JP2010120759A - 浮上搬送装置及び浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送方向に間隔を置いて隣接関係にある浮上ユニット37間において、後続の浮上ユニット37の上面における上流寄りのノズル39の下流側に凸部41が近接して形成されていること。
【選択図】 図1
Description
S 圧力溜まり層
W 基板
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム
11 搬送機構
15 搬送ローラ
17 搬送モータ
25 チャンバー
31 ファン
37 浮上ユニット
39 ノズル
39a 上流寄りのノズル
39b 下流寄りのノズル
41 凸部
43 つば部
45 隅肉部
Claims (6)
- 基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置であって、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに前記搬送方向に沿って設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記搬送方向に間隔を置いて隣接関係にある前記浮上ユニット間において、後続の前記浮上ユニットの上面における上流寄りの前記ノズルの下流側に凸部が近接して形成されていることを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記ノズルが垂直方向に対して前記浮上ユニットのユニット中心側に傾斜するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記凸部の上流側の上縁につば部が形成され、前記つば部が前記搬送方向の反対方向に向かって徐々に薄くなるようになっていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットであって、
上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、上面における一側寄りの前記ノズルの他側に凸部が近接して形成されていることを特徴とする浮上ユニット。 - 前記ノズルが垂直方向に対してユニット中心側に傾斜するようになっていることを特徴とする請求項4に記載の浮上ユニット。
- 前記凸部の一側の上縁につば部が形成され、前記つば部が先端に向かって徐々に薄くなるようになっていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の浮上ユニット。
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JP2006182563A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-07-13 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 浮上装置および搬送装置 |
WO2008062831A1 (fr) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Dispositif de transport par aéroflottaison et procédé de transport à l'aide de l'air |
WO2009004883A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
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- 2008-11-20 JP JP2008297036A patent/JP5540496B2/ja active Active
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WO2008062831A1 (fr) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Dispositif de transport par aéroflottaison et procédé de transport à l'aide de l'air |
WO2009004883A1 (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ihi Corporation | 浮上搬送装置 |
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