JP4631433B2 - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Description
本発明の基板搬送装置は、第1装置と第2装置との間で基板を搬送する装置であって、前記第1装置と前記第2装置との間の中間位置に配されるコンベアと、前記中間位置と前記第2装置との間で前記基板の移送を行うアーム機構とを備え、前記アーム機構は、前記基板を支持する棒状部材と、前記棒状部材の一端が固定された基部と、前記基部に設けられ前記コンベアによる前記基板の搬送を補助する搬送補助部とを有することを特徴とする。
またこの基板搬送装置では、第1装置と中間位置との間の基板搬送時において、アーム機構の一部(搬送補助部)をコンベアの搬送補助として利用することで、基板が確実に支持されかつ基板とアーム機構との干渉が回避される。
この場合、例えば、前記搬送補助部は、前記基部の上部に突出して配設された回転自在なローラを含む構成とすることができる。
この構成によれば、アーム機構の基部に設けられたローラに支持されることで、第1装置と中間位置との間で基板の搬送が良好に行われる。
空気による浮上搬送は、安価な空気を利用できるとともに、基板に傷や汚れをつけるおそれが少ないという利点を有する。
またこの基板搬送方法では、第1装置と中間位置との間の基板搬送時において、アーム機構の一部を利用してコンベアの搬送を補助することから、基板が確実に支持される。
この場合、前記搬送補助部は、前記基部の上部に突出して配設された回転自在なローラを含む構成とすることができる。
これによれば、アーム機構の基部に設けられたローラに支持されることで、第1装置と中間位置との間で基板の搬送が良好に行われる。
空気による浮上搬送は、安価な空気を利用できるとともに、基板に傷や汚れをつけるおそれが少ないという利点を有する。
図1、図2、及び図3は、本実施形態の基板搬送装置1の構成を示す斜視図である。
図1〜図3に示すように、本実施形態の基板搬送装置1は、基板移送用のアーム機構20と、基板搬送用のコンベア40とを主体に構成されている。
この製造ライン100は、上記基板搬送装置1と、収容容器または処理装置からなる4つの装置(第1装置101、第2装置102、第3装置103、第4装置104)と、上記基板搬送装置1を水平移動させる移動装置110とを備えて構成されている。
本例では、コンベア40を介して第1装置101から中間位置M1に基板Pを搬送することから、アーム機構20を用いた基板Pの移送は、中間位置M1と第2装置102との間でのみ行えばよい。その結果、基板搬送装置1では、アーム機構20の旋回動作が省略され、また、アーム機構20の昇降動作も比較的少なくて済み、装置の大型化が抑制されるとともに搬送動作の簡素化が図られる。
本例では、第2装置102が基板搬送用のローラ(搬送ローラ152)を備えており、中間位置M1と第2装置102との間でローラ搬送により基板の受け渡しを行う。
以上の工程により、基板搬送装置1を介して第1装置101から第2装置102に基板Pが搬送される。
すなわち、この場合、図12の状態から上段アーム21及び下段アーム22を上昇させて搬送ローラ41から上段アーム21に基板P1を受け渡し(図14)、その後に、第1装置101の搬送ローラ151及び基板搬送装置1の搬送ローラ41を駆動し、第1装置101から中間位置M1に次の基板P2を搬送し(図15)、さらに第2装置102の搬送ローラ152を駆動してその基板P2を中間位置M1から第2装置102に搬送する(図16)。
例えば、上記例では、アーム機構20において、上段アーム21の基部30に搬送補助部としてのローラ35を配設しているが、搬送補助部の形態はこれに限らず、ガス圧により基板を浮上支持する形態(空気による浮上搬送)など、他の形態でもよい。
同様に、コンベア40の搬送形態もローラ搬送に限らず、ガス圧により基板を浮上支持する形態(空気による浮上搬送)など、他の形態でもよい。
また、上段アーム21のみならず、下段アーム22の基部に搬送補助部(ローラ)を設けてもよい。
Claims (6)
- 第1装置と第2装置との間で基板を搬送する装置であって、
前記第1装置と前記第2装置との間の中間位置に配されるコンベアと、
前記中間位置と前記第2装置との間で前記基板の移送を行うアーム機構とを備え、
前記アーム機構は、前記基板を支持する棒状部材と、前記棒状部材の一端が固定された基部と、前記基部に設けられ前記コンベアによる前記基板の搬送を補助する搬送補助部とを有し、
前記搬送補助部は、前記棒状部材の上面並びに前記基部の上面よりも高い位置で前記基板を移動自在に支持し、
前記搬送補助部は、前記基部の上部に突出して配設された回転自在なローラを含むことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記棒状部材は、前記コンベアの搬送方向に沿って、かつこのコンベアと交互に並べて配置され、前記コンベアは上下動可能に設けられたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記コンベア及び前記搬送補助部の少なくとも一方は、空気浮上により前記基板の搬送を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置。
- 第1装置と第2装置との間で基板を搬送する方法であって、
前記第1装置と前記第2装置との間の中間位置に配されるコンベアを介して、前記第1装置と前記中間位置との間で前記基板を搬送する第1工程と、
アーム機構を介して前記中間位置と前記第2装置との間で前記基板の移送を行う第2工程とを有し、
前記第1工程では、前記アーム機構の一部を利用して前記コンベアによる前記基板の搬送を補助し、
前記アーム機構は、前記基板を支持する棒状部材と、前記棒状部材の一端が固定された基部と、前記基部に設けられ前記コンベアによる前記基板の搬送を補助する搬送補助部とを有し、
前記搬送補助部は、前記棒状部材の上面並びに前記基部の上面よりも高い位置で前記基板を移動自在に支持し、
前記搬送補助部は、前記基部の上部に突出して配設された回転自在なローラを含むことを特徴とする基板搬送方法。 - 前記棒状部材は、前記コンベアの搬送方向に沿って、かつこのコンベアと交互に並べて配置され、前記コンベアを上下動させることによって、前記コンベアまたは棒状部材のいずれかに前記基板を支持させることを特徴とする請求項4記載の基板搬送方法。
- 前記コンベア及び前記搬送補助部の少なくとも一方は、空気浮上により前記基板の搬送を行うことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の基板搬送方法。
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