JP5194382B2 - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置及びその検査方法、並びに、該電気光学装置を備えて構成される電子機器の技術分野に関する。

この種の電気光学装置は、一対の素子基板及び対向基板間に電気光学物質を挟持してなる。複数の画素がマトリクス状に平面配列されてなる画素領域（或いは画像表示領域とも呼ばれる）には、画素毎に電気光学物質を含む表示素子が形成される。また、素子基板或いは対向基板上で平面的に見て、対向基板は素子基板よりも小さいサイズで形成されており、画素領域の周辺に位置する周辺領域において、対向基板から張り出した或いは露出した素子基板の一辺に沿って、複数の外部回路接続端子が配置される。これら複数の外部回路接続端子には、電気光学装置の駆動時、複数の表示素子を夫々選択して点灯させるための画像信号、制御信号、電源信号等の各種信号が供給される。例えば、このような電気光学装置は、素子基板を複数含む大型基板に、対向基板を素子基板毎に対向させて配置させ、素子基板及び対向基板をシール材によって個別に貼り合わせて組み立てた後、これら２枚の大型基板を、一対の素子基板及び対向基板毎に個別に切断することにより製造される。

このような素子基板上の周辺領域には、電気光学装置の製造途中や、製造後であって実装前或いは製品化前などに、回路や配線について断線、短絡、動作を検査する際、更に表示素子の点灯動作等を検査する際に、検査信号が入出力される検査端子が設けられることが一般的である。

ここで、特許文献１又は２には、上述したような電気光学装置において、安価な検査装置を使用して、点灯表示検査を容易に行うために、複数の外部回路接続端子を、周辺領域において素子基板の一辺に沿って配列すると共に、このような外部回路接続端子の端に検査端子を複数配置する構成が開示されている。このような構成によれば、電気光学装置において、駆動時には、複数の外部回路接続端子に実装された外部回路より供給された駆動信号のみに基づいて表示素子は点灯表示を行い、検査時には、検査端子にプローブを介して供給された検査信号のみに基づいて表示素子は点灯表示を行う。より詳細には、駆動時において、赤色（Ｒ）用、青色（Ｂ）用、及び緑色（Ｇ）用の３種類の画像信号が複数の駆動信号に含まれて供給され、加えて、検査時においても、これらの画像信号に対応する３種類の検査用の画像信号が複数の検査信号に含まれて供給される。

他方、特許文献３によれば、電気光学装置において、周辺領域の狭小化を実現するために、素子基板上の周辺領域において、複数の検査端子を、画素領域のコーナー部であって、素子基板及び対向基板を貼り合わせるために設けられたシール材より下層側であって、平面的に見てシール材の一部と重畳するように配置する。この検査端子は、電気光学装置の製造中であって、素子基板及び対向基板の貼り合せ前に行う検査時に使用される。

特開２００４−２０５８５２号公報 特開２００４−２２６９３１号公報 特開２００４−４９９３号公報

しかしながら、特許文献１又は２に開示された技術によれば、例えば、駆動時において画像信号が、Ｒ用、Ｇ用、Ｂ用の３種に代えて、６相、１２相、・・・のようにシリアル−パラレル変換された信号として供給される場合には、これらの画像信号に対応する種類の検査用の画像信号が、検査時において供給されることとなる。よって、検査用の画像信号が供給される検査端子の数が増加し、検査端子を設置するための領域を、素子基板上において広く確保する必要がある。逆に言えば、素子基板の小型化を図った場合に、各検査端子にプローブを当てて検査を行うこと自体が実践上極めて困難になるという技術的問題点がある。

他方、特許文献３に開示の技術によれば、素子基板上の周辺領域において、シール材が形成される領域を、複数の検査端子を配置するのが可能な程度に確保する必要があり、加えて、シール材が形成される領域の更に外側に、複数の表示素子を駆動信号に基づいて駆動するための駆動回路を設置する領域を確保し、更に電気光学装置の製造プロセスでは、隣接する素子基板を切断するための領域を、各素子基板の外周に沿って、大型基板上で確保する必要がある。

本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、例えば、素子基板及び対向基板の貼り合せ後の検査を比較的容易に行うことが可能であると共に、小型化することが可能な電気光学装置及び該電気光学装置の検査方法、並びに該電気光学装置を備えた各種電子機器を提供することを課題とする。

本発明の第１の電気光学装置は上記課題を解決するために、素子基板と、前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合わせられる対向基板と、前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、前記素子基板上における前記画素領域の周辺に位置する周辺領域のうち前記張出領域に配列され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む各種信号が外部回路から供給される複数の外部回路接続端子と、前記張出領域において、前記複数の外部回路接続端子の配列の端に配置されており、検査信号が供給される複数の検査端子とを備えており、前記複数の検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されている。

本発明の第１の電気光学装置は、一対の素子基板及び対向基板を対向配置させて、素子基板及び対向基板間の画素領域の周辺に位置する周辺領域に、例えば、画素領域の外周に沿うシール領域に形成されたシール材によって貼り合わせられることによって、組み立てられる。そして、素子基板及び対向基板間において、例えばシール領域によって囲まれており、複数の画素がアレイ状に平面配列されてなる「画素領域」には、電気光学物質として例えば液晶が挟持される。素子基板上の画素領域には、画素毎に、例えば液晶素子等の表示素子を含んでなる画素部が、例えば、縦横に相互に間隔を隔ててマトリクス状に配列されている。各画素部は、例えば、素子基板上に画素毎に形成された画素電極と、該画素電極と対向するように対向基板上に形成された対向電極との間に電気光学物質を挟持することにより形成される。素子基板は、平面的に見て少なくともその一辺において、対応する対向基板の一辺より張り出す或いは露出するように、例えば対向基板と比較して大きい平面サイズで形成される。張出領域には、一辺に沿って、複数の外部回路接続端子が配列されている。複数の外部回路接続端子には、典型的には後述する表示検査である貼合後検査の後に、例えば、ＣＯＦ（Chip On Flexible printed circuit）として、フレキシブル基板を含む配線基材に実装されて形成された外部回路が、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）或いはフレキシブル基板又はフレキシブルコネクタ等を介して、電気的に接続される。

このように構成された第１の電気光学装置によれば、その通常駆動時には、外部回路から複数の外部回路接続端子に対して、画像信号及び制御信号、更に例えば電源信号等を含む、各種信号が供給される。そして、複数の画素部は、これらの各種信号に基づいて、例えば、行毎に選択され、更には各行に配列された画素部は、列毎に選択されて、駆動される。このように駆動された画素部では、例えば電気光学物質に画素電極及び対向電極の各々の電位に基づく電圧が印加されることにより、画像表示が行われる。

第１の電気光学装置は、その製造時には、例えば、素子基板を複数含む大型基板上で、これとは別の大型基板を分断することにより形成された対向基板を、各素子基板に対して貼り合せた後、大型基板を一対の素子基板及び対向基板毎に個別に分断することで形成される。このような製造プロセスによって第１の電気光学装置が貼り合せられた後であって、外部回路が複数の外部回路接続端子に接続される前に、各画素部の画像表示に係る動作についての検査である、典型的には表示検査である「貼合後の検査」が行われる。貼合後の検査では、電気光学装置において、通常動作の際と概ね同様に複数の画素部を駆動することにより、素子基板上の画素領域において、全画面ベタ表示、即ち概ね全体的に、特定色として、例えば、黒色、白色、或いは灰色で塗りつぶされた画面を表示させたり、例えば中間調の背景に黒色のラインがストライプ状に表示されるストライプ表示を行ったりする。或いは、特定の表示画面を表示させる、というよりは、各画素部を駆動させて、単純に、点欠陥或いは線欠陥等について、貼合後の検査が行われることもある。

ここで第１の電気光学装置では特に、素子基板上の張出領域において、外部回路接続端子の配列の端に、このような貼合後の検査に用いられる複数の検査端子が配置されている。より具体的には、素子基板上に平面的に見て、外部回路接続端子の配列の一端若しくは該配列を挟んでその両端に、検査端子が配列される。そして、複数の検査端子は、外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されている。

即ち一方で、複数の外部回路接続端子は、相対的に狭い間隔で配置されており、相対的に狭ピッチである。しかるに、外部回路を接続する前であって素子基板及び対向基板の貼り合せ後に行われる例えば表示検査である貼合後検査の際には、複数の外部回路接続端子のうち通常動作時に画像信号が供給されることになる端子部分に対して、一括して検査用画像信号が供給されることが可能である。例えば、このような一括の供給は、複数の外部回路接続端子に跨る導電性ゴムを介することで簡単にして行われる。従って、各外部回路接続端子に対してプローブを当てるのが困難或いは不可能な程度にまでピッチを狭めても、貼合後検査を行う上では、何ら支障はないことになる。

他方で、複数の検査端子は、相対的に広い間隔で配置されており、相対的に広いピッチであるが、例えばシリアルーパラレル変換数に応じて個数が増える外部回路接続端子と比べて少ない個数で済む。従って、上述したような貼合後検査を行う際に、個々の端子にプローブを当てることによる電気的導通をとるのが十分な程度の広いピッチで配置しても、必要な平面スペースは、然程大きくないことになる。少なくとも検査端子及び外部回路接続端子について、個々の端子にプローブを当てることを可能とするのに必要な平面スペースと比べて、顕著に狭い平面スペースだけあれば十分である。更にこれに加えて、各検査端子は、プローブとの電気的導通を精度良く行うことができる程度に、外部回路接続端子より大きい平面サイズで形成されるのが好ましい。

そして、実際の貼合後検査の際には、狭ピッチの複数の外部回路接続端子には、例えば異方性の導電性ゴムによる電気的導通により、一括して検査用画像信号が供給されると共に、広ピッチの複数の検査端子には夫々例えばプローブを介して検査信号が供給されることが可能である。この際、より詳細には、例えば、複数の外部回路接続端子のうち、電気光学装置の駆動時に外部回路から画像信号が供給される一部の端子に対して、導電性ゴムを介して検査用画像信号が供給される。このように信号が供給された状態で、検査用画像信号に応じた画像表示が画素部で行われるか否かが検査される。

尚、検査端子に対して検査信号を供給しつつ、例えば導電性ゴムを介して、少なくとも２個以上の隣接する外部回路接続端子に対して一括して何らかの信号を供給することで、貼合後検査を行う態様も、本発明に含まれる。

また、このような複数の検査端子を、貼合後検査だけでなく、素子基板及び対向基板の貼り合せ前に素子基板に対して行われる、後述の如き「貼合前の検査」の際に利用することは、任意である。

以上説明したように第１の電気光学装置によれば、検査用画像信号を供給するために検査端子を設ける必要がないため、検査端子のみが貼合後検査時に用いられるような構成と比較して、検査端子の数を顕著に少なくすることが可能となる。よって、第１の電気光学装置では、素子基板上の張出領域において、検査端子を配置するための領域を小さくして、省スペース化を図ることができる。その結果、素子基板の張出領域を小さくでき、最終的には第１の電気光学装置を小型化することが可能となる。このように外部回路を接続する前における素子基板及び対向基板の貼り合せ後の検査を比較的容易に行いつつ装置全体の小型化を図れる。

本発明の第１の電気光学装置の一態様では、前記複数の外部回路接続端子は、前記外部回路を電気的に接続する前であって前記素子基板及び前記対向基板の貼り合せ後に行われる検査の際に、当該電気光学装置の動作時に前記画像信号が供給されることになる端子部分に対して、一括して検査用画像信号が供給され、前記複数の検査端子は、前記貼合後の検査の際に、前記貼合後の検査のために前記検査用画像信号以外に必要となる検査信号が供給される。

この態様によれば、一方で、複数の外部回路接続端子が相対的に狭ピッチであっても、一括して検査用画像信号が供給されることで、貼合後検査を行う上では、何ら支障はない。他方で、複数の第１検査端子は、相対的に少ない個数で済むので、貼合後検査を行う際に、個々の端子にプローブを当てることによる電気的導通をとるのが十分な程度の広いピッチで配置しても、必要な平面スペースは、然程大きくない。従って、検査用画像信号を供給するために第１検査端子を設ける必要がないため、第１検査端子のみが貼合後検査時に用いられる構成と比較して、第１検査端子の数を顕著に且つ確実に少なくすることができる。

本発明の第１の電気光学装置の一の態様では、前記複数の検査端子は、前記複数の外部回路接続端子の配列の両端において、前記複数の外部回路接続端子の配列の延長線上に配列されている。

この態様によれば、素子基板上の張出領域において、外部回路接続端子及び検査端子を一辺に沿って一列に配列させつつ、前者を狭ピッチで且つ後者を広ピッチで配列させることができるので、素子基板上の張出領域の出幅を大きくすることを避けつつ、一層の省スペース化を図ることができる。

本発明の第２の電気光学装置は上記課題を解決するために、素子基板と、前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合わせられる対向基板と、前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、前記素子基板上における前記画素領域の周辺に位置する周辺領域のうち前記張出領域に配列され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む各種信号が外部回路から供給される複数の外部回路接続端子と、前記張出領域において、前記複数の外部回路接続端子の配列の端に配置されており、前記素子基板及び前記対向基板の貼り合わせ後に行われる検査のために必要となる第１検査信号が供給される複数の第１検査端子と、前記周辺領域のうち前記一辺を除く他の辺に沿った周辺部分領域であって前記素子基板及び前記対向基板が貼り合せられた後には前記対向基板により覆われる領域に、少なくとも部分的に配置されており、前記貼り合わせ前に行われる検査のために必要となる第２検査信号が供給される複数の第２検査端子とを備える。

本発明の第２の電気光学装置は、上述した本発明の第１の電気光学装置の構成と比較して、前記複数の検査端子としての複数の第１検査端子の他に、複数の第２検査端子が設けられている点と、外部回路接続端子及び第１検査端子についての間隔の制限がない点が異なっており、これらの点を除いては、ほぼ第１の電気光学装置と同様の構成を有する。また、本発明の第２の電気光学装置は、通常動作時には、上述した本発明の第１の電気光学装置と同様に動作し、例えば表示検査である貼合後の検査の際にも、上述した本発明の第１の電気光学装置と同様に動作する。他方で、本発明の第２の電気光学装置は、貼合前の検査の便宜についても図られている。

即ち第２の電気光学装置では特に、複数の第２検査端子が、周辺領域のうち張出領域がある一辺を除く他の辺に沿った周辺部分領域に、少なくとも部分的に配置されている。複数の第２検査端子は、貼り合せ後には平面的に見て対向基板により覆われるが、貼合後検査のために必要ではない。このような複数の第２検査端子には、貼合前の検査のために必要となる第２検査信号が供給されることになる。より詳細には、各第２検査端子は、素子基板上の周辺部分領域において、対向基板上で平面的に見て、対向基板の下に完全に隠れてしまう、若しくは、少なくとも対向基板の下にプロービングが困難な程度に隠れしまうように配置される。各第２検査端子は、このように貼り合せ後には、プローブによりアクセス不可能な領域を利用して作り込むことが可能であるので、張出領域の面積の増大或いは素子基板の面積の増大を招かない。

このような第２検査端子が用いられる貼合前検査時、例えば回路、配線等の導通検査、絶縁検査、動作検査などの際、複数の第２検査端子には夫々、例えばプローブを介して第２検査信号が供給される。そして、第２検査信号に基づいて、検査が行われる。また、例えば、各画素部の選択等の動作について検査する検査回路を素子基板上に内蔵させて、第２検査信号が検査回路に入出力されることにより、貼合前検査を行うようにしてもよい。

従って、第２検査端子の存在により基板上のスペースを狭めることを避けつつ、第２検査端子のピッチを、各第２検査端子においてプローブにより精度良く電気的導通を行うことが可能な程度に、余裕を持って広くできる。更に、これに加えて、上述した第１の電気光学装置に係る第１検査端子の場合と同様に、各第２検査端子は、外部回路接続端子より大きい平面サイズで形成されるのが好ましい。

加えて、このような貼合前の検査時に、第１検査端子を介して、検査信号を供給してもよいし、既に説明した貼合後検査の場合と同様に複数の外部回路接続端子を介して、例えば導電性ゴムによる電気的導通により、一括して検査用画像信号又は他の検査用信号が供給されるようにしてもよい。即ち、貼合前の検査時にも、第１検査端子や外部回路接続端子を、第２検査端子と共に用いること、言い換えれば、第１検査端子や外部回路接続端子を複数の検査で使い回すように構成することで、全体として検査に必要な端子数を少なくすることが可能となる。

尚、第２の電気光学装置において、貼合後検査は、第１の電気光学装置の場合と同様に、第１検査端子に第１検査信号が供給されると共に、外部回路接続端子に検査用画像信号が供給されることにより行われる。よって、貼合後の検査では、複数の第２検査端子は用いられない。

以上説明したように第２の電気光学装置によれば、貼合後の検査で用いられない第２検査端子は、貼り合せ後には対向基板で隠れる周辺部分領域に配置され、貼合後検査に用いられる第１検査端子は、貼り合せ後にも対向基板で隠れない張出領域に配置される。このように貼り合せ前の検査のみならず、貼り合せ後の検査についても比較的容易に行いつつ装置全体の小型化を図れる。

本発明の第２の電気光学装置の一の態様では、前記複数の第１検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されており、前記複数の第２検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されている。

この態様によれば、貼合前検査において、第２検査端子に対して、プローブにより精度良く電気的導通を行うことができ、貼合後検査において、第１検査端子に対して、プローブにより精度良く電気的導通を行うことができ、しかも、第２検査端子、第１検査端子及び外部回路接続端子の存在により、基板上のスペースを狭めることを効果的に避けることができる。

本発明の第２の電気光学装置の他の態様では、前記素子基板は、前記素子基板を複数含む大型基板において、前記素子基板毎に前記対向基板と対向するように貼り合わせられ、前記素子基板と対向基板とが貼り合せられた後に、前記大型基板を前記素子基板毎に分断することにより形成され、前記複数の第２検査端子のうち少なくとも一部は、前記周辺部分領域に代えて又は加えて、前記大型基板が分断される際に分断される箇所に重なって形成されている。

この態様によれば、大型基板上で、複数の第２検査端子の少なくとも一部は、素子基板の外周に沿って形成された切断領域に少なくとも部分的に配置される。即ち、各素子基板の周辺部分領域は、少なくとも部分的に切断領域に隣接するか又は重なる。そして、貼り合せ前に検査を行った後、各素子基板と対向基板とを貼り合せて、大型基板を、切断領域に対してダイシング或いはスクライビングを施して分断する。ここで、「ダイシング」とは、鋸等により切断領域を切断する手段をいい、「スクライビング」とは、カッター等により切断領域を傷つけて、この傷に沿って大型基板を分断する手段をいう。ここで特に、切断領域に配置された第２検査端子も少なくとも部分的に切断される。即ち、切断領域を、第２検査端子を配置する領域として有効利用する。このように大型基板上において、切断領域を有効に利用して、貼合前検査を可能としつつ、素子基板を小型化することが可能となる。

本発明の第２の電気光学装置の他の態様では、前記素子基板上で平面的に見て前記画素領域を囲むシール領域において、前記素子基板及び前記対向基板を相互に貼り合わせるシール材を更に備え、前記複数の第２検査端子は、前記シール領域内に少なくとも部分的に配置されている。

この態様によれば、複数の第２検査端子は、シール領域内に少なくとも部分的に配置されている。即ち、周辺部分領域は、シール領域に少なくとも部分的に重なる。即ち、シール領域を、第２検査端子を配置する領域として有効利用することで、貼合前検査を可能としつつ、素子基板を小型化することが可能となる。

本発明の第２の電気光学装置の他の態様では、前記複数の第１検査端子は、少なくとも部分的に、前記貼合後検査の際に加えて前記貼合前検査の際にも用いられ、前記複数の第２検査端子は、前記貼合前の検査の際に前記第１検査端子に供給される第１検査信号とは異なる検査信号が前記第２検査信号として供給される端子である。

この態様によれば、貼合前検査時に、第２検査端子に対する第２検査信号の供給に加えて第１検査信号が第１検査端子に供給される。また、例えば、各画素部の選択等の動作について検査する検査回路を素子基板上に内蔵させて、第２検査信号に代えて第１検査信号によって各画素部を選択すると共に、第２検査信号が検査回路に入出力されることにより、貼合前の検査を行うようにしてもよい。よって、貼合前検査時に、第２検査端子のみに第２検査信号を供給する場合と比較して、第２検査端子の数を少なくすることができる。このため、素子基板上における一層の省スペース化を図ることができる。

本発明の第２の電気光学装置の他の態様では、前記複数の第２検査端子は、前記第２検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される第２同種類端子を含み、該第２同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、前記第２検査信号のうち前記同種類の信号は、前記貼合前検査の際に、前記第２同種類端子から前記抵抗素子を介して供給される。

この態様によれば、貼合前検査時には、複数の第２検査端子に含まれる第２同種類端子に対して、各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される。しかも、第２同種類端子は、同種類の信号が供給される外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されている。従って、この同種類の信号に基づいて、同種類の信号に係る回路部分や配線部分の導通検査、絶縁検査、動作検査等を好適に行うことができる。しかも、抵抗素子を相対的に高抵抗にすることによって、貼合前検査後、例えば製造後、搬送時や駆動時等において、既に使命を終えた第２同種類端子から静電気が浸入して、第２同種類端子から見て抵抗素子の反対側に接続された電気回路が破壊されるのを防止することが可能となる。

本発明の第２の電気光学装置の他の態様では、前記複数の第１検査端子は、前記第１検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される第１同種類端子を含み、該第１同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、前記第１検査信号のうち前記同種類の信号は、前記貼合後の検査の際に、前記第１同種類端子から前記抵抗素子を介して供給される。

この態様によれば、貼合後の検査時には、複数の第１検査端子に含まれる第１同種類端子に対して、各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される。しかも、第１同種類端子は、同種類の信号が供給される外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されている。従って、この同種類の信号に基づいて、貼合後検査を好適に行うことができる。しかも、抵抗素子を相対的に高抵抗にすることによって、貼合後検査の後、例えば製造後、搬送時や駆動時等において、既に使命を終えた第１同種類端子から静電気が浸入して、第１同種類端子から見て抵抗素子の反対側に接続された電気回路が破壊されるのを防止することが可能となる。

本発明の第１の電気光学装置の他の態様では、前記複数の検査端子は、前記検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される同種類端子を含み、該同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、前記検査信号のうち前記同種類の信号は、前記貼合後の検査の際に、前記同種類端子から前記抵抗素子を介して供給される。

この態様によれば、貼合後検査時には、複数の検査端子に含まれる同種類端子に対して、各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される。しかも、同種類端子は、同種類の信号が供給される外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されている。従って、この同種類の信号に基づいて、貼合後検査を好適に行うことができる。しかも、抵抗素子を相対的に高抵抗にすることによって、貼合後検査の後、例えば製造後、搬送時や駆動時等において、既に使命を終えた同種類端子から静電気が浸入して、同種類端子から見て抵抗素子の反対側に接続された電気回路が破壊されるのを防止することが可能となる。

本件の参考発明に係る電気光学装置の検査方法は上記課題を解決するために、素子基板と、前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合せられる対向基板と、前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、前記素子基板上における前記画素領域の周辺に位置する周辺領域のうち前記張出領域に配列され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む各種信号が外部回路から供給される複数の外部回路接続端子と、前記張出領域において、前記複数の外部回路接続端子の配列の端に配置された複数の検査端子とを備えた電気光学装置を検査する検査方法であって、前記素子基板及び前記対向基板の貼り合せ後であって前記外部回路を前記外部回路接続端子に電気的に接続する前に行われる貼合後検査の際に、前記複数の外部回路接続端子のうち前記画像信号が供給されることになる端子に対して、一括して検査用画像信号を供給する工程と、前記複数の検査端子に対して、前記貼合後検査のために前記検査用画像信号以外の検査信号を供給する工程と、前記貼合後検査として、前記検査用画像信号及び前記検査信号が供給された状態で、前記検査用画像信号に応じた画像表示が、前記複数の画素部で行われるか否かを検査する工程とを備える。

本件の参考発明に係る電気光学装置の検査方法によれば、上述した本発明の第１の電気光学装置の場合と同様において、外部回路接続端子に対して一括して検査用画像信号を供給し且つ検査端子に対して検査信号を供給した状態で、検査用画像信号に応じた画像表示が複数の画素部で行われるか否かを検査する。従って、複数の外部回路接続端子を、複数の検査端子の間隔と比較して狭い間隔で配置しても、貼合後検査を問題なく行うことができる。この結果、上述した本発明の第１の電気光学装置の場合と同様に、素子基板上の張出領域を小さくして省スペース化を図りつつ、貼合後検査を比較的容易にして行うことが可能となる。

本件の参考発明に係る電気光学装置の検査方法の一態様では、前記一括して検査用画像信号を供給する工程は、前記複数の外部回路接続端子に導電性ゴムを電気的に接続して、該導電性ゴムを介して前記検査用画像信号を一括して供給し、前記第１検査信号を供給する工程は、前記複数の第１検査端子に夫々、プローブを介して前記第１検査信号を供給する。

この態様によれば、貼合後検査時には、好適には狭ピッチとされる複数の外部回路接続端子には、例えば異方性の導電性ゴムによる電気的導通により、一括して検査用画像信号が供給されると共に、好適には広ピッチとされる複数の検査端子には夫々例えばプローブを介して検査信号が供給される。よって、一層の省スペース化を図りつつ、貼合後検査を容易にして行うことができる。特に、比較的安価な導電性ゴムを用いて電気的接続を行うことにより、素子基板にダメージを与えるのを回避しつつ、電気的接続を良好に行うことも可能となる。また、導電性ゴムは低コストであるため、容易に取り替えることも可能であり、貼合後検査も低コストで行うことができる。

本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の第１又は第２の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を具備する。

本発明の電子機器は、上述した本発明の第１又は第２の電気光学装置を具備してなるので、小型化することが可能な投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。

本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。

＜１：液晶装置の全体構成＞
先ず、本実施形態における液晶装置の全体構成について、図１から図３を参照して説明する。

図１は、対向基板側から見た液晶装置の平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。図１及び図２において、液晶装置は、対向配置された、本発明に係る「素子基板」の一例であるＴＦＴアレイ基板１０と、対向基板２０とから構成されている。図１においては、対向基板２０の、ＴＦＴアレイ基板１０に対する配置例を、点線２００で囲まれる領域で示してある。ＴＦＴアレイ基板１０は、対向基板２０及びＴＦＴアレイ基板１０を対向配置した状態で、平面的に見て（即ち、図１において）ＴＦＴアレイ基板１０の少なくとも一辺が、対応する対向基板２０の一辺から張り出す或いは露出するように、対向基板２０と比較して大きい平面サイズで形成される。

また、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。これにより、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間において、シール材５２によって囲まれた画像表示領域１０ａに液晶層５０が封入される。

シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。

シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。

ＴＦＴアレイ基板１０上における、画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域では、データ線駆動回路１０１及び複数の外部回路接続端子１０２が、ＴＦＴアレイ基板１０の、対向基板２０から張り出した一辺に沿って設けられている。また、この一辺に沿って、外部回路接続端子１０２の配列の端に、複数の第１検査端子１０３ａが設けられている。即ち、図１中でＴＦＴアレイ基板１０の下縁に沿って横に長手状に延びる張出領域に、複数の第１検査端子１０３ａが配列されている。これら複数の第１検査端子１０３ａは、例えば図１によく示されるように、外部回路接続端子１０２の配列を挟んで、その両端に配列される。尚、第１検査端子１０３ａは、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って、外部回路接続端子１０２の配列の一端のみ（即ち、図１で右端のみ又は左端のみ）に配列されるようにしてもよい。尚、複数の外部回路接続端子１０２には、例えば、ＣＯＦに実装されて形成された外部回路が、電気的に接続されて実装される。

また、外部回路接続端子１０２等が配列された、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿い、走査線駆動回路１０４が、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。そして、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。

更に、走査線駆動回路１０４が配置されたＴＦＴアレイ基板１０の２辺のいずれか若しくはその両方に沿って、複数の第２検査端子１０３ｂが配列されて、設けられる。即ち、図１中でＴＦＴアレイ基板１０の右縁に沿って縦に伸びる、本発明に係る「周辺部分領域」の一例である帯状領域に、複数の第２検査端子１０３ｂが配列されている。図１には、第２検査端子１０３ｂが、ＴＦＴアレイ基板１０の２辺のうち一方に設けられる構成について示してある。複数の第２検査端子１０３ｂは夫々、平面的に見て（即ち、図１において）、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域において、対向基板２０によって覆われる或いは隠れる帯状領域に、少なくとも一部が配置される。これにより、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域において、複数の第２検査端子１０３ｂは、夫々、対向基板２０上に平面的に見て、対向基板２０の下に、後述するような検査時におけるプロービングが困難な程度に部分的に隠れてしまうように配置される。

また、ＴＦＴアレイ基板１０上には、対向基板２０との電気的導通を確保するための上下導通端子１０６が配置されている。

図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用ＴＦＴや各種配線等の上に画素電極９ａが、更にその上から配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上の画像表示領域１０ａには、液晶層５０を介して複数の画素電極９ａと対向する対向電極２１が形成されている。そして、ＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａには、画素毎に画素電極９ａと対向電極２１との間に液晶層５０を挟持して表示素子が構成され、即ち、画素毎に画素部が構成されている。そして、画素電極９ａ及び対向電極２１との間に電圧が印加されることで、表示素子は画像表示を行う。この対向電極２１上には、格子状又はストライプ状の遮光膜２３が形成され、更にその上を配向膜が覆っている。液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。

尚、図１又は図２には図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、後述するように画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路や、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路が形成されている。本実施形態では、このような各種回路に加えて、更に、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路等が等が形成されていてもよい。

また、対向基板２０の投射光が入射する側及びＴＦＴアレイ基板１０の出射光が出射する側には各々、例えば、ＴＮ（ツイステッドネマティック）モード、・ＳＴＮ（スーパーＴＮ）モード、Ｄ−ＳＴＮ（ダブル−ＳＴＮ）モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード／ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。

次に、図３を参照して、上述した液晶装置の電気的な構成について説明する。図３は、液晶装置の電気的な構成を示すブロック図である。図３において、液晶装置は、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０（ここでは図示せず）とが液晶層を介して対向配置され、画像表示領域１０ａにおいて区画配列された、表示素子の画素電極９ａに印加する電圧を制御し、液晶層にかかる電界を画素毎に変調する構成となっている。これにより、両基板間の透過光量が制御され、画像が階調表示される。尚、本実施形態では、この液晶装置はＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式を採るものとする。

ＴＦＴアレイ基板１０における画像表示領域１０ａには、互いに交差して配列された複数の走査線２及び複数のデータ線３が形成され、走査線２及びデータ線３の交差に対応して画素毎に表示素子が配置される。これにより、表示素子の画素電極９ａは、ＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａにおいて、隣接する画素電極９ａと相互に間隔を隔てて、マトリクス状に配列される。

尚、図３には図示しないが、各画素電極９ａとデータ線３と電気的経路には、走査線２を介して夫々供給される走査信号に応じて導通、非導通が制御される画素スイッチング素子としてのＴＦＴや、画素電極９ａに印加した電圧を維持するための蓄積容量が形成されている。画素スイッチング素子はＴＦＴのほか、各種トランジスタ或いはＴＦＤ等により構成されてもよい。

また、画像表示領域１０ａの周辺領域には、図１に示すデータ線駆動回路１０１等に加えて、２つの走査線駆動回路１０４間を電気的に接続するための配線１０５が設けられたＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って、更に検査回路２０１が形成されている。

本実施形態では、液晶装置の駆動時、図１又は図２に示す外部回路接続端子１０２には、外部回路より、本発明に係る「各種信号」の一例として、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４を駆動するためのクロック信号ＣＬＸやＣＬＹ等のタイミング信号、画像信号ＶＩＤ、或いは対向電極電位ＬＣＣが供給される。

データ線駆動回路１０１は、外部回路接続端子１０２より供給される、所定周期のＸ側クロック信号ＣＬＸ（及びその反転信号ＣＬＸｉｎｖ）、ＸスタートパルスＤＸに基づいて、各段からサンプリング信号Ｓｉ（ｉ＝１、…、ｎ）を順次生成して出力するように構成されている。

また、サンプリング回路７は、データ線３に設けられたサンプリングスイッチ７１を複数含んで形成される。各サンプリングスイッチ７１は、例えばＰチャネル型又はＮチャネル型の片チャネル型ＴＦＴ若しくは相補型のＴＦＴにより形成される。また、各サンプリングスイッチ７１は、図３に示す画像信号線６に、外部回路接続端子１０２より供給される画像信号ＶＩＤを、データ線駆動回路１０１から出力されるサンプリング信号Ｓｉに応じてサンプリングし、対応するデータ線３に供給する。これにより、マトリクス状に配置された複数の画素電極９ａは、列毎に画像信号ＶＩＤが供給されることにより、データ線３の配列方向に選択されて、駆動される。

ここで、画像信号ＶＩＤは、例えば、外部回路において６相、１２相、・・・にシリアル−パラレル展開（即ち、相展開）され、更には基準電位に対して正極性（＋）又は負極性（−）に電圧が極性反転されて、外部回路接続端子１０２に供給される。そして、このように相展開された画像信号ＶＩＤは、これらの画像信号ＶＩＤの数に対応して形成された複数の画像信号線６を介して、サンプリング回路７に入力される。このように、複数の画像信号線６に対し、シリアルな画像信号を変換して得たパラレルな画像信号を同時供給すると、データ線３への画像信号入力をグループ毎に行うことができ、駆動周波数が抑えられる。尚、図３には、簡単のため、画像信号線６の数は１本として図示してあり、相展開された画像信号ＶＩＤの供給に係る詳細な構成について、図示を省略してある。

また、走査線駆動回路１０４は、マトリクス状に配置された複数の画素電極９ａを、行毎に、画像信号及び走査信号により走査線２の配列方向に垂直走査するために、以下のように駆動するように構成されている。即ち、走査線駆動回路１０４には、外部回路接続端子１０２より、走査信号印加の基準クロックであるＹ側クロック信号ＣＬＹ及びその反転信号ＣＬＹｉｎｖ、２種のＹスタートパルスＤＹＬ若しくはＤＹＲ、更には２種のイネーブル信号ＥＮＢＹ１及びＥＮＢＹ２が供給される。そして、走査線駆動回路１０４は、Ｙ側クロック信号ＣＬＹ及びその反転信号ＣＬＹｉｎｖ、２種のＹスタートパルスＤＹＬ若しくはＤＹＲに基づいて走査信号を生成し、２種のイネーブル信号ＥＮＢＹ１及びＥＮＢＹ２の各々に基づくタイミングで、複数の走査線２に走査信号を順次印加する。その際には、図３において、各走査線２には、両端から同時に電圧が印加される。

尚、本実施形態では、走査線駆動回路１０４は、２種のＹスタートパルスＤＹＬ及びＤＹＲに基づいて、図３中、上から下に向かう方向、及び下から上に向かう方向の双方向に、複数の画素電極９ａを行毎に垂直走査するように構成されている。また、外部回路より外部回路接続端子１０２を介して供給される２種の電源ＶＤＤ及びＶＳＳにより、走査線駆動回路１０４は駆動されるように構成される。

更に、上下導通端子１０６から引き出された信号線には、外部回路接続端子１０２から対向電極電位ＬＣＣが供給される。対向電極電位ＬＣＣは、上下導通端子１０６より対向電極２１に供給される。対向電極電位ＬＣＣは、画素電極９ａとの電位差を適正に保持して液晶保持容量を形成するための対向電極２１の基準電位となる。

＜２；第１検査端子及び第２検査端子の構成＞
以下に、第１検査端子１０３ａ及び第２検査端子１０３ｂの構成について、図１から図３に加えて、図４から図６を参照して、より詳細に説明する。図４（ａ）は、第１検査端子１０３ａ及び第２検査端子１０３ｂの構成について示す平面図であって、図４（ｂ）は、第１検査端子１０３ａと外部回路接続端子１０２の電気的な構成を示す図である。

また、図５は、本実施形態の液晶装置が、マザー基板上で製造されることを説明するための部分平面図であり、図６は、図５中、点線Ａ０によって囲まれる一部の構成を示す部分拡大平面図である。

本実施形態では、液晶装置の製造プロセスにおいて、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０が貼り合わせられること等によって組み立てられた後であって、外部回路が複数の外部回路接続端子１０２に接続或いは実装される前に、各表示素子についての、本発明に係る「貼合後検査」の一例としての表示検査が行われる。また、本実施形態では、このような表示検査に加えて、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の貼り合せ前に、各表示素子の駆動に係る電気的な検査として、例えば走査線２又はデータ線３の断線又は短絡の有無や、データ線駆動回路１０１や走査線駆動回路１０４の動作を確認するための各種検査が行われる。

本実施形態では、複数の第１検査端子１０３ａは、表示検査時及び貼合前検査時に用いられると共に、複数の第２検査端子１０３ｂは、貼合前検査時に用いられる。

図４（ａ）には、複数の第１検査端子１０３ａ及び複数の第２検査端子１０３ｂの構成と、これら第１及び第２検査端子１０３ａ及び１０３ｂと、対向基板２０及びシール材５２が形成されるシール領域５２ａとの配置関係について示してある。尚、図４（ａ）には、対向基板２０の配置例を、図１と同様に点線２００で囲まれる領域で示してある。

図４（ａ）において、対向基板２０より張り出したＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って配列された第１検査端子１０３ａには、表示検査時及び貼合前検査時に、複数の表示素子を、行毎又は列毎に選択するための各種信号が、第１検査信号として供給される。本実施形態では、複数の第１検査端子１０３ａには、外部回路接続端子１０２に供給される信号と同種類の、走査線駆動回路１０４を駆動するためのＹ側クロック信号ＣＬＹ及びその反転信号ＣＬＹｉｎｖ、２種のＹスタートパルスＤＹＬ若しくはＤＹＲ、更には２種のイネーブル信号ＥＮＢＹ１及びＥＮＢＹ２、２種の電源ＶＤＤ及びＶＳＳの各々が第１検査信号として供給される。

ここで、図４（ｂ）には、複数の第１検査端子１０３ａのうち、ＹスタートパルスＤＹＬ若しくはＤＹＲ（ＤＹ）が入力される第１検査端子１０３ａ及び外部回路接続端子１０２の電気的な構成について示してある。

図４（ｂ）に示すように、互いに同種のＹスタートパルスＤＹが入力される第１検査端子１０３ａ及び外部回路接続端子１０２は、抵抗素子７３を介して電気的に接続される。また、第１検査端子１０３ａに供給されたＹスタートパルスＤＹは、抵抗素子７３を介して、走査線駆動回路１０４に供給される。尚、抵抗素子７３は、例えば導電性ポリシリコン等の導電材料により、抵抗値が例えば２ｋΩ〜３ｋΩ程度となるように、形成される。

そして、本実施形態では、複数の第１検査端子１０３ａのうち、Ｙ側クロック信号ＣＬＹ及びその反転信号ＣＬＹｉｎｖ、２種のイネーブル信号ＥＮＢＹ１及びＥＮＢＹ２、電源ＶＤＤ及びＶＳＳが供給される、他の第１検査端子１０３ａについても、ＹスタートパルスＤＹが入力される第１検査端子１０３ａと同様に構成される。これにより、走査線駆動回路１０４を、表示検査時又は貼合前検査時に、第１検査端子１０３ａに供給される各種の信号により、製品完成後における通常駆動時と同様に駆動することが可能となる。

よって、本実施形態では、各表示素子の駆動について検査するために、液晶装置の駆動に係る配線等とは別に、新たな配線等を形成して電気回路を設ける必要がないため、ＴＦＴアレイ基板１０を小型化することが可能となる。また、同種類の信号が供給される外部回路接続端子１０２及び第１検査端子１０３ａについて、第１検査端子１０３ａに抵抗素子７３を電気的に接続させて、第１検査端子１０３ａ側を高抵抗にすることにより、液晶装置の製造後、搬送時や駆動時等において、使用されない第１検査端子１０３ａより静電気が浸入して、走査線駆動回路１０４が破壊されるのを防止することが可能となる。

また、複数の外部回路接続端子１０２は夫々、隣接する外部回路接続端子１０２との間隔ｄ０が、表示検査時又は貼合前検査時に、プローブによる電気的導通を行うのが困難な程度の値となるように、配列される。例えば、複数の外部回路接続端子１０２は、夫々、相隣接する外部回路接続端子１０２の間隔ｄ０が５０μｍ程度として、配列される。これにより、例えばシリアル−パラレル展開数が多いことなどにより外部回路接続端子１０２の総個数が多い場合にも、外部回路接続端子１０２の配列長を一定値以下に抑えられる。

また、各第１検査端子１０３ａは、隣接する第１検査端子１０３ａの間隔ｄ１ａが、複数の外部回路接続端子１０２の配列において隣接する外部回路接続端子１０２の間隔ｄ０と比較して、プローブにより精度良く電気的導通を行うことが可能な程度に、大きくなるように配列される。例えば、複数の第１検査端子１０３ａは夫々、相隣接する第１検査端子１０３ａの間隔ｄ１ａが１００μｍ程度として、配列される。更に、これに加えて、各第１検査端子１０３ａは、プローブとの電気的導通を精度良く行うことができる程度に、外部回路接続端子１０２より大きいサイズで形成されている。

また、図４（ａ）において、対向基板２０上に平面的に見て、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域において、対向基板２０によって覆われる帯状領域に配置された複数の第２検査端子１０３ｂには、貼合前検査時において、走査線駆動回路１０４を駆動した場合、走査線駆動回路１０４の最終段より出力されるエンドパルスＹＥＰや、図３に示す検査回路２０１を駆動するための検査用駆動信号ＴＸ１及びＴＸ２、及び検査回路２０１より出力される出力信号ＣＸ（ＣＸ１、ＣＸ２、・・・、ＣＸ８）の各々が、第２検査信号として入力される。

そして、複数の第２検査端子１０３ｂは夫々、第１検査端子１０３ａと同様に、隣接する第２検査端子１０３ｂの間隔ｄ１ｂが、複数の外部回路接続端子１０２の配列において隣接する外部回路接続端子１０２の間隔ｄ０と比較して、プローブにより精度良く電気的導通を行うことが可能な程度に、大きくなるように配列される。例えば、複数の第２検査端子１０３ｂは夫々、相隣接する第２検査端子１０３ｂの間隔ｄ１ｂが１００μｍ程度として、配列される。更に、これに加えて、第１検査端子１０３ａと同様に、各第２検査端子１０３ｂは、外部回路接続端子１０２より大きいサイズで形成されている。

ここで、本実施形態の液晶装置は、図５に示すようなマザー基板Ｓの上において、一挙に複数形成される形態がとられるものとする。即ち、マザー基板Ｓの上において、液晶装置が縦横それぞれにマトリクス状に配列されるように形成され、各液晶装置においては、それぞれ、図１から図４を参照して説明したような各種の構成要素（ＴＦＴや走査線２、データ線３等、或いは走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１等々）が形成されることになるのである。

ちなみに、図５において示されるマザー基板Ｓは、図１及び図２に示されるＴＦＴアレイ基板１０を複数含んでなる。即ち、図５に示すマザー基板Ｓ上には、ＴＦＴアレイ基板１０の側における各種の構成要素が形成され、これとは別に、図５には図示しないガラス基板の上に、対向電極２１、配向膜等々が形成されて、対向基板２０が複数形成され、各対向基板２０は個別に分断される。そして、マザー基板Ｓに形成されたＴＦＴアレイ基板１０の各々に、対向基板２０を個別に対向させて、一対のＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０について、個別に、シール材５２によって貼り合わせて貼り合せた後、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間に液晶を封入する。その後、マザー基板Ｓを分断することによって、図１及び図２に示したような各個別の液晶装置が製造されることになる。

ここで、図６に示すように、マザー基板Ｓにおいて各ＴＦＴアレイ基板１０の外周に沿って切断領域Ｃｔが設けられる。そして、マザー基板Ｓは、切断領域Ｃｔに対してダイシング或いはスクライビングが施されることにより分断される。

また、図４又は図６に示すように、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域において、複数の第２検査端子１０３ｂは、夫々、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、シール材５２が形成されるシール領域５２ａから外れた位置に配置される。或いは、複数の第２検査端子１０３ｂは、夫々、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、シール領域５２ａから少なくとも部分的に外れるように配置されるようにしてもよい。

よって、マザー基板Ｓ上で、各ＴＦＴアレイ基板１０においてシール材５２を、隣接するＴＦＴアレイ基板１０に形成されたシール材５２に対して間隔を開けて配置することが可能となる。

ここで、本実施形態の比較例について、図５の点線Ａ０によって囲まれる一部に対応する部分の拡大平面図を、図７に示してある。図７においては、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域において、複数の第２検査端子１０３ｂは、夫々、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、シール材５２が形成されるシール領域５２ａと重畳する位置に配置されている。

マザー基板Ｓ上において、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０を貼り合わせる際に、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々における対向面とは反対側の面に対して所定の圧力を加えて、ギャップを所定値に維持する。この際、図７に示す構成によれば、隣接するＴＦＴアレイ基板１０において、夫々、シール領域５２ａよりシール材５２が流出して接触し、このように接触した状態で硬化される恐れがある。そこで、図７の比較例において、相互に隣接するシール材５２が流出しても接触しない程度に両者を離間させておくことが好ましい。

本実施形態では、マザー基板Ｓ上で、相隣接するＴＦＴアレイ基板１０で、夫々、互いに間隔を開けてシール材５２を形成することができるため、これらＴＦＴアレイ基板１０同士でシール材５２が接触して硬化してしまう事態を防止することが可能である。

尚、複数の第１検査端子１０３ａには、第１検査信号として走査線駆動回路１０４を駆動するための信号が供給されるのに加えて、若しくは代えて、データ線駆動回路１０１を駆動するための信号が供給されるようにしてもよい。

また、複数の第２検査端子１０３ｂには、第２検査信号として、上述した各種信号に加えて若しくは代えて、走査線駆動回路１０４を駆動するための信号や、データ線駆動回路１０１を駆動するための信号が、夫々供給されるようにしてもよい。そして、貼合前検査は、第１検査端子１０３ａを用いずに、第２検査端子１０３ｂを用いて行うようにしてもよい。

＜３：液晶装置の検査＞
次に、図１から図４に加えて、図８及び図９を参照して、液晶装置における表示検査及び貼合前検査について説明する。図８は、表示検査における第１検査信号等の各種信号の供給について説明するための図であって、図９は、検査回路２０１の構成の一例を示す回路図である。

先ず、液晶装置において行われる表示検査について説明する。本実施形態では、表示検査時、液晶装置の画像表示領域１０ａにおいて、特定の画像表示として、例えば全画面一定輝度表示やストライプ表示を行うことにより、点欠陥や線欠陥について検査が行われる。ここで、特定の表示画面を表示させる、というよりは、単に各表示素子を駆動させて、点欠陥や線欠陥について検査を行うようにしてもよい。

本実施形態では、表示検査は、複数の外部回路接続端子１０２、及び複数の第１検査端子１０３ａを用いて行う。そして、表示検査時、図８に示すように、複数の外部回路接続端子１０２に対して、例えば異方性の導電性ゴムＧｍが電気的に接続され、一括して電気的導通が行われる。また、複数の第１検査端子１０３ａに対しては、夫々例えばプローブＰｒにより電気的導通が行われる。このように、比較的安価な導電性ゴムを用いて、電気的接続を行うことにより、ＴＦＴアレイ基板１０にダメージを与えるのを回避しつつ、電気的接続を良好に行うことが可能となる。また、導電性ゴムは低コストであるため、容易に取り替えることも可能であり、検査を低コストで行うことができる。

この際、複数の外部回路接続端子１０２には、導電性ゴムＧｍを介して一括して検査用画像信号が供給される。また、導電性ゴムＧｍによる電気的導通により、データ線駆動回路１０１が駆動されると共に、対向電極電位ＬＣＣが供給される。

また、表示検査時、複数の第１検査端子１０３ａには、夫々、プローブＰｒを介して、走査線駆動回路１０４を駆動するための各種信号が、第１検査信号として供給される。これにより走査線駆動回路１０４が駆動され、各走査線２に走査信号が供給される。

よって、表示検査時、複数の表示素子は、走査信号に基づいて行毎に選択され、データ線３を介して供給される検査用画像信号に基づいて、列毎に画像表示を行う。

次に、貼合前検査について説明する。尚、貼り合せ前においては、ＴＦＴアレイ基板１０上には、各表示素子の画素電極９ａが画像表示領域１０ａに形成され、且つ表示素子は形成されていない状態にある。

以下では、貼合前検査例として、走査線駆動回路１０４の動作の確認に係る検査と、データ線３の断線の有無に係る検査について説明する。

先ず、走査線駆動回路１０４の動作を確認する検査では、複数の第１検査端子１０３ａには、夫々、プローブを介して、走査線駆動回路１０４を駆動するための各種信号が、第１検査信号として供給される。これにより、走査線駆動回路１０４が駆動されて、エンドパルスＹＥＰが出力されて、第２検査端子１０３ｂに第２検査信号として供給される。

また、データ線３の断線の有無に係る検査は、検査回路２０１によって行われる。ここで、検査回路２０１の構成の一例について、図９を参照して説明する。

図９において、検査回路２０１には、複数のデータ線３に対応して、例えば片チャネル型ＴＦＴにより夫々形成される複数のスイッチング素子７５が形成されている。各スイッチング素子７５は、ソースがデータ線３に電気的に接続されると共に、ゲートが、検査用駆動信号ＴＸ１が供給される信号線２１０ａ及び検査用駆動信号ＴＸ２が供給される信号線２１０ｂのいずれかに電気的に接続される。また、各スイッチング素子７５のドレインは、８本の出力信号線２１２−１、２１２−２、・・・、２１２−８（２１２）のいずれかに電気的に接続される。

ここで、本実施形態では、図３において、サンプリング信号Ｓｉの出力順序に対応させて、複数のデータ線３を順次数えた場合、偶数番目に位置するデータ線３に電気的に接続されるスイッチング素子７５には、夫々、信号線２１０ａを介して検査用駆動信ＴＸ１が供給されると共に、奇数番目に位置するデータ線３に電気的に接続されるスイッチング素子７５には、夫々、信号線２１０ｂを介して検査用駆動信号ＴＸ２が供給される。

また、複数のスイッチング素子７５は、８個毎に、８本の出力信号線２１２−１、２１２−２、・・・、２１２−８に電気的に接続されるように構成されている。

そして、検査時において、信号線２１０ａ及び２１０ｂのいずれかには、第２検査端子１０３ｂを介して、プローブによる電気的導通により、検査用駆動信号ＴＸ１及びＴＸ２のいずれかが供給される。これにより、奇数番目及び偶数番目のいずれかのデータ線３に対応するスイッチング素子７５がオン状態となる。

また、表示検査と同様に、複数の外部回路接続端子１０２には、例えば導電性ゴムＧｍを介して一括して検査用画像信号が供給されると共に、データ線駆動回路１０１が駆動される。また、表示検査と同様に、複数の第１検査端子１０３ａには、走査線駆動回路１０４を駆動するための各種信号が、第１検査信号として供給され、走査線駆動回路１０４が駆動される。

その結果、各データ線３は駆動されることにより、検査用画像信号に応じた電位となる。そして、このデータ線３の電位を有する検出信号が、オン状態となったスイッチング素子７５のソースに入力されて、更に、スイッチング素子７５より出力信号ＣＸが、対応する出力信号線２１２に出力される。

尚、以上説明した表示検査又は貼合前検査において、複数の外部回路接続端子１０２のうち、液晶装置の駆動時に、画像信号ＶＩＤが供給される一部に、導電性ゴムを介して検査用画像信号が供給されると共に、第１検査端子１０３ａに、走査線駆動回路１０４を駆動するための信号に加えて若しくは代えてデータ線駆動回路１０１を駆動するための信号を第１検査信号として供給して、走査線駆動回路１０４に加えて若しくは代えてデータ線駆動回路１０１を駆動するようにしてもよい。

また、貼合前検査では、第２検査端子１０３ｂに供給される第２検査信号に基づいて、走査線駆動回路１０４又はデータ線駆動回路１０１を駆動するようにしてもよい。

よって、以上説明した本実施形態では、検査用画像信号を供給するために第１検査端子１０３ａを設ける必要がないため、第１検査端子１０３ａのみが表示検査時に用いられるような構成と比較して、第１検査端子１０３ａの数を少なくすることが可能となる。

また、対向基板２０上に平面的に見て、貼合後の検査である表示検査で用いられない第２検査端子１０３ｂは、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域に配置され、貼合後の検査である表示検査に用いられる第１検査端子１０３ａが、対向基板２０から張り出したＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域の一部に配置される。更に、これに加えて、貼合前検査時に、第１検査端子１０３ａ及び第２検査端子１０３ｂを用いることにより、第２検査端子１０３ｂのみを用いる場合と比較して、第２検査端子１０３ｂの数を少なくすることができる。よって、ＴＦＴアレイ基板１０の周辺領域において、第２検査端子１０３ｂを配置するための領域を小さくすることができる。

よって、本実施形態では、液晶装置において、ＴＦＴアレイ基板１０上の対向基板２０から張り出した部分において、第１検査端子１０３ａを配置するための領域を小さくすると共に、上述したように、第１検査端子１０３ａ及び第２検査端子１０３ｂを用いることにより帯状領域においても、省スペース化を図ることができる。その結果、液晶装置を小型化することが可能となる。

＜４：変形例＞
以上説明した本実施形態の変形例について、図１から図９に加えて、図１０から図１２を参照して説明する。

先ず、図１０を参照して、本変形例の一の構成ついて説明する。図１０は、本変形例の一の構成ついて、図６に対応する部分の構成を示す部分拡大平面図である。

図６において、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域において、複数の第２検査端子１０３ｂは、夫々、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、シール領域５２ａから少なくとも部分的に外れた位置に配置される。このように構成した場合も、図６に示す構成と同様に、マザー基板Ｓ上で、相隣接するＴＦＴアレイ基板１０で、夫々、互いに間隔を開けてシール材５２を形成することができるため、これらＴＦＴアレイ基板１０同士でシール材５２が接触して硬化してしまう事態を防止することが可能である。

次に、図１１及び図１２を参照して、本変形例の他の構成について説明する。図１１は、本変形例の他の構成について、図４（ａ）と同様に、第１検査端子及び第２検査端子の構成について示す平面図であって、図１２（ａ）から図１２（ｃ）は、本変形例の他の構成について、図６に対応する部分において、第２検査端子の配置に係る構成を示す部分拡大平面図である。尚、図１２（ａ）から図１２（ｃ）には、夫々、マザー基板Ｓ上で相隣接するＴＦＴアレイ基板１０について、第２検査端子の配置に係る構成を示してある。

先ず、図１１に示すように、ＴＦＴアレイ基板１０上の帯状領域において、複数の第２検査端子１０３ｂは、外部回路接続端子１０２等が配列された、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿って、配列されるようにしてもよい。

ここで、図１又は図４（ａ）を参照して説明したように、複数の第２検査端子１０３ｂが、外部回路接続端子１０２等が配列された、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺のいずれかに沿って配列される場合において、マザー基板Ｓにおいて相隣接するＴＦＴアレイ基板１０Ｌ及び１０Ｒのうち、図１２（ａ）中、左側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｌに形成された複数の第２検査端子１０３ｂｌの少なくとも一部は、マザー基板Ｓ上で、切断領域Ｃｔに少なくとも部分的に配置される。尚、図１２（ａ）中には図示していないが、同図中、右側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｒ上に形成された第２検査端子１０３ｂについても、左側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｌの第２検査端子１０３ｂｌと同様に配置されるのが好ましい。

或いは、図１１に示すように、複数の第２検査端子１０３ｂが、画像表示領域１０ａを挟んでその両側に位置するＴＦＴアレイ基板１０の２辺に沿って、配列される場合に、図１２（ｂ）中、マザー基板Ｓにおいて相隣接するＴＦＴアレイ基板１０Ｌ及び１０Ｒのうち、左側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｌの一辺に形成された第２検査端子１０３ｂｌのうち少なくとも一部が切断領域Ｃｔに配置されると共に、これらの第２検査端子１０３ｂｌと共に配列されて、右側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｒの一辺に形成された第２検査端子１０３ｂｒのうち少なくとも一部が切断領域Ｃｔに配置される。

更には、複数の第２検査端子１０３ｂが、画像表示領域１０ａを挟んでＴＦＴアレイ基板１０の２辺に沿って配列される場合に、図１２（ｃ）中、マザー基板Ｓにおいて相隣接するＴＦＴアレイ基板１０Ｌ及び１０Ｒのうち、左側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｌの一辺に形成された第２検査端子１０３ｂｌのうち少なくとも一部が切断領域Ｃｔに配置されると共に、右側に配置されたＴＦＴアレイ基板１０Ｒの一辺に形成された第２検査端子１０３ｂｒのうち少なくとも一部が切断領域Ｃｔに配置される。そして、切断領域Ｃｔに配置された、左側のＴＦＴアレイ基板１０Ｌの第２接続端子１０３ｂｌ及び右側のＴＦＴアレイ基板１０Ｒの第２接続端子１０３ｂｒは夫々、１個ずつ互い違いに配列される。

以上説明したように、図１２（ａ）から図１２（ｃ）に示す構成によれば、夫々、切断領域Ｃｔに配置された第２検査端子１０３ｂｌ及び１０３ｂｒの各々は、マザー基板Ｓを分断する際に、少なくとも一部が切断される。これにより、液晶装置において、複数の第２検査端子１０３ｂのうち少なくとも一部は、第２検査端子１０３ｂが配列されたＴＦＴアレイ基板１０の一辺において切断されて形成される。よって、このような構成によれば、マザー基板Ｓ上において切断領域Ｃｔを有効に利用することで、ＴＦＴアレイ基板１０を小型化することが可能となる。

＜５；電子機器＞
次に、上述した液晶装置が各種の電子機器に適用される場合について説明する。

＜５−１：プロジェクタ＞
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図１３は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。この図に示されるように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。

液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等であり、外部回路（図示省略）から外部回路接続端子１０２に供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。

ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。

なお、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。

＜５−２：モバイル型コンピュータ＞
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図１４は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。

図１４において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。この液晶表示ユニット１２０６は、先に述べた液晶装置１００５の背面にバックライトを付加することにより構成されている。

＜５−３；携帯電話＞
さらに、この液晶パネルを、携帯電話に適用した例について説明する。図１５は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。

図１５において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、半透過反射型の液晶装置１００５を備えるものである。この半透過反射型の液晶装置１００５にあっては、必要に応じてその背面にバックライトが設けられる。

尚、図１３から図１５を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及びその検査方法、並びにこのような電気光学装置を備えた電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

なお、本発明が適用可能な電気光学装置としては、上述した実施形態の液晶装置の他に、ＬＣＯＳなどの反射型液晶装置、プラズマディスプレイ、電子放出ディスプレイ、電気泳動ディスプレイなどが挙げられる。

本実施形態における液晶装置の全体構成を表す平面図である。 図１のＨ−Ｈ’断面図である。 液晶装置の電気的な構成を示すブロック図である。 図４（ａ）は、第１検査端子及び第２検査端子の構成について示す平面図であって、図４（ｂ）は、第１検査端子と外部回路接続端子の電気的な構成を示す図である。 本実施形態の液晶装置が、マザー基板上で製造されることを説明するための部分平面図である。 図５中、点線Ａ０によって囲まれる一部の構成を示す部分拡大平面図である。 本実施形態の比較例について、図５の点線Ａ０によって囲まれる一部に対応する部分の構成を示す拡大平面図である。 表示検査における第１検査信号等の各種信号の供給について説明するための図である。 検査回路の構成の一例を示す回路図である。 本変形例の一の構成ついて、図６に対応する部分の構成を示す部分拡大平面図である。 本変形例の他の構成について、図４（ａ）と同様に、第１検査端子及び第２検査端子の構成について示す平面図である。 図１２（ａ）から図１２（ｃ）は、本変形例の他の構成について、第２検査端子の配置に係る構成を示す部分拡大平面図である。 液晶装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。 液晶装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 液晶装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１０…ＴＦＴアレイ基板、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、５０…液晶層、１０２…外部回路接続端子、１０３ａ…第１検査端子、１０３ｂ…第２検査端子。

Claims (10)

1. 素子基板と、
   前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合わせられる対向基板と、
   前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、
   前記素子基板上における前記画素領域の周辺に位置する周辺領域のうち前記張出領域に配列され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む各種信号が外部回路から供給される複数の外部回路接続端子と、
   前記張出領域において、前記複数の外部回路接続端子の配列の端に配置されており、検査信号が供給される複数の検査端子と
   を備えており、
   前記複数の検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されており、
   前記複数の検査端子は、前記検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される同種類端子を含み、
   該同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、
   前記検査信号のうち前記同種類の信号は、前記素子基板及び前記対向基板の貼り合わせ後に行われる貼合後の検査の際に、前記同種類端子から前記抵抗素子を介して供給される
   ことを特徴とする電気光学装置。
2. 前記複数の検査端子は、前記複数の外部回路接続端子の配列の両端において、前記複数の外部回路接続端子の配列の延長線上に配列されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 素子基板と、
   前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合わせられる対向基板と、
   前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、
   前記素子基板上における前記張出領域であって前記画素領域の周辺に位置する周辺領域のうち一辺に沿って配列され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む各種信号が外部回路から供給される複数の外部回路接続端子と、
   前記張出領域において、前記複数の外部回路接続端子の配列の端に配置されており、前記素子基板及び前記対向基板の貼り合わせ後に行われる検査のために必要となる第１検査信号が供給される複数の第１検査端子と、
   前記周辺領域のうち前記一辺を除く他の辺に沿った周辺部分領域であって前記素子基板及び前記対向基板が貼り合せられた後には前記対向基板により覆われる領域に、少なくとも部分的に配置されており、前記貼り合わせ前に行われる検査のために必要となる第２検査信号が供給される複数の第２検査端子と
   を備え、
   前記複数の第１検査端子は、前記第１検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される第１同種類端子を含み、
   該第１同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、
   前記第１検査信号のうち前記同種類の信号は、前記貼合後の検査の際に、前記第１同種類端子から前記抵抗素子を介して供給される
   ことを特徴とする電気光学装置。
4. 前記複数の第１検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されており、
   前記複数の第２検査端子は、前記複数の外部回路接続端子同士の間隔と比較して広い間隔で配置されていることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
5. 前記素子基板は、前記素子基板を複数含む大型基板において、前記素子基板毎に前記対向基板と対向するように貼り合わせられ、前記素子基板と対向基板とが貼り合せられた後に、前記大型基板を前記素子基板毎に分断することにより形成され、
   前記複数の第２検査端子のうち少なくとも一部は、前記周辺部分領域に代えて又は加えて、前記大型基板が分断される際に分断される箇所に重なって形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の電気光学装置。
6. 前記素子基板上で平面的に見て前記画素領域を囲むシール領域において、前記素子基板及び前記対向基板を相互に貼り合わせるシール材を更に備え、
   前記複数の第２検査端子は、前記シール領域内に少なくとも部分的に配置されていること
   を特徴とする請求項３から５のいずれか一項に記載の電気光学装置。
7. 前記複数の第１検査端子は、少なくとも部分的に、前記貼合後の検査の際に加えて前記貼合前の検査の際にも用いられ、
   前記複数の第２検査端子は、前記貼合前の検査の際に前記第１検査端子に供給される第１検査信号とは異なる検査信号が前記第２検査信号として供給される端子であることを特徴とする請求項３から６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
8. 前記複数の第２検査端子は、前記第２検査信号として、前記各種信号の少なくとも一つと同種類の信号が供給される第２同種類端子を含み、
   該第２同種類端子は、前記複数の外部回路接続端子のうち前記各種信号の少なくとも一つが供給される前記外部回路接続端子と抵抗素子を介して電気的に接続されており、
   前記第２検査信号のうち前記同種類の信号は、前記貼合前の検査の際に、前記第２同種類端子から前記抵抗素子を介して供給されること
   を特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
9. 素子基板と、前記素子基板の一部が張出領域において張り出すように前記素子基板と貼り合わせられる対向基板と、前記素子基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、を有する電気光学装置であって、
   前記素子基板上における前記張出領域に配置され、前記複数の画素部に画像表示させるための画像信号及び制御信号を含む信号が外部回路から供給される外部回路接続端子と、
   抵抗素子と、
   前記張出領域に配置され、検査信号が供給されるとともに、前記外部回路接続端子に前記抵抗素子を介して接続された検査端子と
   を備える
   ことを特徴とする電気光学装置。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。

Images