JP5540496B2 - 浮上搬送装置及び浮上ユニット - Google Patents
浮上搬送装置及び浮上ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5540496B2 JP5540496B2 JP2008297036A JP2008297036A JP5540496B2 JP 5540496 B2 JP5540496 B2 JP 5540496B2 JP 2008297036 A JP2008297036 A JP 2008297036A JP 2008297036 A JP2008297036 A JP 2008297036A JP 5540496 B2 JP5540496 B2 JP 5540496B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- levitation
- transport
- nozzle
- unit
- convex portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
S 圧力溜まり層
W 基板
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム
11 搬送機構
15 搬送ローラ
17 搬送モータ
25 チャンバー
31 ファン
37 浮上ユニット
39 ノズル
39a 上流寄りのノズル
39b 下流寄りのノズル
41 凸部
43 つば部
45 隅肉部
Claims (4)
- 基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置であって、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形状のノズルが形成され、前記ノズルが上面に垂直な方向に対してユニット中心側に傾斜しており、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記搬送方向に間隔を置いて隣接関係にある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットの上面における前記ノズルの上流寄りに位置している部分の下流側に、上方向へ突出した平坦な凸部が近接して形成され、前記凸部が前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びかつ前記凸部の上流側の壁面が前記垂直な方向に平行になっていることを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記凸部の上流側の上縁につば部が形成され、前記つば部が前記搬送方向の反対方向に向かって徐々に薄くなるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットであって、
上面に浮上ガスを噴出する平面視矩形状のノズルが形成され、前記ノズルが上面に垂直な方向に対してユニット中心側に傾斜しており、上面における前記ノズルの一側寄りに位置している部分の他側に、上方向へ突出した平坦な凸部が近接して形成され、前記凸部が幅方向へ延びかつ前記凸部の一側の壁面が前記垂直な方向に平行になっていることを特徴とする浮上ユニット。 - 前記凸部の一側の上縁につば部が形成され、前記つば部が先端に向かって徐々に薄くなるようになっていることを特徴とする請求項3に記載の浮上ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008297036A JP5540496B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008297036A JP5540496B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010120759A JP2010120759A (ja) | 2010-06-03 |
JP5540496B2 true JP5540496B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=42322441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008297036A Active JP5540496B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 浮上搬送装置及び浮上ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540496B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4613800B2 (ja) * | 2004-12-01 | 2011-01-19 | 株式会社Ihi | 浮上装置および搬送装置 |
WO2008062831A1 (fr) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Dispositif de transport par aéroflottaison et procédé de transport à l'aide de l'air |
JP5332142B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2013-11-06 | 株式会社Ihi | 浮上搬送装置 |
-
2008
- 2008-11-20 JP JP2008297036A patent/JP5540496B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010120759A (ja) | 2010-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4900115B2 (ja) | 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム | |
JP5446403B2 (ja) | 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム | |
JP5125290B2 (ja) | 浮上搬送装置及び処理搬送システム | |
JP5239606B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP5396695B2 (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 | |
JP5200868B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5540496B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP5707713B2 (ja) | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット | |
JP2010116248A (ja) | 浮上搬送装置及び搬送ローラ | |
JP5422925B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5353235B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5332142B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5604940B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5790121B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5581611B2 (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP4715088B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板保管搬送装置 | |
JP2011207552A (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5589447B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5526879B2 (ja) | 浮上搬送装置及びローラ駆動ユニット | |
JP5549311B2 (ja) | 浮上搬送装置及び方向転換装置 | |
JP5239227B2 (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 | |
JP2010173829A (ja) | 浮上搬送装置及び浮上ユニット | |
JP2010189106A (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP5194813B2 (ja) | 浮上搬送装置 | |
JP2009012872A (ja) | 浮上ユニット及び浮上搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130806 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140314 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140421 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5540496 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |