JP4293150B2 - 基板移載装置、基板移載方法、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板を基板収納ケース間で移載するための基板移載装置、基板移載方法、および当該基板移載方法を用いた電気光学装置の製造方法に関する。

液晶表示装置は、一対のガラス基板に複数の液晶表示装置を作り込み、その後当該ガラス基板から単一の液晶表示装置（以下では「単品」とも呼ぶ）を切り出して製造されるのが一般的である。こうした製造方法に用いられるガラス基板は、各辺が数百ミリメートル以上の長さを有している。このような大きさのガラス基板を搬送するための技術としては、特許文献１に記載の技術を始め種々の技術が知られている。

一方で、液晶表示装置は、大きなガラス基板に、あらかじめ単品に対応した対角２インチ以下程度の大きさの対向ガラス基板を複数貼り合わせ、その後単一の液晶表示装置を切り出して製造される場合もある。この製造方法は、対向ガラス基板の貼り合わせの際の組みずれのリスクを回避することや、ガラス基板間のギャップを高精度で制御することを目的として行われる。この場合の液晶表示装置の製造方法は、単品に対応した大きさの対向ガラス基板を搬送する工程を有する。こうした工程の例としては、基板収納ケースに立てて収納された対向ガラス基板を一枚ずつ取り出して、パレット状の別の基板収納ケースに並べた状態に移載する工程などを挙げることができる。

特開平９−４０１１１号公報

しかしながら、上述した工程に適用可能な、小さな対向ガラス基板を移載する装置は未だ提案されておらず、こうした工程では人の手で対向ガラス基板を移載しているのが現状である。人の手による移載には、基板の破損、移載位置のずれ、基板の収納方向の誤り等を原因とする歩留まりの低下や、作業要員の増加、作業者の習熟に長期間がかかる等の課題がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、対角２インチ以下程度の大きさの基板を基板収納ケース間で移載することが可能な基板移載装置、基板移載方法、および当該基板移載方法を利用した電気光学装置の製造方法を提供することにある。

本発明による基板移載装置は、内壁に支持溝を有する第１の基板収納ケースに前記支持溝に沿って収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に移載する装置であって、前記第１の基板収納ケースを載置する第１の基板収納ケース載置部と、前記第２の基板収納ケースを載置する第２の基板収納ケース載置部と、前記第１の基板収納ケースに収納された前記基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える基板移し換え機構と、前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面に配置する基板保持機構と、前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構とを備えることを特徴とする。

このような基板移載装置は、基板移し換え機構が基板を第１の基板収納ケースから基板載置部へ移し換えた後に、基板保持機構が当該基板を保持し、続いてこの状態の基板保持機構を搬送機構が放出位置に搬送し、最後に基板保持機構が基板を第２の基板収納ケースに収納する。このように、上記構成によって得られる効果の一つは、対角２インチ以下のガラス基板を含む基板を、人の手を介さずに第１の基板収納ケースから第２の基板収納ケースへ移載できることである。

ここで、前記基板載置機構は、前記基板載置部を第１の位置および第２の位置を含む複数の位置に移動させる移動機構を有し、前記第１の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板は、前記第１の基板収納ケース載置部上の前記第１の基板収納ケースに収納された前記基板と略平行であってもよい。この構成によれば、基板移し換え機構によって第１の基板収納ケースから引き出された基板は、第１の位置にある基板載置部と略平行となっており、基板の移し換えに際して基板の角度を調整する必要がないため、基板の移し換えを容易に行うことができる。また、上記構成によれば、基板は第１の基板収納ケース内で鉛直面から傾いた状態で収納される。これにより、基板は、自重により支持溝に寄り掛かって姿勢が安定するとともに、支持溝が等間隔であれば等間隔に配置される。このため、基板移し換え機構は、当該基板を容易に保持することができる。

さらに、前記第２の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板、および前記第２の基板収納ケースに含まれる前記基板収納面は略水平であり、前記基板保持機構は、前記第２の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板を前記保持位置において保持するものであってもよい。この構成によれば、前記基板保持機構はバランスよく基板を保持することができるとともに、当該基板を平行移動することによって当該基板を第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納することができる。

ここで、前記移動機構は、前記基板載置部を含む部位を略水平な軸を中心に回転させる回転機構を含んでいることが望ましい。回転機構を用いることで、前記移動機構は、前記基板載置部を、載置された基板が水平から傾く前記第１の位置と、載置された基板が略水平になる前記第２の位置との間で容易に移動させることができる。
本発明に係る基板移載装置は、第１の基板収納ケースに水平面から傾斜した状態で収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に移載する装置であって、基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える基板移し換え機構と、基板載置部に載置された基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して第２の基板収納ケースの基板収納面に配置する基板保持機構と、基板保持機構を保持位置から放出位置へ搬送する搬送機構とを備え、基板載置機構は、基板を基板載置部に移し換える際には、基板載置部を第１の基板と同等な傾斜とし、基板を基板収納面に配置する際には、基板載置部を水平にするための回転部を有することを特徴とする。
また、回転部は、多角形柱からなり、多角形柱における側面の少なくとも一つに基板搭載部が形成され、多角形柱は、当該多角形の略中心を通る線分を回転軸として回転可能に設けられ、回転軸は、水平面において搬送の方向と直交する方向に延在していることが好ましい。
また、基板の一方の面は、少なくとも配向膜が形成された機能面とされてなり、第１の基板収納ケースは、載置面が傾斜を持つ面からなる載置部に載置され、第１の基板収納ケースには、複数の基板が収納されるとともに、複数の基板を配列するための複数の支持溝が形成されており、載置部に載置された第１の基板収納ケース内において、基板は、機能面の反対側の面を地面側にして支持溝に沿って収納されるとともに、複数の基板の全てが傾斜した状態で配置されていることが好ましい。
また、多角形柱は、正八角形柱であり、傾斜は、基板が自重によって支持溝に寄り掛かる状態を維持できる角度であることが好ましい。

また、前記基板保持機構は、前記基板を吸着して保持する吸着機構を備えていてもよい。この構成によれば、基板保持機構は、基板の一の平面を吸着することにより、基板の端面が自由な状態で基板を保持することができる。ここで自由な状態とは、何ら異物と接触していない状態を指す。基板のすべての端面が自由な状態にあれば、基板保持機構は、第２の基板収納ケースが基板の端面を案内する隔壁を有する場合であっても当該基板を容易に第２の基板収納ケースに放出することができる。

ここで、前記基板保持機構は、前記吸着機構を略鉛直な軸を中心に回転させる回転手段を含んでいてもよい。このような基板保持機構は、吸着機構によって基板を保持した状態で当該基板を鉛直な軸を中心に回転させることができる。これにより、基板移載装置は、基板を基板収納面の隔壁に沿った状態に移載することができる。

本発明による基板移載装置は、前記基板載置部に載置された前記基板の方向を検出する第１の検出機構を備えることを特徴とする。この構成の基板移載装置は、第１の検出機構により、基板載置部に載置された基板の方向が所定の状態から同一平面内で１８０度回転していることが検出された場合、例えば、基板保持機構が当該基板を保持した吸着機構を１８０度回転させることによって、基板の方向を所定の状態に修正して移載することができる。また、この基板移載装置は、第１の検出機構により、基板載置部に載置された基板が所定の状態と表裏逆になっていることが検出された場合、例えば装置を停止させることによって、表裏逆の状態で基板を移載することを防止することができる。

また、本発明の基板移載装置は、前記基板載置部に載置された前記基板の破損を検出する第２の検出機構を備えることを特徴とする。この構成の基板移載装置は、第２の検出機構により基板が破損していることが検出された場合、例えば装置を停止させることによって、破損した基板を移載することを防止することができる。

さらに、本発明による基板移載装置は、前記基板保持機構によって保持された前記基板の端面の位置を検出する第３の検出機構と、前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面の隔壁の位置を検出する第４の検出機構と、前記第３の検出機構によって検出された前記端面の位置および前記第４の検出機構によって検出された前記隔壁の位置から前記放出位置を算出し、当該放出位置の情報を前記搬送機構へ伝達する処理部とを備えることを特徴とする。この構成の基板移載装置は、保持機構によって保持された基板の端面の位置と、第２の基板収納ケースの隔壁の位置とから基板を放出する位置をあらかじめ算出することによって、基板を精度よく基板収納面に収納することができる。

本発明による基板移載装置は、第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納された基板を、内壁に支持溝を有する第１の基板収納ケースに移載する装置であって、前記第２の基板収納ケースを載置する第２の基板収納ケース載置部と、前記第１の基板収納ケースを載置する第１の基板収納ケース載置部と、前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して基板載置機構の基板載置部に配置する基板保持機構と、前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構と、前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を前記第１ の基板収納ケースに移し換える基板移し換え機構とを備えることを特徴とする。この構成による効果の一つは、基板を上述した方向とは逆の方向に移載すること、具体的には第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面から第１の基板収納ケースへ移載することが可能なことである。
本発明による基板移載装置は、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に収納された基板を、水平面から傾斜した状態に配置された第１の基板収納ケースに移載する装置であって、基板収納面に載置された基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して基板載置機構の基板載置部に配置する基板保持機構と、基板保持機構を保持位置から放出位置へ搬送する搬送機構と、基板載置部に載置された基板を保持するとともに、当該基板を第１の基板収納ケースに移し換える基板移し換え機構とを備え、基板載置機構は、基板を基板載置部に配置する際には、基板載置部を水平にし、基板を第１の基板収納ケースに移し換える際には、基板載置部を第１の基板と同等な傾斜とするための回転部を有することを特徴とする。

本発明による基板移載方法は、内壁に支持溝を有する第１の基板収納ケースに前記支持溝に沿って収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に移載する方法であって、基板移し換え機構が、第１の基板収納ケース載置部上の前記第１の基板収納ケースに収納された前記基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える第１のステップと、基板保持機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持する第２のステップと、搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第３のステップと、前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して第２の基板収納ケース載置部に載置された前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面に配置する第４のステップとを有することを特徴とする。
本発明による基板移載方法は、第１の基板収納ケースに水平面から傾斜した状態で収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に移載する方法であって、基板移し換え機構が、基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える第１のステップと、基板保持機構が、基板載置部に載置された基板を保持位置において保持する第２のステップと、搬送機構が、基板保持機構を保持位置から放出位置へ搬送する第３のステップと、保持機構が、放出位置において基板を放出して基板収納面に配置する第４のステップとを含み、基板載置機構は、基板載置部が形成された回転部を備え、第１のステップにおいては、回転部が、基板載置部を第１の基板と同等な傾斜とし、第４のステップにおいては、回転部が、基板載置部を水平にすることを特徴とする。

上記方法によって得られる効果の一つは、対角２インチ以下のガラス基板を含む基板を、人の手を介さずに第１の基板収納ケースから第２の基板収納ケースへ移載できることである。

ここで、前記基板載置方法は、前記第１のステップの前に、前記基板載置機構に含まれる移動機構が、前記基板載置部を第１の位置に移動させる第５のステップを有し、前記第１の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板は、前記第１の基板収納ケース載置部上の前記第１の基板収納ケースに収納された前記基板と略平行であってもよい。この方法によれば、基板移し換え機構によって第１の基板収納ケースから引き出された基板は、第１の位置にある基板載置部と略平行となっており、基板の移し換えに際して基板の角度を調整する必要がないため、基板の移し換えを容易に行うことができる。また、上記方法によれば、基板は第１の基板収納ケース内で鉛直面から傾いた状態で収納されている。これにより、基板は、自重により支持溝に寄り掛かって姿勢が安定するとともに、支持溝が等間隔であれば等間隔に配置される。このため、基板移し換え機構は、当該基板を容易に保持することができる。

さらに、前記第１のステップの後に、前記基板載置機構に含まれる移動機構が前記基板載置部を第２の位置に移動させる第６のステップを有するとともに、前記第２のステップは、前記保持機構が前記第２の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板を前記保持位置において保持するステップを含み、前記第２の位置にある前記基板載置部に載置された前記基板、および前記第２の基板収納ケースに含まれる前記基板収納面は略水平であってもよい。この方法によれば、前記基板保持機構はバランスよく基板を保持することができるとともに、当該基板を平行移動することによって当該基板を第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納することができる。

ここで、前記第５のステップおよび前記第６のステップは、前記基板載置部を含む部位を略水平な軸を中心に回転させる回転機構を含む移動機構が、前記基板載置部を移動させるものであることが望ましい。回転機構を用いることで、前記移動機構は、前記基板載置部を、載置された基板が水平から傾く前記第１の位置と、載置された基板が略水平になる前記第２の位置との間で容易に移動させることができる。

また、前記第２のステップは、前記基板保持機構が前記基板を吸着して保持するステップを含んでいてもよい。この方法によれば、基板保持機構は、基板の一の平面を吸着してこれを保持することにより、基板の端面が自由な状態で基板を保持することができる。基板のすべての端面が自由な状態にあれば、基板保持機構は、第２の基板収納ケースが基板の端面を案内する隔壁を有する場合であっても、当該基板を容易に第２の基板収納ケースに放出することができる。

本発明による基板移載方法は、前記第１のステップの後に、第１の検出機構が、前記基板載置部に載置された前記基板の方向を検出する第７のステップを有することを特徴とする。この基板移載方法によれば、第１の検出機構により、基板載置部に載置された基板の方向が所定の状態から同一平面内で１８０度回転していることが検出された場合、例えば基板保持機構が当該基板を保持した吸着機構を１８０度回転させることによって、基板の方向を所定の状態に修正して移載することができる。また、この基板移載方法によれば、第１の検出機構により、基板載置部に載置された基板が所定の状態と表裏逆になっていることが検出された場合、例えば装置を停止させることによって、表裏逆の状態で基板を移載することを防止することができる。

また、本発明の基板移載方法は、前記第１のステップの後に、第２の検出機構が、基板載置部に載置された前記基板の破損を検出する第８のステップを有することを特徴とする。この基板移載方法によれば、第２の検出機構により基板が破損していることが検出された場合、例えば装置を停止させることによって、破損した基板を移載することを防止することができる。

さらに、本発明による基板移載方法は、前記第２のステップの後に、第３の検出機構が、前記基板保持機構によって保持された前記基板の端面の位置を検出する第９のステップと、前記第９のステップの後に、第４の検出機構が、前記第２の基板収納ケースに設けられた前記基板の端面を案内するための隔壁の位置を検出する第１０のステップと、前記第１０のステップの後に、処理部が、前記第３の検出機構によって検出された前記端面の位置および前記第４の検出機構によって検出された前記隔壁の位置から前記放出位置を算出し、当該放出位置の情報を前記搬送機構へ伝達する第１１のステップとを有することを特徴とする。この基板移載方法によれば、保持機構によって保持された基板の端面の位置と、第２の基板収納ケースの隔壁の位置とから基板を放出する位置をあらかじめ算出することによって、基板を精度よく基板収納面に収納することができる。

本発明による基板移載方法は、第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面に収納された基板を、内壁に支持溝を有する第１の基板収納ケースに移載する方法であって、基板保持機構が、第２の基板収納ケース載置部上の前記第２の基板収納ケースに含まれる前記基板収納面に収納された基板を保持位置において保持する第１のステップと、搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第２のステップと、前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して当該基板を基板載置機構の基板載置部に載置する第３のステップと、基板移し換え機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を第１の基板収納ケース載置部に載置された前記第１の基板収納ケースに移し換える第４のステップとを有することを特徴とする。この方法による効果の一つは、基板を上述した方向とは逆の方向に移載すること、具体的には第２の基板収納ケースに含まれる基板収納面から第１の基板収納ケースへ移載することが可能なことである。
本発明による基板移載方法は、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に収納された基板を、水平面から傾斜した状態に配置された第１の基板収納ケースに移載する方法であって、基板保持機構が、基板収納面に収納された基板を保持位置において保持する第１のステップと、搬送機構が、基板保持機構を保持位置から放出位置へ搬送する第２のステップと、保持機構が、放出位置において基板を放出して当該基板を基板載置機構の基板載置部に載置する第３のステップと、基板移し換え機構が、基板載置部に載置された基板を保持するとともに、当該基板を第１の基板収納ケースに移し換える第４のステップとを含み、基板載置機構は、基板載置部が形成された回転部を備え、第３のステップにおいては、回転部が、基板載置部を水平にし、第４のステップにおいては、回転部が、基板載置部を第１の基板と同等な傾斜とすることを特徴とする。

本発明による電気光学装置の製造方法は、上記の基板移載方法を有することを特徴とする。この製造方法は、基板を人の手を介さずに移載可能な基板移載方法を含むので、歩留まりよく電気光学装置を製造することができる。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

（Ａ．基板搬送装置の構成）
図１は、本実施形態の基板移載装置１の構成を示す模式図である。基板移載装置１は、基板移し換え機構１０、「第１の基板収納ケース載置部」としての基板収納ケース載置部５０、「基板載置機構」としてのロータリポケット２０、基板保持機構３０、搬送機構４０、カメラ９１，９２，９３，９４、「第２の基板収納ケース載置部」としてのパレット載置部６０を備えている。基板移載装置１は、全体として、基板収納ケース載置部５０に載置された基板収納ケース５１内の「基板」としてのガラス基板５を、パレット載置部６０に載置されたパレット６１に移載する装置である。以下では、水平面のうち、基板収納ケース５１からパレット６１へ向かう方向、すなわちガラス基板５が運搬される方向をＸ軸、水平面上であってＸ軸と直交する向きをＹ軸、鉛直上向きをＺ軸とする。以下、上記構成要素について図１を用いて説明する。

（Ａ１．基板移し換え機構）
基板移し換え機構１０は、ハンド１１、ハンド移動機構１２、ハンド移動機構基部１３からなり、ハンド移動機構基部１３には、基板収納ケース５１が載置される基板収納ケース載置部５０が設置されている。基板収納ケース載置部５０は、基板収納ケース５１を載置可能に構成された容器を複数繋げた形状を有している。基板収納ケース５１には、基板移載装置１が移載する対象であるガラス基板５が収納されている。

図２は、基板収納ケース５１の模式斜視図である。基板収納ケース５１は、ガラス基板５を支持するために等間隔に形成された支持溝５２を内壁に有するプラスチック製の容器であり、ガラス基板５を支持溝５２に沿った方向に揃えて収納することができる。一つの基板収納ケース５１は、２０枚のガラス基板５を収納することができる。

ここでガラス基板５は、液晶表示装置１００（図１１（ｂ）参照）の対向基板８２（図１１（ａ）参照）を構成する部材であり、片方の面（外縁部を除く）には、透明電極およびこれに重ねて塗布された配向膜が形成されている。ガラス基板５の外縁部近傍の一点には、方向判定用マークが記されている。また、ガラス基板５は、対角１．３インチの長方形の面を有し、厚さは１．１ｍｍである。

ハンド移動機構基部１３のうち基板収納ケース載置部５０が設置される面は、水平面から一定の角度だけ傾いた斜面になっており、これにともなって基板収納ケース載置部５０および基板収納ケース５１も水平面に対して当該角度をもって設置される。このときガラス基板５は、基板収納ケース５１内で鉛直面から傾いた状態で収納され、自重により支持溝５２に寄り掛かる。これによりガラス基板５は、姿勢が安定するとともに、すべてのガラス基板５が同じ姿勢で支持溝５２に寄り掛かるため、互いに等間隔な状態で基板収納ケース５１に収納される。

基板移し換え機構１０の上記構成要素は、互いに次のように組み付けられている。ハンド移動機構基部１３にはハンド移動機構１２が取り付けられており、ハンド移動機構１２にはハンド１１が取り付けられている。このうち、ハンド移動機構１２は、アーム部１２１を有している。ハンド移動機構１２は、ハンド移動機構基部１３の前記斜面を昇降する方向に可動範囲を有するとともに、当該斜面に垂直な方向にも可動範囲を有する。すなわち、Ｘ−Ｚ平面内の方向に移動可能である。ハンド１１は、間隔を調整可能に構成された一対の平行な把持指からなり、ハンド移動機構１２のアーム部１２１に、当該アーム部１２１と平行な方向、すなわちＹ軸方向に可動範囲を有して取り付けられている。

ハンド１１は、ガラス基板５を把持可能な位置において把持指の間隔を狭めることにより、ガラス基板５の端面をもってこれを把持することができる。ここで、ガラス基板５は、上述したように等間隔で安定して基板収納ケース５１に収納されているので、ハンド１１は、容易にガラス基板５を把持することができる。ハンド１１によってガラス基板５を把持した基板移し換え機構１０は、ハンド移動機構１２およびハンド１１を前記可動範囲で適当に動かすことにより、ガラス基板５を後述する第１の位置にあるポケット２１の近傍に移動させることができる。この状態でハンド１１の把持指の間隔を広げてガラス基板５を放すことで、基板移し換え機構１０は、ガラス基板５をポケット２１に載置することができる。この際、ガラス基板５は、透明電極および配向膜が形成されていない面をポケット２１に向けて載置される。したがって、ガラス基板５の載置に際して配向膜面が汚染されることはない。

以上のように、基板移し換え機構１０は、基板収納ケース５１に収納されたガラス基板５を引き出すとともに、当該ガラス基板５をポケット２１に載置することができる。

（Ａ２．基板載置機構）
図１に示すように、「基板載置機構」としてのロータリポケット２０は、「基板載置部」としてのポケット２１、ポケット基部２２、および移動機構２３からなる。ポケット２１は、ポケット基部２２に固定されており、ポケット基部２２は、移動機構２３に取り付けられている。

ここで、図３および図４を用いて、ロータリポケット２０の構成要素の配置および動作について詳しく説明する。図３に示すように、ポケット基部２２は、ポケット２１を設置するための８つの面を環状に配置した、正八角柱に近い形状を有しており、前記８つの面のうちの一対の面が略水平になるように移動機構２３に取り付けられている。ポケット基部２２は、金属からなる。前記８つの面のうち水平面から＋４５度の方向を向いた面の一つには、ポケット２１が設置されている。ポケット２１のこの位置を以下では「第１の位置」とも呼ぶ。第１の位置にあるポケット２１には、基板移し換え機構１０がガラス基板５を載置することができる。

ポケット２１は、ガラス基板５を載置可能な金属製の部品であり、ガラス基板５の端面の位置を規定するための隔壁２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃと、吸着孔２１２を有している。なお、ポケット２１の表面は、ガラス基板５を傷付けないためにフッ素樹脂などでコーティングしてあってもよい。吸着孔２１２内は外気に対して負圧になっており、吸着孔近傍の外気または物体を吸引する。隔壁２１１ａは、隔壁２１１ｂ，２１１ｃに対して相対的に高くなっている。この構成により、上述のハンド１１から第１の位置にあるポケット２１に放されたガラス基板５は、隔壁２１１ａによって一旦支持されると同時に、自重および吸着孔２１２の生ずる負圧によってポケット２１に引き寄せられ、載置される。ポケット２１に載置されたガラス基板５は、吸着孔２１２による吸引力および隔壁２１１ａ，２１２ｂ，２１２ｃによってポケット２１に固定される。

なお、第１の位置にあるポケット２１に載置された状態のガラス基板５は、上述の基板収納ケース５１に収納された状態のガラス基板５およびハンド１１に把持された状態のガラス基板５と略平行である。換言すれば、ハンド１１に把持されてポケット２１の近傍に運ばれたガラス基板５は、角度をほとんど変えることなくポケット２１に載置される。この構成により、上述の基板移し換え機構１０は、ガラス基板５を容易にポケット２１に載置することができる。

移動機構２３は、内部に設置された図示しない回転機構によって、ポケット基部２２を図３に示すＹ軸に平行な回転軸２４を中心に回転させることができる。移動機構２３が、ポケット基部２２を、ポケット２１が鉛直上向きになるように回転させた状態を図４に示す。ポケット２１のこの位置を以下では「第２の位置」とも呼ぶ。後述する基板保持機構３０は、第２の位置にあるポケット２１に載置されたガラス基板５を保持することができる。移動機構２３は、ポケット基部２２をいずれの向きにも任意の回転量だけ回転することができるので、ポケット２１を第２の状態から第１の状態に戻すこともできる。

なお、本実施形態においてはポケット基部２２の８つの面のうち１箇所にのみポケット２１が設置されているが、その他の面に同時にポケット２１を設置してもよい。例えば、各面にそれぞれ大きさの異なるガラス基板を収納可能なポケットを設置すれば、ポケット基部２２を適宜回転させるだけで、これらの大きさのガラス基板の移載に対応できる。

また、図１に示すように、ロータリポケット２０の全体は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。より詳細には、ロータリポケット２０は、ハンド１１がガラス基板５を第１の位置にあるポケット２１に載置可能な位置（図１において二重鎖線で描かれた位置）と、後述する吸着コレット３１がガラス基板５を第２の位置にあるポケット２１から保持可能な位置（図１において実線で描かれた位置）との間で移動することができる。以下では、前者を「第３の位置」、後者を「第４の位置」とも呼ぶ。このロータリポケット２０の移動は、移動機構２３内の図示しない駆動装置によって実現される。

上述の内容をガラス基板５の搬送の観点から換言すると、ポケット２１が第１の位置にあり、かつロータリポケット２０全体が第３の位置にある場合に、ハンド１１がガラス基板５をポケット２１に載置することができる。また、ポケット２１が第２の位置にあり、かつロータリポケット２０全体が第４の位置にある場合に、吸着コレット３１がガラス基板５をポケット２１から保持することができる。

以上のように、基板載置機構としてのロータリポケット２０は、ポケット２１においてガラス基板５を載置することができるとともに、この状態のガラス基板５を所定の位置の間で移動させることができる。

（Ａ３．基板保持機構および搬送機構）
図１に示すように、基板保持機構３０は、Ｚ軸方向の下端に「吸着機構」としての吸着コレット３１を有し、同じく上端で搬送機構４０に取り付けられている。また、基板保持機構３０には、鉛直下方を向いたカメラ９４が固定されている。

吸着コレット３１は、負圧によって物体を吸着可能な四角環状の吸着部を有する。当該四角環状の吸着部は、常にＸ−Ｙ平面と平行を保ち、その形状は、ガラス基板５の外縁部に対応する。よって、吸着コレット３１は、ガラス基板５と正対した状態で吸着を行うことにより、ガラス基板５の外縁部のみと接してこれを保持することができる。ガラス基板５の外縁部には配向膜が配置されていないので、吸着コレット３１は、配向膜を汚染することなくガラス基板５を保持することができる。なお、基板保持機構３０は、吸着コレット３１をＺ軸を中心として回転させることができる。以下では、当該回転角度をθとする。

搬送機構４０は、吸着コレット３１を含む基板保持機構３０を搬送することができる。詳細には、基板保持機構３０をＺ軸方向に上下移動させること、およびＸ−Ｙ平面内に平行移動させることができる。

吸着コレット３１を含む基板保持機構３０および搬送機構４０の上記動作によって、基板保持機構３０は、第２の位置にあるポケット２１に載置されたガラス基板５を保持するとともに、パレット６１の基板収納面６２に収納されるように放出することができる。

ここで、パレット６１は、パレット載置部６０上に水平な状態で載置された金属製の基板収納ケースであり、図５にその模式斜視図を示す。パレット６１は、金属の板を削り出すことによって形成したパレット隔壁６３を有する。パレット隔壁６３は、ガラス基板５の大きさに合わせて形成されており、当該パレット隔壁６３によって区画された基板収納面６２には、ガラス基板５を合計２０枚収納することができる。

なお、パレット６１と、前述した第２の位置にあるポケット２１は、ともに水平な状態でガラス基板５を載置可能であるため、基板保持機構３０は、ガラス基板５を一旦保持した後は当該ガラス基板５の仰角を調整することなく基板収納面６２に収納することができる。

以下では、基板保持機構３０がポケット２１に載置されたガラス基板５を保持するときの基板保持機構３０の位置を「保持位置」、基板保持機構３０がガラス基板５を基板収納面６２に放出するときの基板保持機構３０の位置を「放出位置」と呼ぶ。これによれば、搬送機構４０は、基板保持機構３０を、保持位置と放出位置の間で搬送する。

放出位置は、基板保持機構３０がガラス基板５を放出すると、当該ガラス基板５が基板収納面６２に収納されるような位置である。したがって、放出位置において基板保持機構３０が保持するガラス基板５の端面と、当該ガラス基板５が収納されるべき基板収納面６２に対応するパレット隔壁６３の端面とは、精度よく揃っている必要がある。搬送機構４０は、後述するカメラ９３，９４の機能によって、このような条件を満たす放出位置に基板保持機構３０を移動することができる。放出位置に移動した基板保持機構３０は、ガラス基板５を放出することによって、ガラス基板５を基板収納面６２に収納することができる。

基板保持機構３０の吸着コレット３１は、ガラス基板５の一の平面を吸着して保持しているので、ガラス基板５のすべての端面は、何ら異物と接触していない。このため、基板保持機構３０は、パレット６１がパレット隔壁６３を有していても、パレット隔壁６３に接触することなく、容易にガラス基板５を基板収納面６２に放出することができる。

（Ａ４．検出機構）
図１に示すように、基板移載装置１には、基板保持機構３０の可動範囲の一点において、当該基板保持機構３０に対向する向き、すなわち鉛直上方を向いたカメラ９３が配置されている。また、上述したように、基板保持機構３０には、鉛直下方を向いたカメラ９４が固定されている。カメラ９３は、基板端面判定部９７を介して処理部７１に接続されている（図６参照）。また、カメラ９４は、パレット隔壁端面判定部９８を介して同じく処理部７１に接続されている（図６参照）。

カメラ９３，９４は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）を利用した撮像素子を備えたカメラである。カメラ９３は、基板保持機構３０が保持するガラス基板５の端面を撮影し、撮影した画像のデータを基板端面判定部９７に送信する。基板端面判定部９７は、受信した当該データから、ガラス基板５の端面の位置および角度を検出し、その情報を処理部７１に送信する。一方、カメラ９４は、基板保持機構３０が保持しているガラス基板５が収納されるべき基板収納面６２のパレット隔壁６３の端面を撮影し、撮影した画像のデータをパレット隔壁端面判定部９８に送信する。パレット隔壁端面判定部９８は、受信した当該データから、パレット隔壁６３の端面の位置および角度を検出し、その情報を処理部７１に送信する。

ここで、カメラ９３および基板端面判定部９７は本発明における「第３の検出機構」に対応し、カメラ９４およびパレット隔壁端面判定部９８は本発明における「第４の検出機構」に対応する。

基板端面判定部９７および隔壁端面判定部９８からそれぞれガラス基板５の端面およびパレット隔壁６３の端面の位置および角度の情報を受信した処理部７１は、これらのデータから、基板保持機構３０の適正な放出位置を算出する。そして、基板保持機構３０および吸着コレット３１を当該放出位置に移動させるために必要な情報を搬送機構４０および基板保持機構３０に送信する。当該必要な情報とは、基板保持機構３０のＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量と、吸着コレット３１の回転角度θであり、前者は搬送機構４０に、後者は基板保持機構３０に、それぞれ送信される。搬送機構４０は、受信した情報をもとに基板保持機構３０を移動させる。また、基板保持機構３０は、受信した情報をもとに吸着コレット３１を回転させる。こうして、吸着コレット３１を含む基板保持機構３０は、ガラス基板５を基板収納面６２に適正に放出可能な放出位置に移動する。

基板移載装置１には、さらにカメラ９１，９２が配置されている。カメラ９１，９２はそれぞれ、ロータリポケット２０の可動範囲のいずれかにおいて、第２の位置にあるポケット２１に対向するように、すなわち鉛直下方を向いて配置されている。カメラ９１は、方向判定部９５を介して処理部７１に接続されている（図６参照）。また、カメラ９２は、破損判定部９６を介して処理部７１に接続されている（図６参照）。

カメラ９１は、カメラ９３，９４と同じくＣＣＤを利用した撮像素子を備えたカメラである。カメラ９１は、ポケット２１に載置されたガラス基板５の方向判定用マークを撮影し、撮影した画像のデータを方向判定部９５に送信する。方向判定部９５は、受信したデータから、ガラス基板５の方向を検出し、判定する。具体的には、方向判定用マークが所定の位置にあればガラス基板５の方向は正常であり、方向判定用マークが所定の位置の逆側、すなわちガラス基板５の中心に対して点対称の位置にあればガラス基板５の方向は１８０度ずれており、方向判定用マークの位置が上述のいずれにも該当しない場合は、ガラス基板５は表裏逆の載置を含む、上記以外の異常な載置が行われていると判定する。その後方向判定部９５は、当該ガラス基板５の方向の情報を処理部７１に送信する。処理部７１は、方向が正常である場合には特別の動作は行わない。また、方向が１８０度ずれている場合には、基板保持機構３０が当該ガラス基板を保持した際に、搬送機構４０に対して基板保持機構３０をθ方向に１８０度回転させるための信号を送信し、方向が表裏逆である場合には基板移載装置１全体を停止させる。なお、カメラ９１および方向判定部９５が本発明における「第１の検出機構」に対応する。

カメラ９２も、カメラ９３，９４と同じくＣＣＤを利用した撮像素子を備えたカメラである。カメラ９４は、ポケット２１に載置されたガラス基板５の端面を撮影し、撮影した画像のデータを破損判定部９６に送信する。破損判定部９６は、受信したデータから、ガラス基板５における破損の有無を検出し、判定する。具体的には、撮影された端面の画像に割れ・欠け等の破損によるコントラストの変化がある場合に、ガラス基板５が破損していると判定する。その後破損判定部９６は、当該ガラス基板５の破損の有無の情報を処理部７１に送信する。処理部７１は、ガラス基板５に破損がない場合には特別の動作は行わない。また、破損がある場合には基板移載装置１全体を停止させる。なお、カメラ９２および破損判定部９６が本発明における「第２の検出機構」に対応する。

カメラ９１，９２のこうした機能により、基板移載装置１は、破損していないガラス基板５のみを所定の方向でパレット６１の基板収納面６２に移載することができる。

以上に述べた構成を有する基板移載装置１は、ガラス基板５を、基板収納ケース５１からパレット６１の基板収納面６２に、人の手を介さずに移載することができる。

（Ｂ．基板移載方法）
続いて、図６を用いて基板移載装置１の電気的な構成について説明し、その後、これに基づいて図７から図９を用いて本実施形態における基板移載方法について説明する。

図６は、基板移載装置１の電気的構成を示すブロック図である。この図に示すように、処理部７１は、ハンド移動機構１２、ハンド移動機構基部１３、移動機構２３、方向判定部９５、破損判定部９６、基板端面判定部９７、パレット隔壁端面判定部９８、基板保持機構３０、搬送機構４０、レシピ記憶部７２、および入力部７３と接続されている。処理部７１は、上述の構成要素から各種情報および信号を受け取るとともに、これらを処理し、また、前記構成要素に各種情報および信号を送信する。基板移載装置１は、処理部７１が、基板移し換え機構１０、ロータリポケット２０、基板保持機構３０、搬送機構４０等を駆動するための信号をタイミングよく送信することで、これら構成要素を順次駆動して基板の移載を行う装置である。

レシピ記憶部７２は、入力部７３から入力されたレシピ情報を処理部７１を介して受け取り、記憶する。ここで、レシピ情報は、ガラス基板５のサイズ、基板収納ケース５１に収納されているガラス基板５の枚数、支持溝５２のピッチ、方向判定用マークの位置、パレット６１の基板収納面６２の配置（行・列の数）を含む。

続いて、本実施形態の基板移載方法について図７から図９を用いて説明する。図７の工程図に示すように、本実施形態の基板移載方法は、工程Ｓ１から工程Ｓ１７に分けることができる。図７において、各工程は、対象となる構成要素毎に列方向に分けて配置されており、矢印が工程の進行方向を示す。図８および図９は、本実施形態の基板移載方法の模式図である。

工程Ｓ１では、ロータリポケット２０が第３の位置に移動するとともに、ポケット２１が第１の位置に移動する。これらの移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を移動機構２３が受信し、移動機構２３が当該信号に基づいてロータリポケット２０全体を平行移動させるとともに、ポケット基部２２を回転軸２４を中心に回転させることによって実施される。

続く工程Ｓ２では、基板移し換え機構１０のハンド１１が、基板収納ケース５１に収納されたガラス基板５を把持する。この工程は、より詳細には、ハンド１１がガラス基板５を把持可能な位置に移動するステップと、ハンド１１の把持指がガラス基板５の端面をもってこれを把持するステップとを含む。

上述のハンド１１の移動、および把持指によるガラス基板５の把持は、次のような動作の組み合わせによって行われる。処理部７１は、当該移動および把持のための信号をハンド移動機構基部１３およびハンド移動機構１２に送信する。ハンド移動機構基部１３は、当該信号に基づいてハンド移動機構１２を移動させる。ハンド移動機構１２は、当該信号に基づいてハンド１１、およびハンド１１の把持指を動かす。ハンド１１は、これらの動作の組み合わせによって移動し、ガラス基板５を把持する。なお、処理部７１が発信する信号は、レシピ記憶部７２に記憶されたガラス基板５のサイズ、基板収納ケース５１に収納されているガラス基板５の枚数、基板収納ケース５１の支持溝５２のピッチの情報をもとに処理部７１によって生成される。

ハンド１１によるガラス基板５の把持が行われた場合には、工程Ｓ３が行われる。この工程では、図８（ａ）に示すように、基板移し換え機構１０のハンド１１が、ガラス基板５をロータリポケット２０のポケット２１に載置する。この工程は、より詳細には、ハンド１１がガラス基板５をポケット２１に載置可能な位置に移動するステップと、ハンド１１の把持指がガラス基板５を放してこれをポケット２１に載置するステップとを含む。

上述のハンド１１の移動、およびガラス基板５の開放は、次のような動作の組み合わせによって行われる。処理部７１は、当該移動および把持のための信号をハンド移動機構基部１３およびハンド移動機構１２に送信する。ハンド移動機構基部１３は、当該信号に基づいてハンド移動機構１２を移動させる。ハンド移動機構１２は、当該信号に基づいてハンド１１、およびハンド１１の把持指を動かす。ハンド１１は、これらの動作の組み合わせによって移動し、ガラス基板５を開放する。

上述の工程Ｓ２およびＳ３は、本発明における「第１のステップ」に対応する。

次に、工程Ｓ４において、ロータリポケット２０のポケット２１が、第２の位置に移動するとともに、ロータリポケット２０が、ポケット２１とカメラ９１とが互いに対向する位置（図８（ｂ）参照）に移動する。ロータリポケット２０およびポケット２１の移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を移動機構２３が受信し、移動機構２３が当該信号に基づいてロータリポケット２０全体を平行移動させるとともに、ポケット基部２２を回転軸２４を中心に回転させることによって実施される。

ロータリポケット２０の移動が完了した場合には、工程Ｓ５において、ポケット２１に載置されたガラス基板５の方向検出が行われる。当該検出は、カメラ９１、方向判定部９５、および処理部７１の協働によって行われる。当該判定の際の動作は、既に詳述したので重複を避けるためにここでは説明しない。

工程Ｓ５において、ガラス基板５が正しく載置されている、または１８０度回転して載置されていると判定された場合には、工程Ｓ６において、ロータリポケット２０が、ポケット２１とカメラ９２とが互いに対向する位置（図８（ｃ）参照）に移動する。ロータリポケット２０の移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を移動機構２３が受信し、移動機構２３が当該信号に基づいてロータリポケット２０全体を平行移動させることによって実施される。

ロータリポケット２０の移動が完了した場合には、工程Ｓ７において、ポケット２１に載置されたガラス基板５の破損検出が行われる。当該検出は、カメラ９２、破損判定部９６、および処理部７１の協働によって行われる。当該判定の際の動作は、既に詳述したので重複を避けるためにここでは説明しない。

なお、工程Ｓ５において、ガラス基板５が表裏逆に載置されていると判定された場合、または工程Ｓ６において、ガラス基板５が破損していると判定された場合には、工程Ｓ１７が行われる。この工程では、処理部７１が基板移載装置を停止させる。その後は、作業者がガラス基板５を除去する等の対処をして、再び工程Ｓ１から基板の移載を始めることになる。

工程Ｓ７において、ガラス基板５に破損がないと判定された場合には、工程Ｓ８において、ロータリポケット２０が第４の位置に移動する。ロータリポケット２０の移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を移動機構２３が受信し、移動機構２３が当該信号に基づいてロータリポケット２０全体を平行移動させることによって実施される。

ロータリポケット２０の移動が完了した場合には、工程Ｓ９が行われる。この工程では、図９（ａ）に示すように、基板保持機構３０が保持位置に移動するとともに、基板保持機構３０の吸着コレット３１がポケット２１に載置されたガラス基板５を保持する。この工程は、本発明における「第２のステップ」に対応する。

基板保持機構３０の保持位置への移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を搬送機構４０が受信し、搬送機構４０が当該信号に基づいて、基板保持機構３０を伴って移動することによって実施される。また、吸着コレット３１によるガラス基板５の吸着は、処理部７１から発信された当該吸着のための信号を基板保持機構３０が受信し、基板保持機構３０が当該信号に基づいて吸着コレット３１の吸着動作を行うことによって実施される。なお、吸着コレット３１がガラス基板５を吸着する際には、ポケット２１の吸着孔２１２によるガラス基板５の吸着は行われない。

ここで、当該ガラス基板５が、工程Ｓ５において正常な方向から１８０度回転していると判定されている場合には、工程Ｓ１０が行われる。工程Ｓ１０では、基板保持機構３０が、吸着コレット３１をθ方向に１８０度回転する。当該回転は、処理部７１から発信された当該回転のための信号を基板保持機構３０が受信し、基板保持機構が当該信号に基づいて吸着コレット３１を回転することによって実施される。この工程を経たガラス基板５の方向は、正常な状態に修正される。

工程Ｓ１０が終了した場合、または、工程Ｓ９において基板保持機構３０が正常な方向でガラス基板５を保持した場合には、工程Ｓ１１が行われる。工程Ｓ１１では、基板保持機構３０が、ガラス基板５とカメラ９３とが互いに対向する位置（図９（ｂ）参照）に移動する。基板保持機構３０の移動は、処理部７１から発信された当該移動のための信号を搬送機構４０が受信し、搬送機構４０が当該信号に基づいて、基板保持機構３０を伴って移動することによって実施される。

続く工程Ｓ１２では、ガラス基板５の端面の検出が行われる。この工程は、カメラ９３、基板端面判定部９７、および処理部７１の協働によって行われる。当該検出の際の動作は、既に詳述したので重複を避けるためにここでは説明しない。

次に、工程Ｓ１３において、基板保持機構３０が、カメラ９４とパレット６１の基板収納面６２とが対向する位置に移動する。上述したように、カメラ９４は基盤保持機構３０に固定されているので、基板保持機構３０の移動に伴って移動する。

こうしてカメラ９４と基板収納面６２とが対向した状態で、工程Ｓ１４においてパレット隔壁６３の端面の検出が行われる。この工程は、カメラ９４、パレット隔壁端面判定部９８、および処理部７１の協働によって行われる。当該検出の際の動作は、既に詳述したので重複を避けるためにここでは説明しない。

パレット隔壁６３の端面の検出が終了した場合には、工程Ｓ１５が行われる。この工程では、基板保持機構３０が放出位置（図９（ｃ）参照）に移動する。この工程は、本発明における「第３のステップ」に対応する。

この工程における基板保持機構３０の移動は、次のように行われる。処理部７１は、工程Ｓ１２，１４において、基板端面判定部９７およびパレット隔壁端面判定部９８からそれぞれガラス基板５の端面およびパレット隔壁６３の端面の位置および角度の情報を受信している。処理部７１は、これらのデータから、基板保持機構３０の保持するガラス基板５を適正な位置に移動させるために必要な情報を搬送機構４０および基板保持機構３０に送信する。当該必要な情報とは、基板保持機構３０のＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量と、吸着コレット３１の回転角度θであり、前者は搬送機構４０に、後者は基板保持機構３０に、それぞれ送信される。次に、搬送機構４０は、受信した情報をもとに基板保持機構３０を移動させる。また、基板保持機構３０は、受信した情報をもとに吸着コレット３１を回転させる。こうして、吸着コレット３１を含む基板保持機構３０は、適正な放出位置に移動する。

続く工程Ｓ１６では、基板保持機構３０の吸着コレット３１がガラス基板５を放出し、当該ガラス基板５をパレット６１の基板収納面６２に収納する。この工程は、本発明における「第４のステップ」に対応する。

この工程は、処理部７１が基板保持機構３０に対してガラス基板５を放出するための信号を発信して行われる。当該信号を受信した基板保持機構３０は、吸着コレット３１の吸着動作を停止させることによってガラス基板５を放出する。放出されたガラス基板５は、図５に示したような状態でパレット６１の基板収納面６２に収納される。

以上の工程により、一枚のガラス基板５が、基板収納ケース５１からパレット６１の基板収納面６２に移載される。これら一連の工程にかかる時間は、約７秒である。これらの工程を、レシピ記憶部７２に記憶された、基板収納ケース５１に収納されているガラス基板５の枚数の分だけ繰り返し、同じくパレット６１の基板収納面６２の配置（行・列の数）の情報に基づいてガラス基板５をパレット６１に収納する。

こうして、基板収納ケース５１に収納されたすべてのガラス基板５を、人の手を介さずに歩留まりよくパレット６１に移載することができる。発明者の調査によれば、人の手でガラス基板５を移載していたときには、破損、収納方向の間違い等を原因とした不良により歩留まりは約７５％であったが、本実施形態の基板移載装置１を用いることによってこれらの不良が低減し、歩留まりは約９６％にまで向上することが確認されている。

（Ｃ．電気光学装置の製造方法）
続いて、上述の基板移載方法を含む「電気光学装置の製造方法」としての液晶表示装置の製造方法について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態の液晶表示装置の製造手順を示す工程図である。図１０において、工程Ｐ１１からＰ１４は、複数の素子基板８１が一体に形成された複合素子基板を製造するための工程であり、工程Ｐ２１および工程Ｐ２３が対向基板８２を製造するための工程である。工程Ｐ３１から工程Ｐ３５は、複合素子基板および対向基板８２を組み合わせて液晶パネル８０、ひいては液晶表示装置１００を完成させるための工程である。工程Ｐ１１からＰ１４と、工程Ｐ２１および工程Ｐ２３とは、それぞれ独立に行われる。

工程Ｐ１１は、複合素子基板のもととなる円盤状の石英ガラス基板の表面に、ＴＦＴ素子、金属配線、透明電極を含む構成要素を積層して形成する工程である。一枚の石英ガラス基板には、複数の液晶表示装置に対応するこれら構成要素が形成される。この工程は、例えばフォトリソグラフィー法によって行われる。

工程Ｐ１２は、工程Ｐ１１において形成された構成要素に重ねて、フレキソ印刷法によってポリイミドからなる配向膜を形成する工程である。

工程Ｐ１３は、工程Ｐ１２において形成された配向膜の表面を布で擦る、ラビングと呼ばれる工程である。ラビング工程を経た配向膜は、これに接する液晶を当該ラビングの方向に沿って配向させる機能を有する。

工程Ｐ１４は、工程Ｐ１３においてラビングがなされた面に、スクリーン印刷法によってシール剤を形成する工程である。シール剤は、対向基板８２を貼り合わせる領域の外縁部に、後述する液晶注入のための注入口となる部分を除いて形成される。以上の工程Ｐ１１からＰ１４を経て、複合素子基板が完成する。

工程Ｐ２１は、基板収納ケース５１に収納された状態のガラス基板５を基板移載装置１を用いてパレット６１の基板収納面６２に移載して並べる工程である。この工程は、上述した工程Ｓ１からＳ１７を含んでいる。これら工程については既に詳述したので、重複を避けるためにここでは説明しない。なお、ガラス基板５の片方の表面には、上述したように透明電極および配向膜が形成されており、ガラス基板５は、当該配向膜が形成された面を上にしてパレット６１に移載される。

工程Ｐ２３は、工程Ｐ２１においてパレット６１上に並べられたガラス基板５の表面の配向膜を布で擦る、ラビングと呼ばれる工程である。ガラス基板５は、パレット６１に配向膜を上にして同一平面上に並べられているので、パレット６１上のすべてのガラス基板５に対して一度にラビングを行うことができる。ラビング工程を経た配向膜は、これに接する液晶を当該ラビングの方向に沿って配向させる機能を有する。以上の工程Ｐ２１およびＰ２３を経て、対向基板８２が完成する。

工程Ｐ３１は、複合素子基板にシール剤を介して対向基板８２を貼り合せ、貼合基板を形成する工程である。貼り合わせは、複合素子基板と対向基板８２との間でアライメント（位置合わせ）をした状態で接触、圧着し、その後シール剤を乾燥して行われる。

工程Ｐ３２は、複合素子基板、対向基板８２、およびシール剤によって囲まれた領域に液晶を注入する工程である。この工程は、真空下で上述した注入口に液晶を滴下し、毛細管現象によって前記領域に液晶を導入して行う。

工程Ｐ３３は、複合素子基板と対向基板８２との間の基板間隔を適正な状態に調整した状態で注入口を封止する工程である。封止は、注入口に紫外線硬化性樹脂を塗布した後に紫外線を照射し、当該樹脂を硬化させて行う。

工程Ｐ３４は、液晶注入および封止が完了した貼合基板を個々の液晶表示装置に対応する形状にブレイクして単品の液晶パネル８０（図１１（ａ）参照）を製造する工程である。ブレイクは、複合素子基板の表面にスクライブ溝を形成し、当該スクライブ溝の位置で複合素子基板を切断して行われる。液晶パネル８０は、複合素子基板を切断して得られる単品に対応した大きさの素子基板８１と、対向基板８２とを有する。

工程Ｐ３５は、工程Ｐ３４で得られた液晶パネル８０に、外部と電気的に接続するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）８４（図１１（ａ）参照）、液晶パネル８０の表面に異物が付着するのを防ぐ防塵ガラス８３（図１１（ａ）参照）、液晶パネル８０の保護や放熱のためのカバー８５（図１１（ｂ）参照）を実装する工程である。以上の工程を経て、液晶表示装置１００が製造される。

以上説明したような液晶表示装置１００の製造方法によれば、ガラス基板５を人の手を介さずに基板収納ケース５１からパレット６１に移載することができるので、高い歩留まりで液晶表示装置１００を製造することができる。また、より少ない作業要員によって液晶表示装置１００を製造することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。

（変形例１）
上述の実施形態は、ガラス基板５を基板収納ケース５１からパレット６１へ移載するものであるが、本実施形態の基板移載装置１を用いれば、パレット６１から基板収納ケース５１への移載、すなわち上述と逆方向の移載も可能である。以下では、ガラス基板５をパレット６１から基板収納ケース５１へ移載する方法を、図１２を用いて説明する。

本変形例においては、まず図１２（ａ）に示すように、基板保持機構３０が上述の放出位置に移動し、パレット６１の基板収納面６２に収納されたガラス基板５を保持する。より詳細には、基板保持機構３０に含まれる吸着コレット３１が、ガラス基板５を吸着することによってこれを保持する。次に、ガラス基板５を保持した基板保持機構３０が上述の保持位置に移動するとともに、ロータリポケット２０が第４の位置に移動する。その際、ポケット２１は第２の位置に移動する。その後、図１２（ｂ）に示すように、基板保持機構３０の吸着コレット３１がガラス基板５を放出し、ポケット２１に載置する。続いて、ガラス基板５を載置したポケット２１が第１の位置に移動するとともに、ロータリポケット２０が第３の位置に移動する。この状態で、図１２（ｃ）に示すように、基板移し換え機構１０のハンド１１がガラス基板５を把持する。当該把持は、ポケット２１の隔壁２１１ｃの隙間を利用して把持指がガラス基板５の端面を把持して行う。ガラス基板５を把持したハンド１１は、基板収納ケース５１の支持溝５２に沿って当該ガラス基板５を基板収納ケース５１内に差し入れ、その後ガラス基板５を開放することによって基板収納ケース５１に収納する。以上のような工程によれば、基板移載装置１を用いてガラス基板５をパレット６１から基板収納ケース５１へ移載することができる。

本変形例は、ガラス基板５の移載方向が上述の実施形態と逆であるが、基板移載装置１の各構成要素の動作は当該実施形態と同じであるので、これらについての詳細な説明は省略する。

（変形例２）
上述の実施形態における基板移載装置１は、ガラス基板５を移載するが、搬送する対象はこれに限られず、基板の形状を有するものであれば移載可能である。例えば、石英基板、シリコン基板などを移載することもできる。また、基板移載装置１は、上述の搬送方法で搬送可能なものである限り、搬送する基板の大きさは特に限定しない。

（変形例３）
上述の実施形態において、ハンド１１は把持指を有し、ガラス基板５を把持可能に構成されているが、ハンドは、ガラス基板５を「保持」することが可能なものであれば何でもよい。例えば、吸着コレットのようにガラス基板５を吸着して保持するものをハンドとして用いることもできる。

（変形例４）
上述の実施形態において、ポケット２１は水平から傾いた第１の位置と、水平な第２の位置との間で移動可能に構成されていたが、これに代えて第２の位置に固定された構成であってもよい。この場合には、基板収納ケース５１はガラス基板５を水平な状態に収納するものであることが望ましく、基板移し換え機構１０は、当該水平な状態のガラス基板５を保持し、これを平行移動してポケット２１に載置するものであることが望ましい。こうした基板移し換え機構１０の例としては、水平なガラス基板５を上部から吸着して保持する吸着機構を備えた基板移し換え機構を挙げることができる。

（変形例５）
上述の実施形態は、一対のガラス基板を用いて透過型の液晶表示装置１００を製造するものであるが、本発明による基板移載方法は、その他にも、反射膜を有するシリコン基板を用いたＬＣＯＳ（Liquid Crystal on Silicon）を始めとして、様々な電気光学装置の製造に応用することができる。

基板移載装置を示す模式図。 第１の基板収納ケースを示す模式斜視図。 第１の位置にある基板載置部としてのポケットを有する、基板載置機構としてのロータリポケットの模式図。 第２の位置にある基板載置部としてのポケットを有する、基板載置機構としてのロータリポケットの模式図。 第２の基板収納ケースとしてのパレットの模式斜視図。 基板移載装置の電気的な構成を示すブロック図。 本発明の実施形態の基板移載方法を示す工程図。 本発明の実施形態の基板移載方法を示す模式図。 本発明の実施形態の基板移載方法を示す模式図。 本発明の実施形態の液晶表示装置の製造方法を示す工程図。 （ａ）および（ｂ）は、液晶表示装置の模式図。 本発明の変形例の基板移載方法を示す模式図。

符号の説明

１…基板搬送装置、５…「基板」としてのガラス基板、１０…基板移し換え機構、１１…ハンド、１２…ハンド移動機構、１２１…アーム部、１３…ハンド移動機構基部、２０…「基板載置機構」としてのロータリポケット、２１…「基板載置部」としてのポケット、２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ…隔壁、２１２…吸着孔、２２…ポケット基部、２３…移動機構、２４…回転軸、３０…基板保持機構、３１…「吸着機構」としての吸着コレット、４０…搬送機構、５０…「第１の基板収納ケース載置部」としての基板収納ケース載置部、５１…「第１の基板収納ケース」としての基板収納ケース、５２…支持溝、６０…「第２の基板収納ケース載置部」としてのパレット載置部、６１…「第２の基板収納ケース」としてのパレット、６２…基板収納面、６３…パレット隔壁、７１…処理部、７２…レシピ記憶部、７３…入力部、８０…液晶パネル、８１…素子基板、８２…対向基板、８３…防塵ガラス、８４…ＦＰＣ、８５…カバー、９１…「第１の検出機構」を構成するカメラ、９２…「第２の検出機構」を構成するカメラ、９３…「第３の検出機構」を構成するカメラ、９４…「第４の検出機構」を構成するカメラ、９５…「第１の検出機構」を構成する方向判定部、９６…「第２の検出機構」を構成する破損判定部、９７…「第３の検出機構」を構成する基板端面判定部、９８…「第４の検出機構」を構成するパレット隔壁端面判定部、１００…液晶表示装置。

Claims (13)

1. 第１の基板収納ケースに水平面から傾斜した状態で収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に移載する装置であって、
   前記基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える基板移し換え機構と、
   前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面に配置する基板保持機構と、
   前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構とを備え、
   前記基板載置機構は、
   前記基板を前記基板載置部に移し換える際には、前記基板載置部を前記第１の基板と同等な傾斜とし、前記基板を前記基板収納面に配置する際には、前記基板載置部を水平にするための回転部を有することを特徴とする基板移載装置。
2. 請求項１に記載の基板移載装置であって、
   前記回転部は、多角形柱からなり、
   前記多角形柱における側面の少なくとも一つに前記基板搭載部が形成され、
   前記多角形柱は、当該多角形の略中心を通る線分を回転軸として回転可能に設けられ、
   前記回転軸は、水平面において前記搬送の方向と直交する方向に延在していることを特徴とする基板移載装置。
3. 請求項１または２に記載の基板移載装置であって、
   前記基板の一方の面は、少なくとも配向膜が形成された機能面とされてなり、
   前記第１の基板収納ケースは、載置面が前記傾斜を持つ面からなる載置部に載置され、
   前記第１の基板収納ケースには、複数の前記基板が収納されるとともに、前記複数の基板を配列するための複数の支持溝が形成されており、
   前記載置部に載置された前記第１の基板収納ケース内において、前記基板は、前記機能面の反対側の面を地面側にして前記支持溝に沿って収納されるとともに、前記複数の基板の全てが前記傾斜した状態で配置されていることを特徴とする基板移載装置。
4. 請求項３に記載の基板移載装置であって、
   前記多角形柱は、正八角形柱であり、
   前記傾斜は、前記基板が自重によって前記支持溝に寄り掛かる状態を維持できる角度であることを特徴とする基板移載装置。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板移載装置であって、
   前記基板保持機構は、前記基板を吸着して保持する吸着機構を備えることを特徴とする基板移載装置。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板移載装置であって、
   前記基板保持機構は、前記吸着機構を鉛直な軸を中心に回転させる回転手段を含むことを特徴とする基板移載装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板移載装置であって、
   前記基板載置部に載置された前記基板の方向を検出する第１の検出機構を備えることを特徴とする基板移載装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板移載装置であって、
   前記基板載置部に載置された前記基板の破損を検出する第２の検出機構を備えることを特徴とする基板移載装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の基板移載装置であって、
   前記基板保持機構によって保持された前記基板の端面の位置を検出する第３の検出機構
   と、
   前記第２の基板収納ケースの前記基板収納面の隔壁の位置を検出する第４の検出機構と、
   前記第３の検出機構によって検出された前記端面の位置および前記第４の検出機構によって検出された前記隔壁の位置から前記放出位置を算出し、当該放出位置の情報を前記搬送機構へ伝達する処理部とを備えることを特徴とする基板移載装置。
10. 第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に収納された基板を、水平面から傾斜した状態に配置された第１の基板収納ケースに移載する装置であって、
    前記基板収納面に載置された前記基板を保持位置において保持するとともに、放出位置において当該基板を放出して基板載置機構の基板載置部に配置する基板保持機構と、
    前記基板保持機構を前記保持位置から前記放出位置へ搬送する搬送機構と、
    前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を前記第１の基板収納ケースに移し換える基板移し換え機構とを備え、
    前記基板載置機構は、
    前記基板を前記基板載置部に配置する際には、前記基板載置部を水平にし、
    前記基板を前記第１の基板収納ケースに移し換える際には、前記基板載置部を前記第１の基板と同等な傾斜とするための回転部を有することを特徴とする基板移載装置。
11. 第１の基板収納ケースに水平面から傾斜した状態で収納された基板を、第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に移載する方法であって、
    基板移し換え機構が、前記基板を保持して当該第１の基板収納ケースから引き出すとともに、当該基板を基板載置機構の基板載置部に移し換える第１のステップと、
    基板保持機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持位置において保持する第２のステップと、
    搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第３のステップと、
    前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して前記基板収納面に配置する第４のステップとを含み、
    前記基板載置機構は、前記基板載置部が形成された回転部を備え、
    前記第１のステップにおいては、前記回転部が、前記基板載置部を前記第１の基板と同等な傾斜とし、
    前記第４のステップにおいては、前記回転部が、前記基板載置部を水平にすることを特徴とする基板移載方法。
12. 第２の基板収納ケースに含まれる水平な基板収納面に収納された基板を、水平面から傾斜した状態に配置された第１の基板収納ケースに移載する方法であって、
    基板保持機構が、前記基板収納面に収納された前記基板を保持位置において保持する第１のステップと、
    搬送機構が、前記基板保持機構を前記保持位置から放出位置へ搬送する第２のステップと、
    前記保持機構が、前記放出位置において前記基板を放出して当該基板を基板載置機構の基板載置部に載置する第３のステップと、
    基板移し換え機構が、前記基板載置部に載置された前記基板を保持するとともに、当該基板を前記第１の基板収納ケースに移し換える第４のステップとを含み、
    前記基板載置機構は、前記基板載置部が形成された回転部を備え、
    前記第３のステップにおいては、前記回転部が、前記基板載置部を水平にし、
    前記第４のステップにおいては、前記回転部が、前記基板載置部を前記第１の基板と同等な傾斜とすることを特徴とする基板移載方法。
13. 請求項１１に記載の基板移載方法を有する電気光学装置の製造方法。

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