JP2005181705A

JP2005181705A - 電気光学装置用基板、電気光学装置、検査装置、電子機器、検査方法及び電気光学装置の製造方法

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Publication number: JP2005181705A
Application number: JP2003422699A
Authority: JP
Inventors: Shigekazu Tanaka; 重和田中; Chisako Suganuma; 千砂子菅沼
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-12-19
Filing date: 2003-12-19
Publication date: 2005-07-07

Abstract

【課題】
プローブ端子を形成する手間及びコストを軽減することができる電気光学装置、その電気光学装置に用いられる電気光学装置用基板、その電気光学装置に用いられる検査装置、その電気光学装置が搭載された電子機器、その電気光学装置の検査方法及びその電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】
出力端子群８、９のそれぞれと電気的に接続され所定のピッチに配列された検査端子群１７、１８を有し、出力端子群８に電気的に接続された例えば検査端子１７ａと出力端子群９に電気的に接続された例えば検査端子１８ａとの距離がそのピッチの整数倍の長さになるように、基板２上に設けられた検査端子群１７、１８を具備するので、プローブ端子のピッチを例えば検査端子群１７のピッチｄに合わせるだけで、検査の際に各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば携帯電話、携帯情報端末等に用いられる電気光学装置、その電気光学装置に用いられる電気光学装置用基板、その電気光学装置の検査に用いられる検査装置、その電気光学装置が搭載された電子機器、その電気光学装置の検査方法及びその電気光学装置の製造方法に関する。

携帯電話や携帯情報端末等に搭載される、例えば液晶装置等の電気光学装置を製造する過程では、基板に形成された配線同士のショート検査が行われる。例えば駆動用ドライバと接続される配線のショート検査の場合、検査の対象となる配線にそれぞれ検査端子を接続させておき、検査装置のプローブ端子群をこの検査端子群に接触させてショート検査を行う。（例えば、特許文献１参照。）
特開平１０−２５３９８０号公報

しかしながら、このような検査端子群は基板の空きスペースに応じて形成されるだけなので、２個以上の駆動用ドライバを有する電気光学装置では、それぞれの駆動用ドライバに形成される検査端子群同士の間隔が異なる場合もある。このため、一つ一つの検査装置について、検査端子群の間隔に合うようにプローブ端子を配列して形成する必要があり、莫大な手間とコストを要するという問題があった。

上記事情に鑑み、本発明は、プローブ端子を形成する手間及びコストを軽減することができる電気光学装置、その電気光学装置に用いられる電気光学装置用基板、その電気光学装置に用いられる検査装置、その電気光学装置が搭載された電子機器、その電気光学装置の検査方法及びその電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る電気光学装置用基板は、第１の接続端子群と、第２の接続端子群と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする。

ここで「離間する」とは、第１の検査端子群と第２の検査端子群とが互いに離間していることをいう。また、「電気光学装置用基板」とは、例えばＥＬ装置の基板や第１及び第２の検査端子群や電気的配線等が配置されたガラス基板等をいう。

本発明では、第１の接続端子群と、第２の接続端子群と、所定の間隔で端子が配列されてなり、この第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、第２の接続用端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、第１の検査端子群は、第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、この離間した間隔は、第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であるので、例えば第１及び第２の検査端子の端子同士の間隔が異なる場合であっても、電気光学装置の検査を行う際に用いるプローブ端子のピッチを第１の検査端子群のピッチに合わせるようにすれば、プローブ端子が第１及び第２の検査端子群に接触し、検査の際に各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１及び第２の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。

本発明の一の形態によれば、前記第２の検査端子群は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の１倍の間隔で端子が配列されてなることを特徴とする。これにより、第１及び第２の検査端子の端子同士の間隔が同じ場合でも、電気光学装置の検査を行う際に用いるプローブ端子のピッチを第１の検査端子群のピッチに合わせるようにすれば、検査の際に各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１及び第２の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、前記第１の基板に実装され、前記第１及び第２の接続端子群とそれぞれ電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第１及び第２の電子部品と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする。

本発明では、所定の間隔で端子が配列されてなり、第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、この第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、第１の検査端子群は、第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、この離間した間隔は、第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であるので、例えば電気光学装置の検査を行う際に用いるプローブ端子のピッチを第１の検査端子群のピッチに合わせるだけで、検査の際に各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１及び第２の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。

本発明の一の形態によれば、前記第１の基板上で前記第１及び第２の接続端子群の間に設けられ、前記第１の電極群と電気的に接続された第３の接続端子群と、前記第１の基板に実装され、前記第３の接続端子群と電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第３の電子部品と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第３の接続端子群に電気的に接続されてなる第３の検査端子群とを備え、前記第３の検査端子群は、前記第１及び前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、前記第１及び前記第２の検査端子群の間に離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする。これにより、例えば電気光学装置の検査を行う際に用いるプローブ端子のピッチを第１の検査端子群のピッチに合わせるだけで、検査の際に各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１、第２及び第３の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。また、第１及び第２の電極群、第１、第２及び第３の接続端子群についてショート検査をまとめて行うことができるので、検査工程を短縮することができる。

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、前記第１の基板と接続され、表面に前記第１及び第２の電極群に夫々電気的に接続された第３及び第４の電極群が設けられた第３の基板と、前記第３の基板上に設けられ、前記第４の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、前記第３の基板上に設けられ、前記第４の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、前記第３の基板に実装され、前記第１及び第２の接続端子群とそれぞれ電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第１及び第２の電子部品と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする。

本発明では、例えばＣＯＦ（ＣｈｉｐＯｎＦｉｌｍ）等、フレキシブル基板が接続される電気光学装置の検査の際にも各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１及び第２の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。

本発明の一の形態によれば、前記第３の基板で前記第１及び第２の接続端子群の間に設けられ、前記第３の電極群と電気的に接続された第３の接続端子群と、前記第３の基板に実装され、前記第３の接続端子群と電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第３の電子部品と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第３の接続端子群に電気的に接続されてなる第３の検査端子群とを備え、前記第３の検査端子群は、前記第１及び前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする。

本発明の別の観点に係る検査装置は、上記の電気光学装置用基板又は上記の電気光学装置の前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群を具備することを特徴とする。

本発明では、プローブ端子群のピッチが上記の電気光学装置の第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されているので、検査の際に各電気光学装置で共通のプローブ端子を用いることができる。これにより、一つ一つの検査装置について、第１及び第２の検査端子群の間隔に合わせてプローブ端子を配列する手間及びコストを軽減させることができる。

本発明の一の形態によれば、前記プローブ端子群は、前記第１及び第２の検査端子群に対応する位置に配列され、前記対応する位置ごとに、それぞれ前記検査端子群の端子数よりも多くの端子数が設けられていることを特徴とする。これにより、プローブ端子群と第１及び第２の検査端子群との位置合わせの際にプローブ端子群がずれても、第１及び第２の検査端子群と接触することができる。

本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置用基板を用いた電気光学装置又は上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

本発明の別の観点に係る検査方法は、電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍である電気光学パネルの前記第１及び第２の検査端子群と、前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群との位置合わせをする工程と、前記プローブ端子群を前記第１及び第２の検査端子群に接触させる工程と、前記プローブ端子群に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記第２の電極群の電気的良否を検出する工程とを具備することを特徴とする。

ここで、電気光学パネルとは、電子部品が実装されない状態の電気光学パネルをいうものとする。

本発明によれば、第１及び第２の検査端子群と、第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群との位置合わせをする工程と、プローブ端子群を第１及び第２の検査端子群に接触させる工程と、プローブ端子群に所定の電圧を印加することにより、少なくとも第２の電極群の電気的良否を検出する工程とを具備するので、それぞれの電気光学パネルについて、等ピッチに配列された第１及び第２の検査端子群に対して共通のプローブ端子群を用いて検査を行うことができる。これにより、一つ一つの電気光学パネルに合わせてプローブ端子群を配列する手間を省くことができ、検査工程を短縮することができる。

本発明の別の観点に係る電気光学装置の製造方法は、第１及び第２の基板間に電気光学材料を狭持する電気光学装置の製造方法であって、前記第１及び第２の基板上に夫々第１及び第２の電極群を形成する工程と、前記第１の基板上に前記第２の電極群の一群に電気的に接続される第１の接続端子群及び前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続される第２の接続端子群を形成する工程と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群を形成する工程と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍の間隔で前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、かつ、離間して配列され、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍の間隔で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群を形成する工程と、前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群を前記第１及び第２の検査端子群に接触させて電気的検査を行う工程と、前記第１及び第２の接続端子群と夫々電気的に接続するバンプ接続端子群を実装面に有する第１及び第２の電子部品を前記第１の基板上に実装する工程とを具備することを特徴とする。

本発明によれば、第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群をこの検査端子群に接触させて電気的検査を行う工程を具備しているが、この電気的検査を行う工程で第１及び第２の検査端子群に対して共通のプローブ端子群を用いて検査を行うことができるので、一つ一つの電気光学パネルに合わせてプローブ端子群を配列する手間を省くことができ、検査工程を短縮することができる。これにより、製造工程自体を短縮することができる。

以上のように、本発明によれば、プローブ端子を形成する手間及びコストを軽減することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。

図１は、本発明に係る液晶装置１の構成を示す斜視図である。

液晶装置１は、シール材４を介して対向するように貼り合わされた第１の基板としての基板２及び第２の基板としての基板３と、両基板及びシール材４の間隙に封止された液晶（図示省略）とを有する。必要に応じてバックライト等の照明装置やその他の付帯機器が付設される（図示省略）。ここで、液晶装置１としては、ＴＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型、ＴＦＤ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＤｉｏｒｄ：薄膜ダイオード）アクティブマトリクス型の液晶装置などのいずれであってもよく、更に本発明は液晶装置に限らず他の電気光学装置、例えば無機あるいは有機のエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置などにも適用可能である。

以下、液晶装置１としてＴＦＤアクティブマトリクス型を例にあげて説明する。

基板２及び基板３は、例えばガラスや合成樹脂といった透光性を有する材料からなる板状部材である。基板２の内側（液晶側）表面にはＸ方向に電極群の一群としての信号電極５が形成され、図示しない画素電極が画素ごとに形成されている。一方、基板３の内側表面には、Ｙ方向に電極群の別の一群として走査電極６が形成されている。走査電極６は、例えば図１に示すように上半分が左側に、下半分が右側に引き廻されて形成される。信号電極５及び走査電極６は、例えばＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）などの透明導電材料によって形成される。また、各画素ごとに、信号電極５及び画素電極に電気的に接続された薄膜ダイオードＤが設けられる。

また、基板２は、基板３の外周縁から張り出した領域（以下、「張り出し部」と表記する）２ａを有する。張り出し部２ａの面上には、第３の接続端子群としての出力端子群７、第１の接続端子群としての出力端子群８、第２の接続端子群としての出力端子群９、入力端子群１０、１１、１２等が形成され、第３の電子部品としての液晶駆動用のＸドライバ１３、第１の電子部品としてのＹドライバ１４、及び第２の電子部品としてのＹドライバ１５が実装されている。信号電極５はそれぞれ出力端子群７に延在して電気的に接続され、走査電極６はそれぞれ延在して出力端子群８、９に電気的に接続される。

図２は、液晶装置１の張り出し部２ａを拡大した平面図である。説明の便宜上、ＸドライバＩＣ１３及びＹドライバＩＣ１４、１５は、破線で示してある。

ＸドライバＩＣ１３及びＹドライバＩＣ１４、１５は、バンプ電極群（１３ａ〜１５ａ、１３ｂ〜１５ｂ）を有する。このバンプ電極群は、例えばＡＣＦ（異方性導電膜：ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ）等を介して出力端子群７、８、９及び入力端子群１０、１１、１２と電気的に接続される。第３の検査端子群としての検査端子群１６、第１の検査端子群としての検査端子群１７及び第２の検査端子群としての検査端子群１８は、それぞれ出力端子群７、８、９に電気的に接続されるように例えば短冊状に形成される。検査端子群１６、１７、１８のそれぞれの検査端子は、例えば基板２の上に下地層としてタンタルによる層を形成し、その上に検査端子の本体としてクロムによる層を積層し、更にその上をＩＴＯによる層で被覆する構造となっている。タンタルの層を形成することによりクロムの層をより安定して形成できると共に、ＩＴＯの層で覆うことにより検査用のプローブ端子の接触が良好となり、クロムの層に傷がつくことを防ぐことができる。勿論検査端子群１６、１７、１８はこの構成に限られるものではない。検査端子群１７及び検査端子群１８のそれぞれの検査端子は隣接する検査端子とのピッチがｄとなるように配列される。ｄは例えば２０μｍ〜７０μｍである。検査端子群１７及び１８は、検査端子群１７の１端子である例えば検査端子１７ａと検査端子群１８の１端子である例えば検査端子１８ａとの間隔がピッチｄの整数倍となるように配置される（Ｎ×ｄ：Ｎは整数）。したがって、検査端子群１７、１８は、それぞれの検査端子が同一ピッチｄ上に並ぶように配列される。

図３は、検査装置１９の概略図である。

検査装置１９は、上記の液晶装置１の例えば出力端子群７、８、９や、信号電極５、走査電極６等の配線間に電気的短絡（ショート）が生じているかどうかを検査するものであり、本体２０と、プローブ端子群２１とを有する。本体２０には、検査用の駆動信号を供給する回路基板（図示せず）や、例えば走査電極６等の配線間に電気的短絡がある場合に点灯するランプ（図示せず）等が設けられる。プローブ端子群２１は、例えばニッケル合金等の導電性材料によりピン状に形成され、一端が回路基板に電気的に接続される。プローブ端子群２１は、検査端子群１７、１８と等ピッチｄとなるように配列され、検査端子群１７及び１８と接触する部分に集中して設けられる（２１ａ、２１ｂ）。また、プローブ端子群は、検査端子群１６及び１８の本数よりもそれぞれ多くなるように設けられる。

図４は、検査装置１９を用いたショート検査の工程を含む液晶装置１の製造工程を示すフローチャートである。

液晶装置１の製造工程は、電気光学パネルを形成する工程（ステップ４０１）と、検査端子群１７及びプローブ端子群２１を位置合わせする工程（ステップ４０２）と、プローブ端子群２１を検査端子群１７に接触する工程（ステップ４０３）と、ショートの有無を判断する工程（ステップ４０４）と、電気光学パネルに駆動用ドライバを実装する工程（ステップ４０５）とを有する。

ステップ４０１では、基板２上に信号電極５、出力端子群７、８、９、入力端子群１０、１１、１２及び検査端子群１７、１８、１９を形成し、基板３上に走査電極６を形成した後、基板２上にスペーサを散布し、シール材４を介して基板２及び３を貼り合わせて電気光学パネルを形成する。ここで電気光学パネルとは、ＸドライバＩＣ１３やＹドライバＩＣ１４、１５等を実装していない状態の電気光学パネルをいうものとする。

ステップ４０２からステップ４０４までは、検査工程である。プローブ端子群２１ａと検査端子群１７、プローブ端子群２１ｂと検査端子群１８との位置が対応するように位置合わせをする。そして、図５に示すように、プローブ端子群２１ａ、２１ｂをそれぞれ検査端子群１７、１８に接触させる。この状態で、プローブ端子群２１ａ、２１ｂに所定の電圧を印加し、上述したランプが点灯するかどうかを検出する。例えば検査端子群１７、１８に電気的に接続された走査電極６、出力端子群８、９等の電極間にショートが発生していれば、上述したランプが点灯する。尚、検査端子群１６に電気的に接続された信号電極５、出力端子群７等の電極間のショート検査も同様に行われる。

ステップ４０４では、例えば図示しないＡＣＦ等を介してＸドライバＩＣ１３及びＹドライバＩＣ１４、１５を張り出し部２ａの所定の位置に熱圧着する。

従来では、液晶装置１の製造段階において、出力端子群７、８、９、入力端子群１０、１１、１２及び検査端子群１６、１７、１８は、張り出し部２ａの空きスペースに応じて形成されるので、図６に示すように、出力端子群７、８、９、検査端子群１６、１７、１８のＹ方向の位置が液晶装置１によって異なる場合がある。そうなると、出力端子群７、８、９及び検査端子群１６、１７、１８の間隔が液晶装置１によって異なるため、特に検査端子群１７、１８の間隔に合わせて検査用プローブを一つ一つ作製しなければならない。

本実施形態によれば、出力端子群８、９のそれぞれと電気的に接続され所定のピッチに配列された検査端子群１７、１８を有し、出力端子群８に電気的に接続された例えば検査端子１７ａと出力端子群９に電気的に接続された例えば検査端子１８ａとの距離がそのピッチの整数倍の長さになるように、基板２上に設けられた検査端子群１７、１８を具備するので、プローブ端子のピッチを例えば検査端子群１７のピッチｄに合わせるだけで、検査の際に各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。これにより、プローブ端子群２１を作製する手間及びコストを軽減させることができる。

なお、本実施形態では、検査端子群１７及び検査端子群１８の検査端子がそれぞれ等ピッチで配列されると説明してきたが、例えば検査端子群１７、１８の近傍に引き廻される配線の占める領域がそれぞれの検査端子群１７、１８近傍で異なるような場合には、当該配線の引き廻しを容易にするため、検査端子群１７のピッチと検査端子群１８のピッチとが異なるようにしてもよい。また、本実施形態では、ＹドライバＩＣ１４、１５には同一のドライバを用いているが、例えば液晶装置１に多種多様な表示機能を持たせたい場合等に、例えば互いに機能等が異なるＹドライバＩＣ１４、１５を用いることができる。この場合、Ｙドライバ１４、１５に形成されるバンプ電極群１４ａ、１５ａのピッチがそれぞれ異なり、出力端子群８、９のピッチもそれぞれ異なることがあるが、これにともなって検査端子群１７のピッチと検査端子群１８のピッチとが異なるようにしてもよい。

検査端子群１７のピッチと検査端子群１８のピッチとを異ならせる場合、検査端子群１７及び１８のピッチは、一方の検査端子群のピッチが他方の検査端子群のピッチの整数倍（例えば２倍、３倍）となるようにする。これにより、プローブ端子群２１のピッチを、検査端子群１７、１８のうち狭い方のピッチと同一にすれば、プローブ端子群２１が検査端子群１７、１８に漏れなく接触することができるので、検査の際には各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。また、検査端子群１７、１８のピッチをそれぞれ異ならせることで、例えば、配線引き廻しの自由度を向上させて容易に配線を形成することができ、異なるＹドライバＩＣ１４、１５を用いることで、液晶装置１の表示機能の自由度を向上することができる。

（第２実施形態）

図７は、本発明の第２の実施形態に係る液晶装置及び検査装置を示す図である。

本実施形態においては、出力端子群８、９（走査電極６側）の検査端子群１７、１８に加えて、第３の接続端子群としての出力端子群７（信号電極５側）の検査端子群１６についても検査端子群１７、１８のピッチと同一ピッチ（例えばｄ）となるように配列され、検査端子群１６ａと検査端子１７ａとの距離及び検査端子群１６ａと検査端子１８ａとの距離がピッチｄの整数倍の長さになるように配列された構成となっている（Ｎ１×ｄ、Ｎ２×ｄ：Ｎ１、Ｎ２は整数）。したがって、検査端子群１６、１７、１８は、それぞれの検査端子が同一ピッチｄ上に並ぶように配列される。

また、検査装置１９について、プローブ端子群２１は、検査端子群１７及び１８と接触する部分に加えて、検査端子群１６と接触する部分にも集中して設けられている（２１ｃ）。プローブ端子群２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、検査端子群１６、１７、１８のピッチｄと同一のピッチｄとなるように配列されており、検査端子群１６、１７、１８の本数よりもそれぞれ多くなるように設けられている。

本実施形態の構成によれば、出力端子群７の検査端子群１６についても検査端子群１７、１８のピッチと同一ピッチｄとなるように配列され、検査端子群１６ａと検査端子１７ａとの距離及び検査端子群１６ａと検査端子１８ａとの距離がピッチｄの整数倍の長さになるように配列された構成となっているので、プローブ端子群２１のピッチを検査端子群１６、１７、１８のピッチｄに合わせるだけで、検査の際に各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。これにより、プローブ端子群２１を作製する手間及びコストを軽減させることができる。また、信号電極５と電気的に接続される配線のショート検査と走査電極６と電気的に接続される配線のショート検査とを一度に行うことができるので、検査工程の短縮が可能となる。

（第３実施形態）

図８は、本発明の第３の実施形態に係る液晶装置を示す図である。本実施形態では、基板２及び基板３のそれぞれに張り出し部２ａ及び３ａが設けられ、信号電極５に電気的に接続される出力端子群７が張り出し部２ａに形成され、走査電極６に電気的に接続される出力端子群８、９が張り出し部３ｂに形成されている。

また、検査端子群１７及び検査端子群１８のそれぞれの検査端子は隣接する検査端子とのピッチがｄとなるように配列され（ｄは例えば４０μｍ〜１００μｍ）、検査端子群１７及び１８は、検査端子群１７の１端子である例えば検査端子１７ａと検査端子群１８の１端子である例えば検査端子１８ａとの間隔Ｄがピッチｄの整数倍となるように配置される（Ｎ×ｄ：Ｎは整数）。したがって、検査端子群１７、１８は、それぞれの検査端子が同一ピッチｄ上に並ぶように配列される。

本実施形態のような構成であっても、等ピッチに配列された検査端子群１７、１８を有し、出力端子群８と電気的に接続された例えば検査端子１７ａと出力端子群９と電気的に接続された例えば検査端子１８ａとの距離がそのピッチの整数倍の長さになるように、基板２上に設けられた検査端子群１７、１８を具備するので、プローブ端子群２１のピッチを検査端子群１７、１８のピッチｄに合わせるだけで、検査の際に各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。これにより、プローブ端子群２１を作製する手間及びコストを軽減させることができる。

（第４実施形態）

図９は、本発明の第４の実施形態に係る液晶装置を示す図である。本実施形態では、基板２にフレキシブル基板Ｆ１が電気的に接続されており（ＣＯＦ（ＣｈｉｐＯｎＦｉｌｍ））、基板２側の信号電極５及び走査電極６とフレキシブル基板Ｆ１側の出力端子群７、８、９とが第３及び第４の電極群としての配線を介して電気的に接続されている。検査端子群１６、１７、１８は、出力端子群７、８、９と電気的に接続されている。

このように、ＣＯＦ型の液晶装置１のショート検査の際にも、等ピッチｄ（ｄは例えば３８μｍ〜８０μｍ）に配列された検査端子群１７、１８を有し、出力端子群８と電気的に接続された例えば検査端子１７ａと出力端子群９と電気的に接続された例えば検査端子１８ａとの距離がそのピッチの整数倍の長さになるように（Ｎ×ｄ：Ｎは整数）、フレキシブル基板Ｆ１上に設けられた検査端子群１７、１８を具備するので、プローブ端子群２１のピッチを検査端子群１７、１８のピッチｄに合わせるだけで、検査の際に各液晶装置１で共通のプローブ端子群２１を用いることができる。これにより、プローブ端子群２１を作製する手間及びコストを軽減させることができる。

（電子機器）

図１０は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話を示す。この携帯電話６００は、操作部６０１と、表示部６０２とを有する。操作部６０１の前面には複数の操作ボタンが配列され、送話部の内部にマイクが内蔵されている。また、表示部６０２の受話部の内部にはスピーカが配置されている。

上記の表示部６０２においては、ケース体の内部に上述の液晶装置１が実装されている。ケース体内に設置された液晶装置１は、表示窓６０Ａを通して表示面を視認することができるように構成されている。

なお、本発明に係る液晶装置を適用可能な他の電子機器としては、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置，ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる。

本発明は、以上説明した実施形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。

例えば、図１１に示すように、検査用のプローブ端子としては上述のようにピン状になっているものに限られるものではなく、例えば図１１に示すようにフレキシブル基板Ｆ２上に検査端子群１７、１８のピッチと同一のピッチに配線３０を形成し、その上にプローブ端子であるプローブ端子バンプ群３１が形成されているようにしてもよい。一つの配線及びプローブ端子バンプとその隣の配線及びプローブ端子バンプとの間には例えばポリイミド等からなる絶縁層３２が形成された構造となっている。これを検査端子群１７、１８の上に図１１に示すようにプローブ端子バンプ群３１を接触させることによっても、電気的検査は可能である。例えば検査端子群１７、１８が精細に形成される場合、プローブ端子バンプ群３１も精細に形成する必要があるが、特にフレキシブル基板Ｆ２上にプローブ端子バンプ群３１を形成することで、容易にかつ低コストで製造できる。

本発明に係る液晶装置の実施形態の全体構成を示す概略斜視図である。本実施形態に係る液晶装置の張り出し部を示す概略平面図である。本実施形態に係る検査装置の構成を示す概略平面図である。検査の工程を示すフローチャートである。プローブ端子を検査端子に接触させた様子を示す概略側面図である。プローブ端子を検査端子に接触させた様子を示す概略側面図である。本発明の別の実施形態に係る液晶装置及び検査装置の概略側面図である。本発明の別の実施形態に係る液晶装置及び検査装置の概略平面図である。本発明の別の実施形態に係る検査装置の概略平面図である。本発明に係る電子機器の全体構成を示す概略斜視図である。本発明の別の実施形態に係る液晶装置の概略断面図である。

符号の説明

１…液晶装置２…基板２ａ…領域３…基板７、８、９…出力端子群１０、１１、１２…入力端子群１６、１７、１８…検査端子群１９…検査装置２１…プローブ端子群２１ａ、２１ｂ…プローブ端子群３１…プローブ端子バンプ群６００…携帯電話

Claims

第１の接続端子群と、
第２の接続端子群と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、
前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群と
を備え、
前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、
前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする電気光学装置用基板。
前記第２の検査端子群は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の１倍の間隔で端子が配列されてなることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用基板。
電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、
前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、
前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、
前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、
前記第１の基板に実装され、前記第１及び第２の接続端子群とそれぞれ電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第１及び第２の電子部品と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、
前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群と
を備え、
前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、
前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする電気光学装置。
前記第１の基板上で前記第１及び第２の接続端子群の間に設けられ、前記第１の電極群と電気的に接続された第３の接続端子群と、
前記第１の基板に実装され、前記第３の接続端子群と電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第３の電子部品と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第３の接続端子群に電気的に接続されてなる第３の検査端子群と
を備え、
前記第３の検査端子群は、前記第１及び前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、前記第１及び前記第２の検査端子群の間に離間して配列されてなり、
前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、
前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、
前記第１の基板と接続され、表面に前記第１及び第２の電極群に夫々電気的に接続された第３及び第４の電極群が設けられた第３の基板と、
前記第３の基板上に設けられ、前記第４の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、
前記第３の基板上に設けられ、前記第４の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、
前記第３の基板に実装され、前記第１及び第２の接続端子群とそれぞれ電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第１及び第２の電子部品と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、
前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群と
を備え、
前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、
前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする電気光学装置。
前記第３の基板で前記第１及び第２の接続端子群の間に設けられ、前記第３の電極群と電気的に接続された第３の接続端子群と、
前記第３の基板に実装され、前記第３の接続端子群と電気的に接続されるバンプ端子群が実装面に設けられた第３の電子部品と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第３の接続端子群に電気的に接続されてなる第３の検査端子群と
を備え、
前記第３の検査端子群は、前記第１及び前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、
前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍であることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置。
請求項１若しくは請求項２に記載の電気光学装置用基板又は請求項３乃至請求項６のうちいずれか一項に記載の電気光学装置の前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群を具備することを特徴とする検査装置。
前記プローブ端子群は、
前記第１及び第２の検査端子群に対応する位置に配列され、
前記対応する位置ごとに、それぞれ前記検査端子群の端子数よりも多くの端子数が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
請求項１若しくは請求項２に記載の電気光学装置用基板を用いた電気光学装置又は請求項３乃至請求項６のうちいずれか一項に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
電気光学材料を狭持する第１及び第２の基板と、前記第１及び第２の基板上に夫々設けられた第１及び第２の電極群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の一群に電気的に接続された第１の接続端子群と、前記第１の基板上に設けられ、前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続された第２の接続端子群と、所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群と、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群とを備え、前記第１の検査端子群は、前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、且つ、離間して配列されてなり、前記離間した間隔は、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍である電気光学パネルの前記第１及び第２の検査端子群と、前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群との位置合わせをする工程と、
前記プローブ端子群を前記第１及び第２の検査端子群に接触させる工程と、
前記プローブ端子群に所定の電圧を印加することにより、少なくとも前記第２の電極群の電気的良否を検出する工程と
を具備することを特徴とする検査方法。
第１及び第２の基板間に電気光学材料を狭持する電気光学装置の製造方法であって、
前記第１及び第２の基板上に夫々第１及び第２の電極群を形成する工程と、
前記第１の基板上に前記第２の電極群の一群に電気的に接続される第１の接続端子群及び前記第２の電極群の別の一群に電気的に接続される第２の接続端子群を形成する工程と、
所定の間隔で端子が配列されてなり、前記第１の接続端子群に電気的に接続されてなる第１の検査端子群を形成する工程と、
前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍の間隔で前記第２の検査端子群の配列方向の延長線上で、かつ、離間して配列され、前記第１の検査端子群の端子同士の間隔の整数倍の間隔で端子が配列されてなり、前記第２の接続端子群に電気的に接続されてなる第２の検査端子群を形成する工程と、
前記第１の検査端子群のピッチと同一のピッチで配列されたプローブ端子群を前記第１及び第２の検査端子群に接触させて電気的検査を行う工程と、
前記第１及び第２の接続端子群と夫々電気的に接続するバンプ接続端子群を実装面に有する第１及び第２の電子部品を前記第１の基板上に実装する工程と
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。