JP5125290B2 - 浮上搬送装置及び処理搬送システム - Google Patents
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Description
W 薄板
1 処理搬送システム
3 プロセス処理装置
5 搬出部
7 浮上搬送装置
9 装置本体
11 搬送ローラ
11A 薄板引出領域内の搬送ローラ
11B 薄板引出領域外の搬送ローラ
13 ローラ支持部材
17 搬送ローラ昇降用エアシリンダ
19A 搬送ローラ回転用モータ
19B 搬送ローラ回転用モータ
21 支持ブラケット
23 スライダ
25 引出アーム
29 吸着パッド
31 アーム昇降用エアシリンダ
37 アーム移動用モータ
39 センタ浮上ユニット
41 ノズル
43 サイド浮上ユニット
45 ノズル
49 ユニット昇降用エアシリンダ
Claims (5)
- 処理装置の搬出部から引き出した薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
装置本体と、
前記装置本体における前記搬送方向に直交する直交方向の一端側及び他端側に前記直交方向に平行な軸心周りに回転可能かつ前記搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、薄板を前記搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラと、
複数の前記搬送ローラを回転させるローラ回転用アクチュエータと、
前記装置本体における前記直交方向の中央側に設けられ、薄板を浮上させるセンタ浮上ユニットと、
前記装置本体における前記センタ浮上ユニットの前記直交方向の両側にのみ設けられ、前記処理装置の前記搬出部から薄板を引き出すための薄板引出領域内の前記搬送ローラに近接し、通常の浮上力を発揮する通常浮上力状態と前記通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態とに前記センタ浮上ユニットと独立して切り替え可能に構成され、薄板を浮上させるサイド浮上ユニットと、を備えたことを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記サイド浮上ユニットは、通常の浮上力を発揮する通常ユニット高さ位置と、該通常ユニット高さ位置よりも低くかつ前記低い浮上力を発揮する低ユニット高さ位置との間で昇降可能に構成され、
更に、前記サイド浮上ユニットを昇降させるユニット昇降用アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。 - 前記装置本体に前記搬送方向へ移動可能に設けられ、先端側に薄板の裏面又は表面を吸着する吸着パットを有し、前記処理装置の前記搬出部から薄板を引き出す引出アームと、
前記引出アームを前記搬送方向へ移動させるアーム移動用アクチュエータと、を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。 - 全ての前記搬送ローラのうち前記薄板引出領域内の複数の前記搬送ローラは、薄板を支持する通常ローラ高さ位置と、該通常ローラ高さ位置よりも低い低ローラ高さ位置との間で昇降可能に構成され、
更に、前記薄板引出領域内の複数の前記搬送ローラを昇降させるローラ昇降用アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。 - 薄板に対して処理及び搬送を行う処理搬送システムにおいて、
薄板に対して処理を行う処理装置と、
前記処理装置の搬出部の引出側に配設され、請求項1から請求項4のうちのいずれかの請求項に記載の発明特定事項からなる浮上搬送装置と、を備えたことを特徴とする処理搬送システム。
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