この種の液晶装置では、液晶装置の製造コストを下げること等を目的として、画素数を維持したまま、一枚の基板を分割することによって形成されるTFTアレイ基板の取り個数を増やそうとすると、画素ピッチが短くなると共に、画素電極のサイズも小さくなる。
ところで、石英基板上に形成された多結晶半導体層を用いて半導体素子を形成する場合、多結晶シリコン等の多結晶半導体層を微細化することは技術的に困難である。多結晶シリコン等の多結晶半導体層からなる活性層を有するTFT等の半導体素子では、当該活性層の各々一部であるソース領域及びドレイン領域の夫々に含まれる不純物が結晶粒界を介してゲート電極下に延びる活性層部分に拡散し易く、実質的なチャネル長がゲート長より短くなる。したがって、活性層全体が画素電極に重なるように活性層のチャネル長方向に沿った長さを短くし、これに応じてゲート長を短くした場合、ソース領域及びドレイン領域の夫々からゲート電極下の活性層部分に拡散する不純物によって、チャネル長が短くなって所望の電気特性が得られなかったり、チャネル領域が消失してソース領域及びドレイン領域間が電気的に短絡してしまったりするという課題が生じる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、例えば、画素ピッチが狭小化された複数の狭い画素領域の夫々において画素電極に重なるように形成され、且つ不純物の拡散によりチャネル領域が消失しない程度に十分なチャネル長が確保された活性層を有する画素スイッチング用TFT等の半導体素子を備えた反射型液晶装置等の液晶装置、及びそのような液晶装置を具備してなるプロジェクタ等の電子機器を提供することを課題とする。
本発明に係る液晶装置は上記課題を解決するために、第1基板と、前記第1基板に対向するように配置された第2基板と、前記第1基板上の表示領域を構成する複数の画素領域の夫々に形成されており、前記第1基板から見て前記第2基板の側から前記画素領域に入射する光を前記第2基板の側に各々反射する複数の画素電極と、前記第1基板及び前記第2基板間に挟持された液晶層と、前記画素領域において前記画素電極の下層側に形成され、且つ前記画素電極に電気的に接続されたトランジスタ素子とを備え、前記トランジスタ素子は活性層を有し、前記活性層のチャネル長の方向は前記第1基板上において、前記複数の画素領域の配列方向と斜めに交差する。
本発明に係る液晶装置によれば、第1基板及び第2基板は相互に対向するように配置されており、これら基板間に液晶層が挟持されている。
複数の画素電極は、前記第1基板上の表示領域を構成する複数の画素領域の夫々に形成されており、前記第1基板から見て前記第2基板の側から前記画素領域に入射する光を前記第2基板の側に各々反射する。画素電極は、例えば、アルミニウム又は銀等の金属膜であり、複数の画素領域の配列に応じて表示領域にマトリクス状に配列されている。
液晶素子は、前記第1基板及び前記第2基板間に挟持された液晶層のうち前記画素電極に重なる液晶部分を有しており、例えば、画素電極及び当該画素電極に対向するように第2基板に設けられた対向電極の夫々の電極の電位差に応じて印加される駆動電圧によって配向状態が制御される。
トランジスタ素子は、前記画素領域において前記画素電極の下層側に形成され、且つ前記画素電極に電気的に接続されており、前記画素電極を介して前記液晶素子を駆動する。トランジスタ素子は、各画素領域に設けられた画素スイッチング用半導体素子であり、ゲートに供給される走査信号に応じて、画像信号を画素電極に供給し、画素電極を介して液晶素子を駆動する。
ここで、例えば、画素領域が配線等の不透明部分によって規定された矩形状の平面形状を有している場合、複数の画素領域は、表示領域において相互に直交する縦方向及び横方向の夫々に沿って2次元的にマトリクス状に配列されており、複数の画素電極も複数の画素領域と同様に配列方向の夫々に沿って2次元的にマトリクス状に配列されている。
画素ピッチを配列方向に沿って小さく設定すると、画素ピッチの狭小化に応じて画素電極のサイズが小さくなる。光リーク電流防止の為に、画素電極のサイズが小さくなっても、トランジスタ素子は画素電極の下側に形成されなければならない。画素電極のサイズがトランジスタ素子のサイズと同等になった場合、仮に配列方向に沿ったチャネル長を有するように延びるトランジスタ素子の活性層を形成すると、画素ピッチが狭められたサイズと同等のサイズだけ活性層のチャネル長方向に沿った長さが小さく設定されることになる。しかしながら、チャネル長方向に沿った活性層の長さを小さくし過ぎると、活性層に含まれるソース領域及びドレイン領域からゲート下の活性層部分に不純物が拡散し、ソース領域及びドレイン領域が電気的に短絡してしまう。
そこで、本発明に係る液晶装置では、トランジスタ素子は、前記第1基板上において前記複数の画素領域が配列された配列方向に斜めに交差する斜め方向に沿ったチャネル長方向に延びる活性層を有している。このような活性層によれば、配列方向にチャネル長方向が沿うように活性層が形成される場合に比べて、画素電極に重なり、且つ相対的にチャネル長方向に沿って長く延びるように活性層を形成可能である。より具体的には、例えば、配列方向に沿って各々延びる複数の辺によって縁が規定された矩形状の画素電極に重なるように、配列方向、言い換えれば各辺が延びる方向に斜めに交差する斜め方向にチャネル長方向が沿うように活性層を形成することによって、各辺に沿って活性層を形成する場合に比べて活性層のチャネル長方向に沿った長さを長くすることが可能である。特に、画素電極が矩形状である場合には、画素電極の対角線方向に活性層が延びるように当該活性層を形成するほうが好ましい。
このように、本発明に係る液晶装置によれば、液晶装置のサイズの小型化に伴って画素ピッチが狭小化された場合でも、画素領域のサイズ、言い換えれば、画素領域に形成された画素電極によって遮光可能な領域を最大限利用して、チャネル長方向に沿った活性層のサイズを大きく設定できる。よって、画素電極が小型化された場合でも、トランジスタ素子のソース領域及びドレイン領域間の間隔を十分に確保することができ、不純物の拡散に起因するチャネル領域の消失を低減できる。加えて、活性層が画素電極によって遮光されているため、トランジスタ素子における光リーク電流の発生を低減できる。
本発明に係る液晶装置の一の態様では、前記活性層は、チャネル領域と、前記チャネル領域の外側に夫々形成された一対のLDD領域と、前記一対のLDD領域の外側に夫々設けられたソース/ドレイン領域とを有しており、前記チャネル領域、前記一対のLDD領域、並びにソース/ドレイン領域のうち少なくとも前記チャネル領域及び前記一対のLDD領域が、前記画素電極に重なっていてもよい。
光リーク電流は、LDD領域(Lightly Doped Drain)で発生し易い。よって、上記の態様のように、前記一対のLDD領域、並びにソース/ドレイン領域のうち少なくとも前記チャネル領域及び前記一対のLDD領域が前記画素電極に重なっていれば、光リーク電流の発生を低減することができる。
ここで、「画像信号入力側領域」とは、活性層のうち画像信号を供給するデータ線に電気的に接続された領域をいう。また、「画像信号出力側領域」とは、活性層のうち画素電極に電気的に接続された領域をいう。つまり、画像信号入力側領域と画像信号出力側領域とは、トランジスタ素子のソース領域またはドレイン領域である。
この態様によれば、例えば、ソース領域及びドレイン領域の夫々とチャネル領域との間に設けられた一対のLDD領域において発生する光リーク電流を低減できるため、光リーク電流に起因して生じる表示不良を低減でき、液晶装置の表示性能を高めることが可能である。
本発明に係る液晶装置の他の態様では、前記一対のLDD領域及び前記チャネル領域は前記画素電極に重なっており、前記画像信号入力側領域及び前記画像信号出力側領域の少なくとも一方は、前記配列方向に沿って延びていてもよい。
この態様によれば、前記画像信号入力側領域及び前記画像信号出力側領域の少なくとも一方が、前記配列方向に沿って延びているため、光リーク電流が発生し易い一対のLDD領域を画素電極によって遮光された状態で、画素ピッチに応じたサイズを有する活性層が画素領域に形成可能になる。
本発明に係る液晶装置の他の態様では、前記活性層は、多結晶半導体層であってもよい。
この態様によれば、例えば、不純物の拡散が生じやすい多結晶シリコン等の多結晶半導体層を用いて構成された活性層において、チャネル領域が消失しないように十分なゲート長を確保することが可能である。
本発明に係る電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の液晶装置を具備してなる。
本発明に係る電子機器によれば、上述した本発明に係る液晶装置を具備してなるので、高品位の表示が可能な、投射型表示装置、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。
以下図面を参照しながら、本発明に係る液晶装置及び電子機器の各実施形態を説明する。
先ず、図1及び図2を参照しながら、本発明に係る液晶装置の一実施形態に係る液晶装置1の全体構成を説明する。図1は、本発明の「第1基板」の一例であるTFTアレイ基板10をその上に形成された各構成要素と共に、本発明の「第2基板」の一例である対向基板の側から見た液晶装置1の平面図であり、図2は、図1のII−II´断面図である。本実施形態に係る液晶装置1は、駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス方式で駆動される反射型液晶装置である。
図1及び図2において、液晶装置1では、TFTアレイ基板10及び対向基板20が相互に対向配置されている。TFTアレイ基板10及び対向基板20間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、複数の画素領域で構成された本発明の「表示領域」の典型例である画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。
シール材52は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜53の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。尚、画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域が存在する。言い換えれば、本実施形態においては特に、TFTアレイ基板10の中心から見て、この額縁遮光膜53より以遠が周辺領域として規定されている。
液晶装置1は、データ線駆動回路101、及び走査線駆動回路104を備えている。周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域において、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿い、且つ、額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。走査線駆動回路104は、額縁遮光膜53に覆われるように形成された複数の配線105によって相互に電気的に接続されている。
対向基板20の4つのコーナー部には、TFTアレイ基板10及び対向基板20間の上下導通端子として機能する上下導通材106が配置されている。他方、TFTアレイ基板10にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFTアレイ基板10及び対向基板20間で電気的な導通をとることができる。
図2において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用のTFTや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極9a上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板20上には、対向電極21の他、格子状又はストライプ状の遮光膜23、更には最上層部分に配向膜が形成されている。遮光膜23は形成されない場合もある。液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
液晶装置1は、その動作時に、図中上側である対向基板20側から液晶装置1に液晶層50に入射した入射光を画素電極9aによって対向基板20側に向かって反射し、画像を表示する。
尚、図1及び図2に示したTFTアレイ基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104等の回路部に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等が形成されていてもよい。
次に、図3を参照しながら、画像表示領域10aにおける回路構成を説明する。図3は、本実施形態に係る液晶装置の画像表示領域における回路構成を示した回路図である。
図3において、液晶装置1の画像表示領域10aを構成するマトリクス状に形成された複数の画素部72の夫々は、画素電極9a、本発明の「トランジスタ素子」の一例であるTFT30、及び液晶素子50aを備えている。TFT30は、画素電極9aに電気的に接続されており、液晶装置1の動作時に画素電極9aをスイッチング制御し、当該制御に応じて液晶素子50aを駆動する。画像信号が供給されるデータ線6aは、TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、・・・、Snは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
TFT30のゲートに走査線3aが電気的に接続されており、液晶装置1は、所定のタイミングで、走査線3aにパルス的に走査信号G1、G2、・・・、Gmを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけオン状態にすることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、・・・、Snが所定のタイミングで書き込まれる。画素電極9aを介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、・・・、Snは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。
液晶層50に含まれる液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素部の単位で印加された電圧に応じて入射光及び反射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素部の単位で印加された電圧に応じて入射光及び反射光に対する透過率が増加され、全体として液晶装置1からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射される。保持容量70は、画像信号がリークすることを防ぐために、画素電極9aと対向電極との間に形成される液晶素子50aと並列に付加されており、一方の容量電極に固定電位線300を介して固定電位が供給される。
次に、図4乃至図6を参照しながら、液晶装置1の具体的な構成を説明する。図4は、液晶装置1における複数の画素電極9aの配列状態を図式的に示した液晶装置1の図式的平面図である。図5は、液晶装置1の画像表示領域10aの一部を拡大して示した拡大平面図である。図6は、図5のVI−VI’線断面図である。尚、図6では、説明の便宜上、画素電極9aより下層側の構造を示している。
図4において、複数の画素電極9aの夫々は、TFTアレイ基板10上の画像表示領域10aを構成するように本発明の「配列方向」の各々一例であるX方向及びY方向に沿って規定された複数の画素領域72gに形成されている。
図5及び図6において、画素部72は、TFTアレイ基板10上に各々形成されたTFT30、保持容量70、データ線6a、走査線3a、及び画素電極9aを有している。
TFT30は、画像表示領域10aにおいて画素電極9aの下層側に形成され、且つ画素電極9aに電気的に接続されており、画素電極9aを介して液晶素子50aを駆動する。TFT30は、本発明の「活性層」の一例である半導体層1aを有している。
半導体層1aは、TFTアレイ基板10上に形成された下地絶縁膜41上に形成された多結晶シリコン層等の多結晶半導体層であり、ゲート電極3a1に重なるチャネル領域1a´、その両側に設けられた一対のLDD(Lightly Doped Drain)領域1b及び1c、並びに、一対のLDD領域の夫々の外側、即ちデータ線6a側及び画素電極9aの夫々の側に形成されたソース領域1s及びドレイン領域1dを含んでいる。ソース領域1sは、本発明の「画像信号入力側領域」の一例であり、でデータ線6aに電気的に接続されている。ドレイン領域1dは、本発明の「画像信号出力側領域」の一例であり、画素電極9aに電気的に接続されている。
本実施形態では、TFT30はnチャネル型TFTであるため、例えば、TFT30に正極性の画像信号がデータ線6aを介して供給される場合には、ソース領域1sの電位がドレイン領域1dの電位より高くなり、正極性の画像信号がTFT30を介して画素電極9aに供給される。また、TFT30に負極性の画像信号が供給された場合には、ソース領域1sの電位はドレイン領域1dの電位より低くなり、負極性の画像信号がTFT30を介して画素電極9aに供給される。したがって、ソース領域1及びドレイン領域1dは、画像信号の入力側及び出力側の夫々の領域として固定されているが、これらの電位の相対的な高低関係は、画像信号の極性に応じて相互に入れ替わる。チャネル領域1a´には、走査線3aに電気的に接続されたゲート電極3a1からの電界によりチャネルが形成される。
ゲート電極3a1は、不純物が注入された多結晶シリコン膜等の導電膜や、例えば、Ti、Cr、W、Ta、Mo、Pd、Al等の金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの等によって形成されており、ソース領域1s及びドレイン領域1d、並びにLDD領域1b及び1cに重ならないようにゲート絶縁膜42を介してチャネル領域1a´上に設けられている。
コンタクトホール81は、ゲート絶縁膜42、絶縁膜43、絶縁膜44及び45を貫通するように形成されており、データ線6a及びソース領域1sを相互に電気的に接続している。コンタクトホール82は、ゲート絶縁膜42及び絶縁膜43を貫通するように形成されており、下側容量線73及びドレイン領域1dを相互に電気的に接続している。
コンタクトホール83は、絶縁膜46、45、及び44を貫通するように形成されており、下側容量線73及び画素電極9aを相互に電気的に接続している。したがって、データ線6a及び画素電極9aは、コンタクトホール81、TFT30、コンタクトホール82、下側容量線73、及びコンタクトホール83を介して相互に電気的に接続されており、ゲート電極3a1に供給される走査信号に応じて、画像信号に応じた電位が画素電極9aに供給されることになる。
尚、保持容量70は、下側容量線73及び上側容量線74間に延びる絶縁膜44を誘電体膜として構成されており、TFT30の動作に応じて画素電極9aに供給された電位を保持する。
ここで、画素領域72gが配線等の不透明部分によって規定された矩形状の平面形状を有しているため、複数の画素領域72gは、画像表示領域10aにおいて相互に直交するX方向及びY方向の夫々に沿った配列方向の夫々に沿って2次元的にマトリクス状に配列されており、複数の画素電極9aも複数の画素領域72gと同様にX方向及びY方向の夫々に沿って2次元的にマトリクス状に配列されている。
このような画素電極9aの配列状態の下、仮に画素ピッチをX方向及びY方向に沿って小さく設定した場合、言い換えれば、画素ピッチの狭小化に応じて画素電極9aのサイズが小さくなった場合、X方向又はY方向に沿ったチャネル長を有するように半導体層1aを形成された状況を想定する。このような状況下で、半導体層1aが画素電極9aに覆われるためには画素ピッチが狭められたサイズと同等のサイズだけ半導体層1aのチャネル長方向に沿った長さが小さく設定されることになる。しかしながら、チャネル長方向に沿った半導体層1aの長さを小さくし過ぎると、半導体層1aの一部を構成するソース領域1s及びドレイン領域1dからゲート電極3a1下の半導体層1aの半導体部分に不純物が拡散し、ソース領域1s及びドレイン領域1dが電気的に短絡してしまう。特に、本実施形態のように、半導体層1aが多結晶シリコン層等の多結晶半導体層で構成されている場合、結晶粒界を介して不純物が拡散し易いため、チャネル領域が消失しないように半導体層1aに十分なチャネル長を確保することが必要となる。
したがって、画素ピッチの狭小の要請に応じてTFT30を小型化したとしても、不純物の拡散に起因するソース領域1s及びドレイン領域1d間の短絡を防止するために、半導体層1aのチャネル長方向に沿った長さを一定の長さ以上に設定し、ソース領域1s及びドレイン領域1dをチャネル長方向に沿って離しておく必要がある。
加えて、画素ピッチの狭小化の要請に応じて画素電極9aのサイズが小さくなった場合、ソース領域1s及びドレイン領域1d間の短絡を防止するために半導体層1aを一定の長さ以上に設定すると、画素電極9aが半導体層1aを遮光する範囲が狭くなり、LDD領域1b及び1cに光が照射され、TFT30に光リーク電流が発生してしまう。より具体的には、例えば、ゲート長が2μm、ソース領域1s及びドレイン領域に電気的に接続されるコンタクトホール81及び82のサイズが1μm、LDD領域1b及び1cの夫々の長さが1μmに設定されると仮定した場合、画素ピッチを7μm以下に設定しようとすると、コンタクトホール81及び82の夫々とLDD領域1b及び1cとを0.5μmのスペースで離しただけで、半導体層1aの長さは7μmとなってしまう。
したがって、例えば、画素ピッチを7μm以下に設定した場合には、X方向及びY方向の夫々に沿って画素電極9aによって半導体層1aを遮光できない部分が生じることになる。特に、光リーク電流が発生し易いLDD領域1b及び1cが画素電極9aによって遮光されなかった場合、TFT30に光リーク電流が生じ、液晶装置1の表示性能を低下させてしまう。
そこで、図5に示すように、半導体層1aは、TFTアレイ基板10上の画素領域72gにおいてX方向及びY方向に斜めに交差する斜め方向Dに沿って延びているため、半導体層1aのチャネル領域1a´が延びるチャネル長方向は斜め方向Dに沿っている。
このような半導体層1aによれば、X方向又はY方向にチャネル長方向が沿うように半導体層が形成される場合に比べて、画素電極9aに重なり、且つ相対的にチャネル長方向に沿って長く延びるように半導体層を形成可能である。
より具体的には、X方向及びY方向に沿って各々延びる複数の辺によって縁が規定された矩形状の画素電極9aに重なるように、X方向及びY方向、言い換えれば画素電極9aの各辺が延びる方向に斜めに交差する斜め方向Dにチャネル長方向が沿うように半導体層層1aを形成することによって、画素電極9aの各辺に沿って半導体層を形成する場合に比べて半導体層1aのチャネル長方向に沿った長さを長くすることが可能である。特に、本実施形態では、画素電極9aが矩形状である場合には、半導体層1aの長さをより長く設定するために、斜め方向Dは画素電極9aの対角線方向に沿っているほうが好ましい。
したがって、液晶装置1によれば、液晶装置のサイズの小型化に伴って画素ピッチが狭小化された場合でも、画素領域72gのサイズ、言い換えれば、画素領域72gに形成された画素電極9aによって遮光可能な領域を最大限利用して、チャネル長方向に沿った半導体層1aのサイズを大きく設定できる。よって、画素ピッチの狭小化の要請に応じてTFT30が小型化された場合でも、ソース領域1s及びドレイン領域1d間の間隔を十分に確保することができ、不純物の拡散に起因するチャネル領域の消失を低減できる。加えて、画素電極9aによって半導体層1aを遮光できるため、TFT30における光リーク電流の発生を低減でき、光リーク電流に起因する液晶装置1の表示性能の低下を抑制できる。
尚、液晶装置1では、ソース領域1s及びドレイン領域1d、並びに、LDD領域1b及び1cの全体が画素電極9aに重なり、且つ画素電極9aによって遮光されているほうが好ましいが、ソース領域1s及びドレイン領域1d、並びに、LDD領域1b及び1cのうち光リーク電流が発生し易いLDD領域1b及び1cが少なくとも遮光されていればよい。
(変形例)
次に、図7を参照しながら、本実施形態に係る液晶装置の変形例を説明する。図7は、本例に係る液晶装置の画像表示領域の一部を拡大して示した拡大平面図である。尚、以下では、上述の液晶装置1と共通する部分に共通の参照符号を付し、共通する部分の詳細な説明を省略する。
図7において、本例に係る液晶装置では、画素スイッチング用素子であるTFT30aは、活性層として斜め方向Dに沿って延びる半導体層1aaを有している。半導体層1aaの各々一部を構成するLDD領域1b及び1c、並びにドレイン領域1dが画素電極9aに重なっており、画素電極9aは、対向基板20側から入射する光がLDD領域1b及び1c、並びにドレイン領域1dに照射されないようにこれら領域を遮光している。
ソース領域1saは、Y方向に沿って延びている。ソース領域1saのうちコンタクトホール81aが接続される部分は、画素電極9aに重なっておらず、画素電極9aによって遮光されていない。しかし、半導体層1aaのうち光リーク電流が発生し易い一対のLDD領域1bおよび1cが少なくとも画素電極9aによって遮光されている。
このような半導体層1aaによれば、半導体層1aa全体を斜め方向に沿って形成する場合に比べて、X方向に沿って半導体層1aaのサイズを小さくできる。したがって、TFT30aにおける光リーク電流の発生を低減しつつ、X方向に沿って画素ピッチをより一層狭小化することが可能である。尚、ドレイン領域1dがX方向に沿って延びるように形成されている場合には、Y方向に沿って同様に半導体層1aaのサイズを小さくできる。また、ソース領域1s及びドレイン領域1dの夫々が、Y方向及びX方向の夫々に延びるように形成されている場合には、チャネル領域への不純物の拡散の防止、及び光リーク電流の発生を低減しつつ、X方向及びY方向の両方向に沿って、TFT30aのサイズを小型化することが可能である。
(電子機器)
次に、図8を参照しながら、上述の液晶装置をライトバルブとして用いた反射型プロジェクタを説明する。図8は、本実施形態に係る電子機器の一例である反射型プロジェクタの構成を示した図である。
図8において、プロジェクタ400では、光源ランプ200から出射された光(概ね白色光)は、クロスダイクロイックミラーからなる色分解ミラー201により青色光Bと赤色光R・緑色光Gに分光される。また、各光はミラー202を介して偏光ビームスプリッタ(PBS)203に入射され、PBS203によりS偏光光が色光変調用の反射型液晶ライトバルブ100B,100R,100Gに入射される。入射された色光は、各ライトバルブによって変調された後、各ライトバルブから出射される。PBS203では反射型液晶ライトバルブ100B,100R,100Gから戻ってきたS偏光成分が反射しP偏光成分を透過する。従って、各PBS203からは、液晶ライトバルブ100B,100R,100Gから出射された光の偏光軸の回転程度に応じた光量の色光が透過してくる。この光量が、各色光に割り当てられた階調レベルに応じた光量(透過率)に相当する。各PBS203を透過した色光は、色合成プリズム204内にX字状に形成された青色光反射・赤色光反射の波長選択反射層により、青色光Bと赤色光Rが反射され、緑色光Gが透過されて、カラー光が合成されて射出される。このカラー光を投射レンズ205によりスクリーン206に画像が投射される。本実施形態に係るプロジェクタ400によれば、上述の液晶装置を具備してなるので、光リーク電流の低減、及び高精細化によるプロジェクタの表示性能の向上が可能である。
1・・・液晶装置、1a,1aa・・・半導体層、1a´・・・チャネル領域、1b,1c・・・LDD領域、1d・・・ドレイン領域、1s・・・ソース領域、9a・・・画素電極、10・・・TFTアレイ基板、20・・・対向基板、30,30a・・・TFT、50a・・・液晶素子