JP2007071941A

JP2007071941A - 電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び基板支持部材

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Publication number: JP2007071941A
Application number: JP2005256013A
Authority: JP
Inventors: Shunji Matsuzawa; 俊次松澤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-09-05
Filing date: 2005-09-05
Publication date: 2007-03-22

Abstract

【課題】基板を支持する際に基板表面に傷を生じさせることのない電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び基板支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面視において液晶装置５００の画像表示領域１０ａを含む矩形領域８２３内に、液晶装置５００の下面に線接触する頂部８２１ａを有する逆Ｖ字形状の波型部８２１が形成されたステージ８０１により、液晶装置５００を支持する。また、液晶装置５００の画像表示領域１０ａの周辺領域を、吸引口８１１から空気を吸引することにより真空吸着する。
【選択図】図８

Description

本発明は、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び基板支持部材に関し、特に電気光学装置用基板を他部材上に位置決めして搭載する電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び基板支持部材に関する。

平板状の基板を有する電気光学装置の製造装置においては、上方に水平面を有するステージ上に基板を支持するための基板支持部材が組み込まれている。基板支持部材の一例として、水平面に形成された凹部と、凹部から空気吸引装置に連通する空気排出路とを具備した基板支持部材が、特開平１０−１７３０８８号公報に開示されている。この基板支持部材の凹部において、空気排出路を介して空気を吸引することにより、基板が凹部が形成された水平面に吸着される。
特開平１０−１７３０８８号公報

しかしながら、基板を水平面に吸着して支持する場合においては、基板下面と水平面上との間に異物が挟まれてしまった場合、基板下面に傷が生じてしまう虞があった。例えば液晶装置のような電気光学装置用の基板において、このような傷が画像表示領域内に発生した場合、表示品位の低下及び液晶装置の製造の歩留りの悪化の原因となってしまう。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板を支持する際に基板表面に傷を生じさせることのない電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び基板支持部材を提供することを課題とする。

本発明に係る電気光学装置の製造装置は、電気光学装置用の基板の下面に接して前記基板を支持する基板支持部材と、該基板支持部材上において前記基板の側面と当接するように動かされる前記基板を位置決めする位置規定部材とを具備し、前記基板支持部材は、上面が前記基板の前記下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において、前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを具備したことを特徴とする。

また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学装置用の基板を、前記電気光学装置を構成する部材上に位置決めして搭載する電気光学装置の製造方法であって、上面が前記基板の下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを有する基板支持部材上に前記基板を載置する工程と、前記基板支持部材上に載置された前記基板の側面に、位置規定部材を当接させることにより位置決めを行う工程とを含むことを特徴とする。

本発明のこのような構成によれば、電気光学装置用の基板は、基板下面の中央領域に線接触又は点接触する基板支持部材の突出部によって支持される。このため、基板の下面と突出部の上端部との間に異物が挟まることがない。よって、基板の下面に傷を生じさせることなく電気光学装置を製造できるという効果を有する。

また、本発明は、前記周辺支持部の前記上面に、一つ又は複数の吸引口が形成されていることが好ましい。

また、本発明は、前記周辺支持部に形成された吸引口から空気を吸引することにより、前記基板支持部材上に載置された前記基板を吸引する工程を含むことが好ましい。

このような構成によれば、周辺支持部に形成された吸引口から空気を吸引することにより電気光学装置用の基板を吸引することで、安定して基板を支持することができ、基板の位置決めを精度よく行うことができるという効果を有する。

また、本発明は、前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることが好ましい。

また、本発明は、前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることが好ましい。

また、本発明は、前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることが好ましい。

また、本発明は、前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることが好ましい。

このような構成によれば、電気光学装置用の基板の下面を、線接触または点接触により支持することが可能となり、突出部と基板下面との間に異物が挟まることがないという効果を有する。

また、本発明は、電気光学装置の製造装置は、前記基板を、前記電気光学装置を構成する部材上に搭載する移載装置を有することが好ましい。

このような構成によれば、電気光学装置用の基板を、基板下面に傷をつけることなく、電気光学装置を構成する他の部材上に搭載することが可能となるという効果を有する。

また、本発明に係る基板支持部材は、基板の下面に接して前記基板を支持する基板支持部材であって、上面が前記基板の前記下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において、前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを具備したことを特徴とする。

本発明のこのような構成によれば、基板は、基板下面の中央領域に線接触又は点接触する基板支持部材の突出部によって支持される。このため、基板の下面と突出部の上端部との間に異物が挟まることがない。よって、基板支持部材は、基板の下面に傷を生じさせることなく基板を支持することが可能となるという効果を有する。

このような構成によれば、周辺支持部に形成された吸引口から空気を吸引することにより基板を吸引することで、安定して基板を支持することができるという効果を有する。

このような構成によれば、基板の下面を、線接触または線接触により支持することができ、突出部と基板下面との間に異物が挟まることがないという効果を有する。

以下、本発明の実施の形態について、図１から図１２を参照して説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。なお、以下の説明に用いた各図においては、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせてある。

本実施形態の電気光学装置の全体構成について、図１、図２及び図３を参照して説明する。ここで、図１はＴＦＴアレイ基板を、その上に構成された各構成要素と共に対向基板の側から見た液晶装置の平面図である。図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。図３は、電気光学装置の分解斜視図である。ここでは、電気光学装置の一例として、駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を使用した電気光学装置を例にとる。

図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置５００では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には液晶層５０が封入されている。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔を所定値とするためのグラスファイバあるいはガラスビーズ等のギャップ材が散らばって配設されている。

シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。なお、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。また、本実施形態においては、前記の画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域が存在する。言い換えれば、本実施形態においては特に、ＴＦＴアレイ基板１０の中心から見て、この額縁遮光膜５３より以遠が周辺領域として規定されている。

周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が設けられたＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿い、かつ額縁遮光膜５３に覆われるように設けられている。また、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺、すなわちデータ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が設けられたＴＦＴアレイ基板１０の一辺に対向する辺に沿って設けられ、額縁遮光膜５３に覆われるように設けられた複数の配線１０５によって、二つの走査線駆動回路１０４は互いに接続されている。

また、対向基板２０の４つのコーナー部には、ＴＦＴアレイ基板１０との電気的接続を行う上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらの上下導通材１０６に対応する領域において上下導通端子が設けられている。上下導通材１０６と上下導通端子を介して、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な接続が行われる。

図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜１６が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜２２が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜１６及び２２の間で、所定の配向状態をとる。

図３に示すように、液晶装置５００のＴＦＴアレイ基板１０に設けられている外部回路接続端子１０２にフレキシブルコネクタ５０１が接続されている。また、液晶装置５００を構成するＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の液晶層とは反対側となる面上には、それぞれ防塵用透明基板４００及び４０１が配設されている。

本実施形態に係る電気光学装置６００は、フレキシブルコネクタ５０１が接続された状態の液晶装置５００が、実装ケース６０１に収容される構造により構成されている。実装ケース６０１は、プレート部材６１０と、カバー部材６２０とを備えており、プレート部材６１０とカバー部材６２０により液晶装置５００を挟持することにより、液晶装置５００を収容する。プレート部材６１０、カバー部材６２０及び液晶装置５００は、その間に接着剤が充填されることにより互いに固定される。

プレート部材６１０は、平板を加工して形成した板金製である。プレート部材６１０は、プレート部材６１０のカバー部材６２０と対向する面に直交する方向から見たとき（以下、平面視と称す。）において、液晶装置５００の防塵用透明基板４００の外形寸法よりも大きい略矩形状に形成されている。プレート部材６１０の一面には、液晶装置５００のＴＦＴアレイ基板１０側に配設された防塵用透明基板４００の表面を接着面として、液晶装置５００が接着され固定される。プレート部材６１０には、液晶装置５００の画像表示領域１０ａに対向する箇所に、開口部６１５が形成されている。また、平面視においてプレート部材６１０の、液晶装置５００のフレキシブルコネクタ５０１が接続された辺に連続する２辺と略平行となる２辺には、折り曲げ部６１３が曲げ形成されている。折り曲げ部６１３は、液晶装置５００が接着される面を内側にして直角に曲げ形成される。すなわち、プレート部材６１０は、コの字状の断面形状を有する。また、平面視において、プレート部材６１０の四隅と、液晶装置５００のフレキシブルコネクタ５０１が接続された辺とは反対側となる辺と平行となる辺中央の近傍に、貫通孔である取付孔６１１が形成されている。

一方、カバー部材６２０は、アルミニウム合金等を素材として成型されたダイカスト製である。カバー部材６２０は、プレート部材６１０と同様に、平面視において略矩形状を有し、その対向する２辺に折り曲げ部が形成されたコの字上の断面形状を有する。液晶装置５００は、プレート部材６１０とカバー部材６２０のそれぞれのコの字形状の内側に収容されるものである。カバー部材６２０には、液晶装置５００の画像表示領域１０ａに対向する箇所に、開口部６２５が形成されている。また、カバー部材６２０には、平面視において、プレート部材６１０に形成された取付孔６１１と対向する領域に切り欠きが形成されている。
なお、本実施形態の電気光学装置６００においては、カバー部材６２０の開口部６２５から光源光が入射し、液晶装置５００を透過して、プレート部材６１０の開口部６１５から出射するものである。

次に、本実施形態に係る電気光学装置６００の製造装置について図４及び図５を参照して説明する。本実施形態においては、図３に示すプレート部材６１０の開口部６１５の辺縁部６１５ａ（図３の斜線ハッチングで示す部分）と、この辺縁部６１５ａに対する液晶装置５００の当接部位とがシリコン接着剤により接着される。このとき、液晶装置５００の画像表示領域１０ａと、プレート部材６１０の開口部６１５とは、それぞれの中心と角度を一致させて接着されなければならない。本実施形態に係る電気光学装置６００の製造装置であるプレートケーシング装置は、液晶装置５００とプレート部材６１０とを位置決めして接着する装置である。

本実施形態に係る電気光学装置６００の製造装置であるプレートケーシング装置３００の概略構成図を図４に示す。図４は、プレートケーシング装置３００を上方から見た場合（以下、平面視と称する。）における概略構成を示している。プレートケーシング装置３００には、インデックステーブル３０１が配設されている。インデックステーブル３０１は、平面視略円形の回動可能な水平面を有し、この水平面はインデックス機構により中心軸を回動軸として水平面上において等間隔に間歇回動する。本実施形態においては、インデックステーブル３０１は４５度ずつ、テーブル上方から見て反時計方向に回動する。インデックステーブル３０１の水平面上には、回動軸から等しい距離においてプレート部材６１０を支持するためのワーク保持部材３０１ａが配設されている。図４において、間歇回動するインデックステーブル３０１上のワーク保持部材３０１ａが停止する箇所である８箇所を、ａからｈの８つのアルファベットで示す。インデックステーブル３０１の周りには、ワーク保持部材３０１ａが停止する図４に示した停止位置ａからｈの各箇所に対応して、プレート部材６１０に対して後述する各処理を行うための工程処理領域が配設されている。より詳しくは、該工程処理領域である、プレート給材工程処理領域３１０、シリコン接着剤塗布工程処理領域３２０、液晶装置搭載工程処理領域３３０、紫外線硬化型接着剤塗布工程処理領域３４０、検査工程処理領域３５０、紫外線照射工程処理領域３６０及び除材工程処理領域３７０が、インデックステーブル３０１の周囲に配設されている。インデックステーブル３０１の停止に対応して、各工程処理工程処理領域が処理を実施することにより、プレート部材６１０に液晶装置５００が位置決めされて接着される。

プレート給材工程処理領域３１０には、プレート部材供給トレイ３１１と、図示しない移載装置とが設けられている。プレート部材供給トレイ３１１は、プレート部材供給トレイ３１１上に複数個のプレート部材６１０がマトリクス状に載置された状態において、プレート給材工程処理領域３１０内に供給され、図示しないトレイ保持部によって保持されるものである。また、プレート給材工程処理領域３１０の移載装置は、プレート部材供給トレイ３１１上に載置されたプレート部材６１０をピックアップする保持機構と、ピックアップしたプレート部材６１０を後述するシリコン接着剤塗布工程処理領域３２０及び、インデックステーブル３０１の停止位置ａにおけるワーク保持部材３０１ａ上に供給する搬送機構とを有する。プレート給材工程処理領域３１０の移載装置は、例えばスカラ型又は直動型のロボットである搬送機構に、真空吸着又はメカニカルチャックからなる保持機構を備えることにより構成される。

シリコン接着剤塗布工程処理領域３２０には、ステージ３２１と、図示しないシリコン接着剤塗布装置が設けられている。シリコン接着剤塗布装置は、ステージ３２１上に載置されたプレート部材６１０の辺縁部６１５ａに、シリコン接着剤を塗布する機構を有する。シリコン接着剤塗布工程処理領域３２０には、ステージ３２１と、シリコン接着剤塗布装置が、それぞれ２つずつ配設されている。

液晶装置搭載工程処理領域３３０には、液晶装置供給トレイ３３１と、プリアライメント装置８００と、認識カメラ３３２と、図示しない移載装置とが設けられている。液晶装置供給トレイ３３１は、液晶装置供給トレイ３３１上に複数個の液晶装置５００がマトリクス状に載置された状態において、液晶装置搭載工程処理領域３３０内に供給され、図示しないトレイ保持部によって保持されるものである。また、液晶装置搭載工程処理領域３３０の移載装置は、液晶装置供給トレイ３３１上に載置された液晶装置５００をピックアップする保持機構と、ピックアップした液晶装置５００をプリアライメント装置８００上、及びインデックステーブル３０１の停止位置ｂにおけるワーク保持部材３０１ａ上に支持されたプレート部材６１０上に載置する搬送機構とを有する。液晶装置搭載工程処理領域３３０の移載装置は、例えばスカラ型又は直動型のロボットである搬送機構に、真空吸着からなる保持機構を備えることにより構成される。また、詳細は後述するが、プリアライメント装置８００は、液晶装置供給トレイ３３１上から移載された液晶装置５００について、機械的な位置決めを施す機械的アライメント機構を有する。機械的アライメントとは、例えば、水平面上に載置された液晶装置５００の側面に対して、位置規定部材を当接させることにより、水平面上における液晶装置５００の姿勢と位置を規定する機構である。また、詳細は後述するが、認識カメラ３３２は、液晶装置搭載工程処理領域３３０の移載装置の保持機構に保持された液晶装置５００の画像を取得する撮像装置である。本実施形態においては認識カメラ３３２は上方を向いており、認識カメラ３３２の上方において保持機構に保持されている液晶装置５００の底面を撮像する。また、図示しないが、液晶装置搭載工程処理領域３３０は、認識カメラ３３２により得られた液晶装置５００の底面の画像に対して画像処理を施す画像処理装置を有している。

紫外線硬化型接着剤塗布工程処理領域３４０には、図示しない紫外線硬化型接着剤塗布装置が設けられている。紫外線硬化型接着剤塗布装置は、インデックステーブル３０１の停止位置ｃ及びｄの上方に配設されており、インデックステーブル３０１のワーク保持部材３０１ａ上に支持されたプレート部材６１０上に紫外線硬化型接着剤を塗布する機構を有する。

検査工程処理領域３５０は、図示しない撮像装置と画像処理装置が設けられている。撮像装置はインデックステーブル３０１の停止位置ｅの上方に配設されており、インデックステーブル３０１のワーク保持部材３０１ａ上に支持されたプレート部材６１０及び液晶装置５００を撮像する。

紫外線照射工程処理領域３６０には、図示しない紫外線照射装置が設けられている。紫外線照射装置は、インデックステーブル３０１の停止位置ｆ及びｇの上方に配設されており、インデックステーブル３０１のワーク保持部材３０１ａ上に支持されたプレート部材６１０上に紫外線を照射する機構を有する。

除材工程処理領域３７０には、ＯＫ品ストッカ３７１とＮＧ品ストッカ３７２と、図示しない移載機構が設けられている。ＯＫ品ストッカ３７１及びＮＧ品ストッカ３７２は、その上面に液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０が整列されて載置される構造を有する。また、除材工程処理領域３７０の移載装置は、インデックステーブル３０１の停止位置ｈにおけるワーク保持部材３０１ａ上に支持されたプレート部材６１０をピックアップする保持機構と、ピックアップした液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０を、ＯＫ品ストッカ３７１もしくはＮＧ品ストッカ３７２上に供給する搬送機構とを有する。除材工程処理領域３７０の移載装置は、例えばスカラ型又は直動型のロボットである搬送機構に、真空吸着又はメカニカルチャックからなる保持機構を備えることにより構成される。

以上に説明した構成を有する、本実施形態に係る電気光学装置６００の製造装置であるプレートケーシング装置３００における、液晶装置５００とプレート部材６１０とを位置決めして接着する工程について図３、図４及び図５を参照して以下に説明する。図５は、プレートケーシング装置３００において実施される、液晶装置５００とプレート部材６１０との接着工程のフローチャートである。

まず、インデックステーブル３００の停止位置ａにおいて、プレート給材工程処理領域３１０により、プレート部材６１０がワーク保持部材３０１ａ上に載置される。このとき、プレート部材６１０は、シリコン接着剤塗布工程処理領域３２０によって辺縁部６１５ａ上にシリコン接着剤が塗布された状態となっている。より詳しくは、プレート部材供給トレイ３１１により、プレートケーシング装置３００内に供給されたプレート部材６１０が、プレート給材工程処理領域３１０の移載装置によって、シリコン接着剤塗布工程処理領域３２０のステージ３２１上に載置される。ステージ３２１上において、プレート部材６１０の辺縁部６１５ａ上にシリコン接着剤が塗布される（ステップＳ１）。シリコン接着剤が塗布された状態のプレート部材６１０は、プレート給材工程処理領域３１０の移載装置によって、インデックステーブル３０１の停止位置ａにおけるワーク保持部材３０１ａ上に載置される（ステップＳ２）。

次に、インデックステーブル３０１が、４５度回動することにより、シリコン接着剤が塗布された状態のプレート部材６１０が、インデックステーブル３０１の停止位置ｂに位置する。インデックステーブル３０１の停止位置ｂにおいて、液晶装置搭載工程処理領域３３０により、プレート部材６１０上に、液晶装置５００が位置決めされて搭載される（ステップＳ３）。このとき、液晶装置５００の画像表示領域１０ａと、プレート部材６１０の開口部６１５との中心と角度が平面視において一致するように、プレート部材６１０上に液晶装置５００が搭載される。より詳しくは、液晶装置供給トレイ３３１により、プレートケーシング装置３００内に供給された液晶装置５００が、液晶装置搭載工程処理領域３３０の移載装置によって、プリアライメント装置８００上に載置される。プリアライメント装置８００上において、機械的アライメント機構により、移載装置によるピックアップ位置に対する液晶装置５００の姿勢と位置が、液晶装置５００の外周形状を基準として規定される。液晶装置供給トレイ３３１上においては、液晶装置５００は、例えば液晶装置５００の外周形状に対してある程度のクリアランスを有する凹部内に載置されている。このため、移載装置により液晶装置供給トレイ３３１上から液晶装置５００をピックアップした場合、保持機構による液晶装置５００の保持姿勢にバラツキが生じる。プリアライメント装置８００は、後述する認識カメラ３３２による液晶装置５００の保持姿勢の画像認識に先立ち、あらかじめ認識カメラ３３２の画角内に液晶装置５００の認識対象が収まるように、保持機構による液晶装置５００の保持姿勢を規定するためのものである。プリアライメント装置８００により位置決めされた液晶装置５００は、移載装置により認識カメラ３３２上に移動される。認識カメラ３３２により撮像された液晶装置５００の画像に対して画像処理を施すことにより、画像表示領域１０ａを基準とした液晶装置５００の位置が算出される。画像表示領域１０ａを基準とした液晶装置５００の位置に基づいて、移載装置によって、液晶装置５００の画像表示領域１０ａと、プレート部材６１０の開口部６１５との中心と角度が一致するように、液晶装置５００がプレート部材６１０上に搭載される。

次に、インデックステーブル３０１が、４５度回動することにより、液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０が、インデックステーブル３０１の停止位置ｃに位置する。インデックステーブル３０１の停止位置ｃにおいて、紫外線硬化型接着剤塗布工程処理領域３４０により、プレート部材６１０上に搭載された液晶装置５００の隅に、紫外線硬化型接着剤が塗布される。紫外線硬化型接着剤が塗布される範囲は、図３において網状のハッチングで示した塗布領域６１６上である。図３においては、折り曲げ部６１３の陰となるため、塗布領域６１６は２箇所しか示されていないが、実際には開口部６１５を挟んだ反対側に塗布領域６１６があと２ヶ所存在する。紫外線硬化型接着剤は、プレート部材６１０上の４箇所の塗布領域６１６に塗布されるものである。紫外線硬化型接着剤の塗布工程は、他の工程に対して時間を必要とするため、２箇所の塗布領域６１６上に紫外線硬化型接着剤を塗布する工程を２回行うことにより、他の工程との処理時間のバランスをとっている。すなわち、インデックステーブル３０１の停止位置ｃにおいて、紫外線硬化型接着剤塗布工程処理領域３４０により、プレート部材６１０の２箇所の塗布領域６１６上に紫外線硬化型接着剤が塗布される。さらにインデックステーブル３０１が４５度回動することにより、インデックステーブル３０１の停止位置ｄにおいて、紫外線硬化型接着剤塗布工程処理領域３４０により、プレート部材６１０の残り２箇所の塗布領域６１６上に紫外線硬化型接着剤が塗布される（ステップＳ４）。なお、紫外線硬化型接着剤の塗布は、シリコン接着剤が硬化するまでにある程度の時間を要するため、シリコン接着剤が硬化するまでの間、プレート部材６１０と液晶装置５００との間に位置ずれが起きないようにプレート部材６１０と液晶装置５００とを仮接着することを目的とする。

次に、インデックステーブル３０１が４５度回動することにより、インデックステーブル３０１の停止位置ｅにおいて、検査工程処理領域３５０により、プレート部材６１０上への液晶装置５００の搭載精度の良否が判定される（ステップＳ５）。検査工程処理領域３５０は、液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０を撮像装置により撮像し、得られた画像に対して画像処理を行うことによって、液晶装置５００の画像表示領域１０ａと、プレート部材６１０の開口部６１５との平面視における中心と角度のずれ量を測定する。液晶装置５００の画像表示領域１０ａと、プレート部材６１０の開口部６１５との中心と角度のずれ量が所定の値を超えている場合は、不良と判定し、その情報を後の工程に受け渡す。不良と判定された液晶装置５００及びプレート部材６１０は、リペアするために後述する工程において選別される。

次に、インデックステーブル３０１が４５度回動することにより、インデックステーブル３０１の停止位置ｆにおいて、紫外線照射工程処理領域３６０によりプレート部材６１０上に紫外線が照射される。紫外線が照射されることにより、プレート部材６１０の塗布領域６１６上に塗布された紫外線硬化型接着剤が硬化する。紫外線硬化型接着剤の硬化は、他の工程に対して時間を必要とするため、さらにインデックステーブル３０１が４５度回動し、インデックステーブル３０１の停止位置ｇにおいても同様に、紫外線照射工程処理領域３６０によりプレート部材６１０上に紫外線が照射される（ステップＳ６）。ここで、搭載精度の検査工程（ステップＳ５）において、不良と判断されたプレート部材６１０に対しては、紫外線の照射を行わない。これは、後のリペアを容易にするためのものである。良品については、紫外線硬化型接着剤が硬化することにより、液晶装置５００とプレート部材６１０との仮接着が完了する。

次に、インデックステーブル３０１が４５度回動することにより、インデックステーブル３０１の停止位置ｈにおいて、液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０が、除材工程処理領域３７０によりワーク保持部材３０１ａ上から除材される（ステップＳ７）。除材される液晶装置５００が搭載された状態のプレート部材６１０は、搭載精度の検査工程（ステップＳ５）における良否判定結果に基づき選別され、良品はＯＫ品ストッカ３７１上に、不良品はＮＧ品ストッカ３７２上にそれぞれ載置される。

以上により、本実施形態に係る電気光学装置６００の製造装置であるプレートケーシング装置３００における、液晶装置５００とプレート部材６１０とを位置決めして接着する工程が完了する。

以上に説明した本実施形態に係るプレートケーシング装置３００における、液晶装置搭載工程処理領域３３０のプリアライメント装置８００について、以下により詳細に図４、図６及び図８を参照して説明する。

図６は、プリアライメント装置８００による、液晶装置５００の位置決め動作について説明する説明図である。図６の（ａ）は、プリアライメント装置８００の位置決め動作前であり、ステージ８０１上に液晶装置５００が載置されている状態を示している。図６の（ｂ）は、プリアライメント装置８００による、液晶装置５００の位置決め動作時の状態を示している。プリアライメント装置８００は、基板支持部材であるステージ８０１と、位置規定部材である第１及び第２の２つのプッシュロッド８０２及び８０３とを具備して構成されている。ステージ８０１は、平面視において矩形状であり、上面に液晶装置５００を略水平に支持する構成を有する。また、プッシュロッド８０２及び８０３は、直線的に移動可能な進退機構により２点間において進退移動する構成を有する。プッシュロッド８０２及び８０３の進出方向の端部には、進出方向に直交する平面で構成される当接面８０２ａ及び８０３ａがそれぞれ形成されている。当接面８０２ａ及び８０３ａは、ステージ８０１の支持部上に載置された液晶装置５００の、対向基板２０の側面２０ａに当接する形状を有する。第１のプッシュロッド８０２は、その進出方向を、図６の紙面に向かって見た時の右方向として配設されており、進出時において当接面８０２ａがステージ８０１の上方に達するように配設されている。また、第２のプッシュロッド８０３は、その進出方向を、図６の紙面に向かって見た時の下方向として配設されており、進出時において当接面８０３ａがステージ８０１の上方に達するように配設されている。すなわち、プッシュロッド８０２及びプッシュロッド８０３が進出することにより、ステージ８０１上において、当接面８０２ａと当接面８０３ａとにより略直交する規定面が形成される。

図６の（ａ）に示すように、位置決め動作前において、プリアライメント装置８００のプッシュロッド８０２及び８０３は、後退端に移動している。この状態において、ステージ８０１上に液晶装置５００が載置される。液晶装置５００が載置される位置は、プリアライメント装置８００により液晶装置５００を位置決めする位置よりも、図６の紙面に向かって見た時に左上に載置される。

その後、図６の（ｂ）に示すように、プリアライメント装置８００のプッシュロッド８０２及び８０３が、それぞれ進出端まで移動する。このとき、プッシュロッド８０２及び８０３は、液晶装置５００の対向基板２０の図６の紙面に向かって見た時に左及び上となる側面２０ａに、それぞれ当接面８０２ａ及び８０３ａを当接させながら移動する。これにより、ステージ８０１上における液晶装置５００の位置と角度が対向基板２０の側面２０ａを基準として規定される。

なお、本実施形態においては、対向基板２０の側面２０ａを基準として液晶装置５００の位置と角度を規定しているが、ＴＦＴアレイ基板１０の側面を基準として液晶装置５００の位置と角度を規定してもよい。この場合、図７に示すように、プッシュロッド９０２及び９０３は、進出時においてＴＦＴアレイ基板１０の側面１０ｂに当接する。

さらに、本発明に係る基板支持部材であるステージ８０１について、以下に図８及び図９を参照して詳細に説明する。図８は、ステージ８０１を上面から見た平面図である。図９は、図６（ｂ）におけるＡ−Ａ断面図である。

図８及び図９に示すように、ステージ８０１は、上下面を略水平とした平面視略矩形の平板により構成されており、その上面において、液晶装置５００を支持する部材である。平面視において、ステージ８０１の上面の略中央の矩形領域８２３に、複数のＶ字状の谷部と突出部である複数の逆Ｖ字状の山部からなる波型部８２１が形成されている。波型部８２１が形成される矩形領域８２３は、図８に示すように、液晶装置５００が載置された場合、平面視において液晶装置５００の表示領域１０ａを含む。波型部８２１は、逆Ｖ字状の山部の頂部８２１ａが、ステージ８０１の上面部と同一平面上となり、突出部の上端部である逆Ｖ字状の山部の稜線が、平面視において矩形領域８２３の一辺と平行となるように形成されている。

すなわちステージ８０１上に液晶装置５００が載置された場合、ステージ８０１の上面の略中央の矩形領域８２３の周辺領域が、画像表示領域１０ａの連続する２辺の周辺領域の下面を支持する。また、ステージ８０１上に液晶装置５００が載置された場合、ステージ８０１の上面の略中央の矩形領域８２３に形成された波型部８２１の逆Ｖ字状の山部の稜線が、画像表示領域１０ａの下面を支持する。

また、ステージ８０１の上面の略中央の矩形領域８２３の周辺領域であり、かつ液晶装置５００の下面が面接触する範囲内に、複数の吸引口８１１が形成されている。図９に示すように、吸引口８１１は、ステージ８０１の下面に形成された空気排出口８１３に連通して形成されている。空気排出口８１３は、本実施形態のプレートケーシング装置３００内部もしくは外部に配設される図示しない負圧発生器や真空ポンプ等の空気吸引装置６００と接続されており、空気吸引装置６００により空気を吸引口８１１から吸引することにより、液晶装置５００がステージ上に吸引される。

上記の構成を有する、本実施形態に係る基板支持部材であるステージ８０１によれば、基板である液晶装置５００は、平面視において画像表示領域１０ａの周辺領域の下面に面接触する周辺支持部であるステージ８０１の上面と、画像表示領域１０ａの下面に線接触する波型部８２１の逆Ｖ字状の山部の稜線とによって支持される。この液晶装置５００の支持構成によれば、例えば石英やガラス片等の異物が液晶装置５００の下面もしくはステージ８０１上に付着していた場合においても、画像表示領域１０ａの下面は線接触により支持されているため、画像表示領域１０ａとステージ８０１との間に異物が挟まれることはない。また、例え異物が画像表示領域１０ａとステージ８０１との間に挟まれた場合においても、位置決めのために液晶装置５００をステージ上で移動させることによって、即時に異物はステージ８０１の波型部８２１のＶ字形状の谷部に脱落する。したがって、本実施形態に係る基板支持部材であるステージ８０１によれば、基板である液晶装置５００の画像表示領域１０ａの下面に傷をつけることなく、液晶装置５００を支持することが可能となる。

また、液晶装置５００は、ステージ８０１の上面に形成された吸引口８１１を介して、ステージ８０１の上面に真空吸着される。このため、ステージ８０１は、液晶装置５００を姿勢を安定させながら支持することが可能となる。なお、真空吸着をしなくともステージ８０１上において液晶装置５００を安定して支持することが可能な場合は、吸引口８１１は設けなくともよい。また、液晶装置５００を真空吸着する必要がない場合においては、画像表示領域１０ａの周辺領域の下面を支持する方法は、線接触による支持を用いてもよい。すなわち、ステージ８０１の周辺支持部は、上端部が逆Ｖ字形状の山部の稜線によって構成されてもよい。

また、基板支持部材であるステージ８０１は、Ｌ字形状に互いに直交する２方向に延在するステージ８０１の上面である周辺支持部と、そのＬ字形状に直交する周辺支持部の内角側の領域に配設された波型部８２１である突出部とによって、液晶装置５００を支持する構成を有する。この構成によれば、例えば図８に示した液晶装置５００とは異なる外形寸法を有する液晶装置がステージ８０１上に載置された場合においても、周辺支持部に形成された吸引口８１１は、その画像表示領域の周辺領域の下面に位置するため、液晶装置下面を吸着することが可能となる。液晶装置５００と異なる外形寸法を有する液晶装置がステージ８０１上に載置された場合においても、Ｌ字形状に直交する周辺支持部の内角側の領域に配設された波型部８２１により画像表示領域の下面を支持するため、画像表示領域の下面に傷をつけることなく支持することが可能となる。すなわち、本実施形態に係る基板支持部材であるステージ８０１によれば、同一のステージ８０１上において、異なる外形寸法を有する液晶装置５００について、画像表示領域１０ａの下面に傷をつけることなく安定して支持することが可能となる。

なお、図１０に示すように、ステージ８０１ａの上面の略中央の矩形領域８２３に形成される波型部８３１は、断面が逆Ｕ字状の山部によって形成されてもよい。波型部８３１の突出部の上端部が逆Ｕ字状であっても、液晶装置５００の画像表示領域１０ａの下面は線接触により支持されるため、本実施形態と同様の効果を有することは言うまでもない。

また、本実施形態においては、波型部８２１の山部の稜線が平面視において矩形領域８２３の一辺と平行となるように形成されているが、図１１に示すように、波型部の山部の稜線８２１ａが、ステージ８０１ｂの矩形領域８２３ｂの一辺と所定の角度を有して交差するように形成されてもよい。例えば図１１においては、波型部の山部の稜線８２１ａが、矩形領域８２３ｂの対角を結ぶように形成されている。さらに、波型部の山部の稜線は、上端部において液晶装置５００の下面に線接触する形状であれば、例えば平面視において曲線を描く形状であってもよい。また、ステージ８０１ｂの矩形領域８２３ｂの形状は、平面視においてＬ字形状に直交する周辺支持部の内角側の領域において特に制限は無く、平面視において支持すべき液晶装置５００の画像表示領域１０ａの外周形状を囲む領域において形成されていればよく、ステージ８０１ｂの端部にまで形成されてもよい。

また、図１２に示すように、ステージ８０１ｃの液晶装置５００の画像表示領域１０ａの下面を支持する突出部８３２は、画像表示領域１０ａの下面に点接触する形状であってもよい。すなわち、ステージ８０１ｃの一つまたは複数の突出部８３２は、矩形領域８２３内において上端部が逆Ｖ字状もしくは逆Ｕ字状の断面形状を有する突起によって構成されてもよい。

なお、電気光学装置は、ＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置５００以外に、パッシブマトリックス型の液晶装置、ＴＦＤ（薄型ダイオード）をスイッチング素子として備えた液晶装置であっても良く、更に、液晶装置に限らず、エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Field Emission Display、及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）等の各種の電気光学装置であっても良い。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

ＴＦＴアレイ基板を、その上に構成された各構成要素と共に対向基板の側から見た液晶装置の平面図である。図１のＨ−Ｈ’断面図である。電気光学装置の分解斜視図である。プレートケーシング装置の概略構成図である。プレートケーシング装置において実施される、液晶装置とプレート部材との接着工程のフローチャートである。プリアライメント装置による、液晶装置の位置決め動作について説明する説明図である。プリアライメント装置の変形例を示す平面図である。ステージを上面から見た平面図である。図６（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。突出部である波型部の変形例を示す断面図である。突出部である波型部の変形例を示す平面図である。突出部の変形例を示す平面図である。

符号の説明

１０ａ画像表示領域、５００液晶装置、８０１ステージ、８１１吸引口、８２１波型部、８２１ａ頂部、８２３矩形領域

Claims

電気光学装置用の基板の下面に接して前記基板を支持する基板支持部材と、
該基板支持部材上において前記基板の側面と当接するように動かされる前記基板を位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記基板支持部材は、
上面が前記基板の前記下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、
該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において、前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを具備したことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
前記周辺支持部の前記上面に、一つ又は複数の吸引口が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、
前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、
前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、
前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、
前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
前記基板を、前記電気光学装置を構成する部材上に搭載する移載装置を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
電気光学装置用の基板を、前記電気光学装置を構成する部材上に位置決めして搭載する電気光学装置の製造方法であって、
上面が前記基板の下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを有する基板支持部材上に前記基板を載置する工程と、
前記基板支持部材上に載置された前記基板の側面に、位置規定部材を当接させることにより位置決めを行う工程とを含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
前記周辺支持部に形成された吸引口から空気を吸引することにより、前記基板支持部材上に載置された前記基板を吸引する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造方法。
基板の下面に接して前記基板を支持する基板支持部材であって、
上面が前記基板の前記下面に面接触し、その面接触する前記上面の形状がＬ字形状である周辺支持部と、
該周辺支持部の前記上面を延長した平面内であり、かつ前記Ｌ字形状の内角側の領域において、前記基板の前記下面に点接触又は線接触する１つ又は複数の突出部とを具備したことを特徴とする基板支持部材。
前記周辺支持部の前記上面に、一つ又は複数の吸引口が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の基板支持部材。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、
前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板支持部材。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と線接触し、
前記突出部の接触線の接線と直交し、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板支持部材。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、
前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｖ字形状であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板支持部材。
前記突出部の上端部は、前記基板の前記下面と点接触し、
前記突出部の接触点を含み、かつ前記周辺支持部の前記上面を延長した平面に直交する断面における前記突出部の前記上端部の断面形状は、逆Ｕ字形状であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板支持部材。