JP3897133B2 - 基板反転方法及び装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、感光性樹脂層を有する積層体フィルムをプリント配線盤用基板、液晶パネル用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板に例示される基板の表面に張り付けた後に、該基板を表裏反転させるための基板反転方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
感光性樹脂層を有する積層体フィルムを、プリント配線盤用基板、液晶パネル用ガラス基板あるいはプラズマディスプレイ用ガラス基板等の基板表面に、前記感光性樹脂層が対面するようにして張り付ける工程がある。
【0003】
このフィルム張り付けのための装置は、従来は、搬送ローラからなる搬送装置により基板を搬送させ、その上面にフィルムを連続的あるいは基板長さに応じて切断して、ラミネーションロールにより張り付けるようにされている。
【0004】
近年、プリント配線盤の回路、液晶パネルやプラズマディスプレイにおける画素が高精細化して、基板表面に僅かな埃等が付着した状態であっても、そのままフィルムを張り付けて、後工程でパターンを焼き付けた場合、該埃等が付着した部分の画素が不良品の原因となってしまうという問題点が生じた。
【0005】
これに対して、基板のフィルム張り付け面を下向き(下面)とし、該下面に下側からフィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法及び装置が提案されている。
【0006】
この場合、後工程でパターン等を焼き付ける際に、下方から露光しようとすると、露光領域が搬送ローラ等によってけられてしまうので、基板を表裏反転させて、搬送ローラ上の基板を上面から露光させる必要がある。
【0007】
フィルム張付け後の基板を180°反転させるための手段としては、例えば基板上面を負圧により吸着してから、そのまま180°回転させる構成が考えられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、吸着装置によって、下面にフィルムが張り付けられている基板の上面を吸着しようとするとき、吸着装置によって、搬送ローラ上の基板を、一旦上方から押え込んで吸着させることになる。
【0009】
しかしながら、基板は、その下面に張り付けられているフィルムを介して搬送ローラ上に載置されていて、該搬送ローラの上端に対して線接触しているので、基板を上方から押圧すると、フィルムに、集中荷重による線状の瘢痕が発生してしまい、これが後工程での露光時に、露光異常を生じ、製品不良の原因となってしまうという問題点がある。更に、吸着装置は円弧運動するために、基板を押圧する際に基板表面に沿ってわずかにずれる。この傾向は、基板が薄く、且つこれに張り付けられるフィルムも薄い場合に顕著に現われる。
【0010】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、基板を、その下面に張り付けられているフィルムに押圧による瘢痕を残したりすることなく、180°反転できるようにした基板の反転方法及び装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項1記載のように、下側面にフィルムが張り付けられている基板を、搬送ローラ群により構成される基板搬送面に沿って搬送し、且つ、所定位置で停止させる工程と、
前記停止位置の上方に、反転アームの吸着面を、前記基板と平行で、且つ、前記基板から所定距離離間させた状態で下向きにして位置させると共に、該吸着面に負圧を印加させる工程と、
前記停止位置にある基板下方の搬送ローラ間の隙間から、前記搬送ローラの軸線方向に長尺で、且つ、軟質材料から形成される平面状の基板支持面を有する持上げ部材を上昇させて、前記基板を前記基板搬送面よりも上方に持ち上げ、前記反転アームの吸着面に押し付けて吸着させる工程と、
基板を吸着したままで、前記反転アームを180゜回転し、該基板を、前記フィルム側が上面になるように反転させる工程と、
を有してなる基板反転方法により、上記目的を達成するものである。
【0012】
本装置発明は、請求項2記載のように、基板搬送方向に適宜間隔で配置された複数の搬送ローラを含んで構成され、該搬送ローラの上面により構成される基板搬送面に沿って、下側面にフィルムが張り付けられている基板を搬送可能、且つ、反転開始位置で搬送停止可能とされた搬送装置と、
自由端側に、前記基板を吸着可能とされた吸着装置を備えると共に、前記吸着装置の基板吸着面が、前記反転開始位置にある基板の上面から所定距離離間した吸着位置に前記基板と平行に配置される一方、前記吸着位置、及び、基板を下方から支える、ほぼ水平な解放位置の間で、基端側を中心として180゜回転自在とされた反転アームと、
前記解放位置での反転アームにおける前記基板吸着面から前記基板が受け渡される基板受け装置と、
前記反転開始位置における基板吸着面の下方、且つ、搬送ローラ間位置に配置され、前記搬送ローラの軸線方向に長尺で、且つ、前記基板搬送面と平行な軟質材料から形成される平面状の基板支持面を有する持上げ部材を上端に備え、該基板上端面が前記基板搬送面よりも下方の待機位置、及び、上方の持ち上げ位置の間で上下動自在とされた基板持ち上げ装置と、
を有してなり、前記吸着装置は、反転アームが前記吸着位置にあるとき、前記基板吸着面が前記基板搬送面と平行状態で、前記基板持ち上げ装置により持ち上げられる前記基板を介して一定範囲内で押上げ可能に構成して、上記目的を達成するものである。
【0013】
前記搬送装置は、請求項3記載のように、搬送されてくる基板の先端を検出して、該基板の大きさに対応して、該基板を前記反転開始位置に停止させる位置決め停止装置を含んで構成してもよい。
又、前記吸着装置は、請求項4記載のように、小サイズの前記基板に応じた内側吸盤群と、大サイズの前記基板に応じた外側吸盤群とを備え、
前記内側吸盤群及び前記外側吸盤群は、独立に構成される負圧管路を介して前記基板を吸着制御するようにしてもよい。
【0017】
この発明においては、基板上方に待機する反転アームの基板吸着面に対して、基板を下方から持ち上げて吸着させるので、基板下面が搬送ローラに対して線接触状態で押圧されることがなく、従って、押圧による線状の反痕、製品不良が発生することがない。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を、図面を参照して詳細に説明する。
【0019】
本発明の実施の形態の例に係る基板反転装置10は、図1及び図2に示されるように、基板12を図の左方向から右方向に、基板搬送面14Aに沿って搬送すると共に、反転開始位置で基板12を停止させる搬送装置14と、前記反転開始位置における基板12を、基板搬送面14Aよりも上方に、且つ水平に持ち上げる基板持上げ装置16と、この基板持上げ装置16によって水平に持ち上げられた基板12の上面を吸着し、且つ回転シャフト18を中心として、図1において時計方向に180°回転し、吸着している基板12の表裏を反転させる反転アーム20と、反転アーム20が、図1において左側から右側に時計方向に180°回転した後、該反転アーム20の上面に支持される状態となった基板12を受け取る基板受け装置22と、を含んで構成されている。
【0020】
前記基板12は、図1、図2の左側位置でフィルム張付装置(図示省略)により、その下面にフィルムが張り付けられた後、基板反転装置10の搬送装置14に移載されるものである。
【0021】
前記搬送装置14は、入側から順に配置された5本の搬送ローラ15A〜15Eを有し、各搬送ローラ15A〜15Eは、搬送用モータ24によりタイミングベルト24A、プーリ24Bを介して、同期して回転且つ停止されるようになっている。
【0022】
前記基板持上げ装置16は、前記搬送ローラ15Cと15Dの間、及び搬送ローラ15Dと15Eとの間にそれぞれ、これら搬送ローラ15C〜15Eと平行で、且つ略同一長さの一対の持上げ部材16A、16Bと、このこれら持上げ部材16A、16Bを同一高さで水平状態に支持する支持フレーム16Cと、この支持フレーム16Cを、前記持上げ部材16A、16Bの上端の基板支持面17が基板搬送面14Aよりも下側の待機位置と、上側の持上げ位置との間で上下動自在となるように駆動するエアシリンダ16Dと、を含んで構成されている。
【0023】
前記持上げ部材16A、16Bは、例えば発泡シリコーンゴム等の軟質材料より形成され、その上端の前記基板支持面17は、基板12を持ち上げるとき、集中荷重が発生しないように幅広で、且つ搬送ローラ15A〜15Eの全長とほぼ等しい長さの水平面とされている。
【0024】
前記反転アーム29の自由端側には、反転開始位置に停止された基板12を、その上面側から吸着するための吸着装置26が取り付けられている。
【0025】
この吸着装置26は、反転アーム20の自由端に取り付けられたほぼ正四角形板状体の支持板27と、この支持板27の、図1において下側面に突出して取り付けられている外側吸盤群28及び内側吸盤群30(図4参照)とから構成されている。
【0026】
前記外側吸盤群28及び内側吸盤群30は、各々同一構造の4個の吸盤装置32A〜32D、32E〜32Hにより構成されている。これらの吸着装置は図3において符号32で示されるように、先端に設けられているゴム製の吸盤34により、基板12の上面を吸着できるようにされている。
【0027】
ここで、前記反転開始位置とは、図2に示される大型基板センサ36により大型の基板12の搬送方向先端が検出され、又は小型基板センサ38により小型の基板12の先端が検出され、これによって搬送装置14による搬送が停止されたときの基板12の位置を言う。
【0028】
前記吸着装置26における正四角形の支持板27は、その中心が、反転開始位置における基板12の中心とほぼ一致するように、回転アーム20に取り付けられている。
【0029】
前記外側吸盤群28を構成する吸盤装置32A〜32Dは、前記正四角形状の支持板27の四隅位置であって、反転開始位置における小型の基板12の外形よりも外側位置となるように配置されている。
【0030】
又、前記内側吸盤群30を構成する前記4つの吸盤装置32E〜32Hは、前記外側吸盤群28の内側であって、正四角形状の支持板27の中心に対して等距離の位置であって、支持板27と相似の小型の四辺形の角部に位置するように配置されている。
【0031】
前記外側吸盤群28及び内側吸盤群30における8個の吸盤装置32A〜32Hの先端の吸盤34は、板状の支持板27と平行な同一面上にあり、基板吸着面40を構成している。
【0032】
次に図3を参照して、前記吸盤装置32の詳細な構成について説明する。
【0033】
吸盤装置32は、一対のナット42によって前記支持板27に締付け固定されるガイド筒部材44と、このガイド筒部材44に、上下方向摺動自在に支持されると共に、下端に前記吸盤34を支持する摺動筒部材46と、を備えて構成されている。
【0034】
前記摺動筒部材46は、前記ガイド筒部材44を、図3において上方から下方に、上下方向摺動自在に貫通するガイドねじ部材46Aと、このガイドねじ部材46Aの図3において下端に螺合する負圧導入筒46Bと、を備えている。
【0035】
前記ガイドねじ部材46Aが貫通する、ガイド筒部材44内側のガイド孔44A内には、このガイド孔44Aの上端と、前記負圧導入筒46Bの上端との間にばね45が装架され、該ばね45によって、摺動筒部材46がガイド筒部材44に対して下方に突出する方向に付勢されるようになっている。
【0036】
ここで、ばね45のセット圧及び摺動筒部材46の突出位置は、負圧導入筒46Bに対するガイドねじ部材46Aのねじ込み量によって調整するようにされている。
【0037】
前記負圧導入筒46Bには、その側面から図3において下端に至る負圧導入路46Cが形成されている。この負圧導入路46Cの、負圧導入筒46B側面の端部には、バキュームチューブ47により、図4に示される負圧源48からの負圧が導入されるようになっている。
【0038】
又、負圧導入路46Cの図において下端には、中心軸に沿って吸引孔46Dが貫通形成されたねじ46Eが螺合され、これによって、前記吸盤34が、負圧導入筒46B下端に締付け固定されて、且つ、負圧源48の負圧が、バキュームチューブ47、負圧導入路46C及び吸引孔46Dを経て吸盤34内側に導入され得るようになっている。
【0039】
ここで、図3に示されるように、吸盤34の内側には、前記吸引孔46を中心として円周方向等角度間隔に4個の突起34Aが一体的に形成され、これによって、基板12を吸着したとき、該吸盤34が過剰に変形することを防止し、基板12を吸着するための負圧が導入される空間が維持されるようになっている。
【0040】
次に、図4を参照して、前記外側吸盤群28及び内側吸盤群30への負圧供給経路について説明する。
【0041】
前記外側吸盤群28及び内側吸盤群30の各々の4個の吸盤装置32A〜32D、32E〜32Hに対しては、前記負圧源48から各々別個の外側負圧管路28A及び内側負圧管路30Aを介して負圧が導入されるようになっている。
【0042】
前記外側負圧管路28Aには、負圧源48からオンオフ弁50を介して負圧が供給され、内側負圧管路30Aには、負圧が負圧源48から吸盤装置32方向にのみ伝達することを許容する逆止弁52を介して負圧が供給されるようになっている。
【0043】
前記負圧源(バキュームポンプ)48及びオンオフ弁50は、制御装置54によって制御されるようになっている。この制御装置54には、前記大型基板センサ36及び小型基板センサ38の基板先端検出信号が入力され、更に、手動により、搬送されてくる基板12の大小を区別する情報を入力するための手操作入力装置56からの信号が入力されるようになっている。
【0044】
図4の符号58は、前記内側負圧管路30Aの負圧が一定値以下となるとき、その信号を制御装置54に出力するための圧力計を示す。
【0045】
前記制御装置54は、手操作入力装置56から、搬送されてくる基板12が「大型」であるとの信号が入力されているときは、オンオフ弁50を開き、「小型」である場合はオンオフ弁50を閉じて、負圧が外側負圧管路28Aに伝達されないようにする。
【0046】
又、圧力計58から、内側負圧管路30Aの負圧が上昇していないという信号が入力したとき、負圧源48をオフとして、吸着装置26による吸着を停止するようにされている。
【0047】
更に、制御装置54は、手操作入力装置56からの信号が「大型」である場合は、小型基板センサ38をオフ又はその出力信号をキャンセルすると共に、大型基板センサ36からの信号を受け入れるようにされ、逆に、「小型」の場合は、小型基板センサ38の信号を受け入れ、大型基板センサ36はオフ又はその出力信号をキャンセルするように構成され、且つ、これら大型基板センサ36又は小型基板センサ38から、基板12の先端を検出した信号が入力したとき、前記搬送用モータ24を停止して、基板12を反転開始位置に停止するように構成されている。
【0048】
次に、前記反転アーム20の構成について説明する。
【0049】
この反転アーム20は、自由端側に前記吸着装置26を支持すると共に、基端において、前記回転シャフト18によって、図1に示されるように180°の範囲で往復回転自在とされている。
【0050】
前記回転シャフト18の軸方向両端位置には、図1に示されるように、タイミングベルト60が巻き掛けられるプーリ62を有し、前記タイミングベルト60が巻き掛けられる駆動プーリ64を介して、アーム駆動モータ66によって回転駆動されるようになっている。
【0051】
前記反転アーム20の回転角度位置は、図5に示される第1〜第3回転センサ68A〜68Cからの検出信号に基づいて、制御装置54により、前記アーム駆動モータ66をオンオフすることによって制御されるようになっている。
【0052】
反転アーム20は、図1において二点鎖線20Aで示される位置を第1位置、図1において実線で示される状態を第2位置、図1において、第1位置から180°時計方向に回転した状態を第3位置として、これらの位置を、第1〜第3回転センサ68A〜68Cによって検出することにより、各位置に停止され得るようになっている。
【0053】
ここで、前記第1位置は、吸盤装置32の吸盤34によって形成される基板吸着面40が、反転開始位置にある基板12に対して上方に離間し、且つ僅かに傾いて、基板12の反転開始位置への搬入が容易となるようにするものである。又、第2位置は、前記基板吸着面40が前記基板搬送面14Aと平行となり、基板搬送面14A上の基板12の上面に対して上方に僅かに離間する位置である。又、第3位置は、前記基板受け装置22上に、基板12を移載可能な位置である。
【0054】
図2及び図5に示されるように、前記回転シャフト18には、その回転方向に180°の位相差で略四角形状の一対の第1反射板70A及び第2反射板70Bが取り付けられている。第1反射板70Aは第2位置で回転シャフト18の真下、第2反射板70Bは第3位置で回転シャフト18の真下にそれぞれ位置するように設けられている。
【0055】
前記第1〜第3回転センサは反射型光センサであり第1及び第2回転センサ68A、68Bは第1反射板70Aが図5の実線で示されるように真下位置(第2位置)にあるとき、この第1反射板70Aを検出し、又図5の二点鎖線で示されるように、僅かに時計方向に回転した第1位置のときは、第1回転センサ68Aが第1反射板70Aを検知し、且つこのとき、第1反射板70Aが第2回転センサ68Bの検出限界の外側となり、更に、図5の実線で示される状態から時計方向に180°回転した第3位置のとき、第3回転センサ68Cが第2反射板70Bを検知するようにされている。
【0056】
従って、第1回転センサ68Aのみが第1反射板70Aを検知したとき、反転アーム20は第1位置、第1及び第2回転センサ68A、68Bの両方が第1反射板70Aを検知したときは第2位置、第3回転センサ68Cが第2反射板70Bを検知したときは第3位置ということになる。
【0057】
前記基板受け装置22は、図1及び図2に示されるように、第3位置における前記支持板27の下側に位置される一対の受け板22A、22Bと、これら受け板22A、22Bを同期して上下方向に駆動する受け板シリンダ22Cと、を備えて構成され、吸着装置26によって反転開始位置にて吸着された後、180°反転された基板12を、下方から受け取ることができるようにされている。
【0058】
前記一対の受け板22A、22Bは基板搬送方向に対して直交する方向(幅方向)に平行に離間して、且つ基板搬送方向に長く形成され、平面視で、両者間に支持板27が入り込むようになっている。
【0059】
又、基板受け部材22の近傍には、前記受け板22A、22B上に基板12が載置されているか否かを検出するための基板搬出センサ74が設けられ、受け板22A、22B上に載置されている基板12が、例えばロボットにより搬出されたとき、搬出信号を前記制御装置54に出力するようにされている(図6参照)。
【0060】
次に、上記基板反転装置10により基板12を反転させる過程について説明する。
【0061】
基板12を基板搬送装置14により反転開始位置に送り込む前に、基板持上げ装置16におけるエアシリンダ16Dを作動させ、持上げ部材16A、16Bを、図7に示されるように、上端の基板支持面17が基板搬送面14Aよりも下方位置となるようにする。又、アーム駆動モータ66により、回転シャフト18及び反転アーム20を、図1において二点鎖線20Aで示される第1状態とする。
【0062】
この場合、反転アーム20を第3位置から、図1において反時計方向に回動させ、第1回転センサ68Aが第1反射板70Aを検出するタイミングで、制御装置54によりアーム駆動モータ66を停止させる。
【0063】
又、手操作入力装置56により、搬送されてくる基板12が「大型」又は「小型」の信号を制御装置54に入力する。
【0064】
制御装置54は、「大型」であれば、大型基板センサ36を作動状態とすると共に、小型基板センサ38を非作動状態又は入力がキャンセルされるようにする。更に、オンオフ弁50を開き、負圧源48が外側負圧管路28Aを介して外側吸盤群28に導かれるようにする。「小型」であれば、制御装置54は、オンオフ弁50をオフとして、外側負圧管路28Aを閉じる。同時に、大型基板センサ36を非作動又は出力がキャンセルされるようにし、且つ小型基板センサ38を作動状態とする。
【0065】
以上のような待機状態で、基板搬送装置14により、下側面にフィルムが張られた基板12を基板反転装置10に、図1及び図2において左方向から送り込む。
【0066】
搬入されてきた基板12が大型であれば、大型基板センサ36により、又小型であれば小型基板センサ38により、それぞれ先端が検出された時点で、そのセンサ出力信号に基づいて、制御装置54は搬送用モータ24を停止させる。従って、基板12はその大きさに対応して、その中心が前記支持板27の中心とほぼ一致する反転開始位置で停止されることになる。
【0067】
なお、この時点では、負圧源48がオンされて、負圧が内側負圧管路30A又は外側及び内側負圧管路28A、30Aに導入されている。
【0068】
基板12が反転開始位置に停止した後、直ちにアーム駆動モータ66によって反転アーム20が図1の実線で示される第2位置に駆動され、ここで停止される。このとき、外側吸盤群28及び内側吸盤群30の各吸盤34は、基板搬送面14Aと平行な同一面である基板吸着面40を構成している。
【0069】
反転アーム20が第1位置から回動して図1の実線で示される第2位置に停止するタイミングは、第1反射板70Aを、第1及び第2回転センサ68A、68Bの両方で検出したタイミングとなる。
【0070】
次に、制御装置54により、基板持上げ装置16におけるエアシリンダ16Bを作動させて、持上げ部材16A、16Bを上昇させる。
【0071】
持上げ部材16A、16Bの基板支持面17が基板搬送面14Aを超えて更に上昇すると、基板搬送面14A上にあった基板12を水平状態のまま持ち上げて、該基板12の上面を、外側及び内側吸盤群28、30の各吸盤34に下方から押し付けることになる。
【0072】
各吸盤装置32における吸盤34は、該吸盤34、摺動筒部材46の自重及び前記ばね45による下向きの付勢力によって下方に突出した位置とされているので、基板12が上昇すると、この該基板12によって容易に持ち上げられ、その過程において、吸盤34が基板12の上面を確実に吸着することになる。
【0073】
ここで、基板12の上昇時に、吸盤装置32からかかる荷重は僅かであり、且つ、持上げ部材16A、16Bは上端の基板支持面17が幅広の水平面状であって、且つ発泡シリコーンゴム等の柔軟な材料によって形成されているので、基板12の下面に張り付けられているフィルムが強く押圧されて瘢痕が生じたりすることがない。又、吸着の際に、吸壁34が基板12の表面に沿ってずれることがない。
【0074】
前記、内側吸盤群30を構成する4個の吸盤34のうち、1つでも吸着に失敗した場合、大気圧が導入されるので、内側負圧管路30Aの負圧が上昇しない。従って、圧力計58によってこれが検知され、制御装置54は圧力計58からの信号に基づいて、負圧源48をオフとすると共に、反転工程を停止させる。
【0075】
これによって、不完全な状態で吸着装置26に吸着された基板12が、反転アーム20の反転過程で落下して破損したりすることが防止される。
【0076】
又、吸着される基板12が大型であって、該基板が内側吸盤群30によって確実に吸着されてはいるが、外側吸盤群28によっては不完全に吸着されているような場合でも、内側吸盤群30のみによる吸着によっても基板12が吸着装置26に確実に保持されるので、反転アーム20の反転途中で基板12が落下したりすることがない。
【0077】
従って、内側吸盤群30によって基板12が確実に吸着されていれば、外側吸盤群28による吸着が不完全であっても、そのまま反転工程が続行される。これは、外側負圧管路28Aと内側負圧管路30Aが独立しているので可能である。
【0078】
吸着装置26によって基板12が吸着された後は、アーム駆動モータ66が駆動され、反転アーム20は、吸着装置26に基板12を吸着した状態のまま、図1の実線で示される第2位置から時計方向に180°回転される。
【0079】
前記基板受け部材22における受け板22A、22Bは、受け板シリンダ22Cによって、予めその上面が第3位置における基板12の下面よりも僅かに高くなるように設定される。
【0080】
従って、反転アーム20が第2位置から第3位置に180°反転する最終工程で、基板12の下側面(第1位置においては上側面)が、受け板22A、22Bの上面に当接して持ち上げられることになる。
【0081】
このとき、負圧源48は制御装置54によってオフにされている。従って、基板12は吸盤34の上に載置されているのみであって、負圧により吸引されていない状態である。
【0082】
又、各吸盤装置32において、摺動筒部材46は、この摺動筒部材46、吸盤34及び基板12の自重により、ばね45に抗してガイド筒部材44方向に引き込んだ状態である。
【0083】
従って、反転アーム20が第3位置に到達する直前に基板12が受け板22A、22Bによって持ち上げられたとき、該基板12は吸盤34及び摺動筒部材46の直線的な突出によって鉛直上向きに移動するので、受け板22A、22B上で基板12が横方向にずれたりすることがない。
【0084】
反転アーム20が第3位置に到達したとき、基板12は受け板22A、22B上に移載されていて、各吸盤装置32の吸盤34は基板12から離間した状態となる。
【0085】
この状態で、あるいは必要であれば受け板シリンダ22Cにより受け板22A、22Bを上昇させることによって、基板12を更に高い位置とし、ロボット(図示省略)等の搬出装置によって基板12を外部に搬出させるために備える。
【0086】
基板12が外部に搬出されると、これが基板搬出センサ74によって検出され、該基板搬出センサ74の出力信号に基づいて、制御装置54は反転アーム20を第1位置に戻すと共に、前記と同様に基板の搬入に備える。
【0087】
なお、上記吸着装置26は、多数の吸盤装置32から構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば多数の負圧吸引孔が形成されている板状の吸着装置等であってもよい。
【0088】
この場合、吸着面を外側及び内側吸盤群28、30とに対応して、小型基板用及び大型基板用に区画して独立に負圧を印加するように構成する。
【0089】
又、反転アーム20によって反転された基板12は、前記基板受け部材22の受け板22A、22B上に移載され得るようになっているが、これは、次工程への搬送装置、ロボット等に直接移載するようにしてもよい。
【0090】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、下側面にフィルムが張り付けられている基板の、該フィルム面側を押圧して瘢痕を形成したりすることなく、基板を180°反転させることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板反転装置を示す側面図
【図2】同平面図
【図3】上記基板反転装置における吸盤装置を拡大して示す断面図
【図4】上記基板反転装置における吸着装置のための負圧管路を示す一部ブロック図を含む管路図
【図5】同基板反転装置における回転シャフトの回転位置を検出するための回転センサの配置を示す斜視図
【図6】同基板反転装置の制御系を示すブロック図
【図7】同基板反転装置において基板を吸着装置に吸着させる過程を拡大して示す要部側面図
【符号の説明】
10…基板反転装置
12…基板
14…搬送装置
14A…基板搬送面
15A〜15E…搬送ローラ
16…基板持上げ装置
16A、16B…持上げ部材
17…基板支持面
18…回転シャフト
20…反転アーム
22…基板受け装置
24…搬送用モータ
26…吸着装置
28…外側吸盤群
28A…外側負圧管路
30…内側吸盤群
30A…内側負圧管路
32…吸盤装置
34…吸盤
36…大型基板センサ
38…小型基板センサ
40…基板吸着面
48…負圧源
50…オンオフ弁
54…制御装置
56…手操作入力装置
66…アーム駆動モータ
68A〜68C…第1〜第3回転センサ

Claims (4)

  1. 下側面にフィルムが張り付けられている基板を、搬送ローラ群により構成される基板搬送面に沿って搬送し、且つ、所定位置で停止させる工程と、
    前記停止位置の上方に、反転アームの吸着面を、前記基板と平行で、且つ、前記基板から所定距離離間させた状態で下向きにして位置させると共に、該吸着面に負圧を印加させる工程と、
    前記停止位置にある基板下方の搬送ローラ間の隙間から、前記搬送ローラの軸線方向に長尺で、且つ、軟質材料から形成される平面状の基板支持面を有する持上げ部材を上昇させて、前記基板を前記基板搬送面よりも上方に持ち上げ、前記反転アームの吸着面に押し付けて吸着させる工程と、
    基板を吸着したままで、前記反転アームを180゜回転し、該基板を、前記フィルム側が上面になるように反転させる工程と、
    を有してなる基板反転方法。
  2. 基板搬送方向に適宜間隔で配置された複数の搬送ローラを含んで構成され、該搬送ローラの上面により構成される基板搬送面に沿って、下側面にフィルムが張り付けられている基板を搬送可能、且つ、反転開始位置で搬送停止可能とされた搬送装置と、
    自由端側に、前記基板を吸着可能とされた吸着装置を備えると共に、前記吸着装置の基板吸着面が、前記反転開始位置にある基板の上面から所定距離離間した吸着位置に前記基板と平行に配置される一方、前記吸着位置、及び、基板を下方から支える、ほぼ水平な解放位置の間で、基端側を中心として180゜回転自在とされた反転アームと、
    前記解放位置での反転アームにおける前記基板吸着面から前記基板が受け渡される基板受け装置と、
    前記反転開始位置における基板吸着面の下方、且つ、搬送ローラ間位置に配置され、前記搬送ローラの軸線方向に長尺で、且つ、前記基板搬送面と平行な軟質材料から形成される平面状の基板支持面を有する持上げ部材を上端に備え、該基板上端面が前記基板搬送面よりも下方の待機位置、及び、上方の持ち上げ位置の間で上下動自在とされた基板持ち上げ装置と、
    を有してなり、前記吸着装置は、反転アームが前記吸着位置にあるとき、前記基板吸着面が前記基板搬送面と平行状態で、前記基板持ち上げ装置により持ち上げられる前記基板を介して一定範囲内で押上げ可能に構成されたことを特徴とする基板反転装置。
  3. 請求項2において、前記搬送装置は、搬送されてくる基板の先端を検出して、該基板の大きさに対応して、該基板を前記反転開始位置に停止させる位置決め停止装置を含んで構成されたことを特徴とする基板反転装置。
  4. 請求項3において、前記吸着装置は、小サイズの前記基板に応じた内側吸盤群と、大サイズの前記基板に応じた外側吸盤群とを備え、
    前記内側吸盤群及び前記外側吸盤群は、独立に構成される負圧管路を介して前記基板を吸着制御することを特徴とする基板反転装置。
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