JP3949947B2 - 基板のエッジホールド式回転装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置においてシリコンウエハ、フォトマスク用ガラス、液晶用ガラス等の基板の角度位置を設定するためのエッジホールド式回転装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、基板の回転位置合わせを目的に、基板をテーブル上に載置して回転する装置においては、基板の裏面を吸着し、又は裏面をピンで支持する基板支持方式が一般に用いられているが、この方式は、基板表裏面に厳密な清浄度が要求されるプロセスでは採用できない。そこで、基板裏面の内部領域を避けて、端縁部を支持する方法が採用されるようになったが、ロボット等による基板搬送方式では、回転停止位置によっては、基板裏面端縁部を支持する支持ブロックとロボットのアームハンド手段とが干渉するため基板の持ち替え動作が必要である。また、従来の基板裏面の端縁部を支持する方式では、基板の受け渡し状態によっては、支持ブロックが基板のエッジやノッチ等の検出手段と干渉する場合があり、基板の置き換えや持ち替え動作が必要となる。さらに、半導体製造装置においては、最終製品の原価を安くするためにスループットを向上させることが要求されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、基板をテーブル上に載置する際に基板裏面の接触可能領域が端縁部に限定されている場合において、ロボットのアームハンドの退避動作や、基板の持ち替え動作、又は置き換え動作を省略することができ、もってスループットの大幅な向上を図るとともに歩留まりを向上させて生産コストの低減が可能な基板のエッジホールド式回転装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、シリコンウエハ、フォトマスク用ガラス、液晶用ガラス等の基板のエッジをホールドするテーブルを、その中心軸を回転軸として回転させる基板回転手段と、この基板回転手段上にエッジホールドされた基板の角度位置を検出する検出手段とを備え、前記基板回転手段にロボット等のアームハンド手段により基板が搬出入される基板のエッジホールド式回転装置において、テーブルは、それぞれが移動自在であって基板のエッジ部裏面に接触して支持する複数の支持ブロックと、検出手段及び又はアームハンド手段が位置する所定の回転角度範囲内に位置した支持ブロックを接触状態から退避させる変位制御手段とを備え、前記回転角度範囲内では支持ブロックと基板裏面側の間に間隙を生じるようにしたものである。
【0005】
この構成においては、所定の回転角度範囲内において基板裏面側に一定の間隙が生じるので、支持ブロックがロボットのアームハンド手段と干渉することをなくし、従って、ロボットのアームハンド手段を退避させる必要がなく、位置検出時に基板の持ち替え、置き換え動作が必要でなくなり、スループットが向上する。
【0006】
請求項2の発明は、請求項1記載の発明において、さらに、前記変位制御手段は、前記支持ブロックを接触状態から退避させる回転角度範囲を複数区間有するものである。この構成においては、基板裏面にテーブルと干渉しない一定の間隙が複数個所確保でき、ロボットのアームハンド手段の退避空間とエッジやノッチを検出して基板の角度位置を検出する検出手段の設置空間を任意の位置に設けることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る基板のエッジホールド式回転装置について、図1乃至図4を参照して説明する。図1は、基板をエッジホールドして回転させる基板回転手段1において、それぞれが移動自在に基板裏面に接触支持する複数の支持ブロックb1〜b15が回転とともにどのように接触状態から退避するかを説明する概念図である。本発明では、所定の角度範囲において支持ブロックを下方に逃がし、基板裏面に間隙を生じるようにしている。基板回転手段1は、直径300mmの基板2の端縁部付近を、15個の支持ブロックb1〜b15により構成したテーブルで支持し、基板の下方に間隙幅W1が200mm、間隙高さ20mmの間隙空間を確保しつつ、基板2を反時計回り方向に回転する。この回転動作において、本図の場合、回転角度範囲A、Eの支持ブロックb1、b2、b3及びb8、b9、b10は上位置にあって基板を支持し、回転角度範囲C、Gの支持ブロックb4、b5、b6、b7及びb12、b13、b14は下位置にあって基板裏面側に間隙を確保する。この間隙が、図示してないアームハンド手段による基板の搬出入や、検出手段の設置に利用される。回転角度範囲B、D、F、Hは支持ブロックが昇降動作する区間であり、本図の状態では支持ブロックb11が下降状態、支持ブロックb15が上昇状態にある。この間隙空間前後への遷移領域W2、W2は、本例では25mmである。また、本例では15個の支持ブロックb1〜b15が等間隔に配置され、このうち回転角度範囲A、Eで最低5個の支持ブロックが基板を支持しながら回転する。回転角度範囲A、Eの始めであるP、P点の位置で支持ブロックが基板に接触を開始するが、この両点で同時に基板に接触開始しないように支持ブロックを対角位置から外した配置にしている。
【0008】
図2は、図1において特定の支持ブロックに注目して、テーブルの回転動作に伴う支持ブロックの昇降動作の様子を示す。図1の回転角度範囲Aから反時計回りに回転することにより支持ブロックの高さは、基板支持位置(上位置)Uと間隙確保位置(下位置)Lとの間で間隙高さh(20mm)を確保して図のように変位する。
【0009】
図3(a)、(b)は、図1、図2において説明した支持ブロックの構成による基板回転手段1に、エッジホールドされた直径300mmの基板2に対応した角度位置を検出する検出手段3を備え、ロボットアームハンド手段4によりこの基板をメカニカルに支持して搬出入する基板のエッジホールド式回転装置の詳細を示す。図1に示した実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。断面図、図3(b)に示すように、支持ブロックb4、b5及びb13,b14が下位置に下がることによって確保できる間隙(図1の回転角度範囲C、G)を、角度位置検出手段3の配置空間や、ロボットのアームハンド手段4が基板2を受け渡しする搬出入空間として使用している。本図では、支持ブロックはテーブルの対角位置で同量の下降動作を行うようにしてあるが、基板2を支持して回転できるだけの上位置Uにおける支持ブロック数と角度範囲とを確保できるのであれば、下降する区間を対角位置としたり下降量を同量とすることにこだわる必要はない。
【0010】
本発明の装置では、基板回転手段1からロボットのハンド等に渡す場合に持ち替え動作が必要ないので総合搬送時間を縮めることが出来る。また、ロボットが基板を基板回転手段1に渡し、角度合わせ処理終了後に受け取る場合、アームハンド手段4を基板裏面空間から退避せずに、基板の裏面下方間隙に下降させただけの状態でその場待機ができるため、アームハンド手段の出し入れ動作が無くなり、更に時間を縮めることができる。
【0011】
上記の例は、空間の特定位置において支持ブロックを下方に逃がすことで基板裏面間隙を確保する方式としており、このことにより、支持ブロックが基板との接触、離脱を繰り返すときの擦れが極力少なくなっている。ところで、擦れが問題とならない場合、支持ブロックを水平方向に広がるように移動することにより、基板エッジ付近に空間を確保して検出手段やアームハンド手段などに対応することができる。この方式を可能にする例として、支持ブロックが回転中心から放射線状に配置された支持棒の先端に取り付けられ、回転する際にカムに沿って支持ブロックを上下左右させる機構や、それぞれの支持ブロックが独立機構になっているものをシーケンス制御で上下左右させるものなどがある。
【0012】
図4に本発明を実現する簡単な機構例を示す。図3に示した実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。支持ブロックb1〜b12が先端についた複数の支持棒5がモータ6により、例えば方向Rに向かって回転する。支持ブロック上の基板2は支持ブロックと一緒にR方向に回転する。支持棒5は昇降する機構を有しており、カム7によって上下の位置が決まる。図のようにカム7が設置されると図に向かって手前とその反対側で支持ブロックが下がる。ここに角度位置検出手段を配置したり、図の矢印IOの方向からロボットのアームハンド手段を挿入出することが可能となる。支持棒5、モータ6、カム7により支持ブロックを接触状態から退避させる変位制御手段が構成されている。
【0013】
図5は、本発明のさらに他の一実施形態を示す。図3に示した実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。本実施形態は、所定の回転角度範囲において、支持ブロックを水平変位させることで基板裏面との接触状態から退避させて基板と支持ブロックとの間に間隙を設けている。本図の場合、支持ブロックb5、b6は左方外方に水平移動して検出手段3との干渉を回避し、支持ブロックb12、b13、b14は右方外方に水平移動してアームハンド手段4との干渉を回避している。本実施形態においても、支持ブロックを水平変位させる変位制御手段は、たとえば前述のようにカム機構によるか、各支持ブロックを独立にシーケンス制御することにより実現できる。
【0014】
なお、本発明は上記実施形態で説明したものに限定されるものでなく、支持ブロックの形状、配置、個数、また、支持ブロックを退避させる変位手段、方法、その他本発明の構成要素は、基板のエッジホールド式回転装置による取扱の対象となる基板の種類や形状によって適宜好適に決定されるものである。
【0015】
【発明の効果】
上記のように、請求項1の発明によれば、基板を搬出入するロボットアームハンドが動作する空間を、予め設定された回転角度範囲にある支持ブロックが下がるようにして確保しているので、どの角度に基板を回転させても、ロボットのアームハンド手段と支持ブロックが干渉することがなく、基板を受け渡すための持ち替え動作が不要になる。また、支持ブロックが下がる範囲に角度位置検出手段を配置でき、支持ブロックが角度位置検出手段に干渉することがないので、基板の置き換え動作が不要になる。上記持ち替えや置き換えの動作が不要になることにより、そのための機構を省くことができる。さらに、これらの動作ステップと動作時間の減少によりスループットの向上を図ることができるとともに、歩留まりを向上させることができる。
【0016】
また、請求項2の発明によれば、支持ブロックが基板エッジ裏面から退避する回転角度範囲を複数存在させているので、ロボットのアームハンド手段と角度位置検出手段とが互いに干渉しない回転角度範囲にそれぞれ設けることが可能となるとともに、周辺装置の制約に合わせることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る一実施形態の概念を示す平面図。
【図2】 上記実施形態において回転にともない昇降する支持ブロックの上下位置変位図。
【図3】 (a)は上記実施形態を示す平面図、(b)は前記断面図。
【図4】 上記実施形態の斜視図。
【図5】 (a)は本発明に係る他の一実施形態を示す平面図、(b)は前記断面図。
【符号の説明】
1 基板回転手段
2 基板
3 検出手段
4 アームハンド手段
b1〜b15 支持ブロック
W1 間隙幅
A〜H 回転角度範囲
Claims (2)
- シリコンウエハ、フォトマスク用ガラス、液晶用ガラス等の基板のエッジをホールドするテーブルを、その中心軸を回転軸として回転させる基板回転手段と、この基板回転手段上にエッジホールドされた基板の角度位置を検出する検出手段とを備え、前記基板回転手段にロボット等のアームハンド手段により基板が搬出入される基板のエッジホールド式回転装置において、
前記テーブルは、それぞれが移動自在であって前記基板のエッジ部裏面に接触して支持する複数の支持ブロックと、前記アームハンド手段及び又は検出手段が位置する所定の回転角度範囲内に位置した支持ブロックを接触状態から退避させる変位制御手段とを備え、
前記回転角度範囲内では前記支持ブロックと基板裏面側の間に間隙を生じるようにしたことを特徴とする基板のエッジホールド式回転装置。 - 前記変位制御手段は、前記支持ブロックを接触状態から退避させる回転角度範囲を複数区間有することを特徴とする請求項1記載の基板のエッジホールド式回転装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001369298A JP3949947B2 (ja) | 2001-12-03 | 2001-12-03 | 基板のエッジホールド式回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001369298A JP3949947B2 (ja) | 2001-12-03 | 2001-12-03 | 基板のエッジホールド式回転装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003168722A JP2003168722A (ja) | 2003-06-13 |
JP3949947B2 true JP3949947B2 (ja) | 2007-07-25 |
Family
ID=19178710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001369298A Expired - Fee Related JP3949947B2 (ja) | 2001-12-03 | 2001-12-03 | 基板のエッジホールド式回転装置 |
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---|---|
JP (1) | JP3949947B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4892496B2 (ja) * | 2008-01-10 | 2012-03-07 | タツモ株式会社 | アライナ装置 |
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JP2003168722A (ja) | 2003-06-13 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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