JP2001255526A - 液晶パネルの検査装置および液晶パネルの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度の欠陥検出機能を有する液晶パネルの
検査装置を提供する。 【解決手段】 液晶パネルの検査装置１００は、光源装
置４０と、液晶パネル２００が水平に保持される液晶パ
ネル載置台７２と、液晶パネルを挟むように配置される
一対の偏光板４５、４６と、液晶パネル２００及び一対
の偏光板４５、４６を通過した光源装置４０からの光を
投射する投射手段５０とを具備する。更に、偏光板４
５、４６のそれぞれの偏光軸がなす角度を任意に設定す
ることができる機構を有し、これにより液晶パネル内に
混入されたゴミなどの異物の検出が容易となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネルの検査装
置の技術分野に属し、特に投写型表示装置のライトバル
ブに用いられる液晶パネルの構造の技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、アクティブマトリクス駆動方式
の液晶パネルは、ＴＦＴ（Thin FilmTransistor）アレ
イ基板と対向基板とが対向配置され、両基板間に液晶層
が挟持されて構成される。両基板は基板の外周部に配置
される矩形状のシール材により接着され、液晶層は両基
板及びシール材により形成された空間内に保持されてい
る。

【０００３】ＴＦＴアレイ基板においては、例えば石英
基板上に、縦横に夫々配列された多数の走査線及びデー
タ線並びにこれらの各交点に対応して多数のＴＦＴ、該
ＴＦＴに接続してなる画素電極が設けられている。一
方、対向基板においては、例えば石英基板上にベタ膜の
対向電極が設けられている。

【０００４】液晶装置は、液晶パネルを挟むように一対
の偏光板が配置されて構成されている。偏光板は、入射
光に対して、特定の偏光成分のみを透過させる機能を有
する光学部材である。例えば、液晶として９０度ねじれ
のツイステッドネマティック（ＴＮ）液晶を用い、ノー
マリーホワイト（ＮＷ）表示の液晶装置とする場合、一
対の偏光板は、互いの偏光軸が垂直となるように配置さ
れる。液晶装置では、画素電極に供給された電圧と対向
電極に供給される電圧との電位差により、対応する液晶
層の光学特性を変化させ、液晶層に入射する光を変調し
て表示が行なわれる。

【０００５】上述のような液晶パネルの検査は、液晶パ
ネルを挟むように偏光板を配置し、液晶パネルを実際に
点灯させてルーペにより観察することにより、画素電極
毎の点欠陥を検査していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の点
灯検査では、液晶パネル中に混入されたゴミなどの異物
の検出が困難であった。そのため、従来の点灯検査で良
品と判断された液晶パネルであっても、実際に液晶装置
に組み込んだ後に、表示不良が発見される場合があっ
た。

【０００７】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであり、ごみなどの異物の混入による液晶
パネルの欠陥を確実に検出する液晶パネルの検査装置を
提供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本発明は以下のような構成を採用している。

【０００９】本発明の液晶パネルの検査装置は、光源
と、液晶パネルが保持される液晶パネル載置台と、前記
液晶パネルを挟むように配置される一対の偏光板と、前
記一対の偏光板の少なくとも一つを、該偏光板の面内で
回転可能とする偏光板回転手段と、前記液晶パネル及び
前記一対の偏光板を通過した前記光源からの光を投射す
る投射手段と、を具備することを特徴とする。

【００１０】本発明のこのような構成によれば、一対の
偏光板のそれぞれの偏光軸がなす角度を任意に変化させ
て液晶パネルの検査を行うことができるので、偏光軸が
なす角度を変えながら投射された画像を観察することに
より、液晶パネル中に存在するごみなどの異物の存在や
基板の傷を検出することができ、不良の検出力を向上さ
せることができる。

【００１１】また、前記液晶パネル及び前記一対の偏光
板を通過した前記光源からの光を反射する反射ミラー
と、を更に具備することを特徴とする。このような構成
によれば、反射ミラーを設置することにより、光源から
の光の光軸を任意の角度で曲げることができ、投射手段
により投影された画像の位置を任意に設定することがで
きる。

【００１２】また、前記投射手段は、前記液晶パネル及
び前記一対の偏光板を通過した前記光源からの光を拡大
する拡大レンズを有し、該拡大レンズにより拡大された
光を投射することを特徴とする。このような構成によれ
ば、拡大投影した画像を見て液晶パネルを検査すること
ができるので、欠陥検出力が向上する。

【００１３】本発明の液晶パネルの検査方法は、液晶パ
ネルを液晶パネル載置台に載せる工程と、前記液晶パネ
ルに制御回路を電気的に接続させる工程と、スクリーン
に前記液晶パネルの画像を投射しつつ、前記液晶パネル
を挟み込むように配置される一対の偏光板の少なくとも
一方を回転させる工程とを有することを特徴とする。

【００１４】本発明のこのような構成によれば、一対の
偏光板のそれぞれの偏光軸がなす角度を任意に変化させ
て液晶パネルの検査を行うことができるので、偏光軸が
なす角度を変えながら投射された画像を観察することに
より、液晶パネル中に存在するごみなどの異物の存在や
基板の傷を検出することができ、不良の検出力を向上さ
せることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、液晶パネル、ここでは投写
型表示装置のライトバルブとして用いられる液晶装置の
液晶パネルの検査装置を例にあげ、図面に基づいて説明
する。本検査装置では、検査対象である液晶パネルに光
を入射し、液晶パネルを通過した光をスクリーン上に拡
大投影し、拡大投影されたスクリーン上の画像を目視に
より検査する。

【００１６】まず、検査対象となる液晶パネルの構造に
ついて図３及び図４を用いて説明する。尚、図３は、Ｔ
ＦＴアレイ基板１０をその上に形成された各構成要素と
共に対向基板２０の側から見た平面図であり、図４は、
対向基板２０を含めて示す図３のＨ−Ｈ'断面図であ
る。尚、図においては、各層や各部材を図面上で認識可
能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を
適宜設定している。

【００１７】図４に示すように、液晶パネル２００は、
ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置さ
れ、両基板間に液晶層５０が挟持されて構成される。

【００１８】ＴＦＴアレイ基板１０は、石英基板上に、
互いに交差して配置された複数の走査線（図示せず）及
び複数のデータ線（図示せず）と、これら配線の交差部
毎に配置されたＴＦＴ３０及び各ＴＦＴ毎に接続された
複数の画素電極（図示せず）が配置されて構成されてい
る。一方、対向基板２０は、石英基板上に対向電極２３
が配置されて構成される。ＴＦＴアレイ基板１０及び対
向基板２０には、それぞれ、液晶層５０と接する側に液
晶層の初期配向状態を決定するポリイミドからなる配向
膜が形成されている。液晶層５０としては、例えばツイ
ステッドネマティック型液晶が用いられる。液晶装置
は、液晶パネル２００を挟むように一対の偏光板が配置
されて、一方の面から光を照射して表示が行われる。偏
光板は、電圧無印加時で液晶装置に光が透過するノーマ
リーホワイト（ＮＷ）表示となるように、一対の偏光板
の偏光軸のなす角度が９０度となるように配置されてい
る。

【００１９】図３及び図４に示すように、ＴＦＴアレイ
基板１０と対向基板２０とは、シール材５２により接着
固定され、液晶が注入される液晶注入口５２ａは封止材
５４により封止されている。液晶５０は、ＴＦＴアレイ
基板１０、対向基板２０、シール材５２及び封止材５４
により形成された領域内に保持される。シール材５２の
内側に並行して、額縁状の遮光膜５３が設けられてい
る。

【００２０】シール材５２の外側の領域には、データ線
駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴア
レイ基板１０の一辺に沿って設けられており、走査線駆
動回路１０４が、この一辺に隣接する２辺に沿って設け
られている。ＴＦＴアレイ基板１０上に設けられる走査
線（図示せず）と走査線駆動回路１０４とは電気的に接
続し、走査線駆動回路１０４から走査線に対して走査信
号が供給される。またＴＦＴアレイ基板１０上に設けら
れるデータ線（図示せず）とデータ線駆動回路１０１と
は電気的に接続し、データ線駆動回路１０４からデータ
線に対して画像信号が供給される。走査線駆動回路１０
４及びデータ線駆動回路１０１はそれぞれ外部回路接続
端子１０２と電気的に接続し、外部回路接続端子１０２
からはクロック信号や電源などが供給される。シール材
５２で囲まれる領域が、液晶装置としたときに表示領域
となる。

【００２１】次に、液晶パネルの検査装置について図１
を用いて説明する。本検査装置は、上述した液晶パネル
を実際に点灯し、その点灯された画像を観察するもので
ある。尚、図１は、液晶パネルの検査装置の概略図であ
る。

【００２２】図１に示すように、液晶パネルの検査装置
１００は、光源装置４０と、均一照明光学系４１と、検
査対象となる液晶パネル２００を水平に載置する液晶パ
ネル載置台７２と、偏光板保持部４２及び４４と、プロ
ーブカード保持部７３と、投射手段７０とを有する。偏
光板保持部４２は、偏光板保持部４６を保持しており、
水平面で回転可能な偏光板回転手段として機能する。偏
光板保持部４４は、偏光板保持部４５を保持しており、
本実施形態においては固定されている。尚、一対の偏光
板４５、４６のうち、少なくとも一方の偏光板が水平面
内で回転可能に設定されていれば良く、二枚ともに回転
可能に設定していても良い。さらに、偏光板保持部４２
は、プローブカード保持部７３と接触して配置される。
プローブカード保持部７３は、検査時に液晶パネル２０
０と接触しない位置まで降下し、液晶パネル載置台７２
とともに液晶パネルを挟むような位置関係となる。プロ
ーブカード保持部７３は、プローブカード挿入部７３ａ
（点線で図示）を有している。プローブカード挿入部７
３ａにはプローブカード５１が挿入され、このプローブ
カード５１の電極と液晶パネル２００とは電気的に接続
される。また、投射手段７０から投射された画像はスク
リーン４９に投射される。

【００２３】光源装置４０は、投写型表示装置に用いら
れる光源と同じ高輝度光源を使用している。このように
投写型表示装置としたときと同じ条件下で、液晶パネル
に対し光を入射することにより、光源の熱や光量によっ
てあぶり出される欠陥を検出することができる。従来の
検査では、光源として白色光源を用いていたので、上述
のような高輝度光源を用いることによりあぶり出される
欠陥を検出できずにいた。これに対し、本実施形態で
は、検査段階で、このような欠陥を早期に発見すること
ができ、欠陥検出力が向上する。また、白色光源と比較
して、高輝度光源を用いて投影された画像は輝度が高
く、欠陥が見やすい。

【００２４】均一照明光学系４１には、２つの矩形レン
ズが配置されている。光源装置４０から出射された光束
は、均一照明光学系４１を通過することにより、断面内
で均一な照度分布を有する光束を得ることができる。従
って、液晶パネル２００に対し、均一な照明光で照明す
ることが可能となる。

【００２５】液晶パネル載置台７２には、上述した検査
対象となる液晶パネル２００が水平に保持される。液晶
パネル載置台７２は、偏光板保持部４４上に配置され、
液晶パネル載置台７２及び偏光板保持部４４には、移動
機構４３が取り付けられており、水平方向に移動可能と
なっている。液晶パネル載置台７２上に液晶パネル２０
０を載置する場合には、液晶パネル載置台７２は、載置
位置Ａの位置まで移動する。このときの液晶パネル載置
台の位置は、図面上、点線で示される。そして、液晶パ
ネル２００が載置されると、検査位置Ｂの位置まで移動
する。このとき液晶パネル載置台７２の位置は、図面
上、実線で示される。液晶パネル載置台７２に載置され
た液晶パネル２００は、液晶パネル載置台７２に設けら
れている位置決めピン７１及びｘ、ｙ、ｚ、θ補正機構
により、所定の位置に位置決めされた後、液晶パネル載
置台７２に設けられている吸引孔７２ａ（点線）を介し
て真空吸着される。

【００２６】プローブカード５１は、液晶パネル２００
を点灯するためのものである。プローブカード５１は、
液晶パネル２００の外部接続端子１０２とテスト回路や
ＬＣＤパターン発生器などの制御回路とを接続するた
め、各外部接続端子１０２の配置に合わせて導電性の接
触針を配列したカードであり、交換可能に設置されてい
る。このプローブカード５１を用いて、液晶パネル２０
０の点灯検査が行われる。ここで、点灯検査の際、液晶
パネルの外部接続端子の配置が異なる液晶パネルを検査
する場合には、プローブカードを交換する必要がある。
このようなプローブカードの交換後は、上述したｘ、
ｙ、ｚ、θ補正機構を用いて液晶パネルを位置決めする
ことにより、外部接続端子１０２とプローブカード５１
の接触針との位置合わせを容易に行うことができる。ま
た、液晶パネルの位置を補正するように補正機構を設け
る代わりに、プローブカード５１の位置を補正するよう
に、補正機構を設けることもできる。また、液晶パネル
載置台４４は、上述の水平方向の移動に加え、上下方向
にも移動可能としてもよく、この場合、例えばプローブ
カードも上下方向に移動可能となるように設定してもよ
い。

【００２７】また、図示していないが、液晶パネルの検
査装置１００は、液晶パネルの表示領域のみに光源から
の光が入射されるように、遮光板を備えている。この遮
光板により、液晶パネルの外周部に配置される回路のス
イッチング素子に光が照射し、誤動作が生じることを防
止することができる。また、遮光板には、プローブカー
ドと電気的に接続する外部接続端子に対応する部分の
み、見切り窓を設けられている。これにより、外部接続
端子とプローブカードの接触針との接触部の位置合わせ
が容易となる。

【００２８】また、液晶パネル２００を載置したとき
に、液晶パネル２００を挟むように一対の偏光板４５、
４６が配置される。図面上、下側の偏光板４５は、例え
ば、液晶パネル載置台４４上に固定配置されている。一
方、上側の偏光板４６は、偏光板保持部４２に保持され
ている。偏光板保持部４２は、図２に示すように、円形
状の保持板６２と、この保持板６２に接する円状回転体
６０と、この円状回転体６０と接する円状回転体６１と
を有する。図２は、偏光板保持部４２の概略平面図であ
る。保持板６２は、偏光板４６を保持する凹部を有し、
偏光板４６はこの凹部に配置され保持される。偏光板保
持部４２は、円状回転体６１を回転させることにより、
円状回転体６０を介して、保持部６２が回転する偏光板
回転手段を有する。この回転手段により、偏光板４６
は、偏光板４６の面内で回転する。これにより、偏光板
４６の偏光軸（図中、矢印で図示）の液晶パネルに対す
る角度を任意に設定することが可能である。

【００２９】投射手段７０は、反射ミラー４７と投射レ
ンズユニット４８とからなる。反射ミラー４７は、偏光
板４５、偏光板４６及び液晶パネル２００を通過した光
源装置４０からの光を、任意の方向に反射させるための
ものである。この反射ミラー４７は、反射角度を任意に
設定することが可能であり、スクリーン４９の配置にあ
わせて反射ミラーの反射角度を設定することができる。
投射レンズユニット４８は、反射ミラー４７に反射した
光を拡大投射して、スクリーン４９に投影画像を映し出
すものでものである。このように反射ミラー４７が設置
されるので、例えば、図１に示すように、９０度、光軸
を曲げることにより、液晶パネルを水平に設置しなが
ら、投影画像を正面から見ることができ、作業性が向上
する。また、検査では、スクリーン４９に拡大投射した
画像を観察するため、従来のルーペを用いた検査と比較
し、画像が見やすく、欠陥検出量を向上させることがで
きる。

【００３０】また、上述の検査装置１００において、プ
ローブカード、液晶パネル載置台、遮光板を交換できる
ように設定することにより、サイズなどが異なる液晶パ
ネルの機種切り替えが容易となる。

【００３１】次に、上述の検査装置１００を用いた検査
方法について以下に説明する。

【００３２】まず、図１に示すように、液晶パネル検査
装置１００の液晶パネル載置台（点線で図示）は、載置
位置Ａに位置している。この状態で、液晶パネル２００
を、液晶パネル載置台上に載置する。次に、ｘ、ｙ、
ｚ、θ補正機構を用いて、液晶パネルを位置決めする。
偏光板４５は、既に液晶載置台に配置固定されている。

【００３３】次に、移動機構４３を作動させ、液晶パネ
ル載置台４４を水平移動させて、検査位置Ｂの位置まで
移動する。次に、偏光板４６を保持する偏光板保持部４
２とプローブカード５１が保持されたプローブカード保
持部７３を降下させ、プローブカード５１と外部接続端
子とを接続させる。ここで、接触による傷を防止するた
めに、液晶パネル２００とプローブカード保持部７３と
が接触する前に降下が止まるように、プローブカード保
持部７３から突出した位置決めピン７３ｂを設けてい
る。また、偏光板４５及び４６は、互いに偏光軸が９０
度に交差して配置される。

【００３４】次に、光源装置４０から光を出射させ、プ
ローブカード５１を用いて、液晶パネル２００を点灯さ
せる。液晶パネルを通過した光は、反射ミラー４７に反
射し、投射レンズユニット４８を通って、スクリーン４
９に拡大投影される。この拡大投影された画像を観察す
ることにより、点欠陥などの欠陥検出を行う。

【００３５】次に、偏光板保持部４２を水平面内で回転
させることにより、偏光板４６の偏光軸を回転させる。
この偏光軸を徐々に回転させて画像の変化を観察するこ
とにより、液晶パネル内に混入されたごみなどの異物を
検出することができる。これにより、偏光板４５及び４
６の偏光軸が９０度に交差して配置された液晶パネルを
単に点灯させて検査する検査では検出できない異物をも
容易に検出することができる。

【００３６】以上説明した実施の形態における液晶パネ
ル検査装置にて検査され、良品と判断された液晶装置
は、投写型表示装置のライトバルブとして用いることが
できる。尚、投写型表示装置以外の直視型や反射型の液
晶装置に用いられる液晶パネルの検査にも、上述の検査
装置を用いることもできることはいうまでもない。

【００３７】また、上述では、ＮＷ表示の液晶装置を例
に挙げて説明したが、一対の偏光板の偏光軸が互いに平
行となるように配置されたＮＢ（ノーマリーブラック）
表示の液晶装置に用いられる液晶パネルの検査にも、上
述の検査装置を適用することができる。

【００３８】以下に、投写型表示装置のライトバルブと
して、上述の液晶パネル検査装置にて検査された液晶パ
ネルを用いた場合を、図５を用いて説明する。

【００３９】図５において、投射型表示装置１１００
は、上述した液晶パネルに偏光板が配置されてなる液晶
装置が３個用意され、夫々ＲＧＢ用の液晶装置９６２
Ｒ、９６２Ｇ及び９６２Ｂとして用いた投射型液晶装置
の光学系の概略構成図を示す。本例の投射型表示装置の
光学系には、高輝度光源を有する光源装置９２０と、均
一照明光学系９２３が採用されている。そして、投射型
表示装置は、この均一照明光学系９２３から出射される
光束Ｗを赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に分離する色分
離手段としての色分離光学系９２４と、各色光束Ｒ、
Ｇ、Ｂを変調する変調手段としての３つのライトバルブ
９２５Ｒ、９２５Ｇ、９２５Ｂと、変調された後の色光
束を再合成する色合成手段としての色合成プリズム９１
０と、合成された光束を投射面１０００の表面に拡大投
射する投射手段としての投射レンズユニット９０６を備
えている。また、青色光束Ｂを対応するライトバルブ９
２５Ｂに導く導光系９２７をも備えている。

【００４０】均一照明光学系９２３は、２つのレンズ板
９２１、９２２と反射ミラー９３１を備えており、反射
ミラー９３１を挟んで２つのレンズ板９２１、９２２が
直交する状態に配置されている。均一照明光学系９２３
の２つのレンズ板９２１、９２２は、それぞれマトリク
ス状に配置された複数の矩形レンズを備えている。光源
装置９２０から出射された光束は、第１のレンズ板９２
１の矩形レンズによって複数の部分光束に分割される。
そして、これらの部分光束は、第２のレンズ板９２２の
矩形レンズによって３つのライトバルブ９２５Ｒ、９２
５Ｇ、９２５Ｂ付近で重畳される。従って、均一照明光
学系９２３を用いることにより、光源装置９２０が出射
光束の断面内で不均一な照度分布を有している場合で
も、３つのライトバルブ９２５Ｒ、９２５Ｇ、９２５Ｂ
を均一な照明光で照明することが可能となる。

【００４１】各色分離光学系９２４は、青緑反射ダイク
ロイックミラー９４１と、緑反射ダイクロイックミラー
９４２と、反射ミラー９４３から構成される。まず、青
緑反射ダイクロイックミラー９４１において、光束Ｗに
含まれている青色光束Ｂおよび緑色光束Ｇが直角に反射
され、緑反射ダイクロイックミラー９４２の側に向か
う。赤色光束Ｒはこのミラー９４１を通過して、後方の
反射ミラー９４３で直角に反射されて、赤色光束Ｒの出
射部９４４からプリズムユニット９１０の側に出射され
る。

【００４２】次に、緑反射ダイクロイックミラー９４２
において、青緑反射ダイクロイックミラー９４１におい
て反射された青色、緑色光束Ｂ、Ｇのうち、緑色光束Ｇ
のみが直角に反射されて、緑色光束Ｇの出射部９４５か
ら色合成光学系の側に出射される。緑反射ダイクロイッ
クミラー９４２を通過した青色光束Ｂは、青色光束Ｂの
出射部９４６から導光系９２７の側に出射される。本例
では、均一照明光学素子の光束Ｗの出射部から、色分離
光学系９２４における各色光束の出射部９４４、９４
５、９４６までの距離がほぼ等しくなるように設定され
ている。

【００４３】色分離光学系９２４の赤色、緑色光束Ｒ、
Ｇの出射部９４４、９４５の出射側には、それぞれ集光
レンズ９５１、９５２が配置されている。したがって、
各出射部から出射した赤色、緑色光束Ｒ、Ｇは、これら
の集光レンズ９５１、９５２に入射して平行化される。

【００４４】このように平行化された赤色、緑色光束
Ｒ、Ｇは、ライトバルブ９２５Ｒ、９２５Ｇに入射して
変調され、各色光に対応した画像情報が付加される。す
なわち、これらの液晶装置は、図示されない駆動手段に
よって画像情報に応じてスイッチング制御されて、これ
により、ここを通過する各色光の変調が行われる。一
方、青色光束Ｂは、導光系９２７を介して対応するライ
トバルブ９２５Ｂに導かれ、ここにおいて、同様に画像
情報に応じて変調が施される。尚、本例のライトバルブ
９２５Ｒ、９２５Ｇ、９２５Ｂは、それぞれさらに入射
側偏光手段９６０Ｒ、９６０Ｇ、９６０Ｂと、出射側偏
光手段９６１Ｒ、９６１Ｇ、９６１Ｂと、これらの間に
配置された液晶装置９６２Ｒ、９６２Ｇ、９６２Ｂとか
らなる液晶ライトバルブである。

【００４５】導光系９２７は、青色光束Ｂの出射部９４
６の出射側に配置した集光レンズ９５４と、入射側反射
ミラー９７１と、出射側反射ミラー９７２と、これらの
反射ミラーの間に配置した中間レンズ９７３と、ライト
バルブ９２５Ｂの手前側に配置した集光レンズ９５３と
から構成されている。集光レンズ９４６から出射された
青色光束Ｂは、導光系９２７を介して液晶装置９６２Ｂ
に導かれて変調される。各色光束の光路長、すなわち、
光束Ｗの出射部から各液晶装置９６２Ｒ、９６２Ｇ、９
６２Ｂまでの距離は青色光束Ｂが最も長くなり、したが
って、青色光束の光量損失が最も多くなる。しかし、導
光系９２７を介在させることにより、光量損失を抑制す
ることができる。

【００４６】各ライトバルブ９２５Ｒ、９２５Ｇ、９２
５Ｂを通って変調された各色光束Ｒ、Ｇ、Ｂは、色合成
プリズム９１０に入射され、ここで合成される。そし
て、この色合成プリズム９１０によって合成された光が
投射レンズユニット９０６を介して所定の位置にある投
射面１０００の表面に拡大投射されるようになってい
る。

【００４７】本例では、液晶装置として、上述の液晶パ
ネル検査装置により高精度に欠陥検出検査が行われた液
晶パネルを用いているので、表示欠陥のない表示品位の
高い投写型表示装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】液晶パネルの検査装置を説明するための概略断
面図である。

【図２】偏光板保持部の概略平面図である。

【図３】液晶装置の平面図である。

【図４】図３の線Ｈ−Ｈ'の断面図である。

【図５】液晶装置を用いた投射型表示装置の構成図であ
る。

【符号の説明】

４０…光源装置 ４２、４４…偏光板保持部 ７２…液晶パネル載置台 ４５、４６…偏光板 ４７…反射ミラー ４８…投射レンズユニット ６０、６１…円状回転体 ６２…保持板 １００…検査装置 ２００…液晶パネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 EA12 FA11 FA30 HA08 HA18 HA21 HA24 HA28 MA20 2H091 FA08X FA08Z FA14X FA26X FA41Z GA13 LA12 LA30 MA07 5G435 AA19 BB12 BB17 FF05 GG03 GG04 GG08 GG46

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源と、 液晶パネルが保持される液晶パネル載置台と、 前記液晶パネルを挟むように配置される一対の偏光板
   と、 前記一対の偏光板の少なくとも一つを、該偏光板の面内
   で回転可能とする偏光板回転手段と、 前記液晶パネル及び前記一対の偏光板を通過した前記光
   源からの光を投射する投射手段と、を具備することを特
   徴とする液晶パネルの検査装置。
2. 【請求項２】 前記液晶パネル及び前記一対の偏光板を
   通過した前記光源からの光を反射する反射ミラーと、を
   更に具備することを特徴とする請求項１に記載の液晶パ
   ネルの検査装置。
3. 【請求項３】 前記投射手段は、前記液晶パネル及び前
   記一対の偏光板を通過した前記光源からの光を拡大する
   拡大レンズを有し、該拡大レンズにより拡大された光を
   投射することを特徴とする請求項１または請求項２に記
   載の液晶パネルの検査装置。
4. 【請求項４】 液晶パネルを液晶パネル載置台に載せる
   工程と、 前記液晶パネルに制御回路を電気的に接続させる工程
   と、 スクリーンに前記液晶パネルの画像を投射しつつ、前記
   液晶パネルを挟み込むように配置される一対の偏光板の
   少なくとも一方を回転させる工程とを有することを特徴
   とする液晶パネルの検査方法。