JP2006215580A - 電気光学装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アライメントマークが形成された対向基板220をヘッド361に吸着保持した状態で、CCDカメラ320にてアライメントマークを検出する。この検出結果を基に、制御部にてアライメントマークの位置情報が算出され、更に補正情報が算出される。この補正情報に基づいて対向基板220はTFTアレイ基板210a上まで搬送され、載置されて、2枚の基板の仮接着が行われる。このように、仮接着前の基板の位置合わせを、位置決めピンといった道具を用いずに非接触で行うことができるので、結果として基板の欠けや割れなどの発生を防止することができる。
【選択図】図1
Description
(液晶装置の構造)
まず、はじめに液晶装置の構造について図3、図6、図7を用いて説明する。図3は対向基板の概略斜視図である。図6は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側からみた平面図である。図7は図6の線H−H’の断面図である。
次に、液晶装置の製造装置について図1から図4を用いて説明する。
次に、上述の製造装置を用いた液晶装置の製造方法及び制御装置の動作について、図5に基づき、図1、図3を用いて説明する。図5は、液晶装置の製造工程を示すフロー図である。
52a…液晶注入口
55…アライメントマーク
200…液晶装置
210…マザー基板
210a…TFTアレイ基板
220…対向基板
300…製造装置
310…制御部
320…CCDカメラ
330…リング照明部
360…搬送機構
361…ヘッド
370…載置台
Claims (6)
- アライメントマークが形成された第1基板と、第2基板とを貼り合わせる電気光学装置の製造装置において、
前記第1基板を吸着保持する吸着保持体と、
前記アライメントマークの位置を検出する検出部と、
前記吸着保持体により吸着保持した状態で、第1載置台上に配置された前記第1基板を、前記アライメントマークの位置を検出する検出部の上まで搬送する搬送機構と、
前記検出部により検出された位置情報と、対比情報とを比較して補正情報を算出し、該補正情報を前記搬送機構に伝送する制御部とを具備し、
前記搬送機構が、前記補正情報に基づいて前記第1基板を仮位置合わせの位置に搬送し、第2載置台上に配置された前記第2基板上に前記第1基板を配置することを特徴とする電気光学装置の製造装置。 - 前記検出部の上の前記第1基板に向かって光を照射する照明部を更に備え、
前記検出部は、前記アライメントマークによって反射された反射光を検出することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造装置。 - 前記検出部は、前記アライメントマークの画像情報を検出し、
前記制御部は、前記画像情報を画像処理することで、前記アライメントマークの位置情報を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置の製造装置。 - アライメントマークが形成された第1基板を、第1載置台上に配置する工程と、
前記第1載置台上の前記第1基板を吸着保持体により吸着保持する工程と、
前記吸着保持体により吸着保持した状態で、前記吸着保持体を有する搬送機構によって、前記第1基板を前記アライメントマークの位置を検出する検出部の上まで搬送する工程と、
前記検出部の上において、前記アライメントマークの位置を検出する工程と、
前記検出された位置情報と対比情報とを比較し、補正情報を算出する工程と、
前記補正情報を前記搬送機構に伝送し、前記補正情報に基づいて前記第1基板を仮位置合わせの位置に搬送する工程と、
第2載置台上に配置された第2基板上に前記第1基板を配置する工程と、
前記第1基板と前記第2基板とを仮接着する工程と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記アライメントマークの位置を検出する工程では、前記検出部の上の前記第1基板に向かって光を照射し、
前記アライメントマークによって反射された反射光を、前記検出部にて検出することを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記アライメントマークの位置を検出する工程では、前記アライメントマークの画像情報を検出し、
前記検出された画像情報を画像処理することで、前記アライメントマークの位置情報を算出することを特徴とする請求項4又は5に記載の電気光学装置の製造方法。
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JP2009092752A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
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JP2010002357A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Akim Kk | 振動子片特性検査装置及び振動子片特性検査方法 |
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