JP3791343B2 - パネル位置決め装置及びパネル表示検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の素子基板が構成されたマザーガラス基板に対向基板を貼り合わせた後に分断して構成された液晶パネルのパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶ライトバルブ等の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等の2枚の基板間に液晶を封入して構成される。液晶ライトバルブでは、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、TFTと称す)等の能動素子をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能にする。
【0003】
TFTを配置したTFT基板と、TFT基板に対向配置される対向基板とは、別々に製造される。両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わされた後、液晶が封入される。
【0004】
パネル組立工程においては、先ず、各基板工程において夫々製造されたTFT基板と対向基板との対向面、即ち、対向基板及びTFT基板の液晶層と接する面上に配向膜が形成され、次いでラビング処理が行われる。次に、一方の基板上の端辺に接着剤となるシール部が形成される。TFT基板と対向基板とをシール部を用いて貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着硬化させる。シール部の一部には注入口が設けられており、この注入口を介して液晶を封入する。
【0005】
一般的には、貼り合わせ工程までは、生産性及び歩留まりの点から、TFT基板は、大きいマザーガラス基板上で複数同時に形成される。マザーガラス基板上に形成された各TFT基板上に夫々対向基板を貼り合わせる。スクライブ工程においては、マザーガラス基板を各セル毎に切れ込みを入れ、この切れ込みを利用して各セルを分断して、液晶パネルを得る。
【0006】
ところで、完成した液晶パネルに対して、パネル表示検査が行われる。図14はこのようなパネル表示検査に用いられる従来のパネル表示検査装置を示す正面図である。また、図15はその斜視図である。また、図16は図14及び図15中のチップテーブルを示す斜視図である。
【0007】
台1上にはチップテーブル2が取り付けられる。チップテーブル2は、中央に窓3が形成され、窓3の周囲の二辺には数カ所に位置出しピン4が取り付けられている。窓3はチップテーブル2の上下方向に貫通して形成され、窓3の大きさは完成した液晶パネルの表示領域に対応した大きさである。
【0008】
台1には、台1に対して水平方向に位置決めされたプローブカード固定板5が垂直方向には移動自在に取り付けられている。プローブカード固定板5には窓3に対応した窓6が形成されている。プローブカード固定板5は下面に、少なくとも窓3,6に対応する部分は開口したプローブカード7が取り付けられるようになっている。
【0009】
このように構成された従来のパネル表示検査装置においては、チップテーブル2上に、図17に示す液晶パネル8を載置する。この場合には、液晶パネル8のTFT基板9側をチップテーブル2上に載せ、TFT基板9の側面を位置出しピン4に当接させることで、液晶パネル8の水平方向の位置決めを行う。次に、液晶パネル8をチップテーブル2上に真空吸着させて固定する。
【0010】
この状態でプローブカード固定板5を下方に移動させて、プローブカード7の下面に配列された複数のプローブ13を液晶パネル8の端辺上に配列された実装端子11に接触させる。プローブカード固定板5のプローブ13には図示しないパターンジェネレータから信号が供給されるようになっており、パターンジェネレータからの信号によって、液晶パネル8を駆動させる。検査者は窓3,6を介して液晶パネル8の表示を観察することで、目視による検査を行う。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、液晶パネル8の位置決めはTFT基板9側面を位置出しピン4に当接させて行っている。即ち、TFT基板9の側面が位置出しの基準面となっている。ところが、液晶パネル8のTFT基板9の側面は、スクライブ工程において、バリ12が生じている。このため、バリ12によってTFT基板9の位置がずれてしまうことがあり、プローブ13と実装端子11との位置合わせができなくなって導通異常が生じ、正常にパネル表示検査を実施することができなくなってしまうという問題点があった。
【0012】
また、TFT基板9の側面を位置出しピン4に当接させる際に、バリ12が欠けてしまい、この欠けによって表示領域周辺部の配線パターンが損傷を受け、表示不良が発生してしまうこともあるという問題点もあった。
【0013】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、液晶パネル及びチップテーブル相互間の正確な位置決めを可能にすることができるパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置を提供することを目的とする。
【0014】
また、本発明は、液晶パネルをチップテーブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けることを防止することができるパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備したことを特徴とする。
また、本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置され、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定するチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、相互に直角な2つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の4つの側面に前記対向基板の対角線方向で対向する2つのコーナーにおいて当接する部分を有し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分が面であることを特徴とする。
また、本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分を有し、
前記チップテーブルは、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定し、前記素子基板の厚み方向において、前記当接する部分に干渉しない位置に備えられたガイド部材を有することを特徴とする。
【0016】
このような構成によれば、チップテーブル上に載置された液晶パネルは、位置規定部材によって位置決めされる。位置規定部材は、液晶パネルの対向基板の外形を基準として位置決めを行う。対向基板の外形精度は高く、高精度の位置決めが可能である。
【0017】
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によって前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特徴とする。
【0018】
このような構成によれば、位置規定部材は対向基板の4つの側面に当接する部分によって液晶パネルを移動させることで位置決めを行う。
【0019】
また、前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する2対の位置出し面によって前記対向基板の4つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする。
【0020】
このような構成によれば、相互に逆方向に移動する2対の位置出し面は、夫々対向基板の4つの側面に当接する。対向基板の相対する側面同士は相互に逆方向に移動する対となった位置出し面によって移動される。即ち、液晶パネルは、2対の位置出し面の可動位置と対向基板の形状に応じた位置に位置決めされる。
【0021】
前記2対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する1対の部材によって構成されることを特徴とする。
【0022】
このような構成によれば、対向基板の4つの側面は1対の部材によって当接されるので、位置規定部材の構成を簡略化できると共に、位置規定部材の駆動制御が容易である。
【0023】
前記位置規定部材は、相互に直角な2つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の4つの側面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを特徴とする。
【0024】
このような構成によれば、1対の部材が対向基板のコーナーにおいて4つの側面に当接するので、位置規定部材の構成を簡略化できると共に、位置決め部材の駆動制御が容易である。
【0025】
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分が面又は点であることを特徴とする。
【0026】
このような構成によれば、位置規定部材の設計の自由度が増大する。
【0027】
前記チップテーブルは、前記液晶パネルの概略位置を規定するガイド部材を有することを特徴とする。
【0028】
このような構成によれば、液晶パネルをチップテーブル上に概略位置決めすることができるので、位置規定部材による位置決めが容易となる。
【0029】
本発明に係るパネル表示検査装置は、前記パネル位置決め装置と、前記パネル位置決め装置上に載置された前記液晶パネル上の実装端子に接触することで信号を供給する導通部材と、前記導通部材が取り付けられて、前記パネル位置決め装置の位置決め平面では前記パネル位置決め装置に対して所定の位置関係を有して固定され、他の平面には移動自在に構成されて前記導通部材を前記実装端子に接触又は非接触させる導通部材固定部と、前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給した状態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段とを具備したことを特徴とする。
【0030】
このような構成によれば、パネル位置決め装置に対して導通部材固定部を移動させ、液晶パネル上の実装端子と導通部材とを接触させる。液晶パネルは位置規定部材によって正確に位置決めされている。従って、実装端子と導通部材とは確実に接触し導通する。導通部材を介して実装端子に信号を供給して液晶パネルを駆動しながら光を入射して、パネル表示検査を行う。
【0031】
本発明に係る電気光学装置用検査装置は、一対の基板で電気光学物質を挟持した電気光学装置を検査するものであって、前記電気光学装置を載せるテーブルと、前記テーブルに載置された前記電気光学装置の一方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアーム部と、位置決めされた前記電気光学装置の端子に導通し、表示検査を行う検査プローブとを備えることを特徴とする。
【0032】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブル上に載置し、アーム部によって、電気光学装置の一方の基板の側面を、基板の対角線方向から挟持する。これにより、電気光学装置の位置決めが行われる。位置決めされた電気光学装置の端子には検査プローブが導通して表示検査が行われる。
【0033】
また、本発明に係る電気光学装置用検査装置は、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の他方の基板の側面に当接する仮位置決め部を有することを特徴とする。
【0034】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブルに載置する際に仮位置決め部によって大まかな位置決めが行われる。これにより、アーム部による位置決めが容易となる。
【0035】
本発明に係る電気光学装置用位置決め装置は、一対の基板を有する電気光学装置を載置するテーブルと、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の一方の基板の側面に当接する仮位置決め部と、前記テーブルに仮位置決めされた前記電気光学装置の他方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアーム部とを備えることを特徴とする。
【0036】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブル上に載置する。この場合には、仮位置決め部が電気光学装置の一方の基板の側面に当接して概略位置決めされる。次に、アーム部によって、仮位置決めされた電気光学装置の他方の基板の側面を、基板の対角線方向から挟持して、正確な位置決めが行われる。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るパネル位置決め装置を示す平面図である。図2は図1の駆動部分を説明するための説明図であり、図2(b)は平面形状を示し、図2(a)は図2(b)の側面外形を概略示している。図3はパネル表示検査装置の全体の概略構成図であり、図4は液晶パネルとプローブピンユニットとの接続を示す説明図である。図5乃至図7は液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図である。図8はTFT基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図9は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図8のH−H'線の位置で切断して示す断面図である。図10はパネル組立工程を示すフローチャートである。
【0038】
本実施の形態はパネル位置決め装置をパネル表示検査装置に適用した例である。
【0039】
先ず、図8乃至図10を参照して、液晶パネル18の構造について説明する。
【0040】
液晶パネル18は、図8及び図9に示すように、TFT基板等の素子基板10と対向基板20との間に液晶50を封入して構成される。素子基板10上には画素を構成する画素電極等がマトリクス状に配置される。
【0041】
ガラスや石英等の素子基板10には、図示しないTFT素子及び画素電極等が形成されている。これらのTFT素子及び画素電極上には液晶50との間にポリイミド系の高分子樹脂からなる図示しない配向膜が積層され、所定方向にラビング処理されている。
【0042】
一方、対向基板20には、TFT素子の形成領域を含む各画素の非表示領域に対向して、例えば、マトリクス状に第1遮光膜23が設けられている。この第1遮光膜23によって、対向基板20側からの入射光がTFT素子等に入射することが防止される。第1遮光膜23上に、図示しない対向電極(共通電極)が基板20全面に亘って形成されている。対向電極上には液晶50との間にポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜が積層され、所定方向にラビング処理されている。素子基板10と対向基板20との間に液晶50が封入されている。
【0043】
対向基板20には表示領域を区画する額縁としての第2遮光膜42が設けられている。第2遮光膜42は例えば第1遮光膜23と同一又は異なる遮光性材料によって形成されている。
【0044】
第2遮光膜42の外側の領域に液晶を封入するシール材41が、素子基板10と対向基板20間に形成されている。シール材41は対向基板20の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板10と対向基板20を相互に固着する。シール材41は、素子基板10の1辺の一部において欠落しており、貼り合わされた素子基板10及び対向基板20相互の間隙には、液晶50を注入するための液晶注入口78が形成される。液晶注入口78より液晶が注入された後、液晶注入口78を封止材79で封止するようになっている。
【0045】
素子基板10のシール材41の外側の領域には、データ線駆動回路61及び実装端子62が素子基板10の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する2辺に沿って、走査線駆動回路63が設けられている。素子基板10の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路63間を接続するための複数の配線64が設けられている。また、対向基板20のコーナー部の少なくとも1箇所においては、素子基板10と対向基板20との間を電気的に導通させるための導通材65が設けられている。
【0046】
実装端子62を介して供給された画像信号によってTFT素子が駆動される。これにより各画素電極に信号が書き込まれて、画素電極と対向電極との電位差に応じて液晶50の分子集合の配向や秩序が変化して、光が変調され、階調表示が行われる。
【0047】
次に、図10を参照してパネル組み立て工程について説明する。素子基板10は、1枚のマザーガラス基板上に複数形成される。複数の素子基板10を有する基板(TFT基板)と対向基板20とは、別々に製造される。ステップS1 ,S6 で夫々用意されたTFT基板及び対向基板20に対して、次のステップS2 ,S7 では、配向膜となるポリイミド(PI)を塗布する。次に、ステップS3 ,S8 において、素子基板10表面の配向膜及び対向基板20表面の配向膜に対して、ラビング処理を施す。
【0048】
次に、ステップS4 ,S9 において、洗浄工程を行う。ステップS4 ,S9 の洗浄工程は、ラビング処理によって生じた塵埃を除去するためのものである。
【0049】
洗浄工程が終了すると、ステップS5 において、シール材41(図9参照)を形成する。次いで、ステップS10で、素子基板10と対向基板20とを貼り合わせ、ステップS11でアライメントを施しながら圧着し、シール材41を硬化させる。次に、ステップS12において、シール材41の一部に設けた切り欠きから液晶を封入し、切り欠きを塞いで液晶を封止する。
【0050】
次に、ステップS13において、マザーガラス基板上の各セルを分断する。1枚のマザーガラス基板上には素子基板10が複数形成されており、各素子基板10上に、素子基板10よりも面積が小さい各対向基板20が夫々貼り合わされている。従って、対向基板20相互間のマザーガラス基板(素子基板10)に対してスクライブ処理が行われる。スクライブ処理によって形成された切り込みを利用して、マザーガラス基板を分断して、図8及び図9に示す素子基板10と対向基板20とからなる液晶パネル18を得る。
【0051】
従って、上述したように、素子基板10の側面には分断時にバリが生じてしまう。一方、対向基板20の側面は、分断工程においてスクライブ等の処理が行われておらず、高い面精度(外形精度)を有する。
【0052】
このような液晶パネル18に対して、図1の装置を用いて、ステップS14において、パネル表示検査が行われるようになっている。
【0053】
図1に示すパネル位置決め装置70において、チップテーブル72は、台座71上に取付固定されている。なお、パネル位置決め装置70の台座71は、パネル表示検査時には、図3の装置本体の所定位置に収納されて固定されるようになっている。
【0054】
チップテーブル72は上下に開口した窓73が形成されており、台座71の対応する位置には窓73よりも広い開口が形成されている。窓73は、少なくとも液晶パネル18の表示領域よりも広く形成され、且つ、液晶パネル18をチップテーブル72上に載置可能なように、素子基板10よりも狭く形成される。
【0055】
例えば、窓73は上下から見て四角形状に形成され、4辺の外側には夫々チップテーブル72上に植設された位置決めピン74が設けられている。位置決めピン74は、液晶パネル18の素子基板10よりも広い間隔で配設され、液晶パネル18を位置決めピン74相互間に所定の余裕を持たせて、窓73に略沿った状態で配置させることができるようになっている。即ち、分断工程で生じた素子基板10側面のバリが位置決めピン74に当接することなく、液晶パネル18を位置決めピン74相互間に配置可能である。
【0056】
一方、台座71上には、後述する一対のアーム76,77を水平面内において摺動自在に設けるためのアーム案内部材75が、チップテーブル72に対して所定の位置関係を有して固定されている。アーム案内部材75は、アーム76,77を窓73の対角線方向に摺動させるように設けられている。
【0057】
一対のアーム76,77は、アーム案内部材75に沿って摺動する。アーム76,77は、基端側に案内部材75の案内方向に延びた側面を有し、この側面に歯88,89が形成されてラックを構成する。また、アーム76,77の歯88,89に夫々歯合するように、台座71に植設された軸80,81を中心に回動自在な一対の歯車82,83が設けられてピニオンを構成する。歯車82,83同士も歯合することで、歯車82,83は相互に逆方向に回転する。これにより、アーム76,77は、相互に逆方向に連動して移動するようになっている。
【0058】
アーム76,77は、先端の相互に向き合う端部がL字又は逆L字に形成され、これらの側面が位置規定部材としての位置出し面84H,84V(以下、代表して84ともいう)及び85H,85V(以下、代表して85ともいう)を構成するようになっている。アーム76の位置出し面84H,84Vは相互に直交し、アーム77の位置出し面85H,85Vも相互に直交する。位置出し面84H,85Hは相互に平行で、窓73の一片にも平行である。同様に、位置出し面84V,85Vも相互に平行で、且つ窓73の他の一片に平行である。
【0059】
位置出し面84H,84V同士が交差する水平面上の位置と位置出し面85H,85V同士が交差する水平面上の位置とは、窓73の対角線上に位置し、これらの交差部分は液晶パネルの端部の損傷を防止するために角を欠いている。なお、窓73の対角線は、液晶パネル18を載置した場合における対向基板20の対角線に略一致し、位置決めピン74によって規定される対向基板20の角部の最大移動範囲は、アーム76,77を相互に近接させる方向に移動させた場合において位置出し面84,85に接触する範囲内になるように、位置決めピン74及び位置出し面84,85の長さ等が規定されている。
【0060】
本実施の形態においては、アーム76,77は、先端側が所定の厚さの平板状であって、液晶パネル18をチップテーブル72の窓73部分に配置した状態で、位置出し面84,85が液晶パネル18の対向基板20側面に当接するように、水平面内を窓73の対角線方向に移動するようになっている。即ち、アーム76,77の先端側の底面が移動する水平面とチップテーブル72の表面との距離は、少なくとも素子基板10の厚さよりも大きく、液晶パネル18の厚さよりも小さくなるように構成される。更に、アーム76,77の先端側の底面が移動する水平面は、アーム76,77の底面が素子基板10に接触しないように、素子基板10の表面よりも高い位置に設定する。
【0061】
なお、アーム77の位置出し面85Hは、液晶パネル18を位置決めする際に、アーム77の先端が素子基板10上の実装端子62上に位置しないように、その長さが短く規定されている。また、チップテーブル72は、液晶パネル18の位置決め後に液晶パネル18を表面に真空吸着することができるようになっている。
【0062】
アーム76,77の基端側の所定位置には夫々係止部91,92が設けられており、係止部91,92相互間にバネ等の付勢部材93が配設されている。付勢部材93は、アーム76,77を相互に近接する方向に付勢するようになっている。歯車82,83は図示しないモータによって回転駆動されて、アーム76,77を相互に離間する方向に移動させることができるようになっている。
【0063】
図3に示す装置本体101は、台座71を収納して固定するための図示しない支持部材を有している。また、装置本体101内には、先端にプローブピンユニット102が取り付けられたプローブピンユニット固定部103、投射レンズ104、反射ミラー105及びプロジェクタ用光学設計部106が配設されている。
【0064】
プローブピンユニット102は、先端に液晶パネル18の複数の実装端子62に対応した複数のプローブピン(図示せず)が突出して配列されており、基端側はプローブピンユニット固定部103に取り付けられている。プローブピンユニット固定部103は、水平方向には台座71に対して所定位置に固定されており、垂直方向には移動自在である。これにより、プローブピンユニット固定部103は、液晶パネル18をチップテーブル72上に載置した状態で下降して、プローブピンユニット102先端のプローブピンを素子基板10上の実装端子62に接触させることができるようになっている。
【0065】
なお、プローブピンは図示しないパターンジェネレータに接続されており、パターンジェネレータからの信号を伝送して実装端子62に供給することができるようになっている。
【0066】
プロジェクタ用光学設計部106は、台座71の上方に設置されており、図示しない高輝度ランプ、偏向ビームスプリッター、マルチレンズ、コンデンサレンズ及び偏光板等によって構成される。プロジェクタ用光学設計部106は、所定の光を発生してチップテーブル72上の液晶パネル18の対向基板20側から入射させることができるようになっている。一方、台座71の窓73の下方には投射レンズ104が配設されている。投射レンズ104は、液晶パネル18を通過し窓73及び台座71の開口を介して入射した光を出射する。投射レンズ104の出射光の光路上には反射ミラー105が配設されており、反射ミラー105は、入射した光を装置本体101の前面に設けた開口を介してスクリーン107に拡大投射する。なお、液晶パネル18による光の変調を可能にするために、液晶パネル18の入射面及び出射面近傍には、偏光板を配置するようになっている。
【0067】
また、プローブピンユニット固定部103及びチップテーブル72の少なくとも一方には、水平,垂直及び角度方向(xyzθ方向)に変位量を微調整するための位置調整機構を設けてもよい。
【0068】
次に、このように構成された実施の形態の作用について説明する。
いま、マザーガラス基板上の各素子基板10と対向基板20との貼り合わせ工程、液晶50の封入・封止工程後に、分断工程が終了して得られた液晶パネル18に対するパネル表示検査を行うものとする。この場合には、図4に示すように、液晶パネル18の素子基板10上に構成された実装端子62に、プローブピンユニット102先端のプローブピン108を当接させることによって、液晶パネル18を駆動する。
【0069】
先ず、図示しないモータによって歯車82,83を回転させ、アーム76,77を相互に離間する方向に移動させる。この状態で、液晶パネル18をチップテーブル72の窓73上の位置決めピン74相互間に載置する。この場合には、位置決めピン74相互間の間隔が液晶パネル18の素子基板10よりも広く設定されているので、位置決めピン74に素子基板10側面に生じたバリを当接させることなく、液晶パネル18を載置可能である。位置決めピン74によって大まかな位置決めが行われ、これにより、アーム76,77による位置決めが可能となる。
【0070】
次に、モータの回転力を弱めて付勢部材93の付勢力により、アーム76,77を相互に近接する方向に移動させる。そうすると、先ず、アーム76,77先端の位置出し面84,85のいずれか1つ以上の面が液晶パネル18の対向基板20の側面に当接する。更に、アーム76,77を移動させることにより、位置出し面84,85は対向基板20の1つ以上の側面を押圧して液晶パネル18の位置を変位させる。こうして、液晶パネル18は、対向基板20の大きさ及びアーム76,77で規定される位置出し面84,85相互の位置関係に応じた固定位置で停止する。図5は液晶パネル18が位置決めされた状態における液晶パネル18とアーム76,77との関係を示している。
【0071】
アーム76,77で対向基板20の側面を押圧して位置決めを行っており、対向基板20の側面の面精度が極めて高いことから、液晶パネル18の位置決めを高精度に行うことができる。また、対向基板20の側面にはバリ等は生じていないので、アーム76,77によって対向基板20を押圧しても、対向基板20が損傷を受けることはない。
【0072】
また、図6に示すように、アーム76,77は、素子基板10表面よりも上方で水平移動するようになっており、アーム76,77の底面が素子基板10表面に接触することはない。これにより、位置決め時にアーム76,77によって素子基板10が損傷を受けることはない。
【0073】
実装端子62は素子基板10上の位置が規定されており、液晶パネル18の位置決めによって、台座71と実装端子62とは水平面内で規定された位置関係に位置することになる。
【0074】
液晶パネル18が位置決めされたパネル位置決め装置70を装置本体101に収納し、台座71を装置本体101に固定する。この状態で台座71とプローブピンユニット固定部103とは水平面内で規定された位置関係に配置されており、プローブピンユニット固定部103に取り付けられたプローブピンユニット102の先端のプローブピン108は、水平面内では、図7に示すように、液晶パネル18上の実装端子62に対向した位置に配置される。
【0075】
この状態で、プローブピンユニット固定部103を下方に移動させ、プローブピン108を実装端子62に接触させる。次に、プロジェクタ用光学設計部106から光を出射させながら、パターンジェネレータから信号を発生させる。パターンジェネレータからの信号はプローブピン108を介して実装端子62に供給され、液晶パネル18は駆動されてプロジェクタ用光学設計部106からの光を変調する。液晶パネル18を通過した光は、チップテーブル72の窓73及び台座71の開口を通過し、投射レンズ104によって反射ミラー105を介してスクリーン107に拡大投射される。スクリーン107上に映出された画像を確認することで、液晶パネル18のパネル表示検査を行う。
【0076】
このように、本実施の形態においては、対向基板側面の面精度が極めて高いことを利用して位置決めの基準面に用いており、位置決めを高精度に行うことを可能にしている。また、位置決めに際して素子基板を押圧する構成にはなっていないことから、分断工程で生じた素子基板のバリに力が加わることがなく、液晶パネルが損傷を受けることを防止することができる。更に、アームは素子基板に接触しない位置で対向基板側面を押圧するようになっており、素子基板の損傷を防止することができる。これにより、表示不良が発生することを防止することができる。
【0077】
なお、上記実施の形態においては、プローブピンユニット固定部103とパネル位置決め装置70とを別体に構成したが、一体的に構成してもよいことは明らかである。
【0078】
また、パターンジェネレータからの信号を供給するためにプローブピンユニットを採用したが、プローブカードを採用してもよいことは明らかである。
【0079】
また、パネル表示検査を投影方式で行ったが、直視によって行ってもよいことは明らかである。
【0080】
なお、上記実施の形態においてはパネル表示検査装置に適用した例について説明したが、本発明は、フレキシブルプリント板の圧着工程及びケーシング組み付け工程等のパネルの位置決めが必要な種々の工程及び装置に適用可能である。
【0081】
また、上記実施の形態においては、アームに位置出し面を設けて、対向基板側面を面で受ける(押圧する)ことにより位置出しを行う例について説明したが、対向基板側面を点で受ける構成にしてもよく、また、点及び面で受ける構成にしてもよい。
【0082】
例えば、図11のアーム111,112は、対向基板20の側面を点で受ける構成を示している。また、図12は対向基板20の各側面を夫々面で受けるアーム115,116と隣接した2側面を同時に面で受けるアーム117の3つのアームを設けた例である。更に、図13は対向基板20の各側面を夫々面で受ける4つのアーム118を用いる例を示している。いずれの例においても、アームが対向基板20の側面を面基準として位置決めを行っているので、正確な位置決めが可能であると共に、液晶パネルの損傷を防止することが可能である。
【0083】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、液晶パネル及びチップテーブル相互間の正確な位置決めを可能にすることができると共に、液晶パネルをチップテーブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けることを防止することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るパネル位置決め装置を示す平面図。
【図2】図1の駆動部分を説明するための説明図。
【図3】パネル表示検査装置の全体の概略構成図。
【図4】液晶パネルとプローブピンユニットとの接続を示す説明図。
【図5】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図6】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図7】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図8】TFT基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。
【図9】素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図8のH−H'線の位置で切断して示す断面図。
【図10】パネル組立工程を示すフローチャート。
【図11】アームの他の例を示す説明図。
【図12】アームの他の例を示す説明図。
【図13】アームの他の例を示す説明図。
【図14】パネル表示検査等に用いられるパネル表示検査装置を示す正面図。
【図15】図14の斜視図。
【図16】図14及び図15中のチップテーブルを示す斜視図。
【図17】分断工程後の液晶パネルを示す斜視図。
【符号の説明】
71…台座
72…チップテーブル
73…窓
74…位置決めピン
75…案内部材
76,77…アーム
84H,84V,85H,85V…位置出し面
Claims (5)
- 素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置され、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定するチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、相互に直角な2つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の4つの側面に前記対向基板の対角線方向で対向する2つのコーナーにおいて当接する部分を有し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分が面であることを特徴とするパネル位置決め装置。 - 前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する2対の位置出し面によって前記対向基板の4つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする請求項1に記載のパネル位置決め装置。
- 前記2対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する1対の部材によって構成されることを特徴とする請求項2に記載のパネル位置決め装置。
- 素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の4つの側面に当接する部分を有し、
前記チップテーブルは、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定し、前記素子基板の厚み方向において、前記当接する部分に干渉しない位置に備えられたガイド部材を有することを特徴とするパネル位置決め装置。 - 請求項1に記載のパネル位置決め装置と、
前記パネル位置決め装置上に載置された前記液晶パネル上の実装端子に接触することで信号を供給する導通部材と、
前記導通部材が取り付けられて、前記パネル位置決め装置の位置決め平面では前記パネル位置決め装置に対して所定の位置関係を有して固定され、他の平面には移動自在に構成されて前記導通部材を前記実装端子に接触又は非接触させる導通部材固定部と、
前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給した状態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段とを具備したことを特徴とするパネル表示検査装置。
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