JP5128148B2

JP5128148B2 - 搬送装置

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Publication number: JP5128148B2
Application number: JP2007052307A
Authority: JP
Inventors: 泰人池田; 昌人森
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-03-02
Filing date: 2007-03-02
Publication date: 2013-01-23
Anticipated expiration: 2027-03-02
Also published as: TWI412479B; CN100583391C; JP2008214000A; CN101256943A; TW200836990A

Description

本発明は、例えば電子回路基板や液晶基板等の基板を一方から他方に搬送するための搬送装置に関する。

一般に、液晶基板の製造工程においては、基板に回路や識別記号を形成するために紫外線を曝露する紫外線照射工程等がある。この際、露光工程を行う露光装置や、紫外線照射工程を行う照射装置等の各基板処理装置の間は、ベルトコンベア等の搬送装置によって連結され、基板が水平を保った状態で搬送される。即ち、液晶基板の製造工程は、基板処理装置から搬送装置へ又は搬送装置から基板処理装置へ基板を移載する移載工程や、搬送装置によって基板を搬送する搬送工程を繰り返し行われる。

このような製造工程に用いられる搬送装置として、例えば、特許文献１に係る発明が知られている（従来発明１）。従来発明１は、ローラ軸を複数本併設したローラコンベアであって、ローラ軸に接続された駆動軸を回転させるサーボモータと、サーボモータに内蔵された回転検出器と、ローラ軸の回転を検出する外部検出器を有することを特徴とする。このような構成により、回転検出器のフィードバック信号と共に、外部検出器の検出信号でサーボ制御器に与えられる指令値を補正することにより、ローラ軸の正確な回転と、ローラコンベアで搬送される基板の正確な停止位置とを制御することができる。

また、例えば、各基板処理装置に係る挿入口や排出口の高さが異なる場合には、例えば、特許文献２に係るトランスファロボット（従来発明２）を用いて基板の移載を行っていた。当該トランスファロボットは、ベースに回転可能に設置された第一アームと、第一アームに回転可能に設置された第二アームと、第二アームの先端側に取り付けられ、基板を載置するハンド部と、を有する。第一アーム及び第二アームが上下方向に回転してハンド部を鉛直方向に動かすことができるため、基板の鉛直方向の移動を行うことができる。
特開２００４−１３１２３３号公報（図１）特開２００３−２７５９８０号公報（図１）

しかしながら、従来発明２に係るトランスファロボットによって基板を移載した後に、従来発明１に係るローラコンベアで搬送すると、移載及び搬送の際に基板の姿勢が傾き、そのまま搬送されるという問題があった。即ち、基板を次の工程の基板処理装置へ挿入する際に適正な姿勢で挿入することができないため、位置合せ作業に悪影響を与えたり、作業効率が悪くなったりするという問題があった。
このような観点から本発明は、基板を搬送する搬送工程において、高さの異なる基板処理装置と搬送装置の間の移載を容易に行うことができると共に、基板を次の工程における適切な姿勢で搬送することができる搬送装置を提供することを課題とする。

かかる課題を解決するために、本発明は、複数のローラと、このローラを備え所定の間隔をあけて幅方向に並設された複数本のレール部を有して、矩形の基板を水平面上において前記レール部に対して平行となる方向を搬送方向として搬送するローラコンベア部と、前記ローラコンベア部を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構部と、前記ローラコンベア部の幅方向に対向して配置され、前記ローラコンベア部上において、前記基板の幅方向の端部を複数個所押動することで前記基板の姿勢を規制し、前記基板の幅方向の中心線と前記搬送方向とが平行となるように整合させる一対の整合部と、を備え、前記鉛直移動機構部は、前記ローラコンベア部の前記搬送方向の上流側に配置され、前記ローラコンベア部の前記搬送方向の下流側は、自由端であり、前記整合部は、前記基板の幅方向の端部に当接される複数の整合ローラと、この整合ローラを直線上に備える保持部と、この保持部を水平面内で回転させる回転軸部と、この回転軸部を回転駆動させる駆動手段と、前記回転軸部と前記駆動手段の連結を係合状態又は非係合状態にさせる断続部と、前記回転軸部の回転角度を検知する角度検知手段と、この角度検知手段の検知した角度に基づいて前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、前記回転軸部を支持する支持台と、この支持台を前記ローラコンベア部の幅方向において移動させるスライド機構部と、を備え、前記断続部が前記回転軸部と前記駆動手段の連結を非係合状態にし、一対の前記保持部を前記基板に向けて移動させ、前記角度検知手段は複数の前記整合ローラのうち一端側の整合ローラが前記基板に当接してから、前記整合ローラのうち他端側の整合ローラが前記基板に当接するまでの前記回転軸部の検知回転角度θを検知し、次に、前記断続部が前記回転軸部と前記駆動手段の連結を係合状態にし、前記駆動制御手段は、前記基板の幅方向の両端を一対の前記保持部で挟んだ状態で、前記回転軸部の回転角度が−θとなるように前記駆動手段を駆動させることを特徴とする。

かかる構成によれば、鉛直移動機構部により、ローラコンベア部を鉛直方向に移動させ、次工程における各基板処理装置の挿入口や排出口の高さ位置が異なっても、基板を移載する。また、整合部によって、ローラコンベア部上で基板の姿勢を整え、基板を適切な姿勢で基板処理装置に搬送する。また、ローラコンベア部の他端側は、自由端となっているため、ローラコンベア部の他端側の下部及び上部の空間や、隣り合うレール部の間隙を利用して、次工程の基板処理装置の受取りステージ等を挿入し、移載工程を行う。

また、かかる構成によれば、対向する一対の整合部に形成された整合ローラで基板を挟持すると共に、角度検知手段及び駆動手段により、検知した角度に基づいて基板を所望の姿勢（角度）に整合する。これにより、基板を適切な姿勢で各基板処理装置に搬送することができる。

本発明に係る搬送装置によれば、基板を搬送する搬送工程において、高さの異なる基板処理装置と搬送装置の間の移載工程を容易に行うことができると共に、基板を次の工程における適切な姿勢で搬送することができる。

本発明に係る搬送装置の最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る搬送装置を示した斜視図である。図２は、本実施形態に係る搬送装置を示した側面図である。図３は、本実施形態に係る搬送装置を示した平面図である。図４は、本実施形態に係るローラコンベア部を示した拡大斜視図である。図５は、本実施形態に係る搬送装置の正面図である。図６は、本実施形態に係る整合部を示した拡大斜視図である。図７は、本実施形態に係る制御装置を示したブロック図である。
なお、説明における上下左右前後は、図１の矢印に従う。

本実施形態に係る搬送装置１は、図１に示すように、搬送装置１の下部に配設された脚部２と、脚部２の上方に配設されたローラコンベア部１０と、脚部２とローラコンベア部１０との間に介設された鉛直移動機構部３と、基板Ｎの傾きを整合する一対の整合部３０と、ローラコンベア部１０及び整合部３０の作動を制御する制御装置５０（図２参照）と、を有する。

本実施形態に係る搬送装置１は、図１の前側から後側に向けて基板Ｎを搬送する装置である。以下図２の外部コンベアＧ側を上流、紫外線処理装置Ｅ側を下流として説明する
搬送装置１の搬送方向上流側には、例えば、露光装置（図示省略）が並設されており、搬送方向下流側には、例えば、紫外線照射装置Ｅが並設されている。即ち、図１の搬送方向上流側に示す外部コンベアＧは、公知のコンベアであって、露光装置から排出された基板Ｎを水平に保持した状態で、搬送装置１に向かって搬送する装置である。一方、図１の搬送方向下流側に示す導入部Ｋは、基板Ｎを紫外線照射装置Ｅへ移載する装置である。また、紫外線照射装置Ｅの基板Ｎを挿入する挿入口（図示省略）の高さ位置は、外部コンベアＧの上面の高さ位置よりも高く設置されているものとする。
即ち、搬送装置１は、露光装置から外部コンベアＧを介して搬送された基板Ｎを低い位置から受け取り、高さ調節を行うと共に、基板Ｎの位置及び傾きの整合を行ったうえで、紫外線照射装置Ｅに向けて基板Ｎを搬送する装置である。なお、基板Ｎは、例えば、平面視長方形を呈するものとする。

＜脚部２＞
脚部２は、図１及び図２に示すように、搬送装置１の設置面に載置され搬送装置１の土台となる部分である。脚部２は、本実施形態においては、上部板及び下部板の間に角材を介設して外観視略直方体を呈するように形成されている。上部板の上面には、鉛直移動機構部３が設置されており、脚部２の内部には、制御装置５０が設置されている。

脚部２は、図２に示すように、ローラコンベア部１０の中央部よりも、搬送方向上流側を片持支持するように形成されている。即ち、ローラコンベア部１０の搬送方向下流側は、自由端となるように形成されている。

＜鉛直移動機構部３＞
鉛直移動機構部３は、ローラコンベア部１０の上面を水平に保った状態で、ローラコンベア部１０の鉛直方向に移動させる駆動装置である。鉛直移動機構部３は、図１及び図２に示すように、脚部２の上部板の４隅において、脚部２とローラコンベア部１０の間に介設されている。鉛直移動機構部３は、制御装置５０と電気的に接続されており、制御装置５０から送信される信号に基づいて上下に移動するように形成されている。
鉛直移動機構部３は、本実施形態においては、公知の油圧シリンダを用いている。鉛直移動機構部３は、最も下降させた場合に、外部コンベアＧの上面と、ローラコンベア部１０の上面とが略同等の高さ位置となるように形成されている。また、鉛直移動機構部３は、最も上昇させた場合に、ローラコンベア部１０の上面と、紫外線照射装置Ｅの挿入口とが略同等もしくは鉛直移動機構部３の上面が高い位置となるように形成されている。鉛直移動機構部３は、油圧シリンダに限らず、エアシリンダ等他の移動機構であってもよい。

＜ローラコンベア部１０＞
ローラコンベア部１０は、上面に基板Ｎを載置して、基板Ｎを水平に保った状態で搬送する部分である。ローラコンベア部１０は、図１に示すように、平板部１１と、搬送方向に延設されたレール部１２と、ローラコンベア部１０の側部に設置された第一センサ１４、第二センサ１５及び第三センサ１６を有する。

平板部１１の下面は、鉛直移動機構部３に当接されており、鉛直移動機構部３の作動を受けて、ローラコンベア部１０が水平を保持した状態で上下に移動するように形成されている。平板部１１は、図２に示すように、搬送装置１の搬送方向上流側にのみ配設されている。平板部１１の上面には、レール部１２が載置されている。

レール部１２は、図３に示すように、搬送装置１の搬送方向に亘って延在し、搬送方向に対して平行となるように、例えば６体並設されている。隣り合うレール部１２，１２の間は、後記する導入部Ｋが挿入される間隙部Ｕ，Ｕ・・・が形成されている。
６体のレール部１２のうち、幅方向における両端は、駆動部１７（図４参照）と接続されている主動レール部１２ａ，１２ａであり、中央側４本のレール部１２は、駆動部１７を有しないガイドレール部１２ｂ，１２ｂ・・・である。主動レール部１２ａ，１２ａ間の幅Ｗ_１は、基板Ｎの幅Ｗ_２よりも小さくなるように形成されている。レール部１２の搬送方向の長さは、後記する整合・位置修整工程と、紫外線照射装置Ｅ側への移載工程とが同時に行えるスペースが確保されていることが好ましい。

ガイドレール部１２ｂは、図４に示すように、平板部１１の上面に垂設された板材１９と、板材１９に貫通されたローラ軸２０と、ローラ軸２０の一端側に取り付けられたローラ２１とを有する。
ローラ軸２０は、板材１９に穿設された孔を貫通して形成されており、一端側にローラ２１が取り付けられている。ローラ２１は、例えば樹脂製の円板であって、ローラ軸２０を中心に回転可能に形成されている。

また、主動レール部１２ａは、図４に示すように、ガイドレール部１２ｂの構成に加えて駆動部１７及びベルト２２，２３を備えており、駆動部１７の駆動に伴ってローラ２１が回転駆動するように形成されている。即ち、駆動部１７の駆動軸１７ａに形成されたプーリ１７ｂと、ローラ軸２０に形成されたプーリ２０ａとはベルト２２を介して連結されている。また、駆動軸１７ａと、主動レール１２ａにおいて最も搬送方向下流側に配置されたローラ軸（図示省略）とが、ベルト２３によって環状に架け渡されている。さらに、ベルト２３の内側に、複数のローラ軸２０がそれぞれ接触されている。これにより、駆動部１７の回転駆動がローラ２１に伝達される。

なお、主動レール部１２ａ及びガイドレール部１２ｂの構造は、上記した形態に限定されるものではない。主動レール部１２ａは、ローラ２１が回転駆動するように適宜形成すればよく、例えば、ベルト２２，２３に変えて磁気で駆動するように形成してもよく、ローラ２１に駆動部１７を直列に構成してもよい。また、主動レール部１２ａは、本実施形態においては、ローラコンベア部１０の幅方向の両端に設置したが中央部側にも設置してもよい。なお、レール部１２は、本実施形態においては、６体用いたが本数を限定するものではない。

図7に示すように、駆動部１７は、制御装置５０と接続されており、第一センサ１４、第二センサ１５及び第三センサ１６から制御装置５０に送信される信号に基づいて停止、作動するように形成されている。また、駆動部１７は、鉛直移動機構部３が上昇し、最上位に位置したときに、制御装置５０から信号が送信されて作動するように形成されている。また、駆動部１７は、後記する離間工程が終了し整合部３０が最大離隔位置に到達した後に、制御装置５０から信号が送信されて作動するように形成されている。

第一センサ１４は、外部コンベアＧからローラコンベア部１０に移載された基板Ｎを検知して、鉛直移動機構部３を作動させるためのセンサである。第一センサ１４は、図２に示すように、平板部１１の搬送方向上流側に設置されている。第一センサ１４は、基板Ｎが搬送装置１の搬送方向上流側に載置されたことを検知すると、制御装置５０に信号を送信するように形成されている。第一センサ１４は、本実施形態においては、公知の赤外線センサを用いる。

第二センサ１５は、ローラコンベア部１０に搬送された基板Ｎを検知して、ローラコンベア部１０の駆動部１７を停止させるためのセンサである。第二センサ１５は、図２に示すように、ローラコンベア部１０の側部において、第二整合部３０ｂの搬送方向下流側に設置されている。第二センサ１５は、基板Ｎの先端を検知すると、制御装置５０に信号を送信するように形成されている。第二センサ１５は、本実施形態においては、例えば公知の赤外線センサを用いる。
第二センサ１５の設置位置は、図３に示すように、基板Ｎの搬送方向の長さＬによって適宜変更するのが好ましい。ここで、第二整合部３０ｂ（回転軸部３４）の中心から第二センサ１５（検出位置）までの長さをＲとすると、Ｒ≒１／２Ｌとなる位置に第二センサ１５を設置することが好ましい。

第三センサ１６は、搬送装置１の搬送方向下流側において、ローラコンベア部１０に搬送された基板Ｎを検知して、ローラコンベア部１０の駆動部１７を停止させるためのセンサである。第三センサ１６は、図３に示すように、レール部１２の搬送方向下流側に設置されている。第三センサ１６は、基板Ｎの先端を検知すると、制御装置５０に信号を送信するように形成されている。第三センサ１６は、本実施形態においては、公知の赤外線センサを用いる。
なお、第一センサ１４、第二センサ１５及び第三センサ１６は、赤外線センサに限定されず、他の公知のセンサを用いてもよい。

＜整合部３０＞
整合部３０は、搬送されてくる基板Ｎを適切な姿勢（角度）に整合すると共に、適切な位置に配置させる装置である。整合部３０は、図１及び図２に示すように、ローラコンベア部１０の幅方向において、対向して設置された一対の第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂを有する。整合部３０は、それぞれ制御装置５０に接続されている。第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂの構造は、略同等であるため、第一整合部３０ａを例にして詳細に説明する。

第一整合部３０ａは、図６に示すように、複数の整合ローラ３２ａ〜３２ｈからなる整合ローラ部３２と、整合ローラ部３２が設置された保持部３３と、保持部３３を水平面内に回転可能に支持する回転軸部３４と、回転軸部３４を回転させる駆動手段３５と、回転軸部３４の回転角度を検知する角度検知手段３６と、回転軸部３４と駆動手段３５の連結を係合又は解除させる断続部Ｄと、角度検知手段３６の検知した角度に基づいて駆動手段３５を制御する駆動制御手段３７（図７参照）と、回転軸部３４を支持する支持台３８と、支持台３８をスライドさせるスライド機構部３９と、を有する。

整合ローラ部３２は、図６に示すように、基板Ｎの整合を行う際に、基板Ｎの端部に当接される部分である。整合ローラ部３２は、本実施形態においては、直線状に一定の間隔をあけて配設された例えば８つの整合ローラ３２ａ〜３２ｈからなる。
整合ローラ３２ａ〜３２ｈは、円柱形状を呈し、円筒面が基板Ｎと垂直になるように設置され、円の中心に配設された基軸（図示省略）に対して回転可能に形成されている。整合ローラ３２ａ〜３２ｈは、略同形状からなり、それぞれの円筒面の表面が一直線上になるように設置されている。即ち、整合ローラ部３２は、直線を有する基板Ｎの端面に平行な状態で整合ローラ部３２に接触した場合に、全ての整合ローラ３２ａ〜３２ｈの円筒面が基板Ｎに接触するように形成されている。

整合ローラ部３２のうち、両端に係る第一整合ローラ３２ａ及び第二整合ローラ３２ｈの内部には、それぞれ第一圧力センサ４１、第二圧力センサ４２が設置されている。
第一圧力センサ４１及び第二圧力センサ４２は、図７に示すように、制御装置５０に接続されており、基板Ｎの傾き角度を検知する際に用いられる。即ち、第一圧力センサ４１又は第二圧力センサ４２のうち、一方が基板Ｎに当接されると、角度測定を開始する信号が制御装置５０を介して角度検知手段３６に送信されるように形成されている。また、第一圧力センサ４１又は第二圧力センサ４２のうち、第一整合部３０aが回転して、まだ接触していない他方が基板Ｎに当接されると、角度測定を終了する信号が制御装置５０を介して角度検知手段３６に送信されるように形成されている。

なお、整合ローラ３２ａ〜３２ｈは、本実施形態においては８つ用いたが、基板Ｎの大きさに応じて適宜個数、間隔を設定すればよい。また、整合ローラ３２ａ〜３２ｈは、本実施形態においては樹脂製のものを用いたが、他の公知の材料を用いてもよい。また、本実施形態における第一圧力センサ４１及び第二圧力センサ４２は、微細の圧力にも反応する公知の圧力スイッチもしくは整合ローラの位置もしくは取り付け位置の微細な位置の変化を測定する変位計等を用いる。また、第一圧力センサ４１及び第二圧力センサ４２は、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂの両方に形成してもよいが、本実施形態においては第一整合部３０ａのみに形成するものとする。

保持部３３は、図６に示すように、中央部に回転軸部３４を備えると共に、端部に整合ローラ部３２を備え、回転軸部３４を中心にして水平面内で回転する部材である。保持部３３は、回転軸部３４を備える本体部３３ａと、本体部３３ａの端部から張り出して形成された張出し部３３ｂとを有する。本体部３３ａは、中央部に回転軸部３４が貫通して形成されており、回転軸部３４を軸にして水平に回転するように形成されている。張出し部３３ｂは、搬送方向と平行に延設されており、整合ローラ３２ａ〜３２ｈが設置されている。

回転軸部３４は、保持部３３の本体部３３ａを貫通して形成された軸であって、下端に駆動手段３５が直接接続されている。駆動手段３５は、図６に示すように、駆動制御手段３７から送信される信号に基づいて、回転軸部３４を回転させる部材である。駆動手段３５は、本実施形態においては、公知のモータを用いる。
駆動手段３５は、図７に示すように、駆動制御手段３７に接続されており、駆動制御手段３７によって送信された信号に基づいて、回転軸部３４を所定の角度に回転するように形成されている。

角度検知手段３６は、図６及び図７に示すように、回転軸部３４の回転角度を検知する装置である。角度検知手段３６は、回転軸部３４を貫通して形成されており、第一圧力センサ４１及び第二圧力センサ４２から制御装置５０を介して送信された信号に基づいて、回転軸部３４の回転角度が検知できるように形成されている。角度検知手段３６は、本実施形態においては、公知のエンコーダを用いている。

即ち、角度検知手段３６は、第一整合ローラ３２ａ又は第二整合ローラ３２ｈのうち一方が基板Ｎに当接されると、当該整合ローラに内装された圧力センサから角度検知手段３６に信号が送信され、角度測定が開始される。
そして、第一圧力センサ４１と第二圧力センサ４２のうち最初に基板Ｎに接触しなかった圧力センサが、基板Ｎに接触する方向に回転軸部３４が回転し、基板Ｎに当接されると、当該圧力センサから制御装置５０を介して角度検知手段３６に信号が送信され、角度測定および基板Ｎの整合動作準備が終了する。
そして、角度検知手段３６によって測定された角度（以下、検知回転角度とする）は、駆動制御手段３７に送信される。

角度検知手段３６についてより具体的に説明すると、図３に示すように、基板Ｎの端部の延長線を延長線Ｊ、搬送方向と平行となる基準線をＨとする。また、基準線Ｈ＝０°、基準線Ｈと延長線Ｊの開き角度をθ、基準線Ｈから時計回りの方向を正、反時計回りを負とする。即ち、図３に示す基板Ｎの場合、角度検知手段３６によって測定される検知回転角度は、−θとなる。

駆動制御手段３７は、角度検知手段３６によって測定された検知回転角度に基づいて演算を行い、駆動手段３５に信号を送信するものである。
ここで、本実施形態においては、基板Ｎの所望の搬送角度（姿勢）を、基板Ｎの端部の延長線Ｊと基準線Ｈとが平行となるように搬送するものとする。即ち、本実施形態においては、基板Ｎの所望の搬送角度が０°となるように設定する。
従って、例えば、図３に示すように、角度検知手段３６によって検知回転角度＝−θと検知された場合、駆動手段３５を＋θ回転させれば、基準線Ｈと延長線Ｊが整合する。従ってこの場合、駆動制御手段３７は、回転軸部３４を＋θ回転させるように駆動手段３５に信号を送信する。

断続部Ｄは、図６に示すように、制御装置５０（図示省略）の信号に基づいて、回転軸部３４と駆動手段３５を係合させたり、係合を解除させたりする機構である。断続部Ｄは、通常は非係合状態になっており、回転軸部３４が自由に回転するように形成されている。そして、角度測定が終了した際に、回転軸部３４と駆動手段３５を係合させて、駆動手段３５の駆動に基づいて回転軸部３４が回転するように形成されている。即ち、基板Ｎと当接される第一圧力センサ４１又は第二圧力センサ４２のうち、後の圧力センサが当接した時に、回転軸部３４と駆動手段３５が係合するように形成されている。また、駆動手段３５により後記する整合・位置修整工程が終了した際に、回転軸部３４と駆動手段３５の係合が解除されるように形成されている。

支持台３８は、回転軸部３４を支持する部材である。支持台３８は、図５に示すように、回転軸部３４の下端において、回転軸部３４と垂直になるように形成されている。

スライド機構部３９は、支持台３８をローラコンベア部１０の幅方向に移動させる装置である。スライド機構部３９は、スライドレール部３９ａと、スライドレール部３９ａ上を摺動する直動型アクチュエータ３９ｂとを有する。支持台３８は、支持台３８に内装された直動型アクチュエータ３９ｂにより、スライドレール部３９ａ上を摺動するように形成されている。

制御装置５０は、図７に示すように、各センサから送信された信号を受信して、駆動手段３５等を作動させる信号を送信するものである。また、制御装置５０は、記憶部５１を備えており、記憶部５１が保有するテーブルを参照して信号を送信するように形成されている。

なお、導入部Ｋは、図２乃至図３に示すように、基板Ｎを下側から受け取る受取りステージであって、略梯子状に枠組みされたフレーム部Ｋａと、フレーム部Ｋａにおいて鉛直方向に一定の間隔をあけて立設された突起部Ｋｂとを有する。導入部Ｋは、紫外線照射装置Ｅ（基板処理装置）の制御装置及び駆動部（図示省略）に接続されて、フレーム部Ｋａが上下方向及び前後方向に移動するように形成されている。即ち、導入部Ｋは、搬送装置１の搬送方向下流側に搬送された基板Ｎを紫外線照射装置Ｅ側に移載可能に形成されている。また、導入部Ｋは、図示しないセンサから送信された信号に基づいて作動するように形成されている。

次に、搬送装置１の動作に付いて説明する。
図８は、本実施形態に係る搬送装置１の動作を示した概略平面図であって、（ａ）は、移載工程、（ｂ）は、第一停止工程、（ｃ）は、当接工程、（ｄ）は、角度検知工程、（ｅ）は、整合・位置修整工程、（ｆ）は、離間工程、（ｇ）は、第二停止工程を示す。なお、説明において、搬送装置１の各装置においては、適宜該当する各図面を参照する。

まず、準備段階として、搬送装置１の鉛直移動機構部３は最下端に位置させておき、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂは、最大離隔位置に配置させているものとする。

（移載工程）
移載工程は、図８の（ａ）に示すように、外部コンベアＧによって搬送された基板Ｎを外部コンベアＧから搬送装置１の搬送方向上流側に移載する工程である。そして、基板Ｎが搬送装置１に載置されると、第一センサ１４が検知して、第一センサ１４から制御装置５０を介して信号が送信され、鉛直移動機構部３が上昇する。そして、鉛直移動機構部３が最上端もしくは移裁する先方の高さに相当する高さに位置すると、ローラコンベア部１０の駆動部１７が作動し、ローラ２１が作動する。これにより、基板Ｎが搬送方向に向かって搬送される。

（第一停止工程）
次に、図８の（ｂ）に示すように、基板Ｎがローラ２１上を搬送され、基板Ｎの先端が第二センサ１５に検知されると、制御装置５０を介して信号が送信され、ローラコンベア部１０の駆動部１７が停止する。これにより、基板Ｎは、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂの間で停止する。

（当接工程）
次に、図８の（ｃ）に示すように、基板Ｎが停止すると、制御装置５０からスライド機構部３９に信号が送られ、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂが搬送装置１の中央方向に向かって、各整合ローラ部３２が搬送方向と平行を保持した状態で、前進移動する。そして、基板Ｎは基準線Ｈに対して傾いているため、第一整合部３０ａの第一整合ローラ３２ａ及び第二整合部３０ｂの第二整合ローラ３２ｈ’は、それぞれ基板Ｎの端部に当接される。すると、第一整合ローラ３２ａに内装された第一圧力センサ４１から制御装置５０を介して信号が送信され、角度検知手段３６の角度測定が開始される。

（角度検知工程）
次に、図８の（ｄ）に示すように、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂがさらに前進移動をして第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂの間が縮まると、回転軸部３４を中心に保持部３３が回転し、第一整合部３０ａの第二整合ローラ３２ｈ及び第二整合部３０ｂの第一整合ローラ３２ａ’が基板Ｎの端部に当接される。すると、第二整合ローラ３２ｈに内装された第二圧力センサ４２から制御装置５０に信号が送信され、角度検知手段３６の角度測定が終了する。例えば、本実施形態においては、検知回転角度θ＝−１５°とする。また、この際、制御装置５０から、断続部Ｄに信号が送信されて、駆動手段３５と回転軸部３４が係合される。これにより、基板Ｎの整合動作準備が完了する。

（整合・位置修整工程）
次に、図８の（ｅ）に示すように、検知回転角度θ＝−１５°であるため、駆動制御手段３７によって回転軸部３４を＋１５°回転させるように信号を送信する。これにより、基板Ｎの端部の延長線Ｊが搬送方向と平行になるため、基板Ｎを適切な姿勢で搬送することができる。
また、角度の整合と共に、スライド機構部３９により、ローラコンベア部１０の幅方向の中心線ＣＷ_１と基板Ｎの幅方向の中心線ＣＷ_２とが重なるように幅方向の位置修整を行うことで、適切な位置で基板Ｎを搬送することができる。

（離間工程）
次に、図８の（ｆ）に示すように、整合・位置修整工程が終了すると、制御装置５０からスライド機構部３９に信号が送信されて、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂを基板Ｎから離間する位置に後退移動する。そして、制御装置５０からローラコンベア部１０の駆動部１７に信号が送信され、ローラ２１が再び回転し、基板Ｎが搬送装置１の搬送方向下流側に向かって搬送される。

（第二停止工程）
次に、図８の（ｇ）に示すように、基板Ｎが搬送装置１の搬送方向下流側に搬送され、基板Ｎの先端が第三センサ１６に検知されると、制御装置５０に信号が送信され、ローラコンベア部１０の駆動部１７が停止する。これにより、基板Ｎは、搬送装置１の搬送方向下流側で停止する。そして、紫外線照射装置Ｅの図示しないセンサにより導入部Ｋが作動しローラコンベア部１０の下方に挿入される。そして、導入部Ｋを上昇させて、基板Ｎを保持し、紫外線照射装置Ｅ側に移載することができる。

以上説明したように、本実施形態に係る搬送装置１によれば、鉛直移動機構部３により、ローラコンベア部１０を鉛直方向の所定の高さに移動させることができるため、各基板処理装置の高さ位置が異なっても、容易に基板Ｎを移載することができる。

また、搬送装置１によれば、対向する第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂで基板Ｎを挟持すると共に、角度検知手段３６により検知した角度に基づいて基板Ｎの姿勢を整合することができる。これにより、基板Ｎを適切な姿勢で搬送することができる。

また、レール部１２の下方から間隙部Ｕを通して基板処理装置に係る導入部Ｋを挿入することができるため、搬送装置１から基板処理装置への移載工程を容易に行うことができる。また、ローラコンベア部１０の搬送方向下流側は、自由端となっているため、ローラコンベア部１０の搬送方向下流側の下部及び上部の空間や、間隙部Ｕを利用して、次工程の基板処理装置の導入部Ｋを挿入することができる。これにより、移載工程を容易に行うことができる。

また、スライド機構部３９により、ローラコンベア部１０の中心線ＣＷ_１と、基板Ｎの中心線ＣＷ_２とが重なるように搬送でき、基板Ｎを適切な位置で搬送することができる。

以上、本発明の最良の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨に反しない範囲において、適宜変更が可能である。

本実施形態においては、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂは、最大離隔位置から搬送方向と平行になるように前進・後退移動するように形成したが、これに限定されるものではない。例えば、第一整合部３０ａ及び第二整合部３０ｂのどちらか一方を主動作側とし、他方を主動作側の回転に追従して作動する従動作側となるようにしてもよい。

また、本実施形態においては、基板Ｎの搬送角度を０°として、搬送するものであったが、これに限定されるものではない。例えば、記憶部５１に任意の搬送角度を記憶させておき、検知回転角度θに基づいて、制御装置５０で演算し、駆動制御手段３７に信号を送信することで、例えば、搬送角度が１０°の状態で搬送させてもよい。

また、本実施形態においては、搬送方向上流側から、搬送方向下流側に向けて基板Ｎが搬送するように形成したが、駆動部１７を逆回転させて、基板Ｎを逆方向に搬送するように形成してもよい。

また、スライド機構部３９が前進移動をする際に、第一圧力センサ４１又は第二圧力センサ４２のどちらか一方が当接されたことにより、スライド機構部３９が減速するように、形成してもよい。これにより、角度を検知する際に、第一整合部３０ａ又は第二整合部３０ｂの押動により基板Ｎが折れ曲がることなく、安定して挟持することができる。
また、保持部３３又は支持台３８が上下に昇降できるように昇降手段を形成してもよい。即ち、ローラコンベア部１０（鉛直移動機構部３）の上下の動きに応じて、保持部３３又は支持台３８が追従して作動するように形成してもよい。

本実施形態に係る搬送装置を示した斜視図である。本実施形態に係る搬送装置を示した側面図である。本実施形態に係る搬送装置を示した平面図である。本実施形態に係る搬送装置のローラコンベア部を示した拡大斜視図である。本実施形態に係る搬送装置を示した正面図である。本実施形態に係る搬送装置の整合部を示した斜視図である。本実施形態に係る搬送装置の制御装置を示したブロック図である。本実施形態に係る搬送装置の動作状況を示した概略平面図であって、（ａ）は、移載工程、（ｂ）は、第一停止工程、（ｃ）は、当接工程、（ｄ）は、角度検知工程、（ｅ）は、整合・幅修整工程、（ｆ）は、離間工程、（ｇ）は、第二停止工程を示す。

符号の説明

１搬送装置
２脚部
３鉛直移動機構部
１０ローラコンベア部
１２レール部
１７駆動部
３０整合部
３０ａ第一整合部
３０ｂ第二整合部
３２整合ローラ
３３保持部
３４回転軸部
３５駆動手段
３６角度検知手段
３７駆動制御手段
３９スライド機構部
５０制御装置
Ｋ導入部
Ｎ基板
Ｕ間隙部

Claims

複数のローラと、
このローラを備え所定の間隔をあけて幅方向に並設された複数本のレール部を有して、矩形の基板を水平面上において前記レール部に対して平行となる方向を搬送方向として搬送するローラコンベア部と、
前記ローラコンベア部を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構部と、
前記ローラコンベア部の幅方向に対向して配置され、前記ローラコンベア部上において、前記基板の幅方向の端部を複数個所押動することで前記基板の姿勢を規制し、前記基板の幅方向の中心線と前記搬送方向とが平行となるように整合させる一対の整合部と、を備え、
前記鉛直移動機構部は、前記ローラコンベア部の前記搬送方向の上流側に配置され、前記ローラコンベア部の前記搬送方向の下流側は、自由端であり、
前記整合部は、
前記基板の幅方向の端部に当接される複数の整合ローラと、
この整合ローラを直線上に備える保持部と、
この保持部を水平面内で回転させる回転軸部と、
この回転軸部を回転駆動させる駆動手段と、
前記回転軸部と前記駆動手段の連結を係合状態又は非係合状態にさせる断続部と、
前記回転軸部の回転角度を検知する角度検知手段と、
この角度検知手段の検知した角度に基づいて前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、
前記回転軸部を支持する支持台と、
この支持台を前記ローラコンベア部の幅方向において移動させるスライド機構部と、
を備え、
前記断続部が前記回転軸部と前記駆動手段の連結を非係合状態にし、
一対の前記保持部を前記基板に向けて移動させ、前記角度検知手段は複数の前記整合ローラのうち一端側の整合ローラが前記基板に当接してから、前記整合ローラのうち他端側の整合ローラが前記基板に当接するまでの前記回転軸部の検知回転角度θを検知し、
次に、前記断続部が前記回転軸部と前記駆動手段の連結を係合状態にし、
前記駆動制御手段は、前記基板の幅方向の両端を一対の前記保持部で挟んだ状態で、前記回転軸部の回転角度が−θとなるように前記駆動手段を駆動させることを特徴とする搬送装置。