JP4801640B2 - 薄板状材料搬送装置 - Google Patents
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Description
りローラ34を、その上端が吸引用パイプ32の上端面33Bから僅かに突出した搬送位置となるようにセットしておく。
1…第1の幅方向センサ群
2…第2の幅方向センサ群
1A〜1F、2A、2B…幅方向センサ
3…転換位置センサ群
3A〜3D…転換位置センサ
4…位置制御装置
5A〜5C…徐行位置センサ
6A〜6C…停止位置センサ
CR…中心点
10…薄板状材料搬送装置
12…ガラス基板(薄板状材料)
14…第1の直進エアコンベア
16…方向転換エアコンベア
18…第2の直進エアコンベア
20…エアテーブルユニット
22…直進ローラユニット
22A…直進送りローラ
24、25…幅方向ローラユニット
24A、25A…幅方向送りローラ
26…エアテーブル
27…上面部
27A…給気孔
28…正圧発生装置
30、50…方向転換ローラユニット
32…吸引用パイプ
32CL…中心軸線
33A…開口
33B…上端面
34、52…送りローラ
34A…回転軸
35…駆動マグネットローラ
36…ブロワー
38…送りローラ上下動装置
42…送りローラ姿勢制御装置
46…駆動モータ
Claims (12)
- 薄板状材料を気体により浮上させた状態で、パスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の幅方向両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出可能な幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群からの検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニット、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の搬送用ローラユニット及び、前記エアテーブル上の薄板状材料を前記搬送方向と直交する幅方向に移動可能に幅方向ローラユニット、を含んで構成され、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1において、
前記直進ローラユニットは、前記搬送方向に離間して配置された少なくとも一対の幅方向ローラユニットを有してなり、
これら幅方向ローラユニットは、前記薄板状材料を、前記幅方向の相異なる方向に駆動して、薄板状材料の、その表面に対して直交するθ軸廻りのアライメント可能とされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1又は2において、
前記幅方向センサ群は、矩形の前記薄板状材料の4隅の角部を検出する位置に配置された4個の幅方向センサを有してなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットの少なくとも一方における前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。 - 薄板状材料を気体により浮上させた状態でパスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の両側端縁を、少なくとも搬送方向の1個所、計2個所で検出する幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群の検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された搬送用ローラユニットとを含んで構成され、
前記搬送用ローラユニットは、
上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項6において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。 - 薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、
この方向転換コンベア上における前記薄板状材料の外周線に相当する位置に配置され、前記直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の外周の少なくとも3箇所を検出可能な転換位置センサ群と、
前記転換位置センサ群からの検出信号が入力される転換位置制御装置と、を有してなり、
前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に、前記方向転換時に転換中心となる中心点を囲んで配置された複数の方向転換ローラユニットとを含んで構成され、
前記方向転換ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記転換位置制御装置は、前記入力した検出信号に基づいて、前記方向転換ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の、前記パスライン方向の位置、このパスラインと直交する方向の位置、及び、形状中心廻りの角度位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項8において、
前記転換位置センサ群は、前記中心点に形状中心が一致した状態の前記薄板状材料の4隅となる位置に配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項8又は9において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも90°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項8乃至10のいずれかにおいて、
前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。 - 請求項11において、
前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
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