JP3578165B2 - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと称す）駆動によるアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置等の電気光学装置及びこれを用いた電子機器の技術分野に属し、特に、サンプリング回路等の周辺回路がＴＦＴアレイ基板上に形成される構成の電気光学装置及びこれを用いた電子機器の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶装置においては、液晶層に所定の電界を印加するために、上記ＴＦＴアレイ基板内の各画素電極に対向して当該液晶層を挟む形で対向電極が配置されることが一般的である。そして、当該対向電極は、全ての上記画素電極を含む領域（以下、この領域を画像表示領域と称する。）に対して液晶層を挟んで対向する領域全てに形成され、更に当該画像表示領域に対向する領域全てに渡って一枚の電極層により当該対向電極を形成する場合が多い。
【０００３】
そして、液晶の駆動時においては、当該対向電極を一定電位とし、これに対向する上記画素電極毎に画像信号の印加／非印加を制御して画像を表示している。
【０００４】
ここで、当該対向電極を一定電位とする場合には、当該一定電位を印加するための電位信号を伝送する対向電極電位線を上記画素電極が形成されているＴＦＴアレイ基板上に配設し、当該ＴＦＴアレイ基板上のいずれかの位置で対向電極と対向電極電位線とを導通させて当該電位信号を対向電極に供給していた。そして、対向電極と対向電極電位線との導通に際しては、対向電極上の１ないし２箇所において当該対向電極と対向電極電位線とを導通させる構成が一般的であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した対向電極と対向電極電位線との導通方法によると、導通させる位置が対向電極上の１ないし２箇所しかないため、対向電極全体を一定電位とすることができない場合があるという問題点があった。
【０００６】
すなわち、対向電極は、上述したように画像表示領域に対向する領域全体に配置させるために、当然のことながら対向電極自体が透明である必要がある。そして、そのような透明電極としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）と称される材料により形成された透明電極が従来から最も一般的に使用されているが、当該ＩＴＯはシート抵抗が高いという特徴を備えている。
【０００７】
従って、上述した二個所のみから対向電極に電位信号を供給する構成だと、当該シート抵抗の高さに起因して対向電極の部分毎の抵抗値が高くなり、その結果として対向電極全体が均一な電位とならない場合がある。
【０００８】
ここで、近年においては、液晶装置の微細化が進行し、画素電極に画像信号を供給するＴＦＴがオフとなった後においても当該画素電極を所定電位に保つためのいわゆる蓄積容量が減る傾向にあるが、この場合に、上述した原因で対向電極が均一電位とならないと、画像全体としてはちらつき（いわゆるフリッカ）が発生するという問題点もあった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記の各問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、対向電極を均一に一定電位に保つことができ、フリッカを防止して視認性の高い画像を表示することが可能な液晶装置及び当該液晶装置を備えた電子機器を提供することにある。
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、第１基板には画像信号が供給される複数のデータ線と、走査信号が供給される複数の走査線と、前記データ線と前記走査線の交差に対応して設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子に対応して設けられた画素電極とを具備した画像表示領域を有し、第２基板上には対向電極を有する電気光学装置であって、前記画像表示領域に沿って光硬化性樹脂からなるシール材が形成されたシール領域を備え、前記画像表示領域と前記シール領域との間に、前記画像表示領域を挟んで対向する一対の導電線が配設され、前記シール領域外側の四隅に、前記対向電極と前記導電線とを導通させるための導通手段が各々配置されてなり、前記シール領域の一辺に沿って対向する一対の前記導通手段は当該導通手段の間に形成された導電層を介して接続され、前記導電層は前記シール領域を跨いで前記導電線に接続されると共に、前記画像表示領域よりも広い幅を有し、所定の間隔で穴が空けられてなることを特徴とする。
【００１１】
これによれば、第１基板上に、少なくとも対向電極には所定の電位が外部から供給される。そして、複数の導通手段は、画像表示領域外において、導電線と当該対向電極を導通させて供給された電位を対向電極に供給する。よって、導電線を介して所定の電位を当該対向電極に供給するので、対向電極自体の抵抗が高い場合でも、複数の導通手段により当該対向電極全体を均一な電位に設定することができる。
【００１２】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記導電線に前記電位を外部から供給するための実装端子等の外部入力端子が、前記配設されている導電線の始端と終端に夫々配置されている。
【００１３】
これによれば、外部入力端子が導電線の始端と終端に夫々配置されているので、導電線全体で遅延なく電位信号を供給することができると共に、対向電極全体でより均一に一定電位とすることができる。
【００１４】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記第１基板及び前記第２基板上の前記画像表示領域を囲む領域において当該第１基板と当該第２基板とを貼り合わせているシール材等のシール手段と、前記シール手段と前記画像表示領域との間の領域の前記第２基板上に、前記画像表示領域の輪郭に沿って形成された遮光性の周辺見切りと、を備え、前記導電線は、前記周辺見切りに対向する前記第１基板上の領域に配設されている。
【００１５】
これによれば、シール手段は、第１基板及び第２基板上の画像表示領域を囲む領域にお
いて当該第１基板と当該第２基板とを貼り合わせている。
【００１６】
よって、通常は使用されない周辺見切り形成領域内の第１基板上に導電線が配設されているので、第１基板上の領域の利用効率を向上させることができる。
【００１９】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記画像表示領域の輪郭を形成する少なくとも１辺に隣接する当該画像表示領域外の領域に、前記導電線とともに形成された平面状の格子形状を有する導電層が配置されてなることを特徴とする。
【００２０】
これによれば、平面状の導電層が導電線の一部をなしていると共に、当該導電層が格子状であるので、導電線自体を低抵抗化することができると共に、格子状の一部が欠損等しても、導電線としては断線とすることがない。
【００２１】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記第１基板上における前記導電層と異なる層に形成され、当該導電層と層間接続される副導電層を更に備える。
【００２２】
これによれば、導電層と層間接続された副導電層が、第１基板上における導電層と異なる層に形成されているので、導電層が破損等することにより電気接続が取れなくなっても、副導電層を持って導電線として電位信号を伝送することができる。
【００２３】
上記の課題を解決するために、本願発明は、前記導電線が前記データ線又は前記走査線のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されて構成される。
【００２４】
これによれば、導電線がデータ線又は走査線のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されているので、データ線又は走査線のいずれか一方を形成する際に同一工程内で導電線を形成することができる。
【００２５】
また、本願発明の電気光学装置を電子機器内に備えることにより、フリッカ等の少ない画像を表示することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に好適な実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００２７】
なお、以下に説明する各実施形態は、光源からの光を透過して画像を表示する投射型の液晶装置に対して本発明を適用した場合の実施の形態である。
【００２８】
始めに、本発明に係る第１の実施形態について、図１乃至図６を用いて説明する。
（Ｉ）液晶装置の構成
先ず、実施形態の液晶装置の全体構成について、図１から図３を用いて説明する。ここで、図１は、実施形態の液晶装置におけるＴＦＴアレイ基板上に設けられた各種配線、周辺回路等の構成を示すブロック図であり、図２は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図３は、対向基板を含めて示す図２のＨ−Ｈ’断面図である。
【００２９】
図１に示すように、液晶装置２００は、例えば石英基板、ハードガラス等からなる第１基板としてのＴＦＴアレイ基板１を備えている。このＴＦＴアレイ基板１上には、マトリクス状に設けられた複数の画素電極１１と、Ｘ方向に複数配列され、夫々がＹ方向に沿って伸びるアルミニウム等の低抵抗金属、或いは金属シリサイド等の金属合金膜等により形成されたデータ線３５と、Ｙ方向に複数配列され、夫々がＸ方向に沿って伸びるポリシリコン膜等の導電材により形成された走査線３１と、各データ線３５と画素電極１１との間に夫々介在すると共に当該データ線３５と画素電極１１の間における導通状態及び非導通状態を、走査線３１を介して夫々供給される走査信号を用いて夫々制御するポリシリコン層等を含んで構成される複数のＴＦＴ３０とが形成されている。更に、ＴＦＴアレイ基板１上には、画素電極１１における電位保持に用いられる蓄積容量のための配線である容量線３１’が走査線３１に沿ってほぼ平行に形成されている。このとき、当該容量線３１’は、夫々定電位線３１”を介して後述する走査線駆動回路１０４の正電源や負電源等に接続されている。尚、データ線駆動回路１０１の正電源や負電源等でも構わない。図１中では、画素電極１１と容量線３１‘との間形成される容量を省略して図示してある。
【００３０】
また、ＴＦＴアレイ基板１上には、製造途中や出荷時の液晶装置の品質、欠陥等を検査するための回路である検査回路２０１と、上記画像信号をサンプリングして複数のデータ線３５に夫々供給するサンプリング回路３０１と、データ線駆動回路１０１と、走査線駆動回路１０４とが形成されている。
【００３１】
このとき、走査線駆動回路１０４は、外部制御回路から供給される電源電圧及び基準クロック等並びに外部から実装端子１０２を介して供給されるスタート信号ＤＹに基づいて、後述（図８）するタイミングで走査線３１に走査信号をパルス的に線順次で印加する。これと並行して、走査線駆動回路１０４は、定電圧線３１”を介して各容量線３１に対して所定の定電圧を印加する。
【００３２】
一方、データ線駆動回路１０１は、外部制御回路から供給される電源電圧、基準クロック等に基づき、走査線駆動回路１０４が走査信号を印加するタイミングに合わせて、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々について、データ線３５毎にサンプリング回路駆動信号をサンプリング回路駆動信号線３０６を介してサンプリング回路３０１に供給する。
【００３３】
更に、サンプリング回路３０１では、ＴＦＴ３０２を各データ線３５毎に備え、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６がＴＦＴ３０２のソース電極に接続され、サンプリング回路駆動信号線３０６がＴＦＴ３０２のゲート電極に接続されている。そして、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を介して、６相展開された６つのパラレルな画像信号が入力されると、これらの画像信号をサンプリングする。
【００３４】
そして、データ線駆動回路１０１からサンプリング回路駆動信号線３０６を介してサンプリング回路駆動信号が入力されると、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々についてサンプリングされた画像信号を、データ線３５に順次に印加する。また他の駆動方法として、例えば隣接する６つのＴＦＴ３０２のゲート電極に対して同時にサンプリング回路駆動信号を印加し、複数のデータ線３５をグループ毎に順次選択するようにしてもよい。この場合、外部制御回路により例えば６相展開された６つの画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６の位相タイミングを合わせ、ＴＦＴ３０２を介してデータ線３５に供給するようにしても、同様の表示を行えることができる。また、画像信号の相展開数は６に限られない。例えば、当該サンプリング回路３０１を構成するＴＦＴ３０２におけるサンプリング能力が高ければ、相展開数は６以下でも構わないし、サンプリング能力が低ければ、相展開数は６以上でもよい。画像信号の相展開数が少ない方が外部制御回路に係るコストを低減できる。また、少なくとも画像信号の相展開数分だけ、画像入力信号線が必要であることは言うまでもない。更に、画像信号の相展開数を３、６、１２、１８、２４、…といった３の倍数に設定すれば、画像入力信号線が３の倍数で形成できるため、ビデオ表示する際に有利である。これは、カラー画像信号が３つの色（赤、緑、青）に係る信号からなることとの関係から、３の倍数であると、ＮＴＳＣ表示やＰＡＬ表示等のビデオ表示をする際に制御や回路を簡易化する上で好ましいからである。
このとき、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１は、図１中斜線領域で示すと共に図２及び図３に示すように、対向基板２に形成された遮光性の周辺見切り５３に対向する位置のＴＦＴアレイ基板１上に設けるようにするとよい。これは、従来はデッドスペースであった周辺見切り５３下に、検査回路２０１、サンプリング回路３０１及び対向電極電位線１０３を設けることで、液晶装置２００における有効表示面積の減少を招くこともなく、同時に、特に周辺見切り５３は遮光性であるので、画像表示領域を介して入射される光に対する遮光のための構成を検査回路２０１やサンプリング回路３０１を構成するＴＦＴ２０２及び３０２に施す必要も無い。加えて、シール材５２に面するＴＦＴアレイ基板１部分に検査回路２０１やサンプリング回路３０１を形成するのではないので、これらの回路を構成するＴＦＴ３０２等をシール材５２に混入されたギャップ材により破壊する恐れがないという利点があるからである。また本実施の形態では、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４は、液晶層５０に面しないＴＦＴアレイ基板１の周辺部分上に設けられている。ただし、パッシベーション膜により、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４等の周辺回路を保護できれば、液晶層５０内に形成することは可能である。
【００３５】
更に、図２及び図３において、ＴＦＴアレイ基板１の上には、複数の画素電極１１より規定される画像表示領域（即ち、実際に液晶層５０の配向状態変化により画像が表示される領域）の周囲において両基板を貼り合わせて液晶層５０を包囲する光硬化性樹脂からなるシール手段としてのシール材５２が、当該画像表示領域に沿って設けられている。このシール材５２は、ＴＦＴアレイ基板１及び第２基板としての対向基板２の二つの基板をそれらの周辺で貼り合わせるための、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤であり、当該シール材５２には、両基板間に挟まれることにより当該両基板間の距離（液晶層５０の厚さ）を所定植とするための球形又は円筒形のグラスファイバーやガラスビーズ等のギャップ材が混入されている。
【００３６】
そして、対向基板２上における画像表示領域とシール材５２との間には、遮光性の上記周辺見切り５３が設けられている。
【００３７】
この周辺見切り５３は、後に画像表示領域に対応して開口された遮光性のケースにＴＦＴアレイ基板１が入れられた場合に、当該画像表示領域が製造誤差等に起因して当該ケースの開口の縁に隠れてしまわないように、即ち、例えばＴＦＴアレイ基板１のケースに対して数百μｍ程度のずれを許容するように、画像表示領域の周囲に少なくとも５００μｍ以上の幅を持つ帯状の遮光性材料により形成されたものである。このような遮光性の周辺見切り５３は、具体的には、例えばＣｒ（クロム）やＮｉ（ニッケル）などの金属材料を用いたスパッタリング、フォトリソグラフィ工程及びエッチング工程等により対向基板２上に形成される。なお、周辺見切り５３の他の例としては、カーボンやＴｉ（チタン）をフォトレジスト内に分散した樹脂ブラックなどの材料から形成してもよい。
【００３８】
また、図２に示すように、対向基板２における周辺見切り５３の内側の画像表示領域に対向する領域全体には、夫々の画素電極１１と共に液晶層５０に電界を印加するためのＩＴＯ等よりなる対向電極２３が形成されている。
【００３９】
次に、シール材５２の外側の領域には、図２に示すように画像表示領域の下辺に沿ってデータ線駆動回路１０１及び実装端子１０２が設けられており、画像表示領域の左右の二辺に沿って走査線駆動回路１０４が当該画像表示領域の両側に設けられている。走査線の信号遅延等が問題にならない場合は、どちらか一方のみに形成してもよいことは言うまでもない。また、データ線駆動回路１０１を画面表示領域の辺に沿って両側に配列してもよい。例えば奇数列のデータ線は画面表示領域の一方の辺に沿って配設されたデータ線駆動回路から画像信号を供給し、偶数列のデータ線は前記画面表示領域の反対側の辺に沿って配設されたデータ線駆動回路から画像信号を供給するようにしてもよい。この様にデータ線３５を櫛歯状に駆動するようにすれば、データ線駆動回路の占有面積を拡張することができるため、複雑な回路を構成することが可能となる。なお、上述した櫛歯状に駆動する方法は、走査線駆動回路１０４に適用できることは言うまでもない。更に、画像表示領域の上辺には、複数の配線１０５が設けられている。
【００４０】
また、シール材５２の例えば四隅であって、対向基板２の四隅に相当する位置には、ＴＦＴアレイ基板１と対向電極２３との間で電気的導通をとるための導通手段としての上下導通端子１０７及び当該上下導通端子１０７内に含まれる導通材からなる上下導通材１０６が設けられている。そして、シール材５２とほば同じ輪郭を持つ対向基板２が当該シール材５２によりＴＦＴアレイ基枝１に固着されている。
【００４１】
ここで、上記対向電極２３は、上述したように後述する一定電位ＶＬＣＣＯＭに常に保つことが一般的であるが、このために、上記四つの上下導通端子１０７に対して、当該対向電極２３を一定電位ＶＬＣＣＯＭに常に保つための電位信号ＬＣＣＯＭが図１に示す本発明に係る導電線である対向電極電位線１０３及び実装端子１０２（いずれもＴＦＴアレイ基板１上に形成されている）を介して供給される。そして、当該電位信号ＬＣＣＯＭが上下導通端子１０７（上下導通材１０６）を介して対向電極２３に供給されることにより、当該対向電極２３が上記一定電位ＶＬＣＣＯＭに保たれる。
【００４２】
ここで、本発明に係る対向電極電位線１０３の配置について特に図１を用いて説明すると、当該対向電極電位線１０３は、その始端と終端に夫々配置された実装端子１０２を介して外部制御回路と接続されている。
【００４３】
そして、ＴＦＴアレイ基板１上においては、対向電極電位線１０３は、始めにデータ線駆動回路１０１及び画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６を迂回するように配設されて図１中下側にある二つの上下導通端子１０７に接続される。
【００４４】
次に、当該二つの上下導通端子１０７に接続された対向電極電位線１０３は、夫々走査線駆動回路１０４と画像表示領域との間にある周辺見切り５３に対向するＴＦＴアレイ基板１上の領域を通過して検査回路２０１の図１中上部にある導電層１０８に到達する。そして、当該導電層１０８から左右に分岐して図１中上部に位置する二つの上下導通端子１０７に接続されている。
【００４５】
このとき、上記導電層１０８は、シール材５２の下部に当たるＴＦＴアレイ基板１の領域にアルミニウムにより形成された層であり、上述した上部にある二つの上下導通端子１０７に電位信号ＬＣＣＯＭを供給する役割を果たすと共に、上記スペーサを含有するシール材５２の下部に形成されることによりＴＦＴアレイ基板１と対向基板２とのセルギャップを制御する役割をも果たすのである。
【００４６】
そして、当該導電層１０８自体は、図１に示すように格子状とされている。このように格子状とされているのは、上記シール材５２を充填後これを硬化させるときに、十分な硬度まで硬化させるために必要な外部光を当該充填されたシール材５２に到達させるためである。
【００４７】
ここで、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１は、基本的に交流駆動の回路である。このため、シール材５２により包囲され両基板間に挟持された液晶層５０に面するＴＦＴアレイ基板１の部分にこれらのプリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けても、直流電圧印加による液晶層５０の劣化という間題は生じない。
【００４８】
そして、このように周辺見切り５３の下に、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けることで、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、特定の仕様に沿うようにこれらの周辺回路を設計することが容易になる。
【００４９】
（ＩＩ）対向電極電位線等の細部構成
次に、本発明に係る対向電極電位線１０３及び上下導通端子１０７の実際の細部構成について、図４乃至図７を用いて説明する。
【００５０】
始めに、図１中左下に位置する上下導通端子１０７近辺の構成について、図４及び図５を用いて説明する。
【００５１】
図４に示すように、対向電極電位線１０３は、実装端子１０２により外部制御回路回路と接続されると共に、データ線駆動回路１０１（当該データ線駆動回路１０１の検査のための検査端子１１４が接続されている。）及び画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６並びに当該画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６とサンプリング回路３０１とを接続する引出線１１２及びデータ線駆動回路１０１からのサンプリング回路駆動信号線３０６を迂回し、走査線駆動回路１０４に接続されている駆動回路駆動線１１２と当該画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６の間のＴＦＴアレイ基板１上の領域を通って上下導通端子１０７内の上下導通材１０６に接続されている。
【００５２】
そして、これと並行して、対向電極電位線１０３は、上下導通端子１０７に接続されると共に、シール材５２により形成されるシール領域（図４参照）にほぼ平行に配設され、走査線３１に接続されている走査線駆動回路１０４からの引出線１１３と交差する前にシール領域を当該引出線１１３に平行に跨いだ後、周辺見切り５３に対向する位置を反対側の上下導通端子１０７に向けて走査線３１及び容量線３１’を跨ぐように配設されている。
【００５３】
次に、上下導通端子１０７における実際の対向電極電位線１０３と上下導通材１０６及び対向電極２３の接続関係について、図５を用いて説明する。なお、図５は、図４中の上下導通端子１０７におけるＡ−Ａ’断面図である。
【００５４】
図５に示すように、上下導通端子１０７は、下から、ＴＦＴアレイ基板１、第１層間絶縁層４１、ポリシリコン層１２０、第２層間絶縁層４２、対向電極電位線１０３、第３層間絶縁層４３、モールド剤１２１、対向電極２３及び対向基板２の順で積層された各層により形成されている。そして、当該モールド剤１２１内に上下導通材１０６が混入されており、当該上下導通材１０６が対向電極電位線１０３と対向電極２３に接触することにより対向電極電位線１０３と対向電極２３が電気的に接続され、上記電位信号ＬＣＣＯＭが対向電極２３へ供給される。このため、上下導通材１０６としては、上述のように導電性の高い金メッキや銀メッキされた球状や円筒状のグラスファイバー等が用いられる。
【００５５】
また、モールド剤１２１自体も導電性を有し、これによっても、対向電極２３と対向電極電位線１０３とが電気的に接続される。より具体的には、モールド剤１２１としては、銀をペースト状に混ぜたものに前記上下導通材１０６を混入したものが用いられている。
【００５６】
なお、モールド剤１２１は、図４に示す上下導通端子１０７における五角形の範囲（図４中、斜め格子模様にて示す。）内にのみ充填されているものであり、隣接して配設されている入力端子ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６からは絶縁されているものである。
【００５７】
一方、上記第１層間絶縁層４１乃至第３層間絶縁層４３は、上述のサンプリング回路３０１等に含まれるＴＦＴ３０２等の領域まで形成され、当該ＴＦＴ３０２等の一部となるものであり、具体的には、５０００Å乃至１５０００Å程度の厚さのＮＳＧ、ＰＳＧ（Ｐ２Ｏ５を含むＳｉＯ２）、ＢＳＧ（Ｂ２Ｏ３を含むＳｉＯ２）、ＢＰＳＧ（Ｐ２Ｏ５とＢ２Ｏ３を含むＳｉＯ２）などのシリケートガラス膜、窒化シリコン膜又は酸化シリコン膜等からなる。ここで、第１層間絶縁層４１については、その製造時に約９００℃のアニ−ル処理を施すことにより、汚染を防ぐと共にその表面を平坦化することができる。
【００５８】
更に、ポリシリコン層１２０は、画像表示領域に形成されているＴＦＴ３０等に合わせて対向基板２とＴＦＴアレイ基板１との間隔を調整するために形成されている層であり、他の部材からは電気的に絶縁されている。
【００５９】
次に、図１中上側に位置する二つの上下導通端子１０７及び導電層１０８近辺の構成について、図６及び図７を用いて説明する。
【００６０】
図６に示すように、図１中下側の上下導通端子１０７を通って周辺見切り５３に対向する位置に配設されている対向電極電位線１０３は、走査線３１及び容量線３１’とは異なる層を通り、画像表示領域を囲むように導電層１０８に到達する。
【００６１】
そして、当該導電層１０８の上部両端から分岐した電極層に二つの上下導通端子１０７が夫々接続されている。
【００６２】
このとき、導電層１０８は、所定の間隔で長方形の穴が空けられた格子状形状をなしており、この構造により、電位信号ＬＣＣＯＭに対して低抵抗化されていると共に、導電層１０８の一部が破損しても他の部分を介して電位信号ＬＣＣＯＭが伝送されることにより冗長性が高められている。更に、上述したようにシール材５２の硬化工程に際しても、外部からの硬化のための光を十分に通過させてシール材５２を硬化させることができる。
【００６３】
次に、導電層１０８の具体的な細部構成について、図７を用いて説明する。なお、図７は、図６における導電層１０８のうち、上下導通端子１０７への分岐及びシール領域を含む部分を拡大したものである。
【００６４】
図７に示すように、実際の液晶装置２００においては、対向電極電位線１０３と上下導通端子１０７とを結ぶ格子状の導電層１０８（図７中一点鎖線で示す。）と共に、当該導電層１０８とは同じ領域の異なる層にリボン状で相互に平行な副導電層１０８’（図７中実線で示す。）が形成されている。そして、導電層１０８と副導電層１０８’とは複数のコンタクトホール３８により層間接続されている。この副導電層１０８’は、導電層１０８が形成されている全ての領域に渡って、リボン状の電極が複数列平行に並ぶように形成されている。
【００６５】
更に、夫々を形成する材料としては、導電層１０８をアルミニウム膜により形成すると共に、副導電層１０８’をポリシリコン膜により形成している。
（ＩＩＩ）液晶装置の動作
次に、以上のように構成された液晶装置２００の動作について図１及び図８を用いて説明する。
【００６６】
先ず、走査線駆動回路１０４は、所定タイミングで走査線３１に走査信号をパルス的に線順次で印加する。
【００６７】
これと並行して、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６から６相展開された６つのパラレルな画像信号を受けると、サンプリング回路３０１は、これらの画像信号をサンプリングする。
【００６８】
一方、データ線駆動回路１０１は、走査線駆動回路１０４がゲート電圧を印加するタイミングに合わせて、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々について、各データ線毎にサンプリング回路駆動信号を供給してサンプリング回路３０１のＴＦＴ３０２をオン状態とする。これにより、隣接する６つのデータ線３５に対して、サンプリング回路３０１でサンプリングされた画像信号を順次印加する。即ち、データ線駆動回路１０１とサンプリング回路３０１により、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６から入力された６相展開された６つのパラレルな画像信号がデータ線３５に供給される。
【００６９】
そして、走査信号及び画像信号の両方が印加されたＴＦＴ３０においては、そのソース領域及びチャネル形成領域並びにドレイン領域を介して画素電極１１に電圧が印加される。その後、この画素電極１１の電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも例えば３桁長い時間だけ蓄積容量により維持される。
【００７０】
以上の動作中に、対向電極２３は、電位信号ＬＣＣＯＭが印加されることにより常に一定電位ＶＬＣＣＯＭに保たれる。
【００７１】
ここで、当該一定電位ＶＬＣＣＯＭの設定方法を含め、上述の動作を具体的に図８に示すタイミングチャートを用いて説明する。なお、図８は、画素電極１１に対して印加される各信号の波形を示すものであり、当該図８において、符号ＶＧは上記スタート信号ＤＹに基づいて走査線駆動回路１０４から出力される走査信号の波形を示し、符号ＶＩＤ１は、６相展開されている画像信号のうちの画像信号の変化を示し、符号ＶＬＣＣＯＭは上記電位信号ＬＣＣＯＭの変化を示し、符号ＶＰは対応する画素電極１１における電位変化を示すものである。
【００７２】
また、図８は、画像信号として、インタレースされた二つのフィールド（第１フィールド及び第２フィールド）からなるいわゆるＮＴＳＣ方式のビデオ信号を入力する場合について説明するものである。ここで、一般に、液晶装置２００を用いてビデオ表示する場合には、１フィールド期間（１／６０秒）毎に交流反転する３０Ｈｚの画像信号をノンインターレース方式（奇数行の画像信号と偶数行の画像信号とを同一行に重ねて書く方式）で液晶装置２００に印加する。
【００７３】
図８に示す選択機間Ｔ１（１水平走査期間）において、走査信号が入力された結果ＴＦＴ３０がオンとなると、画素電極１１の電位ＶＰは画像信号の電位ＶＩＤ１と等しくなる。一方、非選択期間Ｔ２では、ＴＦＴ３０がオフとなって液晶容量及び蓄積容量により書き込まれた信号が保持される。
【００７４】
そして、次の選択期間Ｔ１において再び走査信号が印加されてＴＦＴ３０がオンとなると、今度は負極性の画像信号が印加されていることとなるので、画素電極１１の電位ＶＰは図８に示すように負方向に変化し、非選択期間Ｔ２において徐々に上昇する。
【００７５】
以下、走査信号と画像信号の印加に対応して上記の動作が繰り返される。
【００７６】
ここで、図８に示すように、非選択期間Ｔ２においては、ＴＦＴ３０がオフする瞬間に画素電極１１の電位ＶＰは所定の電圧ΔＶ（一般に、プッシュダウン電圧と称される。）だけシフトする。
【００７７】
これは、ＴＦＴ３０のゲート・ドレイン間の寄生容量ＣＧＤと液晶容量ＣＬＣ及び保持容量ＣＳＴの間の容量カップリングによりもので、その大きさは、
【００７８】
【数１】
ΔＶ＝（ΔＶＧ×ＣＧＤ）／（ＣＧＤ＋ＣＬＣ＋ＣＳＴ）
で示される。ここで、ΔＶＧは走査信号の電位の変化量である。
【００７９】
このプッシュダウン電圧ΔＶは、画像信号の極性（画像品号の信号位相の反転）に無関係に常に画素電極１１の電位ＶＰを下げることになる。
【００８０】
そこで、対向電極２３の電位ＶＬＣＣＯＭとしては、画像信号の中心電位ＶＣに対してプッシュダウン電圧ΔＶ分だけ低く設定される。これにより、液晶層５０に印加される電圧は図８中斜線で示す領域となり、ほぼ正負対称で良好な波形となる。
【００８１】
以上の動作により画素電極１１に電圧ＶＰが印加されると、液晶層５０における画素電極１１と対向電極２３とに挟まれた部分における液晶の配向状態が変化し、ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過不可能とされ、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過可能とされ、全体として液晶装置２００からは画像信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。
【００８２】
以上説明したように、第１実施形態の液晶装置２００によれば、対向電極２３の四隅から電位信号ＬＣＣＯＭを当該対向電極２３に供給するので、対向電極２３自体のシート抵抗が高い場合でも、当該対向電極２３全体を均一な電位に設定することができる。
【００８３】
また、電位信号ＬＣＣＯＭを供給するための実装端子１０２が対向電極電位線１０３の始端と終端に夫々配置されているので、対向電極電位線１０３全体で遅延なく電位信号ＬＣＣＯＭを供給することができると共に、対向電極２３全体をより均一に一定電位とすることができる。
【００８４】
更に、通常は使用されない周辺見切り５３に対向するＴＦＴアレイ基板１上に対向電極電位線１０３が配設されているので、ＴＦＴアレイ基板１上の領域の利用効率を向上させることができる。
【００８５】
更にまた、平面状の導電層１０８が対向電極電位線１０３の一部をなしていると共に、当該導電層１０８が格子状であるので、対向電極電位線１０３自体を低抵抗化することができると共に、格子状の一部が欠損等しても、対向電極電位線１０３としては断線とすることがない。
【００８６】
また、導電層１０８と層間接続された副導電層１０８’が、ＴＦＴアレイ基板１上における導電層１０８と異なる層に形成されているので、導電層１０８が破損等することにより電気的接続が取れなくなっても、副導電層１０８’が導電層１０８の代わりに対向電極電位線１０３として電位信号ＬＣＣＯＭを伝送することができる。
【００８７】
更に、対向電極電位線１０３がデータ線３５又は走査線３１のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されているので、データ線３５又は走査線３１のいずれか一方を形成する際に同一工程内で対向電極電位線１０３を形成することができる。
【００８８】
なお、上述の第１実施形態では、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けるようにしたが、これらに代えて又はこれに加えて、周辺見切り５３の下に、画像信号の印加に先立って画素電極１１の電位ＶＰを所定の電位とするためのプリチャージ信号をデータ線３５に供給するプリチャージ回路を設けてもよい。このプリチャージ回路を周辺見切り５３の下に設ければ、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、液晶装置における有効表示面積の減少を招くことがない。
【００８９】
なお、上述した液晶装置２００は、液晶プロジェクタに適用されるため、３つの液晶装置２００がＲＧＢ用のライトバルブとして夫々用いられ、各パネルには夫々ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が入射光として夫々入射されることになる。従って、各実施形態では、対向基板２にカラーフィルタは設けられていない。
【００９０】
しかしながら、液晶装置２００においても画素電極１１に対向する所定領域にＲＧＢのカラーフィルタをその保護膜と共に対向基板２上に形成してもよい。このようにすれば、液晶プロジェクタ以外の直視型や反射型のカラー液晶テレビなどのカラー液晶装置に実施形態の液晶装置２００を適用できる。
【００９１】
更に、液晶装置２００においては、一例として液晶層５０をネマティック液晶から構成したが、液晶を高分子中に微小粒として分散させた高分子分散型液晶を用いれば、配向膜１２及び２２、並びに前述の偏光フィルム、偏光板等が不要となり、光利用効率が高まることによる液晶装置の高輝度化や低消費電力化の利点が得られる。
【００９２】
更にまた、画素電極１１をＡｌ等の反射率の高い金属膜により構成すれば、液晶装置２００を反射型液晶装置に適用する場合に、電圧無印加状態で液晶分子がほぼ垂直配向されたＳＨ（スーパーホメオトロピック）型液晶などを用いることができる。
【００９３】
更に、対向基板２０上に、各画素に対し夫々対応するようにマイクロレンズを形成してもよい。このようにすれば、入射光の集光効率が向上し、より明るい液晶装置が実現できる。
【００９４】
更にまた、液晶装置２００においては、液晶層５０に対し垂直な電界（縦電界）を印加するように対向基板２の側に共通電極２１を設けているが、液晶層５０に並行な電界（横電界）を印加するように一対の横電界発生用の電極から画素電極１１を夫々構成する（即ち、対向基板２の側には縦電界発生用の電極を設けることなく、ＴＦＴアレイ基板１の側に横電界発生用の電極を設ける）ことも可能である。このように横電界を用いると、縦電界を用いた場合よりも視野角を広げる上で有利である。
【００９５】
なお、上述した実施形態においては、上下導通端子１０７を対向電極２３の四隅に配置したが、これ以外に、画像表示領域が特に広い場合には、当該画像表示領域の中央の一画素分の位置に上下導通端子を形成してもよい。
【００９６】
更に、画像表示領域を例えば円形とするときは、その円形の周縁部に均等に上下導通端子を配置しても本発明と同様の効果が得られる。
（ＩＶ）電子機器の実施形態
次に、上述した実施形態の液晶装置２００を用いた種々の電子機器の実施形態について、図９乃至図１３を用いて説明する。
【００９７】
上述の液晶装置２００を用いて構成される電子機器は、図９に示す表示情報出力源１０００、表示情報処理回路１００２、表示駆動回路１００４、液晶パネル１００６、クロック発生回路１００８及び電源回路１０１０を含んで構成される。
【００９８】
このうち、表示情報出力源１０００は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などのメモリ、テレビ信号を同調して出力する同調回路などを含んで構成され、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて、ビデオ信号などの表示情報を出力する。
【００９９】
表示情報処理回路１００２は、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて表示情報を処理して出力する。この表示情報処理回路１００２は、例えば増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路あるいはクランプ回路等を含むことができる。
【０１００】
次に、表示駆動回路１００４は、走査線駆動回路及びデータ線駆動回路を含んで構成され、液晶装置１００６を表示駆動する。
【０１０１】
そして、電源回路１０１０は、上述の各回路に電力を供給する。
【０１０２】
上述した構成の電子機器として、図１０に示す液晶プロジェクタ、図１１に示すマルチメディア対応のパーソナルコンピユータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、図１２に示すページャ、あるいは携帯電話、ワードプロセッサ、テレビ、ビユーファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置などを挙げることができる。
【０１０３】
図１０は、投射型表示装置の要部を示す概略構成図である。図中、１１００は光源、１１０６及び１１０８はダイクロイックミラー、１１１０、１１１２及び１１１４は反射ミラー、１１１６、１１１８及び１１２０はリレーレンズ、１１２４、１１２６及び１１５８は本発明に係る液晶装置を含む液晶ライトバルプ、１１３０はクロスダイクロイックプリズム、１１３２は投射レンズを示す。
【０１０４】
光源１１００はメタルハライド等のランプ１１０２とランプの光を反射するリフレクタ１１０４とからなる。
【０１０５】
青色光・緑色光反射のダイクロイックミラー１１０６は、光源１１００からの自色光束のうちの赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー１１１４で反射されて、赤色光用液晶ライトバルブ１１２４に入射される。
【０１０６】
一方、ダイクロイックミラー１１０６で反射された色光のうち緑色光は緑色光反射のダイクロイックミラー１１０８によって反射され、緑色光用液晶ライトバルブ１１２６に入射される。
【０１０７】
更に、青色光は第２のダイクロイックミラー１１０８も透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ１１１６、リレーレンズ１１１８及び出射レンズ１１２０を含むリレーレンズ系からなる導光部１１２２が設けられ、これを介して青色光が青色光用液晶ライトバルブ１１２８に入射される。
【０１０８】
各ライトバルブにより変調された３つの色光はクロスダイクロイックプリズム１１３０に入射する。このプリズムは４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ１１３２によってスクリーン１１３４上に投射され、画像が拡大されて表示される。
【０１０９】
図１１に示すパーソナルコンピユータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、本発明の液晶装置を含む液晶表示モジュール１２０６とを有する。
【０１１０】
図１２に示すぺ一ジャ１３００では、２つの弾性導電体１３１４、１３１６及びフィルムキャリアテーブ１３１８は、液晶装置用基板１３０４と回路基板１３０８とを接続するものである。ここで、液晶装置用基板１３０４は、２枚の透明基板１３０４ａ及び１３０４ｂの間に液晶を封入したもので、これにより少なくともドットマトリクス型の液晶装置が構成される。一方の透明基板に、図９に示す駆動回路１００４、あるいはこれに加えて表示情報処理回路１００２を形成することができる。液晶装置用基板１３０４に搭載されない回路は、液晶装置用基板の外付け回路とされ、図１３の場合には回路基板１３０８に搭載できる。
【０１１１】
また、液晶装置用基板１３０４以外に回路基板１３０８が必要となるが、電子機器用の一部品として液晶装置が使用される場合であって、透明基板に表示駆動回路などが搭載される場合には、その液晶装置の最小単位は液晶装置用基板１３０４である。あるいは、液晶装置用基板１３０４を筐体としての金属フレーム１３０２に固定したものを、電子機器用の一部品である液晶装置として使用することもできる。さらに、バックライト式の場合には、金属製フレーム１３０２内に、液晶装置用基板１３０４と、バックライト１３０６ａを備えたライトガイド１３０６とを組み込んで、液晶装置を構成することができる。
【０１１２】
これらに代えて、図１３に示すように、液晶装置用基板１３０４を構成する２枚の透明基板１３０４ａ，１３０４ｂの一方に、金属の導電膜が形成されたポリイミドテープ１３２２にＩＣチップ１３２４を実装したＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）１３２０を接続して、電子機器用の一部品である液晶装置として使用することもできる。
【０１１３】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、本発明は上述の各種の液晶装置の駆動に適用されるものに限らず、エレクトロルミネッセンス表示装置又はプラズマディスプレイ装置にも適用可能である。
【０１１４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、対向電極の複数、例えば四隅から電位を当該対向電極に供給するので、対向電極自体の抵抗が高い場合でも、当該対向電極全体を均一な電位に設定することができる。従って、フリッカ等の少ない画像を表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＴＦＴアレイ基板上に形成された各種配線、周辺回路等のブロック図である。
【図２】液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図３】液晶装置の全体構成を示す断面図である。
【図４】ＴＦＴアレイ基板上の対向電極電位線及び上下導通端子の構成を示す拡大図である。
【図５】上下導通端子の断面図である。
【図６】ＴＦＴアレイ基板上の上下導通端子及び導電層の構成を示す拡大図である。
【図７】導電層の拡大図である。
【図８】液晶装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図９】電子機器の概要構成を示すブロック図である。
【図１０】電子機器の一例としての液晶プロジェクタの構成を示す断面図である。
【図１１】電子機器の一例としてのパーソナルコンピュータの外観を示す正面図である。
【図１２】電子機器の一例としてのページャの構成を示す分解斜視図である。
【図１３】電子機器の一例としてのＴＣＰを用いた液晶装置の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ＴＦＴアレイ基板
２…対向基板
１１…画素電極
２３…対向電極
３０…ＴＦＴ
３１…走査線
３１’…容量線
３１”…定電位線
３５…データ線
３８…コンタクトホール
４１…第１層間絶縁層
４２…第２層間絶縁層
４３…第３層間絶縁層
５０…液晶層
５２…シール材
５３…周辺見切り
１０１…データ線駆動回路
１０２…実装端子
１０３…対向電極電位線
１０４…走査線駆動回路
１０５…配線
１０６…上下導通材
１０７…上下導通端子
１０８…導電層
１０８’…副導電層
１１０、１１３…引出線
１１２…駆動回路駆動線
１２０…ポリシリコン層
１２１…モールド剤
２００…液晶装置
２０１…検査回路
３０１…サンプリング回路
３０２…ＴＦＴ
３０６…サンプリング回路駆動信号線
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと称す）駆動によるアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置等の電気光学装置及びこれを用いた電子機器の技術分野に属し、特に、サンプリング回路等の周辺回路がＴＦＴアレイ基板上に形成される構成の電気光学装置及びこれを用いた電子機器の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶装置においては、液晶層に所定の電界を印加するために、上記ＴＦＴアレイ基板内の各画素電極に対向して当該液晶層を挟む形で対向電極が配置されることが一般的である。そして、当該対向電極は、全ての上記画素電極を含む領域（以下、この領域を画像表示領域と称する。）に対して液晶層を挟んで対向する領域全てに形成され、更に当該画像表示領域に対向する領域全てに渡って一枚の電極層により当該対向電極を形成する場合が多い。
【０００３】
そして、液晶の駆動時においては、当該対向電極を一定電位とし、これに対向する上記画素電極毎に画像信号の印加／非印加を制御して画像を表示している。
【０００４】
ここで、当該対向電極を一定電位とする場合には、当該一定電位を印加するための電位信号を伝送する対向電極電位線を上記画素電極が形成されているＴＦＴアレイ基板上に配設し、当該ＴＦＴアレイ基板上のいずれかの位置で対向電極と対向電極電位線とを導通させて当該電位信号を対向電極に供給していた。そして、対向電極と対向電極電位線との導通に際しては、対向電極上の１ないし２箇所において当該対向電極と対向電極電位線とを導通させる構成が一般的であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した対向電極と対向電極電位線との導通方法によると、導通させる位置が対向電極上の１ないし２箇所しかないため、対向電極全体を一定電位とすることができない場合があるという問題点があった。
【０００６】
すなわち、対向電極は、上述したように画像表示領域に対向する領域全体に配置させるために、当然のことながら対向電極自体が透明である必要がある。そして、そのような透明電極としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）と称される材料により形成された透明電極が従来から最も一般的に使用されているが、当該ＩＴＯはシート抵抗が高いという特徴を備えている。
【０００７】
従って、上述した二個所のみから対向電極に電位信号を供給する構成だと、当該シート抵抗の高さに起因して対向電極の部分毎の抵抗値が高くなり、その結果として対向電極全体が均一な電位とならない場合がある。
【０００８】
ここで、近年においては、液晶装置の微細化が進行し、画素電極に画像信号を供給するＴＦＴがオフとなった後においても当該画素電極を所定電位に保つためのいわゆる蓄積容量が減る傾向にあるが、この場合に、上述した原因で対向電極が均一電位とならないと、画像全体としてはちらつき（いわゆるフリッカ）が発生するという問題点もあった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記の各問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、対向電極を均一に一定電位に保つことができ、フリッカを防止して視認性の高い画像を表示することが可能な液晶装置及び当該液晶装置を備えた電子機器を提供することにある。
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、第１基板には画像信号が供給される複数のデータ線と、走査信号が供給される複数の走査線と、前記データ線と前記走査線の交差に対応して設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子に対応して設けられた画素電極とを具備した画像表示領域を有し、第２基板上には対向電極を有する電気光学装置であって、前記画像表示領域に沿って光硬化性樹脂からなるシール材が形成されたシール領域を備え、前記画像表示領域と前記シール領域との間に、前記画像表示領域を挟んで対向する一対の導電線が配設され、前記シール領域外側の四隅に、前記対向電極と前記導電線とを導通させるための導通手段が各々配置されてなり、前記シール領域の一辺に沿って対向する一対の前記導通手段は当該導通手段の間に形成された導電層を介して接続され、前記導電層は前記シール領域を跨いで前記導電線に接続されると共に、前記画像表示領域よりも広い幅を有し、所定の間隔で穴が空けられてなることを特徴とする。
【００１１】
これによれば、第１基板上に、少なくとも対向電極には所定の電位が外部から供給される。そして、複数の導通手段は、画像表示領域外において、導電線と当該対向電極を導通させて供給された電位を対向電極に供給する。よって、導電線を介して所定の電位を当該対向電極に供給するので、対向電極自体の抵抗が高い場合でも、複数の導通手段により当該対向電極全体を均一な電位に設定することができる。
【００１２】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記導電線に前記電位を外部から供給するための実装端子等の外部入力端子が、前記配設されている導電線の始端と終端に夫々配置されている。
【００１３】
これによれば、外部入力端子が導電線の始端と終端に夫々配置されているので、導電線全体で遅延なく電位信号を供給することができると共に、対向電極全体でより均一に一定電位とすることができる。
【００１４】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記第１基板及び前記第２基板上の前記画像表示領域を囲む領域において当該第１基板と当該第２基板とを貼り合わせているシール材等のシール手段と、前記シール手段と前記画像表示領域との間の領域の前記第２基板上に、前記画像表示領域の輪郭に沿って形成された遮光性の周辺見切りと、を備え、前記導電線は、前記周辺見切りに対向する前記第１基板上の領域に配設されている。
【００１５】
これによれば、シール手段は、第１基板及び第２基板上の画像表示領域を囲む領域にお
いて当該第１基板と当該第２基板とを貼り合わせている。
【００１６】
よって、通常は使用されない周辺見切り形成領域内の第１基板上に導電線が配設されているので、第１基板上の領域の利用効率を向上させることができる。
【００１９】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記画像表示領域の輪郭を形成する少なくとも１辺に隣接する当該画像表示領域外の領域に、前記導電線とともに形成された平面状の格子形状を有する導電層が配置されてなることを特徴とする。
【００２０】
これによれば、平面状の導電層が導電線の一部をなしていると共に、当該導電層が格子状であるので、導電線自体を低抵抗化することができると共に、格子状の一部が欠損等しても、導電線としては断線とすることがない。
【００２１】
上記の課題を解決するために、本願発明の電気光学装置は、前記第１基板上における前記導電層と異なる層に形成され、当該導電層と層間接続される副導電層を更に備える。
【００２２】
これによれば、導電層と層間接続された副導電層が、第１基板上における導電層と異なる層に形成されているので、導電層が破損等することにより電気接続が取れなくなっても、副導電層を持って導電線として電位信号を伝送することができる。
【００２３】
上記の課題を解決するために、本願発明は、前記導電線が前記データ線又は前記走査線のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されて構成される。
【００２４】
これによれば、導電線がデータ線又は走査線のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されているので、データ線又は走査線のいずれか一方を形成する際に同一工程内で導電線を形成することができる。
【００２５】
また、本願発明の電気光学装置を電子機器内に備えることにより、フリッカ等の少ない画像を表示することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に好適な実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００２７】
なお、以下に説明する各実施形態は、光源からの光を透過して画像を表示する投射型の液晶装置に対して本発明を適用した場合の実施の形態である。
【００２８】
始めに、本発明に係る第１の実施形態について、図１乃至図６を用いて説明する。
（Ｉ）液晶装置の構成
先ず、実施形態の液晶装置の全体構成について、図１から図３を用いて説明する。ここで、図１は、実施形態の液晶装置におけるＴＦＴアレイ基板上に設けられた各種配線、周辺回路等の構成を示すブロック図であり、図２は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図３は、対向基板を含めて示す図２のＨ−Ｈ’断面図である。
【００２９】
図１に示すように、液晶装置２００は、例えば石英基板、ハードガラス等からなる第１基板としてのＴＦＴアレイ基板１を備えている。このＴＦＴアレイ基板１上には、マトリクス状に設けられた複数の画素電極１１と、Ｘ方向に複数配列され、夫々がＹ方向に沿って伸びるアルミニウム等の低抵抗金属、或いは金属シリサイド等の金属合金膜等により形成されたデータ線３５と、Ｙ方向に複数配列され、夫々がＸ方向に沿って伸びるポリシリコン膜等の導電材により形成された走査線３１と、各データ線３５と画素電極１１との間に夫々介在すると共に当該データ線３５と画素電極１１の間における導通状態及び非導通状態を、走査線３１を介して夫々供給される走査信号を用いて夫々制御するポリシリコン層等を含んで構成される複数のＴＦＴ３０とが形成されている。更に、ＴＦＴアレイ基板１上には、画素電極１１における電位保持に用いられる蓄積容量のための配線である容量線３１’が走査線３１に沿ってほぼ平行に形成されている。このとき、当該容量線３１’は、夫々定電位線３１”を介して後述する走査線駆動回路１０４の正電源や負電源等に接続されている。尚、データ線駆動回路１０１の正電源や負電源等でも構わない。図１中では、画素電極１１と容量線３１‘との間形成される容量を省略して図示してある。
【００３０】
また、ＴＦＴアレイ基板１上には、製造途中や出荷時の液晶装置の品質、欠陥等を検査するための回路である検査回路２０１と、上記画像信号をサンプリングして複数のデータ線３５に夫々供給するサンプリング回路３０１と、データ線駆動回路１０１と、走査線駆動回路１０４とが形成されている。
【００３１】
このとき、走査線駆動回路１０４は、外部制御回路から供給される電源電圧及び基準クロック等並びに外部から実装端子１０２を介して供給されるスタート信号ＤＹに基づいて、後述（図８）するタイミングで走査線３１に走査信号をパルス的に線順次で印加する。これと並行して、走査線駆動回路１０４は、定電圧線３１”を介して各容量線３１に対して所定の定電圧を印加する。
【００３２】
一方、データ線駆動回路１０１は、外部制御回路から供給される電源電圧、基準クロック等に基づき、走査線駆動回路１０４が走査信号を印加するタイミングに合わせて、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々について、データ線３５毎にサンプリング回路駆動信号をサンプリング回路駆動信号線３０６を介してサンプリング回路３０１に供給する。
【００３３】
更に、サンプリング回路３０１では、ＴＦＴ３０２を各データ線３５毎に備え、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６がＴＦＴ３０２のソース電極に接続され、サンプリング回路駆動信号線３０６がＴＦＴ３０２のゲート電極に接続されている。そして、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を介して、６相展開された６つのパラレルな画像信号が入力されると、これらの画像信号をサンプリングする。
【００３４】
そして、データ線駆動回路１０１からサンプリング回路駆動信号線３０６を介してサンプリング回路駆動信号が入力されると、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々についてサンプリングされた画像信号を、データ線３５に順次に印加する。また他の駆動方法として、例えば隣接する６つのＴＦＴ３０２のゲート電極に対して同時にサンプリング回路駆動信号を印加し、複数のデータ線３５をグループ毎に順次選択するようにしてもよい。この場合、外部制御回路により例えば６相展開された６つの画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６の位相タイミングを合わせ、ＴＦＴ３０２を介してデータ線３５に供給するようにしても、同様の表示を行えることができる。また、画像信号の相展開数は６に限られない。例えば、当該サンプリング回路３０１を構成するＴＦＴ３０２におけるサンプリング能力が高ければ、相展開数は６以下でも構わないし、サンプリング能力が低ければ、相展開数は６以上でもよい。画像信号の相展開数が少ない方が外部制御回路に係るコストを低減できる。また、少なくとも画像信号の相展開数分だけ、画像入力信号線が必要であることは言うまでもない。更に、画像信号の相展開数を３、６、１２、１８、２４、…といった３の倍数に設定すれば、画像入力信号線が３の倍数で形成できるため、ビデオ表示する際に有利である。これは、カラー画像信号が３つの色（赤、緑、青）に係る信号からなることとの関係から、３の倍数であると、ＮＴＳＣ表示やＰＡＬ表示等のビデオ表示をする際に制御や回路を簡易化する上で好ましいからである。
このとき、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１は、図１中斜線領域で示すと共に図２及び図３に示すように、対向基板２に形成された遮光性の周辺見切り５３に対向する位置のＴＦＴアレイ基板１上に設けるようにするとよい。これは、従来はデッドスペースであった周辺見切り５３下に、検査回路２０１、サンプリング回路３０１及び対向電極電位線１０３を設けることで、液晶装置２００における有効表示面積の減少を招くこともなく、同時に、特に周辺見切り５３は遮光性であるので、画像表示領域を介して入射される光に対する遮光のための構成を検査回路２０１やサンプリング回路３０１を構成するＴＦＴ２０２及び３０２に施す必要も無い。加えて、シール材５２に面するＴＦＴアレイ基板１部分に検査回路２０１やサンプリング回路３０１を形成するのではないので、これらの回路を構成するＴＦＴ３０２等をシール材５２に混入されたギャップ材により破壊する恐れがないという利点があるからである。また本実施の形態では、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４は、液晶層５０に面しないＴＦＴアレイ基板１の周辺部分上に設けられている。ただし、パッシベーション膜により、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４等の周辺回路を保護できれば、液晶層５０内に形成することは可能である。
【００３５】
更に、図２及び図３において、ＴＦＴアレイ基板１の上には、複数の画素電極１１より規定される画像表示領域（即ち、実際に液晶層５０の配向状態変化により画像が表示される領域）の周囲において両基板を貼り合わせて液晶層５０を包囲する光硬化性樹脂からなるシール手段としてのシール材５２が、当該画像表示領域に沿って設けられている。このシール材５２は、ＴＦＴアレイ基板１及び第２基板としての対向基板２の二つの基板をそれらの周辺で貼り合わせるための、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤であり、当該シール材５２には、両基板間に挟まれることにより当該両基板間の距離（液晶層５０の厚さ）を所定植とするための球形又は円筒形のグラスファイバーやガラスビーズ等のギャップ材が混入されている。
【００３６】
そして、対向基板２上における画像表示領域とシール材５２との間には、遮光性の上記周辺見切り５３が設けられている。
【００３７】
この周辺見切り５３は、後に画像表示領域に対応して開口された遮光性のケースにＴＦＴアレイ基板１が入れられた場合に、当該画像表示領域が製造誤差等に起因して当該ケースの開口の縁に隠れてしまわないように、即ち、例えばＴＦＴアレイ基板１のケースに対して数百μｍ程度のずれを許容するように、画像表示領域の周囲に少なくとも５００μｍ以上の幅を持つ帯状の遮光性材料により形成されたものである。このような遮光性の周辺見切り５３は、具体的には、例えばＣｒ（クロム）やＮｉ（ニッケル）などの金属材料を用いたスパッタリング、フォトリソグラフィ工程及びエッチング工程等により対向基板２上に形成される。なお、周辺見切り５３の他の例としては、カーボンやＴｉ（チタン）をフォトレジスト内に分散した樹脂ブラックなどの材料から形成してもよい。
【００３８】
また、図２に示すように、対向基板２における周辺見切り５３の内側の画像表示領域に対向する領域全体には、夫々の画素電極１１と共に液晶層５０に電界を印加するためのＩＴＯ等よりなる対向電極２３が形成されている。
【００３９】
次に、シール材５２の外側の領域には、図２に示すように画像表示領域の下辺に沿ってデータ線駆動回路１０１及び実装端子１０２が設けられており、画像表示領域の左右の二辺に沿って走査線駆動回路１０４が当該画像表示領域の両側に設けられている。走査線の信号遅延等が問題にならない場合は、どちらか一方のみに形成してもよいことは言うまでもない。また、データ線駆動回路１０１を画面表示領域の辺に沿って両側に配列してもよい。例えば奇数列のデータ線は画面表示領域の一方の辺に沿って配設されたデータ線駆動回路から画像信号を供給し、偶数列のデータ線は前記画面表示領域の反対側の辺に沿って配設されたデータ線駆動回路から画像信号を供給するようにしてもよい。この様にデータ線３５を櫛歯状に駆動するようにすれば、データ線駆動回路の占有面積を拡張することができるため、複雑な回路を構成することが可能となる。なお、上述した櫛歯状に駆動する方法は、走査線駆動回路１０４に適用できることは言うまでもない。更に、画像表示領域の上辺には、複数の配線１０５が設けられている。
【００４０】
また、シール材５２の例えば四隅であって、対向基板２の四隅に相当する位置には、ＴＦＴアレイ基板１と対向電極２３との間で電気的導通をとるための導通手段としての上下導通端子１０７及び当該上下導通端子１０７内に含まれる導通材からなる上下導通材１０６が設けられている。そして、シール材５２とほば同じ輪郭を持つ対向基板２が当該シール材５２によりＴＦＴアレイ基枝１に固着されている。
【００４１】
ここで、上記対向電極２３は、上述したように後述する一定電位ＶＬＣＣＯＭに常に保つことが一般的であるが、このために、上記四つの上下導通端子１０７に対して、当該対向電極２３を一定電位ＶＬＣＣＯＭに常に保つための電位信号ＬＣＣＯＭが図１に示す本発明に係る導電線である対向電極電位線１０３及び実装端子１０２（いずれもＴＦＴアレイ基板１上に形成されている）を介して供給される。そして、当該電位信号ＬＣＣＯＭが上下導通端子１０７（上下導通材１０６）を介して対向電極２３に供給されることにより、当該対向電極２３が上記一定電位ＶＬＣＣＯＭに保たれる。
【００４２】
ここで、本発明に係る対向電極電位線１０３の配置について特に図１を用いて説明すると、当該対向電極電位線１０３は、その始端と終端に夫々配置された実装端子１０２を介して外部制御回路と接続されている。
【００４３】
そして、ＴＦＴアレイ基板１上においては、対向電極電位線１０３は、始めにデータ線駆動回路１０１及び画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６を迂回するように配設されて図１中下側にある二つの上下導通端子１０７に接続される。
【００４４】
次に、当該二つの上下導通端子１０７に接続された対向電極電位線１０３は、夫々走査線駆動回路１０４と画像表示領域との間にある周辺見切り５３に対向するＴＦＴアレイ基板１上の領域を通過して検査回路２０１の図１中上部にある導電層１０８に到達する。そして、当該導電層１０８から左右に分岐して図１中上部に位置する二つの上下導通端子１０７に接続されている。
【００４５】
このとき、上記導電層１０８は、シール材５２の下部に当たるＴＦＴアレイ基板１の領域にアルミニウムにより形成された層であり、上述した上部にある二つの上下導通端子１０７に電位信号ＬＣＣＯＭを供給する役割を果たすと共に、上記スペーサを含有するシール材５２の下部に形成されることによりＴＦＴアレイ基板１と対向基板２とのセルギャップを制御する役割をも果たすのである。
【００４６】
そして、当該導電層１０８自体は、図１に示すように格子状とされている。このように格子状とされているのは、上記シール材５２を充填後これを硬化させるときに、十分な硬度まで硬化させるために必要な外部光を当該充填されたシール材５２に到達させるためである。
【００４７】
ここで、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１は、基本的に交流駆動の回路である。このため、シール材５２により包囲され両基板間に挟持された液晶層５０に面するＴＦＴアレイ基板１の部分にこれらのプリチャージ回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けても、直流電圧印加による液晶層５０の劣化という間題は生じない。
【００４８】
そして、このように周辺見切り５３の下に、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けることで、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、特定の仕様に沿うようにこれらの周辺回路を設計することが容易になる。
【００４９】
（ＩＩ）対向電極電位線等の細部構成
次に、本発明に係る対向電極電位線１０３及び上下導通端子１０７の実際の細部構成について、図４乃至図７を用いて説明する。
【００５０】
始めに、図１中左下に位置する上下導通端子１０７近辺の構成について、図４及び図５を用いて説明する。
【００５１】
図４に示すように、対向電極電位線１０３は、実装端子１０２により外部制御回路回路と接続されると共に、データ線駆動回路１０１（当該データ線駆動回路１０１の検査のための検査端子１１４が接続されている。）及び画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６並びに当該画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６とサンプリング回路３０１とを接続する引出線１１２及びデータ線駆動回路１０１からのサンプリング回路駆動信号線３０６を迂回し、走査線駆動回路１０４に接続されている駆動回路駆動線１１２と当該画像入力信号線ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６の間のＴＦＴアレイ基板１上の領域を通って上下導通端子１０７内の上下導通材１０６に接続されている。
【００５２】
そして、これと並行して、対向電極電位線１０３は、上下導通端子１０７に接続されると共に、シール材５２により形成されるシール領域（図４参照）にほぼ平行に配設され、走査線３１に接続されている走査線駆動回路１０４からの引出線１１３と交差する前にシール領域を当該引出線１１３に平行に跨いだ後、周辺見切り５３に対向する位置を反対側の上下導通端子１０７に向けて走査線３１及び容量線３１’を跨ぐように配設されている。
【００５３】
次に、上下導通端子１０７における実際の対向電極電位線１０３と上下導通材１０６及び対向電極２３の接続関係について、図５を用いて説明する。なお、図５は、図４中の上下導通端子１０７におけるＡ−Ａ’断面図である。
【００５４】
図５に示すように、上下導通端子１０７は、下から、ＴＦＴアレイ基板１、第１層間絶縁層４１、ポリシリコン層１２０、第２層間絶縁層４２、対向電極電位線１０３、第３層間絶縁層４３、モールド剤１２１、対向電極２３及び対向基板２の順で積層された各層により形成されている。そして、当該モールド剤１２１内に上下導通材１０６が混入されており、当該上下導通材１０６が対向電極電位線１０３と対向電極２３に接触することにより対向電極電位線１０３と対向電極２３が電気的に接続され、上記電位信号ＬＣＣＯＭが対向電極２３へ供給される。このため、上下導通材１０６としては、上述のように導電性の高い金メッキや銀メッキされた球状や円筒状のグラスファイバー等が用いられる。
【００５５】
また、モールド剤１２１自体も導電性を有し、これによっても、対向電極２３と対向電極電位線１０３とが電気的に接続される。より具体的には、モールド剤１２１としては、銀をペースト状に混ぜたものに前記上下導通材１０６を混入したものが用いられている。
【００５６】
なお、モールド剤１２１は、図４に示す上下導通端子１０７における五角形の範囲（図４中、斜め格子模様にて示す。）内にのみ充填されているものであり、隣接して配設されている入力端子ＶＩＤ１乃至ＶＩＤ６からは絶縁されているものである。
【００５７】
一方、上記第１層間絶縁層４１乃至第３層間絶縁層４３は、上述のサンプリング回路３０１等に含まれるＴＦＴ３０２等の領域まで形成され、当該ＴＦＴ３０２等の一部となるものであり、具体的には、５０００Å乃至１５０００Å程度の厚さのＮＳＧ、ＰＳＧ（Ｐ２Ｏ５を含むＳｉＯ２）、ＢＳＧ（Ｂ２Ｏ３を含むＳｉＯ２）、ＢＰＳＧ（Ｐ２Ｏ５とＢ２Ｏ３を含むＳｉＯ２）などのシリケートガラス膜、窒化シリコン膜又は酸化シリコン膜等からなる。ここで、第１層間絶縁層４１については、その製造時に約９００℃のアニ−ル処理を施すことにより、汚染を防ぐと共にその表面を平坦化することができる。
【００５８】
更に、ポリシリコン層１２０は、画像表示領域に形成されているＴＦＴ３０等に合わせて対向基板２とＴＦＴアレイ基板１との間隔を調整するために形成されている層であり、他の部材からは電気的に絶縁されている。
【００５９】
次に、図１中上側に位置する二つの上下導通端子１０７及び導電層１０８近辺の構成について、図６及び図７を用いて説明する。
【００６０】
図６に示すように、図１中下側の上下導通端子１０７を通って周辺見切り５３に対向する位置に配設されている対向電極電位線１０３は、走査線３１及び容量線３１’とは異なる層を通り、画像表示領域を囲むように導電層１０８に到達する。
【００６１】
そして、当該導電層１０８の上部両端から分岐した電極層に二つの上下導通端子１０７が夫々接続されている。
【００６２】
このとき、導電層１０８は、所定の間隔で長方形の穴が空けられた格子状形状をなしており、この構造により、電位信号ＬＣＣＯＭに対して低抵抗化されていると共に、導電層１０８の一部が破損しても他の部分を介して電位信号ＬＣＣＯＭが伝送されることにより冗長性が高められている。更に、上述したようにシール材５２の硬化工程に際しても、外部からの硬化のための光を十分に通過させてシール材５２を硬化させることができる。
【００６３】
次に、導電層１０８の具体的な細部構成について、図７を用いて説明する。なお、図７は、図６における導電層１０８のうち、上下導通端子１０７への分岐及びシール領域を含む部分を拡大したものである。
【００６４】
図７に示すように、実際の液晶装置２００においては、対向電極電位線１０３と上下導通端子１０７とを結ぶ格子状の導電層１０８（図７中一点鎖線で示す。）と共に、当該導電層１０８とは同じ領域の異なる層にリボン状で相互に平行な副導電層１０８’（図７中実線で示す。）が形成されている。そして、導電層１０８と副導電層１０８’とは複数のコンタクトホール３８により層間接続されている。この副導電層１０８’は、導電層１０８が形成されている全ての領域に渡って、リボン状の電極が複数列平行に並ぶように形成されている。
【００６５】
更に、夫々を形成する材料としては、導電層１０８をアルミニウム膜により形成すると共に、副導電層１０８’をポリシリコン膜により形成している。
（ＩＩＩ）液晶装置の動作
次に、以上のように構成された液晶装置２００の動作について図１及び図８を用いて説明する。
【００６６】
先ず、走査線駆動回路１０４は、所定タイミングで走査線３１に走査信号をパルス的に線順次で印加する。
【００６７】
これと並行して、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６から６相展開された６つのパラレルな画像信号を受けると、サンプリング回路３０１は、これらの画像信号をサンプリングする。
【００６８】
一方、データ線駆動回路１０１は、走査線駆動回路１０４がゲート電圧を印加するタイミングに合わせて、６つの画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６夫々について、各データ線毎にサンプリング回路駆動信号を供給してサンプリング回路３０１のＴＦＴ３０２をオン状態とする。これにより、隣接する６つのデータ線３５に対して、サンプリング回路３０１でサンプリングされた画像信号を順次印加する。即ち、データ線駆動回路１０１とサンプリング回路３０１により、画像入力信号線ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６から入力された６相展開された６つのパラレルな画像信号がデータ線３５に供給される。
【００６９】
そして、走査信号及び画像信号の両方が印加されたＴＦＴ３０においては、そのソース領域及びチャネル形成領域並びにドレイン領域を介して画素電極１１に電圧が印加される。その後、この画素電極１１の電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも例えば３桁長い時間だけ蓄積容量により維持される。
【００７０】
以上の動作中に、対向電極２３は、電位信号ＬＣＣＯＭが印加されることにより常に一定電位ＶＬＣＣＯＭに保たれる。
【００７１】
ここで、当該一定電位ＶＬＣＣＯＭの設定方法を含め、上述の動作を具体的に図８に示すタイミングチャートを用いて説明する。なお、図８は、画素電極１１に対して印加される各信号の波形を示すものであり、当該図８において、符号ＶＧは上記スタート信号ＤＹに基づいて走査線駆動回路１０４から出力される走査信号の波形を示し、符号ＶＩＤ１は、６相展開されている画像信号のうちの画像信号の変化を示し、符号ＶＬＣＣＯＭは上記電位信号ＬＣＣＯＭの変化を示し、符号ＶＰは対応する画素電極１１における電位変化を示すものである。
【００７２】
また、図８は、画像信号として、インタレースされた二つのフィールド（第１フィールド及び第２フィールド）からなるいわゆるＮＴＳＣ方式のビデオ信号を入力する場合について説明するものである。ここで、一般に、液晶装置２００を用いてビデオ表示する場合には、１フィールド期間（１／６０秒）毎に交流反転する３０Ｈｚの画像信号をノンインターレース方式（奇数行の画像信号と偶数行の画像信号とを同一行に重ねて書く方式）で液晶装置２００に印加する。
【００７３】
図８に示す選択機間Ｔ１（１水平走査期間）において、走査信号が入力された結果ＴＦＴ３０がオンとなると、画素電極１１の電位ＶＰは画像信号の電位ＶＩＤ１と等しくなる。一方、非選択期間Ｔ２では、ＴＦＴ３０がオフとなって液晶容量及び蓄積容量により書き込まれた信号が保持される。
【００７４】
そして、次の選択期間Ｔ１において再び走査信号が印加されてＴＦＴ３０がオンとなると、今度は負極性の画像信号が印加されていることとなるので、画素電極１１の電位ＶＰは図８に示すように負方向に変化し、非選択期間Ｔ２において徐々に上昇する。
【００７５】
以下、走査信号と画像信号の印加に対応して上記の動作が繰り返される。
【００７６】
ここで、図８に示すように、非選択期間Ｔ２においては、ＴＦＴ３０がオフする瞬間に画素電極１１の電位ＶＰは所定の電圧ΔＶ（一般に、プッシュダウン電圧と称される。）だけシフトする。
【００７７】
これは、ＴＦＴ３０のゲート・ドレイン間の寄生容量ＣＧＤと液晶容量ＣＬＣ及び保持容量ＣＳＴの間の容量カップリングによりもので、その大きさは、
【００７８】
【数１】
ΔＶ＝（ΔＶＧ×ＣＧＤ）／（ＣＧＤ＋ＣＬＣ＋ＣＳＴ）
で示される。ここで、ΔＶＧは走査信号の電位の変化量である。
【００７９】
このプッシュダウン電圧ΔＶは、画像信号の極性（画像品号の信号位相の反転）に無関係に常に画素電極１１の電位ＶＰを下げることになる。
【００８０】
そこで、対向電極２３の電位ＶＬＣＣＯＭとしては、画像信号の中心電位ＶＣに対してプッシュダウン電圧ΔＶ分だけ低く設定される。これにより、液晶層５０に印加される電圧は図８中斜線で示す領域となり、ほぼ正負対称で良好な波形となる。
【００８１】
以上の動作により画素電極１１に電圧ＶＰが印加されると、液晶層５０における画素電極１１と対向電極２３とに挟まれた部分における液晶の配向状態が変化し、ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過不可能とされ、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過可能とされ、全体として液晶装置２００からは画像信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。
【００８２】
以上説明したように、第１実施形態の液晶装置２００によれば、対向電極２３の四隅から電位信号ＬＣＣＯＭを当該対向電極２３に供給するので、対向電極２３自体のシート抵抗が高い場合でも、当該対向電極２３全体を均一な電位に設定することができる。
【００８３】
また、電位信号ＬＣＣＯＭを供給するための実装端子１０２が対向電極電位線１０３の始端と終端に夫々配置されているので、対向電極電位線１０３全体で遅延なく電位信号ＬＣＣＯＭを供給することができると共に、対向電極２３全体をより均一に一定電位とすることができる。
【００８４】
更に、通常は使用されない周辺見切り５３に対向するＴＦＴアレイ基板１上に対向電極電位線１０３が配設されているので、ＴＦＴアレイ基板１上の領域の利用効率を向上させることができる。
【００８５】
更にまた、平面状の導電層１０８が対向電極電位線１０３の一部をなしていると共に、当該導電層１０８が格子状であるので、対向電極電位線１０３自体を低抵抗化することができると共に、格子状の一部が欠損等しても、対向電極電位線１０３としては断線とすることがない。
【００８６】
また、導電層１０８と層間接続された副導電層１０８’が、ＴＦＴアレイ基板１上における導電層１０８と異なる層に形成されているので、導電層１０８が破損等することにより電気的接続が取れなくなっても、副導電層１０８’が導電層１０８の代わりに対向電極電位線１０３として電位信号ＬＣＣＯＭを伝送することができる。
【００８７】
更に、対向電極電位線１０３がデータ線３５又は走査線３１のうちいずれか一方を形成する材料と同一の材料により形成されているので、データ線３５又は走査線３１のいずれか一方を形成する際に同一工程内で対向電極電位線１０３を形成することができる。
【００８８】
なお、上述の第１実施形態では、検査回路２０１及びサンプリング回路３０１を設けるようにしたが、これらに代えて又はこれに加えて、周辺見切り５３の下に、画像信号の印加に先立って画素電極１１の電位ＶＰを所定の電位とするためのプリチャージ信号をデータ線３５に供給するプリチャージ回路を設けてもよい。このプリチャージ回路を周辺見切り５３の下に設ければ、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１をＴＦＴアレイ基板１の周辺部分に余裕を持って形成することができ、液晶装置における有効表示面積の減少を招くことがない。
【００８９】
なお、上述した液晶装置２００は、液晶プロジェクタに適用されるため、３つの液晶装置２００がＲＧＢ用のライトバルブとして夫々用いられ、各パネルには夫々ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が入射光として夫々入射されることになる。従って、各実施形態では、対向基板２にカラーフィルタは設けられていない。
【００９０】
しかしながら、液晶装置２００においても画素電極１１に対向する所定領域にＲＧＢのカラーフィルタをその保護膜と共に対向基板２上に形成してもよい。このようにすれば、液晶プロジェクタ以外の直視型や反射型のカラー液晶テレビなどのカラー液晶装置に実施形態の液晶装置２００を適用できる。
【００９１】
更に、液晶装置２００においては、一例として液晶層５０をネマティック液晶から構成したが、液晶を高分子中に微小粒として分散させた高分子分散型液晶を用いれば、配向膜１２及び２２、並びに前述の偏光フィルム、偏光板等が不要となり、光利用効率が高まることによる液晶装置の高輝度化や低消費電力化の利点が得られる。
【００９２】
更にまた、画素電極１１をＡｌ等の反射率の高い金属膜により構成すれば、液晶装置２００を反射型液晶装置に適用する場合に、電圧無印加状態で液晶分子がほぼ垂直配向されたＳＨ（スーパーホメオトロピック）型液晶などを用いることができる。
【００９３】
更に、対向基板２０上に、各画素に対し夫々対応するようにマイクロレンズを形成してもよい。このようにすれば、入射光の集光効率が向上し、より明るい液晶装置が実現できる。
【００９４】
更にまた、液晶装置２００においては、液晶層５０に対し垂直な電界（縦電界）を印加するように対向基板２の側に共通電極２１を設けているが、液晶層５０に並行な電界（横電界）を印加するように一対の横電界発生用の電極から画素電極１１を夫々構成する（即ち、対向基板２の側には縦電界発生用の電極を設けることなく、ＴＦＴアレイ基板１の側に横電界発生用の電極を設ける）ことも可能である。このように横電界を用いると、縦電界を用いた場合よりも視野角を広げる上で有利である。
【００９５】
なお、上述した実施形態においては、上下導通端子１０７を対向電極２３の四隅に配置したが、これ以外に、画像表示領域が特に広い場合には、当該画像表示領域の中央の一画素分の位置に上下導通端子を形成してもよい。
【００９６】
更に、画像表示領域を例えば円形とするときは、その円形の周縁部に均等に上下導通端子を配置しても本発明と同様の効果が得られる。
（ＩＶ）電子機器の実施形態
次に、上述した実施形態の液晶装置２００を用いた種々の電子機器の実施形態について、図９乃至図１３を用いて説明する。
【００９７】
上述の液晶装置２００を用いて構成される電子機器は、図９に示す表示情報出力源１０００、表示情報処理回路１００２、表示駆動回路１００４、液晶パネル１００６、クロック発生回路１００８及び電源回路１０１０を含んで構成される。
【００９８】
このうち、表示情報出力源１０００は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などのメモリ、テレビ信号を同調して出力する同調回路などを含んで構成され、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて、ビデオ信号などの表示情報を出力する。
【００９９】
表示情報処理回路１００２は、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて表示情報を処理して出力する。この表示情報処理回路１００２は、例えば増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路あるいはクランプ回路等を含むことができる。
【０１００】
次に、表示駆動回路１００４は、走査線駆動回路及びデータ線駆動回路を含んで構成され、液晶装置１００６を表示駆動する。
【０１０１】
そして、電源回路１０１０は、上述の各回路に電力を供給する。
【０１０２】
上述した構成の電子機器として、図１０に示す液晶プロジェクタ、図１１に示すマルチメディア対応のパーソナルコンピユータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、図１２に示すページャ、あるいは携帯電話、ワードプロセッサ、テレビ、ビユーファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置などを挙げることができる。
【０１０３】
図１０は、投射型表示装置の要部を示す概略構成図である。図中、１１００は光源、１１０６及び１１０８はダイクロイックミラー、１１１０、１１１２及び１１１４は反射ミラー、１１１６、１１１８及び１１２０はリレーレンズ、１１２４、１１２６及び１１５８は本発明に係る液晶装置を含む液晶ライトバルプ、１１３０はクロスダイクロイックプリズム、１１３２は投射レンズを示す。
【０１０４】
光源１１００はメタルハライド等のランプ１１０２とランプの光を反射するリフレクタ１１０４とからなる。
【０１０５】
青色光・緑色光反射のダイクロイックミラー１１０６は、光源１１００からの自色光束のうちの赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー１１１４で反射されて、赤色光用液晶ライトバルブ１１２４に入射される。
【０１０６】
一方、ダイクロイックミラー１１０６で反射された色光のうち緑色光は緑色光反射のダイクロイックミラー１１０８によって反射され、緑色光用液晶ライトバルブ１１２６に入射される。
【０１０７】
更に、青色光は第２のダイクロイックミラー１１０８も透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ１１１６、リレーレンズ１１１８及び出射レンズ１１２０を含むリレーレンズ系からなる導光部１１２２が設けられ、これを介して青色光が青色光用液晶ライトバルブ１１２８に入射される。
【０１０８】
各ライトバルブにより変調された３つの色光はクロスダイクロイックプリズム１１３０に入射する。このプリズムは４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ１１３２によってスクリーン１１３４上に投射され、画像が拡大されて表示される。
【０１０９】
図１１に示すパーソナルコンピユータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、本発明の液晶装置を含む液晶表示モジュール１２０６とを有する。
【０１１０】
図１２に示すぺ一ジャ１３００では、２つの弾性導電体１３１４、１３１６及びフィルムキャリアテーブ１３１８は、液晶装置用基板１３０４と回路基板１３０８とを接続するものである。ここで、液晶装置用基板１３０４は、２枚の透明基板１３０４ａ及び１３０４ｂの間に液晶を封入したもので、これにより少なくともドットマトリクス型の液晶装置が構成される。一方の透明基板に、図９に示す駆動回路１００４、あるいはこれに加えて表示情報処理回路１００２を形成することができる。液晶装置用基板１３０４に搭載されない回路は、液晶装置用基板の外付け回路とされ、図１３の場合には回路基板１３０８に搭載できる。
【０１１１】
また、液晶装置用基板１３０４以外に回路基板１３０８が必要となるが、電子機器用の一部品として液晶装置が使用される場合であって、透明基板に表示駆動回路などが搭載される場合には、その液晶装置の最小単位は液晶装置用基板１３０４である。あるいは、液晶装置用基板１３０４を筐体としての金属フレーム１３０２に固定したものを、電子機器用の一部品である液晶装置として使用することもできる。さらに、バックライト式の場合には、金属製フレーム１３０２内に、液晶装置用基板１３０４と、バックライト１３０６ａを備えたライトガイド１３０６とを組み込んで、液晶装置を構成することができる。
【０１１２】
これらに代えて、図１３に示すように、液晶装置用基板１３０４を構成する２枚の透明基板１３０４ａ，１３０４ｂの一方に、金属の導電膜が形成されたポリイミドテープ１３２２にＩＣチップ１３２４を実装したＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）１３２０を接続して、電子機器用の一部品である液晶装置として使用することもできる。
【０１１３】
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、本発明は上述の各種の液晶装置の駆動に適用されるものに限らず、エレクトロルミネッセンス表示装置又はプラズマディスプレイ装置にも適用可能である。
【０１１４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、対向電極の複数、例えば四隅から電位を当該対向電極に供給するので、対向電極自体の抵抗が高い場合でも、当該対向電極全体を均一な電位に設定することができる。従って、フリッカ等の少ない画像を表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＴＦＴアレイ基板上に形成された各種配線、周辺回路等のブロック図である。
【図２】液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図３】液晶装置の全体構成を示す断面図である。
【図４】ＴＦＴアレイ基板上の対向電極電位線及び上下導通端子の構成を示す拡大図である。
【図５】上下導通端子の断面図である。
【図６】ＴＦＴアレイ基板上の上下導通端子及び導電層の構成を示す拡大図である。
【図７】導電層の拡大図である。
【図８】液晶装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図９】電子機器の概要構成を示すブロック図である。
【図１０】電子機器の一例としての液晶プロジェクタの構成を示す断面図である。
【図１１】電子機器の一例としてのパーソナルコンピュータの外観を示す正面図である。
【図１２】電子機器の一例としてのページャの構成を示す分解斜視図である。
【図１３】電子機器の一例としてのＴＣＰを用いた液晶装置の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ＴＦＴアレイ基板
２…対向基板
１１…画素電極
２３…対向電極
３０…ＴＦＴ
３１…走査線
３１’…容量線
３１”…定電位線
３５…データ線
３８…コンタクトホール
４１…第１層間絶縁層
４２…第２層間絶縁層
４３…第３層間絶縁層
５０…液晶層
５２…シール材
５３…周辺見切り
１０１…データ線駆動回路
１０２…実装端子
１０３…対向電極電位線
１０４…走査線駆動回路
１０５…配線
１０６…上下導通材
１０７…上下導通端子
１０８…導電層
１０８’…副導電層
１１０、１１３…引出線
１１２…駆動回路駆動線
１２０…ポリシリコン層
１２１…モールド剤
２００…液晶装置
２０１…検査回路
３０１…サンプリング回路
３０２…ＴＦＴ
３０６…サンプリング回路駆動信号線
Claims (3)
- 第１基板には画像信号が供給される複数のデータ線と、走査信号が供給される複数の走査線と、前記データ線と前記走査線の交差に対応して設けられたスイッチング素子と、該スイッチング素子に対応して設けられた画素電極とを具備した画像表示領域を有し、第２基板上には対向電極を有する電気光学装置であって、
前記画像表示領域に沿って光硬化性樹脂からなるシール材が形成されたシール領域を備え、
前記画像表示領域と前記シール領域との間に、前記画像表示領域を挟んで対向する一対の導電線が配設され、
前記シール領域外側の四隅に、前記対向電極と前記導電線とを導通させるための導通手段が各々配置されてなり、
前記シール領域の一辺に沿って対向する一対の前記導通手段は当該導通手段の間に形成された導電層を介して接続され、
前記導電層は前記シール領域を跨いで前記導電線に接続されると共に、前記画像表示領域よりも広い幅を有し、所定の間隔で穴が空けられてなることを特徴とする電気光学装置。 - 前記導電層のうち所定の間隔で穴が空けられてなる領域には、前記導電線と異なる層に形成され、当該導電線と層間接続される副導電層を更に備えることを特徴とする請求項 1 に記載の電気光学装置。
- 請求項１及び２に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003141015A JP3578165B2 (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | 電気光学装置及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003141015A JP3578165B2 (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | 電気光学装置及び電子機器 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01514798A Division JP3536639B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 電気光学装置及び電子機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004004851A JP2004004851A (ja) | 2004-01-08 |
| JP3578165B2 true JP3578165B2 (ja) | 2004-10-20 |
Family
ID=30438129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003141015A Expired - Lifetime JP3578165B2 (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | 電気光学装置及び電子機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3578165B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4639789B2 (ja) * | 2004-12-16 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
| JP2006227242A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
| JP2012194322A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置 |
| CN107579103A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-01-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、显示面板、显示装置及其制作方法 |
-
2003
- 2003-05-19 JP JP2003141015A patent/JP3578165B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004004851A (ja) | 2004-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040705 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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