前記送風状態切換手段が、前記中継搬送部が前記主搬送状態から前記副搬送状態に切り換えられて前記中継搬送部において板状体の前記副搬送方向への搬送が開始される前に、前記主搬送補助送風手段を前記供給停止状態に切り換え且つ前記副搬送補助送風手段を前記供給状態に切り換えるように構成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
  3. 前記主搬送推進力付与手段が、板状体の下面に接触して板状体に対して推進力を付与する回転体を前記主搬送方向に沿って複数並設して構成され、
    前記副搬送推進力付与手段が、前記回転体を前記副搬送方向に沿って複数並設して構成され、
    前記主搬送補助送風手段における前記空気供給部が、平面視において前記第１隙間から前記副搬送推進力付与手段における前記副搬送方向に隣接する前記回転体の間に亘って設けられ、
    前記副搬送補助送風手段における前記空気供給部が、平面視において前記第２隙間から前記主搬送推進力付与手段における前記主搬送方向に隣接する前記回転体の間に亘って設けられている請求項１又は２記載の板状体搬送装置。
  4. 前記主搬送補助送風手段の前記空気供給部が、前記第１隙間を含む前記上流側送風式支持手段と前記中継送風式支持手段との間の隙間における前記主搬送方向の全幅又は略全幅に亘って設けられ、
    前記副搬送補助送風手段の前記空気供給部が、前記第２隙間を含む前記中継送風式支持手段と前記下流側送風式支持手段との間の隙間における前記副搬送方向の全幅又は略全幅に亘って設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
  5. 前記主搬送補助送風手段における前記空気供給部が、前記中継搬送部における前記副搬送方向の中央部での当該空気供給部同士の間隔より、前記中継搬送部における前記副搬送方向の端部側における当該空気供給部同士の間隔が広くなる状態で、前記副搬送方向に多数並設され、
    前記副搬送補助送風手段における前記空気供給部が、前記中継搬送部における前記主搬送方向の中央部での当該空気供給部同士の間隔より、前記中継搬送部における前記主搬送方向の端部側における当該空気供給部同士の間隔が広くなる状態で、前記副搬送方向に多数並設されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
  6. 前記空気供給部が、スリット状の噴出口を有する噴出ノズルにて構成されている請求項１〜５のいずれか1項に記載の板状体搬送装置。
  7. 前記主搬送状態において前記一対の主搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体と同高さで且つ前記副搬送状態において前記一対の副搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体における前記主搬送方向の下流側の側面に当接する規制位置と、前記主搬送状態において前記一対の主搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体の下面及び前記副搬送状態において前記一対の副搬送推進力付与手段にて載置支持される板状体の下面より下方側で且つ前記規制位置より前記主搬送方向の下流側に位置する規制解除位置とに移動自在な当接体が設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
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