JP4900115B2

JP4900115B2 - 搬送方向転換装置及び浮上搬送システム

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Publication number: JP4900115B2
Application number: JP2007196554A
Authority: JP
Inventors: 賢輔平田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2007-07-27
Filing date: 2007-07-27
Publication date: 2012-03-21
Anticipated expiration: 2027-07-27
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Description

本発明は、第１浮上搬送装置の搬送領域から例えばガラス基板等の薄板を受け取って第２浮上搬送装置の搬送領域へ送り出す際に、薄板の搬送方向を転換する搬送方向転換装置等に関する。

近年、クリーン搬送の分野においては、薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送して、第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ搬送する浮上搬送システムについて種々の開発が行われており、浮上搬送システムの先行技術として特許文献１に示すものがある。そして、先行技術に係る浮上搬送システムの構成について簡単に説明すると、次のようになる。

即ち、先行技術に係る浮上搬送システムは、薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送する第１浮上搬送装置を備えており、この第１浮上搬送装置の近傍には、薄板を浮上させた状態で第２搬送方向へ搬送する第２浮上搬送装置が配設されている。そして、第１浮上搬送装置の搬送領域の下流側と第２浮上搬送装置の搬送領域の上流側との中継領域には、エアを送気する送気ユニットを備えた搬送方向転換装置が配設されており、この搬送方向転換装置は、第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取って第２浮上搬送装置の搬送領域へ薄板を送り出す際に、送気ユニットにより送気されるエアの送気方向を調節することによって薄板の搬送方向を第１搬送方向から第２搬送方向へ転換するものである。
特開２００５−７５４９６号公報

ところで、先行技術に係る浮上搬送システムにあっては、エアの送気方向の調節によって薄板の搬送方向を高精度に転換することは極めて難しく、通常、第２浮上搬送装置は、搬送方向転換装置から送り出された薄板の搬送方向を第２搬送方向に修正する搬送方向修正機構を必要になり、浮上搬送システムの構成が複雑化すると共に、浮上搬送システムの製造コストが高くなるという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の搬送方向転換装置及び浮上搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴は、薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送する第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取って、薄板を浮上させた状態で前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ搬送する第２浮上搬送装置の搬送領域へ薄板を送り出す際に、薄板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、転換装置本体と、前記転換装置本体の前記第２搬送方向の一端側及び他端側に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能かつ前記第１搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、前記第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取る複数の受取ローラと、複数の前記受取ローラを回転させる受取ローラ回転用アクチュエータと、前記転換装置本体の前記第１搬送方向の一端側及び他端側に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能かつ前記第２搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、薄板を前記第２浮上搬送装置の搬送領域に送り出す複数の送出ローラと、複数の前記送出ローラを回転させる送出ローラ回転用アクチュエータと、前記転換装置本体に複数の前記受取ローラ及び複数の前記送出ローラに囲まれるように設けられ、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、全ての前記浮上ユニットのうち、前記受取ローラに近接関係にある前記浮上ユニット（以下、受取ローラ側浮上ユニットという）、及び前記送出ローラに近接関係にある前記浮上ユニット（以下、送出ローラ側浮上ユニットという）は、通常の浮上力（換言すれば、基準の浮上力）を発揮する通常浮上力状態と、前記通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態に独立して切り替え可能にそれぞれ構成されていることを要旨とする。

ここで、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の中間部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「通常の浮上力」とは、受取ローラ側浮上ユニット及び送出ローラ側浮上ユニットを除く、前記浮上ユニットが発揮する浮上力と同等の浮上力のことをいい、「通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する」とは、浮上力を全く発揮しないことも含む意である。

第１の特徴によると、前記受取ローラ側浮上ユニットを前記低浮上力状態にする。また、前記受取ローラ側浮上ユニット及び前記送出ローラ側浮上ユニットを除く浮上ユニットと同様に、前記送出ローラ側浮上ユニットを前記通常浮上力状態にする。そして、複数の前記浮上ユニットを適宜に動作させつつ、前記受取ローラ回転用アクチュエータの駆動によって複数の前記受取ローラを回転させることにより、複数の前記受取ローラによって前記第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取ることができる。ここで、前述のように、前記受取ローラ側浮上ユニットを前記低浮上力状態にしているため、薄板と前記受取ローラとの接触圧が大きくなって、前記受取ローラに対する薄板のすべりを十分に抑えることができる。

複数の前記受取ローラによって薄板を受け取った後に、前記受取ローラ回転用アクチュエータの駆動を停止すると共に、前記受取ローラ側浮上ユニットを前記低浮上力状態から前記通常浮上力状態に切り替え、かつ前記送出ローラ側浮上ユニットを前記通常浮上力状態から前記低浮上力状態に切り替える。そして、複数の前記浮上ユニットを適宜に動作させつつ、前記送出ローラ回転用アクチュエータの駆動によって複数の前記送出ローラを回転させることにより、複数の前記送出ローラによって薄板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換して、薄板を前記第２浮上搬送装置の搬送領域に送り出すことができる。ここで、前述のように、前記送出ローラ側浮上ユニットを前記低浮上力状態に切り替えているため、薄板と前記送出ローラとの接触圧が大きくなって、前記送出ローラに対する薄板のすべりを十分に抑えることができる。

要するに、前記転換装置本体の前記第２搬送方向の一端側及び他端側に複数の前記受取ローラがそれぞれ設けられ、前記転換装置本体の前記第１搬送方向の一端側及び他端側に複数の前記送出ローラがそれぞれ設けられ、前記受取ローラ側浮上ユニット及び前記送出ローラ側浮上ユニットが前記通常浮上力状態と前記低浮上力状態に独立して切り替え可能にそれぞれ構成されているため、前記受取ローラに対する薄板のすべり及び前記送出ローラに対する薄板のすべりを十分に抑えて、薄板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ高精度に転換することができる。

本発明の第２の特徴は、薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、薄板を浮上させた状態で前記第１搬送方向へ搬送する第１浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、薄板を浮上させた状態で前記第２搬送方向へ搬送する第２浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置の搬送領域の下流側と前記第２浮上搬送装置の搬送領域の上流側との中継領域に配設され、請求項１又は請求項２に記載の発明特定事項からなる搬送方向転換装置と、を備えたことを要旨とする。

ここで、前記第１浮上搬送装置又は前記第２浮上搬送装置の構成の中に前記搬送方向転換装置が含まれていても構わない。

なお、第２の特徴においても、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。

本発明によれば、前記受取ローラに対する薄板のすべり及び前記送出ローラに対する薄板のすべりを十分に抑えて、薄板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ高精度に転換することができるため、薄板の搬送方向を前記第２搬送方向に修正する搬送方向修正機構を前記第２浮上搬送装置の構成から省略することができ、前記浮上搬送システムの構成の簡略化をしつつ、前記浮上搬送システムの製造コストの低下を図ることができる。また、同じ理由により、薄板の搬送加速度を大きくして、短時間で薄板を搬送することができる。

本発明の実施形態について図１から図６を参照して説明する。

ここで、図１は、本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図、図２は、本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図、図３は、図２におけるIII-III線に沿った図、図４は、図２におけるIV-IV線に沿った図、図５は、本発明の実施形態に係る第１浮上搬送装置の平面図、図６は、本発明の実施形態に係る第２浮上搬送装置の平面図である。なお、図面中、「Ｆ」は、前方向、「Ｐ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向を指す。

本発明の実施形態に係る浮上搬送システム１は、クリーン搬送の分野で用いられ、例えばガラス基板等の薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前後方向）Ｄ１へ搬送して、第１搬送方向Ｄ１に対して直交する第２搬送方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）Ｄ２へ搬送するシステムである。そして、浮上搬送システム１について概説すると、次のようになる。

即ち、浮上搬送システム１は、薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１へ搬送する第１浮上搬送装置３を備えており、この第１浮上搬送装置３の近傍には、薄板Ｗを浮上させた状態で第２搬送方向Ｄ２へ搬送する第２浮上搬送装置５が配設されている。そして、第１浮上搬送装置３の搬送領域の下流側と第２浮上搬送装置５の搬送領域の上流側との中継領域には、搬送方向転換装置７が配設されており、この搬送方向転換装置７は、第１浮上搬送装置３の搬送領域から薄板Ｗを受け取って第２浮上搬送装置５の搬送領域へ薄板Ｗを送り出す際に、薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ転換するものである。

浮上搬送システム１の第１浮上搬送装置３の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、図１及び図５に示すように、第１浮上搬送装置３は、第１搬送方向Ｄ１へ延びた第１搬送装置本体９を備えており、この第１搬送装置本体９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。

第１搬送装置本体９の左端側及び右端側（換言すれば、第２搬送方向Ｄ２の一端側及び他端側）には、薄板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ搬送する複数の第１搬送ローラ１１（複数の左寄りの第１搬送ローラ１１と複数の右寄りの第１搬送ローラ１１）が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能かつ第１搬送方向Ｄ１に沿って間隔を置いて設けられている。また、第１搬送装置本体９の適宜位置には、複数の第１搬送ローラ１１を回転させる一対の第１搬送ローラ回転用モータ（第１搬送ローラ回転用アクチュエータの一例）１３Ａ，１３Ｂが設けられている。ここで、一方の第１搬送ローラ回転用モータ（左寄りの第１搬送ローラ回転用モータ）１３Ａの出力軸（図示省略）は、複数の左寄りの第１搬送ローラ１１のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の第１搬送ローラ回転用モータ（右寄りの第１搬送ローラ回転用モータ）１３Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの第１搬送ローラ１１のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。

第１搬送装置本体９の左右方向の中央側（換言すれば、第２搬送方向Ｄ２の中央側）には、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる複数の四角形の浮上ユニット１５が設けられており、各浮上ユニット１５の上面には、エアを噴出する枠状のノズル１７がそれぞれ形成されている。また、各浮上ユニット１５の上面と薄板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の空気溜まり層をそれぞれ発生させるため、各浮上ユニット１５の枠状のノズル１７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成されている。

浮上搬送システム１の第２浮上搬送装置５の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、図１及び図６に示すように、第２浮上搬送装置５は、第２搬送方向Ｄ２へ延びた第２搬送装置本体１９を備えており、この第２搬送装置本体１９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。

第２搬送装置本体１９の前端側及び後端側（換言すれば、第１搬送方向Ｄ１の一端側及び他端側）には、薄板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ搬送する複数の第２搬送ローラ２１（複数の前寄りの第２搬送ローラ２１と複数の後寄りの第２搬送ローラ２１）が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能かつ第２搬送方向Ｄ２に沿って間隔を置いて設けられている。また、第２搬送装置本体１９の適宜位置には、複数の第２搬送ローラ２１を回転させる一対の第２搬送ローラ回転用モータ（第２搬送ローラ回転用アクチュエータの一例）２３Ａ，２３Ｂが設けられている。ここで、一方の第２搬送ローラ回転用モータ（前寄りの第２搬送ローラ回転用モータ）２３Ａの出力軸（図示省略）は、複数の前寄りの第２搬送ローラ２１のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の第２搬送ローラ回転用モータ（右寄りの第２搬送ローラ回転用モータ）２３Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの第２搬送ローラ２１のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。

第２搬送装置本体１９の前後方向の中央側（換言すれば、第１搬送方向Ｄ１の中央側）には、エアの圧力によって薄板を浮上させる複数の四角形の浮上ユニット２５が設けられており、各浮上ユニット２５の上面には、エアを噴出する枠状のノズル２７がそれぞれ形成されている。また、各浮上ユニット２５の枠状のノズル２７は、第１浮上搬送装置３における浮上ユニット１５の枠状のノズル１７と同様に、垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。

浮上搬送システム１の搬送方向転換装置７の具体的な構成は、次のようになる。

即ち、図１及び図２に示すように、搬送方向転換装置７は、転換装置本体２９を備えており、この転換装置本体２９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。

転換装置本体２９の左端側及び右端側には、第１浮上搬送装置３の搬送領域から薄板Ｗを受け取る複数の受取ローラ（複数の左寄りの受取ローラと複数の右寄りの受取ローラ）３１が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能かつ第１搬送方向Ｄ１に沿って間隔を置いて設けられている。また、転換装置本体２９の前側の適宜位置には、複数の受取ローラ３１を回転させる一対の受取ローラ回転用モータ（受取ローラ回転用アクチュエータの一例）３３Ａ，３３Ｂが設けられている。ここで、一方の受取ローラ回転用モータ（左寄りの受取ローラ回転用モータ）３３Ａの出力軸（図示省略）は、複数の左寄り受取ローラ３１のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の受取ローラ回転用モータ（右寄りの受取ローラ回転用モータ）３３Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの受取ローラ３１のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。

転換装置本体２９の前端側及び後端側には、薄板Ｗを第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出す複数の送出ローラ３５（複数の前寄りの送出ローラ３５と複数の後寄りの送出ローラ３５）が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能かつ第２搬送方向Ｄ２に沿って間隔を置いて設けられている。また、転換装置本体２９の左側の適宜位置には、複数の送出ローラ３５を回転させる一対の送出ローラ回転用モータ（送出ローラ回転用アクチュエータの一例）３７Ａ，３７Ｂが設けられている。ここで、一方の送出ローラ回転用モータ（前寄りの送出ローラ回転用モータ）３７Ａの出力軸（図示省略）は、複数の前寄りの送出ローラ３５のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の送出ローラ回転用モータ（後寄りの送出ローラ回転用モータ）３７Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の後寄りの送出ローラ３５のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。

なお、転換装置本体２９の前端側には、薄板Ｗの第１搬送方向Ｄ１の移動を規制する複数のストッパ３９が設けられている。

転換装置本体２９には、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット４１が複数の受取ローラ３１及び複数の送出ローラ３５に囲まれるように設けられており、各浮上ユニット４１の上面には、エアを噴出する複数のノズル４３がそれぞれ形成されている。また、各浮上ユニット４１の枠状のノズル４３は、第１浮上搬送装置３における浮上ユニット１５の枠状のノズル１７と同様に、垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。

図２から図４に示すように、全ての浮上ユニット４１のうち、受取ローラ３１に近接関係にある一対の浮上ユニット４１Ｔ（以下、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔという）、及び送出ローラ３５に近接関係にある一対の浮上ユニット４１Ｇ（以下、一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇという）は、通常の浮上力（換言すれば、基準の浮上力）を発揮する通常浮上力状態と、通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態に独立して切り替え可能にそれぞれ構成されている。具体的には、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔ及び一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇは、通常の浮上力を発揮する通常高さ位置（図３及び図４において仮想線で示す高さ位置）と、該通常高さ位置よりも低くかつ前記低い浮上力を発揮する低高さ位置（図３及び図４において実線で示す高さ位置）との間で複数のガイド機構４５を介して昇降可能にそれぞれ構成されている。そして、転換装置本体２９の左部及び右部には、対応関係にある受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを昇降させる第１ユニット昇降用エアシリンダ（第１ユニット昇降用アクチュエータの一例）４７がそれぞれ設けられており、転換装置本体２９の前部及び後部には、対応関係にある送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを昇降させる第２ユニット昇降用エアシリンダ（第２ユニット昇降用アクチュエータの一例）４９がそれぞれ設けられている。なお、受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔ及び送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを除く浮上ユニット４１は、通常高さ位置に位置している。

次に、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

複数の浮上ユニット１５のノズル１７からエアを噴出させつつ、一対の第１搬送ローラ回転用モータ１３Ａ，１３Ｂの駆動によって複数の第１搬送ローラ１１を同期して回転させる。これにより、第１浮上搬送装置３の搬送領域に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１へ搬送することができる。

薄板Ｗが第１浮上搬送装置３の搬送領域における下流側の所定位置を通過する前に、一対の第１ユニット昇降用エアシリンダ４７の駆動によって一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを低高さ位置まで下降させることにより、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを低浮上力状態にする。また、一対の第２ユニット昇降用エアシリンダ４９の駆動によって一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを通常高さ位置まで上昇させることにより、受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔ及び送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを除く浮上ユニット４１と同様に、一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを通常浮上力状態にする。そして、複数の浮上ユニット４１のノズル４３からエアを噴出させつつ、一対の受取ローラ回転用モータ３３Ａ，３３Ｂの駆動によって複数の受取ローラ３１を同期して回転させることにより、複数の受取ローラ３１によって第１浮上搬送装置３の搬送領域から薄板Ｗを受け取ることができる。ここで、前述のように、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを低浮上力状態にしているため、薄板Ｗと受取ローラ３１との接触圧が大きくなって、受取ローラ３１に対する薄板Ｗのすべりを十分に抑えることができる。

複数の受取ローラ３１によって薄板Ｗを受け取った後に、一対の受取ローラ回転用モータ３３Ａ，３３Ｂの駆動を停止する。また、一対の第１ユニット昇降用エアシリンダ４７の駆動によって一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを通常高さ位置まで上昇させることにより、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔを通常浮上力状態に切り替え、かつ一対の第２ユニット昇降用エアシリンダ４９の駆動によって一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを低高さ位置まで下降させることにより、一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを低浮上力状態に切り替える。そして、複数の浮上ユニット４１のノズル４３からエアを噴出させつつ、一対の送出ローラ回転用モータ３７Ａ，３７Ｂの駆動によって複数の送出ローラ３５を同期して回転させることにより、複数の送出ローラ３５によって薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ転換して、薄板Ｗを第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出すことができる。ここで、前述のように、一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇを低浮上力状態に切り替えているため、薄板Ｗと送出ローラ３５との接触圧が大きくなって、送出ローラ３５に対する薄板Ｗのすべりを十分に抑えることができる。

複数の送出ローラ３５によって薄板Ｗを送り出す前又は送り出す際に、複数の浮上ユニット２５のノズル２７からエアを噴出させつつ、一対の第２搬送ローラ回転用モータ２３Ａ，２３Ｂの駆動により複数の第２搬送ローラ２１を同期して回転させておく。これにより、第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出された薄板Ｗを浮上させた状態で第２搬送方向Ｄ２へ搬送することができる。

前述の動作により、薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１へ搬送して、第２搬送方向Ｄ２へ搬送することができる（浮上搬送システム１の一般的な作用）。

要するに、転換装置本体２９の左端側及び右端側に複数の受取ローラ３１がそれぞれ設けられ、転換装置本体２９の前端側及び後端側に複数の送出ローラ３５がそれぞれ設けられ、一対の受取ローラ側浮上ユニット４１Ｔ及び一対の送出ローラ側浮上ユニット４１Ｇが通常浮上力状態と低浮上力状態に独立して切り替え可能にそれぞれ構成されているため、受取ローラ３１に対する薄板Ｗのすべり及び送出ローラ３５に対する薄板Ｗのすべりを十分に抑えて、薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ高精度に転換することができる。

従って、本発明の実施形態によれば、薄板Ｗの搬送方向を第２搬送方向Ｄ２に修正する搬送方向修正機構を第２浮上搬送装置５の構成から省略することができ、浮上搬送システム１の構成の簡略化をしつつ、浮上搬送システム１の製造コストの低下を図ることができる。また、薄板Ｗの搬送加速度を大きくして、短時間で薄板Ｗを搬送することができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる浮上ユニット１５，２９，４５の代わりに、超音波を利用して薄板Ｗを浮上させる浮上ユニットを用いる等、その他、種々の態様で実施可能である。

また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図である。本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図である。図２におけるIII-III線に沿った図である。図２におけるIV-IV線に沿った図である。本発明の実施形態に係る第１浮上搬送装置の平面図である。本発明の実施形態に係る第２浮上搬送装置の平面図である。

符号の説明

Ｄ１第１搬送方向
Ｄ２第２搬送方向
Ｗ薄板
１浮上搬送システム
３第１浮上搬送装置
５第２浮上搬送装置
７搬送方向転換装置
２９転換装置本体
３１受取ローラ
３３Ａ，３３Ｂ受取ローラ回転用モータ
３５送出ローラ
３７Ａ，３７Ｂ送出ローラ回転用モータ
４１浮上ユニット
４１Ｔ受取ローラ側浮上ユニット
４１Ｇ送出ローラ側浮上ユニット
４７第１ユニット昇降用エアシリンダ
４９第２ユニット昇降用エアシリンダ

Claims

薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送する第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取って、薄板を浮上させた状態で前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ搬送する第２浮上搬送装置の搬送領域へ薄板を送り出す際に、薄板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、
転換装置本体と、
前記転換装置本体の前記第２搬送方向の一端側及び他端側に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能かつ前記第１搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、前記第１浮上搬送装置の搬送領域から薄板を受け取る複数の受取ローラと、
複数の前記受取ローラを回転させる受取ローラ回転用アクチュエータと、
前記転換装置本体の前記第１搬送方向の一端側及び他端側に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能かつ前記第２搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、薄板を前記第２浮上搬送装置の搬送領域に送り出す複数の送出ローラと、
複数の前記送出ローラを回転させる送出ローラ回転用アクチュエータと、
前記転換装置本体に複数の前記受取ローラ及び複数の前記送出ローラに囲まれるように設けられ、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、
全ての前記浮上ユニットのうち、前記受取ローラに近接関係にある前記浮上ユニット、及び前記送出ローラに近接関係にある前記浮上ユニットは、通常の浮上力を発揮する通常浮上力状態と、前記通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態に独立して切り替え可能にそれぞれ構成されていることを特徴とする搬送方向転換装置。
全ての前記浮上ユニットのうち、前記受取ローラに近接関係にある前記浮上ユニット、及び前記受取ローラに近接関係にある前記浮上ユニットは、前記通常の浮上力を発揮する通常ユニット高さ位置と、該通常ユニット高さ位置よりも低くかつ前記低い浮上力を発揮する低ユニット高さ位置との間で昇降可能にそれぞれ構成され、
更に、前記受取ローラに近接関係にある前記浮上ユニットを独立して昇降させる第１ユニット昇降用アクチュエータと、
前記送出ローラに近接関係にある前記浮上ユニットを独立して昇降させる第２ユニット昇降用アクチュエータと、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の搬送方向転換装置。
薄板を浮上させた状態で第１搬送方向へ搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、
薄板を浮上させた状態で前記第１搬送方向へ搬送する第１浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、薄板を浮上させた状態で前記第２搬送方向へ搬送する第２浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置の搬送領域の下流側と前記第２浮上搬送装置の搬送領域の上流側との中継領域に配設され、請求項１又は請求項２に記載の発明特定事項からなる搬送方向転換装置と、を備えたことを特徴とする浮上搬送システム。