KR101238216B1 - 방향 전환 장치 및 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송 시스템 - Google Patents

방향 전환 장치 및 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명의 부상(浮上) 반송(搬送) 시스템은, 대상물을 유체(流體)에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하는 제1 부상 반송 장치와, 상기 대상물을 부상시켜 제2 방향으로 반송하는 제2 부상 반송 장치와, 상기 제1 부상 반송 장치와 상기 제2 부상 반송 장치의 사이에 개재된 방향 전환 장치를 포함한다. 상기 방향 전환 장치는, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 반송할 수 있도록 구성된 제1 반송 장치와, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제2 방향으로 반송할 수 있도록 구성된 제2 반송 장치와, 상기 제1 반송 장치를 따라 배치되고, 상기 대상물에 부력을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제1 반송 장치 상에서의 부상 높이를 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제1 부상 장치와, 상기 제2 반송 장치를 따라 배치되고, 상기 대상물에 부력을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제2 반송 장치 상에서의 부상 높이를, 제1 부상 장치와는 독립적으로, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제2 부상 장치를 포함한다 .

Description

방향 전환 장치 및 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송 시스템{DIRECTION CHANGE DEVICE AND LEVITATION TRANSPORTATION SYSTEM INCLUDING DIRECTION CHANGE DEVICE}
본 발명은, 압축 공기 등의 유체(流體)를 사용하여 대상물을 부상(浮上)시키면서 방향을 전환하기 위한 방향 전환 장치 및 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송(搬送) 시스템에 관한 것이다.
유리 기판과 같은 얇은 소재(素材)를 반송하기 위한 목적으로, 몇 가지 부상 반송 장치가 제안되어 있다. 이들 부상 반송 장치는, 전형적으로는, 공기 등의 유체를 통과시킬 수 있는 노즐을 구비한 부상 장치를 구비한다. 부상 장치와 대상물과의 사이에 분출된 공기 등의 유체가 압력을 발생시키고, 대상물은 그 압력에 의해 부상하고, 반송 장치에 의한 구동력을 받아 반송된다.
상기한 부상 반송 장치는, 통상, 직선적으로 동일한 방향으로 대상물을 반송하는 경우에 적합하고, 방향 전환이 필요한 경우에는 방향 전환 장치를 부가하는 것이 필요하다. 일본공개특허 제2005-75496호는, 공기 이송 방향을 조정하기 위한 루버(louver)를 설치하여 유닛으로 하고, 공기 이송 방향이 상이한 복수 개의 유닛을 조합하여 배치함으로써 방향 전환을 실현하는 장치를 개시하고 있다.
전술한 바와 같은 방향 전환 장치에서는, 이송된 공기에 의해서만 대상물의 방향을 전환하고 있으므로, 그 위치나 방향을 정밀도 양호하게 제어하는 것이 곤란하다. 본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 정밀도 양호하게 대상물의 위치 및 방향을 제어하여 방향을 전환시킬 수 있는 방향 전환 장치 및 그와 같은 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 방향 전환 장치는 대상물을 유체에 의해 부상시켜 방향을 전환한다. 상기 방향 전환 장치는, 상기 대상물에 접촉하여 제1 방향으로 반송할 수 있도록 구성된 제1 반송 장치와; 상기 대상물에 접촉하여 제2 방향으로 반송할 수 있도록 구성된 제2 반송 장치와; 상기 제1 반송 장치를 따라 배치되고 상기 대상물에 부력(浮力)을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제1 반송 장치 상에서의 부상 높이를, 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제1 부상 장치와; 상기 제2 반송 장치를 따라 배치되고 상기 대상물에 부력을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제2 반송 장치 상에서의 부상 높이를, 제1 부상 장치와는 독립적으로, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제2 부상 장치를 포함한다.
바람직하게는, 상기 방향 전환 장치는, 상기 제1 부상 장치를 제어 가능하게 승강시킬 수 있도록 구성된 제1 승강 장치와, 상기 제2 부상 장치를 제어 가능하게 승강시킬 수 있도록 구성된 제2 승강 장치를 더 포함한다. 보다 바람직하게는, 상기 제1 반송 장치와 상기 제2 반송 장치는, 각각, 초음파 모터, 반송 롤러, 클램퍼 및 벨트 컨베이어로 이루어지는 군으로부터 선택된 어느 하나를 포함한다.
본 발명의 제2 태양에 의하면, 부상 반송 시스템은, 상기 대상물을 부상시켜 상기 제1 방향으로 반송하는 제1 부상 반송 장치와, 상기 대상물을 부상시켜 상기 제2 방향으로 반송하는 제2 부상 반송 장치와, 상기 제1 부상 반송 장치와 상기 제2 부상 반송 장치의 사이에 설치된 상기 방향 전환 장치를 포함한다.
본 발명에 의하면, 정밀도 양호하게 대상물의 위치 및 방향을 제어하여 방향을 전환할 수 있는 방향 전환 장치 및 그와 같은 방향 전환 장치를 포함하는 부상 반송 시스템이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 부상 반송 시스템의 평면도이다.
도 2는 상기 부상 반송 시스템에 있어서의 방향 전환 장치의 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선으로부터 본 측면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선으로부터 본 측면도이다.
도 5는 상기 부상 반송 시스템에 있어서의 제1 부상 반송 장치의 평면도이다.
도 6은 상기 부상 반송 시스템에 있어서의 제2 부상 반송 장치의 평면도이다.
본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 이하에 설명한다. 본 명세서, 청구의 범위 및 도면에 있어서, 전방, 후방, 좌측 및 우측은, 도면 중에 각각 F, A, L 및 R로 기록된 방향으로 정의한다. 이러한 정의는 설명의 편의를 위한 것이며, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않는다.
또한, 이하의 설명에서는, 액정 표시 장치의 제조에 사용되는 유리 기판과 같은 얇은 평면형의 대상물의 반송을 예로 들어 설명하지만, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않는다. 대상물은, 반드시 전체적으로 평면형일 필요는 없고, 그 하면의 적어도 일부가 평면형이면 된다. 대상물을 부상시키기 위해, 예를 들면, 공기와 같은 유체가 이용된다.
도 1을 참조하여 설명하면, 부상 반송 시스템(1)은, 대상물 W를 유체에 의해 부상시켜 제1 방향 D1(도면 중에 있어서는 세로)으로 반송하는 제1 부상 반송 장치(3)와, 대상물 W를 부상시켜 제2 방향 D2(도면 중에 있어서는 가로)로 반송하는 제2 부상 반송 장치(5)와, 제1 부상 반송 장치(3)와 제2 부상 반송 장치(5)와의 사이에 설치된 방향 전환 장치(7)를 포함한다. 방향 전환 장치(7)는, 대상물 W를 부상시켜 제1 방향 D1으로부터 제2 방향 D2로 방향 전환시킨다. 도면 중에는 제1 방향 D1과 제2 방향 D2는 직교하고 있지만, 직교하고 있지 않아도 된다.
도 5를 도 1과 조합하여 설명하면, 제1 부상 반송 장치(3)는, 제1 방향 D1을 따라 연장된 기대(基臺)(9)와, 기대(9) 상의 좌측단 및 우측단 부근에 제1 방향 D1으로 각각 열을 이룬 반송 장치인 제1 반송 롤러(11)와, 기대(9) 상에 제1 방향 D1 및 그와 직교하는 방향의 양쪽으로 열을 이룬 복수 개의 부상 장치(15)를 포함하고 있다.
각 롤러(11)는, 각각 회전축, 웜 휠(worm wheel) 및 웜 등의 적당한 전달 수단(자세한 것은 도시하지 않음)에 의해 모터(13A, 13B)와 연결되어 있다. 이에 의해, 각 롤러(11)는, 모터(13A, 13B)의 구동력을 받아, 같은 회전 속도로 회전하도록 되어 있다. 각 롤러(11)의 상단은, 부상 장치(15)의 상면보다 약간 위쪽으로 돌출되어, 단일의 면 상에 정렬되도록 배치되어 있다. 대상물 W는, 부상한 상태에 있어서도, 구동력을 받도록 롤러(11)에 접촉할 수 있다.
모터(13A, 13B)는 한쌍일 필요는 없고, 좌우의 롤러는 체인 등의 적당한 결합 수단을 통하여 단일의 모터와 연결되어도 된다. 또한, 반송 롤러 대신에, 접촉에 의해 대상을 반송할 수 있는 다른 적당한 장치, 예를 들면, 초음파 모터 등의 반송 장치를 이용해도 된다. 또는, 반송 롤러 대신에, 대상물을 파지하여 구동할 수 있는 클램퍼나 벨트 컨베이어 등의 반송 수단을 이용해도 된다.
부상 장치(15)는, 기대(9) 상에 고정되어 있고, 각각 직사각형의 환형 분출공(17)을 구비하고 있다. 분출공(17)은 도시하지 않은 압축 공기 공급 장치에 접속되어 있고, 그 공급을 받아 압축 공기를 분출한다. 분출된 압축 공기는, 대상물 W의 하면과 부상 장치(15)의 상면과의 사이에 균일한 압력이 생기는 공간을 형성하게 하고, 이로써, 대상물 W는 부력을 얻어 부상한다. 또는, 압축 공기에 의한 부상 장치(15) 대신에, 초음파 부상 장치나 정전(靜電) 부상 장치 등을 적용해도 된다.
도 6을 도 1과 조합하여 설명하면, 제2 부상 반송 장치(5)는, 방향의 상위(相違)를 제외하고는 제1 부상 반송 장치(3)와 같은 구조를 가진다. 즉, 제2 부상 반송 장치(5)는, 제2 방향 D2를 따라 연장된 기대(19)와, 기대(19) 상의 좌측단 및 우측단 부근에 제2 방향 D2로 각각 열을 이룬 반송 장치인 제2 반송 롤러(21)와, 기대(19) 상에 제2 방향 D2 및 그와 직교하는 방향의 양쪽으로 열을 이룬 복수 개의 부상 장치(25)를 포함하고 있다.
각 롤러(21)는, 각각 회전축, 웜 및 웜 휠의 조합과 같은, 적당한 전달 수단(자세한 것은 도시하지 않음)에 의해, 모터(23A, 23B)와 연결되어 있다. 각 롤러(21)의 상단은, 부상 장치(25)의 상면보다 약간 위쪽으로 돌출되어, 단일의 면 상에 정렬되도록 배치되어 있다. 모터(23A, 23B)는 한쌍일 필요는 없고, 롤러는 단일의 모터와 연결되어 있어도 된다. 롤러 대신에, 접촉에 의해 대상을 반송할 수 있는 장치, 예를 들면, 초음파 모터 등의 반송 장치를 이용해도 된다. 또는, 롤러 대신에, 대상물을 파지하여 구동할 수 있는 클램퍼나 벨트 컨베이어 등의 반송 수단을 이용해도 된다.
부상 장치(25)는, 기대(19) 상에 고정되어 있고, 각각 직사각형의 환형 분출공(27)을 구비하고 있다. 분출공(27)은 도시하지 않은 압축 공기 공급 장치에 접속되어 있고, 그 공급을 받아 압축 공기를 분출한다. 분출된 압축 공기는, 대상물 W의 하면과 부상 장치(25)의 상면과의 사이에 균일한 압력이 생기는 공간을 형성하게 하고, 이로써, 대상물 W는 부력을 얻어 부상한다. 전술한 바와 마찬가지로, 압축 공기에 의한 것 대신에, 초음파나 정전기에 의한 부상 장치를 적용해도 된다.
분출공(17, 27)은, 바람직하게는 부상 장치(15, 25)의 상면 근방에서는 직사각형의 내측을 향해 경사져 있다. 환형으로서 내측으로 경사진 분출공(17, 27)은, 압축 공기의 유량 제어를 통하여, 대상물 W의 부상 높이의 제어성을 제공한다. 경사가 클수록 그 경향은 현저하지만, 너무 크면 부상 장치(15, 25)의 제작이 곤란해지므로, 경사는 예를 들면 45°가 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다.
분출공(17, 27)은, 직사각형의 환형에 한정되지 않고, 타원형의 환형이나, 환의 일부가 폐색(閉塞)된 형상이나, 직사각형의 환형으로 배열된 복수 개의 관통공 등, 다른 각종의 형상이어도 된다. 바람직하게는, 복수 개의 부상 장치(15, 25)는, 각각 그 상면끼리가 단일의 평면을 이루도록 정렬하였다. 이것은, 대상물 W의 부상 높이를 안정화시키는 데 유리하다.
도 2를 도 1과 조합하여 참조하면, 방향 전환 장치(7)는, 기대(29)와, 기대(29) 상의 주위 에지 근방에, 반송 장치인 수취 롤러(31) 및 송출 롤러(35)를 구비한다. 수취 롤러(31)는 제1 방향 D1으로 열을 이루고 있고, 송출 롤러(35)는 제2 방향 D2로 열을 이루고 있다. 수취 롤러(31)는, 적당한 전달 수단(자세한 것은 도시하지 않음)에 의해 모터(33A, 33B)와 연결되어 있고, 제1 부상 반송 장치(3)로부터 반송되어 온 대상물 W에 접촉하면, 대상물 W를 제1 방향 D1으로 방향 전환 장치(7)의 대략 중앙까지 반송한다. 송출 롤러(35)는, 적당한 전달 수단(자세한 것은 도시하지 않음)에 의해 모터(37A, 37B)와 연결되어 있고, 방향 전환 장치(7)의 대략 중앙으로 반송된 대상물 W와 접촉하면, 제2 방향 D2로, 제2 부상 반송 장치(5)로 송출한다. 그리고, 롤러 대신에, 접촉에 의해 대상물을 반송할 수 있는 장치, 예를 들면, 초음파 모터 등의 반송 장치를 이용해도 된다. 또는, 롤러 대신에, 대상물을 파지하여 구동할 수 있는 클램퍼나 벨트 컨베이어 등의 반송 수단을 이용해도 된다.
기대(29) 상에 있어서 그 전단에는, 대상물 W의 오버런(overrun)을 방지하기 위한 스토퍼(39)가 위쪽으로 돌출되어 있다.
기대(29) 상에 있어서, 롤러(31, 35)로 에워싸인 영역에는, 부상 장치(41)가 배열되어 있다. 부상 장치(41)는, 직사각형의 환형 분출공(43)을 구비하고 있다. 분출공(43)은 도시하지 않은 압축 공기 공급 장치에 접속되어 있고, 그 공급을 받아 압축 공기를 분출한다. 분출된 압축 공기는, 대상물 W의 하면과 부상 장치(41)의 상면과의 사이에 균일한 압력을 생기는 공간이 형성되게 하고, 이로써, 대상물 W는 부력을 얻어 부상한다. 전술한 바와 마찬가지로, 압축 공기에 의한 것 대신에, 초음파나 정전기에 의한 부상 장치를 적용해도 된다.
이러한 부상 장치(41) 중, 좌우의 단에 각각 배열된 부상 장치(41T)는, 각각 수취 롤러(31)를 따라 그 근방에 배치되어 있다. 도 3을 참조하면, 부상 장치(41T)는 기대(29)에 고정되어 있지 않고, 그 승강을 허용하는 가이드(45)에 의해 지지되어 있다. 압축 공기에 의한 공기압에 의해 제어 가능하게 구동되는 제1 실린더(47)가 더 구비되어 있고, 부상 장치(41T)는 제1 실린더(47)의 구동을 받아, 도면 중 2점 쇄선으로 나타낸 상승한 위치와, 도면 중 실선으로 나타낸 하강한 위치와의 사이에서 승강한다. 부상 장치(41T)는 수취 롤러(31)의 근방에 있으므로, 부상 장치(41T)의 승강에 따라서 대상물 W도 수취 롤러(31) 상에 있어서 승강한다. 부상 장치(41T)가 상승한 위치에 있을 때는, 대상물 W는 보다 높은 부상 높이로 되므로, 수취 롤러(31)는 대상물 W에 접촉하는 것이 방지된다. 이 때, 대상물 W는 수취 롤러(31)로부터 구동력을 받지 않는다. 한편, 부상 장치(41T)가 하강한 위치에 있을 때는, 대상물 W는 보다 낮은 부상 높이로 되므로, 수취 롤러(31)는 대상물 W에 접촉하는 것이 허용된다. 이 때, 대상물 W는 수취 롤러(31)에 구동될 수 있다.
마찬가지로, 전후의 단에 각각 배열된 부상 장치(41G)는, 각각 송출 롤러(35)를 따라 그 근방에 배치되어 있다. 도 4를 참조하면, 부상 장치(41G)도 가이드(45)에 승강 가능하게 지지되어 있고, 제2 실린더(49)의 구동을 받아, 도면 중 2점 쇄선으로 나타낸 상승한 위치와, 도면 중 실선으로 나타낸 하강한 위치와의 사이에서 승강한다. 부상 장치(41G)의 승강에 의해, 대상물 W도 송출 롤러(35) 상에 있어서 승강하고, 송출 롤러(35)가 대상물 W에 접촉하는 것이 방지 및 허용된다.
부상 장치(41G)에 의한 대상물 W의 부상 높이의 제어는, 부상 장치(41T)에 의한 부상 높이의 제어와는 독립적으로 행해진다. 각각의 부상 높이의 제어는, 부상 장치(41T, 41G)의 승강에 의한 것 대신에, 분출공(43)으로부터 분출되는 압축 공기의 유량의 제어에 의해서도 가능하다. 또한, 부상 장치(41T, 41G)의 승강은, 압축 공기에 의한 실린더 대신에, 유압 실린더나 전동 모터 등의 다른 적당한 승강 장치에 의해서도 가능하다.
그리고, 반송 장치가 대상물 W와 접촉하는지 여부의 구별은, 접촉과 이격과의 상위 정도로 임계적인 상위일 필요는 없다. 예를 들면, 외관상, 접촉되고 있는 것을 확인할 수 있어도, 그 접촉 압력이 충분히 작으면, 반송 장치는 공회전하는 상태로 되어, 대상물 W에 구동력을 부여할 수 없다. 반대로, 외관상은 거의 접촉하고 있지 않은 것 같아도, 대상물의 자중(自重)에 의해 접촉 압력이 충분히 확보되어 있으면, 반송 장치는 대상물 W에 구동력을 부여한다. 그래서, 본 명세서 및 청구의 범위에 있어서, 「구동 가능하게 접촉하는」을, 「구동력을 부여하는데 충분한 접촉을 하고 있는」의 의미로 특별히 정의하여 사용한다. 즉, 대상물이 보다 높은 부상 높이의 상태에 있어서도, 반송 장치는 대상물 W에, 구동 가능하지 않은, 가벼운 접촉을 유지할 수 있다.
부상 장치(41T, 41G)를 제외하고 다른 부상 장치(41)는, 부상 장치(41T, 41G)에 에워싸인 영역에 배치되어 있다. 이들 부상 장치(41)는, 전술한 부상 장치(15, 25)와 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 부상 장치(41T, 41G)가 상승한 위치에 있어서, 모든 부상 장치(41)의 상면은 단일의 평면 상에 정렬되는 것이 바람직하다. 또한, 이러한 평면은, 다른 부상 반송 장치(3, 5)의 부상 장치(15, 25)의 상면과 단일의 평면형으로 정렬되는 것이 바람직하다.
부상 반송 시스템(1)에 의한 대상물 W의 반송 및 방향 전환은, 다음과 같이 행해진다. 최초의 상태에 있어서, 부상 장치(41T, 41G)는 하강한 상태이다. 제2 실린더(49)를 구동함으로써, 부상 장치(41G)를 상승하게 하여, 양쪽의 송출 롤러(35)가 대상물 W에 구동 가능하게 접촉되는 것을 방지한다. 이와 전후하여, 압축 공기 공급 장치를 구동시켜 모든 부상 장치(15, 25, 41)의 분출공(17, 27, 43)으로부터 압축 공기를 분출할 수 있도록 하여, 대상물 W에 부력을 줄 수 있는 상태로 한다. 이어서, 모터(13A, 13B, 37A, 37B)를 구동하여 롤러(11) 및 수취 롤러(31)를 동기하여 회전시키면, 대상물 W는 부상 반송 장치(3) 상에서 제1 방향 D1으로 반송되어, 방향 전환 장치(7) 상에 달한다.
이 때, 부상 장치(41G)는 상승한 위치이므로, 송출 롤러(35)가 대상물 W에 구동 가능하게 접촉하지 않고, 대상물 W는 충분한 부상 높이를 가지고 송출 롤러(35)를 타고넘는다. 한편, 부상 장치(41T)는 하강한 위치이므로, 수취 롤러(31)는 대상물 W에 구동 가능하게 접촉되어 있고, 대상물 W는 미끄러짐없이 그 움직임이 제어되고 있다.
대상물 W가 도 1 및 도 2에 2점 쇄선으로 나타낸 위치에 달하면, 모터(33A, 33B)를 정지하여 수취 롤러(31)의 회전을 정지시킨다. 미끄러짐없이 제어되고 있으므로, 대상물 W는 2점 쇄선으로 나타낸 정규의 위치에 정지한다. 또는, 스토퍼(39)에 의해서도 오버런이 방지된다.
제2 실린더(49)를 구동시킴으로써, 부상 장치(41G)를 하강하게 하여, 양쪽의 송출 롤러(35)가 대상물 W에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용한다. 동시에, 제1 실린더(47)를 구동시킴으로써, 부상 장치(41T)를 상승하게 하여, 양쪽의 수취 롤러(31)가 대상물 W에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지한다. 이어서, 모터(23A, 23B, 33A, 33B)를 구동시켜 롤러(21) 및 송출 롤러(35)를 동기하여 회전시키면, 대상물 W는 방향 전환 장치(7) 상에서 제2 방향 D2로 반송되어, 부상 반송 장치(5) 상으로 송출된다.
이 때, 부상 장치(41T)는 상승한 위치이므로, 수취 롤러(31)가 대상물 W에 구동 가능하게 접촉하지 않고, 대상물 W는 충분한 부상 높이를 가지고 수취 롤러(31)를 타고넘는다. 한편, 부상 장치(41G)는 하강한 위치이므로, 송출 롤러(35)는 대상물 W에 구동 가능하게 접촉되어 있고, 대상물 W는 미끄러짐없이 그 움직임이 제어되고 있다.
대상물 W는, 계속 롤러(21)의 구동력을 받아, 부상 반송 장치(5) 상에서 제2 방향 D2로 반송된다.
부상 반송 시스템(1)은, 전술한 바와 같은 동작에 기초하여, 정밀도 양호하게 대상물 W의 위치 및 방향을 제어하여 방향을 전환하면서, 대상물 W를 반송할 수 있다. 대상물 W의 위치 및 방향은 필연적으로 정밀도 양호하게 제어되므로, 이들을 수정하는 기구를 필요로 하지 않고, 부상 반송 시스템(1)은 간편한 구조를 가진다. 또한, 위치 및 방향의 정밀도가 확보되므로, 대상물 W의 반송 속도를 보다 빨리할 수 있다.
전술한 설명에서는 직각으로 방향을 전환하는 것을 예시했지만, 각 요소의 배치를 적당히 변경함으로써, 직각 이외의 방향 전환도 가능하다. 대상물 W의 위치 및 높이를 검출하는 센서를 적당한 위치에 배치하고, 피드백 제어를 행함으로써, 전술한 동작을 자동화할 수도 있다.
본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 본 기술 분야의 통상의 기술을 가진 자가, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다.

Claims (5)

  1. 대상물을 유체(流體)에 의해 부상(浮上)시켜 방향을 전환하기 위한 방향 전환 장치로서,
    상기 대상물에 접촉하여 제1 방향으로 반송(搬送)하도록 구성된 제1 반송 장치;
    상기 대상물에 접촉하여 제2 방향으로 반송하도록 구성된 제2 반송 장치;
    상기 제1 반송 장치 및 상기 제2 반송장치에 에워싸이고, 기대에 고정되어, 상기 대상물에 부력(浮力)을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비한 부상 장치;
    상기 부상 장치의 상기 제2 방향에 대하여 양단(兩端)에 상기 제1 반송 장치를 따라 배치되고, 상기 대상물에 부력을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제1 반송 장치 상에서의 부상 높이를, 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제1 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제1 부상 장치; 및
    상기 부상 장치의 상기 제1 방향에 대하여 양단에 상기 제2 반송 장치를 따라 배치되고, 상기 대상물에 부력을 부여하도록 상기 유체를 분출하기 위한 분출공을 구비하고, 상기 대상물의 상기 제2 반송 장치 상에서의 부상 높이를, 상기 제1 부상 장치와는 독립적으로, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 방지하는 제1 높이와, 상기 제2 반송 장치가 상기 대상물에 구동 가능하게 접촉하는 것을 허용하는 제2 높이와의 사이로 제어하는 제2 부상 장치
    를 포함하는, 방향 전환 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 부상 장치를 제어 가능하게 승강시키도록 구성된 제1 승강 장치 및 상기 제2 부상 장치를 제어 가능하게 승강시키도록 구성된 제2 승강 장치
    를 더 포함하는, 방향 전환 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 반송 장치와 상기 제2 반송 장치는, 각각, 초음파 모터, 롤러, 클램퍼 및 벨트 컨베이어로 이루어지는 군으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는, 방향 전환 장치.
  4. 대상물을 부상시켜 제1 방향으로 반송하는 제1 부상 반송 장치;
    상기 대상물을 부상시켜 제2 방향으로 반송하는 제2 부상 반송 장치; 및
    상기 제1 부상 반송 장치와 상기 제2 부상 반송 장치의 사이에 설치된 제1항에 기재된 방향 전환 장치
    를 포함하는, 부상 반송 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유체는 압축 공기이고, 상기 제1 부상 장치 및 상기 제2 부상 장치는 상기 압축 공기에 의해 승강하는, 방향 전환 장치.
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