JP5938194B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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また、基板の上下を反転させる反転機構を備える基板搬送装置も公知となっている。前記反転機構は、真空中で基板の上下関係を反転させる機構である。例えば、特許文献2に記載されている。
板を反転させる際に下方向から支持する下部チャックと、前記上部チャック及び下部チャ
ックを上下方向に回動可能に軸支する回動軸とを備え、前記旋回機構は、上下摺動可能であって基板を下方向から支持する基板載置部と、前記基板載置部を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する旋回軸とを備え、前記基板載置部によって基板を下方向から支持して搬送方向に対する左右方向に180°回動させることで基板の左右を反転させ、前記搬送機構、反転機構及び旋回機構は一つの支持台に固定支持されるものである。
なお、以下の説明では、図1の矢印で示す方向を搬送方向と定義し、搬送方向及び上下方向に垂直な方向を左右方向と定義する。また、搬送方向に平行な軸をX軸、左右方向に平行な軸をY軸、上下方向に平行な軸をZ軸として定義する。
基板搬送装置1の最下部には、支持台5が設けられており、搬送機構2及び反転機構3は支持台5に固定支持される。
また、各回動軸支持部材31は、搬送機構2の本体部12よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動軸支持部材31・31と搬送機構2とが接触することを防止することができる。
また、回動軸32・32は、搬送機構2の本体部12よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動軸32・32と搬送機構2とが接触することを防止することができる。
また、回動基部41は、搬送機構2の本体部12よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動基部41と搬送機構2とが接触することを防止することができる。
上部接続部材44及び下部接続部材45は、搬送機構2の搬送アーム14の上流端よりも上流側に配置されており、反転機構3を反転させた際に搬送アーム14に接触しないように配置されている。
これにより、反転機構3と搬送機構2とが接触することを防止することができる。
上部チャック34は、上部チャック支持部42の内側側面から突出した複数の棒状部材34aと、各棒状部材34aの先端に設けられた接触部材34bとから構成される。棒状部材34aは上部チャック支持部42の内側側面から内側方向へ突出している。また、棒状部材34aは内側端部において上下に延伸されており、その下端に接触部材34bがそれぞれ設けられている。接触部材34bは基板90に接触して基板90を上面から支持するための部材である。接触部材34bは、シリコンなどの樹脂で構成されている。
上部チャック34は、搬送アーム14の平面視最外側よりも外側(具体的には搬送アーム14よりも搬送方向に対する左右外側)に配置されている。
下部チャック35は、下部チャック支持部43の内側側面から突出した複数の棒状部材35aと、棒状部材35aの内側先端に設けられたシリンダ35bと、各シリンダ35bの先端に設けられた接触部材35cとから構成される。棒状部材35aは下部チャック支持部43の内側側面から内側方向へ突出している。シリンダ35bは、その中途部側面が棒状部材35aの内側端部に固設されている。シリンダ35bは外筒35dと外筒35dの内部に設けられた内筒35eから構成される。シリンダ35bは上下方向が長手となるように配置され、内筒35eが上下方向に往復移動可能となるように構成されている。内筒35eの上端に接触部材35cがそれぞれ設けられている。接触部材35cは基板90に接触して基板90を下面から支持するための部材である。接触部材35cは、シリコンなどの樹脂で構成されている。
下部チャック35は、搬送アーム14の平面視最外側よりも外側(具体的には搬送アーム14よりも搬送方向に対する左右外側)に配置されている。
まず、図3及び図4に示すように、上流側チャンバー92に載置された基板90を搬送装置用チャンバー91内へ搬送する。
上流側チャンバー92には、基板90を上下方向に移動させるための昇降装置95が設けられている。
リンクアーム113は、それぞれ略長板状の部材である下段リンクアーム121及び上段リンクアーム122を備える。下段リンクアーム121の一端部は、支持台5に固設された支持柱11に第一回動軸123を介して相対回転可能に連結される。また、下段リンクアーム121の他端部は、第二回動軸124を介して上段リンクアーム122一端部に相対回転可能に連結される。上段リンクアーム122の他端部には、搬送アーム14が相対回転可能に連結される。下段リンクアーム121は、平面視で第一回動軸123の軸心を中心としてZ軸周りに旋回可能に構成される。上段リンクアーム122は、平面視で第二回動軸124の軸心を中心としてZ軸周りに旋回可能に構成される。搬送アーム14は、上段リンクアーム122の他端部にZ軸周りに旋回可能に構成される。また、下段リンクアーム121及び上段リンクアーム122の回動角度は図示せぬ制御装置によって制御されている。前記制御装置は、搬送アーム14が搬送方向に往復移動するように、下段リンクアーム121及び上段リンクアーム122の回動角度を制御している。これによって、リンクアーム113は、搬送アーム14によって保持した基板90を、搬送方向に往復移動させることが可能となっている。
また、搬送装置用チャンバー91の形状はドーム状に構成することもできる。
また、反転機構の回動軸は左右方向に延びる一本の回動軸で構成することもできる。
また、上部チャックの本数及び配置並びに下部チャックの本数及び配置は変更することもできる。
また、旋回機構の基板載置部の形状は、接触部材の本数や配置を限定するものではない。
また、シリンダ35bで上下方向に動作させて基板を挟持する代わりに、下部チャック支持部43を上下方向に動作させる機構を備えることによって基板を挟持するように構成することもできる。
このように構成することにより、搬送機構2と反転機構3とを具備する基板搬送装置1を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー91だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置1を配置するための面積を小さくすることができる。
このように構成することにより、上下方向に回動させることで、搬送方向に対する左右方向に回動させた場合と比較して旋回するのに必要な設置面積を小さくすることができ、結果として、基板搬送装置1を配置するための面積を小さくすることができる。
このように構成することにより、搬送機構2と反転機構3と旋回機構4とを具備する基板搬送装置1を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー91だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置1を配置するための面積を小さくすることができる。
このように構成することにより、搬送機構2と反転機構3とが接触しないように配置することができる。これにより、基板搬送装置1を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー91だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置1を配置するための面積を小さくすることができる。
このように構成することにより、上部チャックのシリンダを省くことができるため、部品点数を少なくすることができ、コストを抑えることができる。
2 搬送機構
3 反転機構
4 旋回機構
5 支持台
14 搬送アーム
34 上部チャック
35 下部チャック
35b シリンダ
53 基板載置部
90 基板
91 搬送装置用チャンバー
Claims (4)
- 基板を搬送方向へ移動させる搬送機構と、
前記基板の上下を反転させる反転機構と、
前記基板を搬送方向に対する左右方向に回転させるための旋回機構とを具備し、
前記搬送機構は、前記基板を搬送方向へ摺動させる搬送アームを備え、
前記反転機構は、前記基板を反転させる際に上方向から抑える上部チャックと、前記基板を反転させる際に下方向から支持する下部チャックと、前記上部チャック及び下部チャックを上下方向に回動可能に軸支する回動軸とを備え、
前記旋回機構は、上下摺動可能であって基板を下方向から支持する基板載置部と、前記基板載置部を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する旋回軸とを備え、
前記基板載置部によって基板を下方向から支持して搬送方向に対する左右方向に180°回動させることで基板の左右を反転させ、
前記搬送機構、反転機構及び旋回機構は一つの支持台に固定支持される、
基板搬送装置。 - 前記回動軸は、搬送方向に対して垂直に配置されており、
前記上部チャックと、前記下部チャックとで基板を挟持して上下方向に180°回動させることで基板の上下を反転させる、
請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記上部チャック及び下部チャックは、前記搬送アームの平面視最外側よりも外側に配置される、
請求項1または2に記載の基板搬送装置。 - 前記下部チャックは、上下方向に摺動自在であるシリンダを有する、
請求項1から3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
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