JP2008058864A - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】電気光学装置の端子部分やこれから引き回された配線部分を小型化する。
【解決手段】電気光学装置は、基板（１０）上の周辺領域に配置されており、複数の画素
部を制御する周辺回路部と、周辺領域に配列されると共に、少なくとも一部が複数列に配
列される複数の端子（１０２）と、該複数の端子から前記基板上に引き回され、画素部及
び周辺回路部の少なくとも一方に電気的に接続される複数の信号配線とを備える。複数の
信号配線は、複数の端子のうち複数列の一の列をなす第１端子部分から引き回されている
第１配線部分（８０１ａ）と、複数の端子のうち複数列の他の列をなす第２端子部分から
引き回されている第２配線部分（８０１ｂ）とを含む。これら第１及び第２配線部分は少
なくとも部分的に、相異なる層に配置され且つ前記基板上で平面的に見て相互に重なるよ
うに配置されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液
晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。

この種の電気光学装置では、基板上に、複数の画素部が所定パターンで配列される画素
領域が形成されると共に、画素領域の周辺に位置する周辺領域には、各画素部を選択して
駆動させる、即ち画素部を制御する周辺回路部が配置される。また、基板上の周辺領域に
は、画素部又は周辺回路部を駆動或いは制御するための画像信号、クロック信号、制御信
号等の各種信号が入出力される複数の外部回路接続端子（以下適宜、単に「端子」という
）が設けられると共に、各端子には、端子に供給される信号を、端子から画素部又は周辺
回路部へ供給するための配線が設けられる。

より具体的には、例えば特許文献１に開示されるように、複数の端子は夫々基板の一辺
に沿う方向に沿って配列され、更には複数の端子のうち少なくとも一部、特許文献１によ
れば検査信号が供給される検査端子が、前述した端子の配列方向と交差する方向に複数列
に並列配置される。また、各端子より配線は、配線同士が交差する交差部等を除いて、基
板上において、同一層に配置されて引き回される。また、各端子は、対応する配線に対し
てその一端と同一層に配置されて電気的に接続される。

特開２００４−２２６９３１号公報

しかしながら、上述したような構成によれば、複数列に並列配置された端子に対応する
配線について、夫々、他の列の端子及び該端子に対応する配線の配置を避けるような引き
回し形状で形成する必要がある。よって、周辺領域の狭小化が困難となり、装置の小型化
が実現し難くなる。また、このような小型化の要請下で、端子の数が増加すると、端子の
配列間隔が制約され、狭小化する結果、端子に対して例えば外部回路を電気的に接続させ
る場合に、端子間で電気的な短絡等が生じて導通不良が生じ、製造プロセスにおける歩留
りが低下するおそれがある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、端子部分やこれから引き
回された配線部分を小型化するのに適した電気光学装置及び該電気光学装置を具備してな
る電子機器を提供することを課題とする。

本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、基板と、該基板上の画素領域に配
列された複数の画素部と、前記基板上の前記画素領域の周辺に位置する周辺領域に配置さ
れており、前記複数の画素部を制御する周辺回路部と、前記周辺領域に配列されると共に
、少なくとも一部が複数列に配列される複数の端子と、該複数の端子から前記基板上に引
き回され、前記画素部及び前記周辺回路部の少なくとも一方に電気的に接続される複数の
信号線とを備え、前記複数の信号配線は、前記複数の端子のうち前記複数列の一の列をな
す第１端子部分から引き回されている第１配線部分と前記複数の端子のうち前記複数列の
他の列をなす第２端子部分から引き回されている第２配線部分とを含み、前記第１及び第
２配線部分は少なくとも部分的に、相異なる層に配置され且つ前記基板上で平面的に見て
相互に重なるように配置されている。

本発明に係る電気光学装置によれば、基板上の画素領域には複数の画素部が、例えば、
縦横に相互に間隔を隔ててマトリクス状に配列される。また、基板上の周辺領域には、複
数の端子が基板の少なくとも一辺に沿って配列されると共に、データ線駆動回路、走査線
駆動回路などを含む周辺回路部が配置される。そして、典型的には複数の外部回路接続端
子である、複数の端子には、電気光学装置の駆動時に、例えば外部回路から、画像信号、
クロック信号、制御信号、電源信号等を含む各種信号が供給されると共に、各種信号が複
数の端子に電気的に接続される信号配線を介して周辺回路部や画素部に供給される。そし
て、各種信号の供給に応じて、周辺回路部のデータ線駆動回路や走査線駆動回路によって
、例えば走査線やデータ線を介して画素部が駆動され、画素領域における画像表示動作が
アクティブマトリクス駆動方式で行われる。

本発明に係る電気光学装置では、複数の信号配線は、一の列をなす第１端子部分から引
き回されている第１配線部分と、他の列をなす第２端子部分から引き回されている第２配
線部分とを含む。より具体的には、例えば複数列の各列において、端子は各列の配列方向
（第１の方向とする）に対して交差する方向（第２の方向とする）に２行或いは２行以上
に配列されると共に、各列は第１の方向に沿って配置される。よって、端子を一列で配列
させる場合と比較して、相隣接する端子間の間隔（配列ピッチ）を、より広くすることが
可能となり、更に、端子のサイズをより大きくすることが可能となる。よって、少なくと
も一部の端子に対して、例えば外部回路を電気的に接続する場合に、両者間の電気的接続
に係るマージンをより大きく確保し、端子間の電気的な短絡による導通不良の発生を防止
することができる。

また、このように配列された端子から引き回される第１及び第２配線部分は少なくとも
部分的に、相異なる層に配置され且つ前記基板上で平面的に見て相互に重なるように配置
されている。よって、一の列をなす第１端子部分に接続された第１配線部分は少なくとも
部分的に、他の列の端子や配線の配置を回避する必要なくして、それらよりも基板上にお
いて上層側又は下層側において、引き回すことが可能となる。よって、上述した先行技術
に係る構成と比較して、周辺領域において端子及び信号配線の配置に要するスペースをよ
り容易に狭小化すると共に、各列の端子のうち少なくとも一部に対応する信号配線の引き
回し形状や配線幅等について設計上の自由度を、より大きく確保することが可能となる。

よって、以上説明したような本発明の電気光学装置によれば、製造プロセスにおける歩
留りの低下を防止しつつ、端子部分やこれから引き回された配線部分を小型化することが
可能となる。

本発明に係る電気光学装置の一態様では、前記第１配線部分における前記重なるように
配置されている部分は、前記第１端子部分に電気的に接続される一端を含み、該一端にお
いて、前記第２端子部分及び前記第２配線部分のうち少なくとも一方と重なる。

この態様によれば、第１配線部分における重畳部分は、第１端子部分に電気的に接続さ
れる一端を含む部分であり、この重畳部分を、他の列の端子及び信号配線よりも基板上に
おいて上層側又は下層側において、平面的に見て他の列の端子及び信号配線に対して重ね
て、一端から第１の方向に沿って延在させて形成することが可能となる。よって、複数列
の各列で、少なくとも一部の端子を、他の列の端子に対応する信号配線の一端を含む、端
子からの引き出し部分の構成に関わらず、他の列の端子に対して相隣接するように、第１
の方向に沿って配列させることができる。従って、基板上の周辺領域において、端子及び
信号配線の配置に要するスペースをより容易に狭小化させることが可能となる。

本発明に係る電気光学装置の他の態様では、前記第１端子部分と前記第２端子部分とは
、前記一の列及び前記他の列の配列方向に沿って交互に配置されている。

この態様によれば、端子の数が増加したとしても、少なくとも一部の端子を、複数列に
各列で配列ピッチをより広く且つ端子サイズもより大きく確保して配列させると共に、周
辺領域をより容易に狭小化することができる。

本発明に係る電気光学装置の他の態様では、前記複数の信号配線は夫々金属膜により形
成される。

この態様によれば、複数の信号配線を夫々より低抵抗なアルミニウム等の金属材料によ
り形成することで、電気的な抵抗をより低抵抗化させることが可能となる。

本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し
、その各種態様も含む）を具備する。

本発明の電子機器によれば、上述した本発明に係る電気光学装置を具備してなるので、
製造プロセスにおける歩留りを向上させ、小型化することが可能な、投射型表示装置、テ
レビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型の
ビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルな
どの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなど
の電気泳動装置、電子放出装置（Field Emission Display及びConduction Electron-Emit
ter Display）、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた表示装置を実現することも
可能である。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされ
る。

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、
本発明の電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方
式の液晶装置を例にとる。

先ず、本実施形態における液晶装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明
する。ここに、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に、対向
基板の側から見た液晶装置の概略的な平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ'断面図であ
る。

図１及び図２において、液晶装置は、対向配置されたＴＦＴアレイ基板１０と対向基板
２０とから構成されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には液晶層５０
が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画素領域１０ａの周囲に
位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。

シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等
からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、
加熱等により硬化させられたものである。また、例えばシール材５２中には、ＴＦＴアレ
イ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファ
イバ或いはガラスビーズ等のギャップ材５６が散布されている。

シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画素領域１０ａの額縁領域を
規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このよう
な額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けら
れてもよい。

ＴＦＴアレイ基板１０上における、画素領域１０ａの周辺に位置する周辺領域には、周
辺回路部が、データ線駆動回路１０１及びサンプリング回路７、走査線駆動回路１０４、
外部回路接続端子１０２を含んで形成される。

ＴＦＴアレイ基板１０上における周辺領域において、シール領域より外周側に、データ
線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って
設けられている。また、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域のうちシール領域より内側に
位置する領域には、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿う画素領域１０ａの一辺に沿って且
つ額縁遮光膜５３に覆われるようにしてサンプリング回路７が配置される。

また、走査線駆動回路１０４は、ＴＦＴアレイ基板１０の一辺に隣接する２辺に沿い、
且つ、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画素領域
１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間を電気的に接続するため、ＴＦ
Ｔアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配
線１０５が設けられている。

また、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域において、対向基板２０の４つのコーナー部
に対向する領域に、上下導通端子１０６が配置されると共に、このＴＦＴアレイ基板１０
及び対向基板２０間には上下導通材が上下導通端子１０６に対応して該端子１０６に電気
的に接続されて設けられる。

図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上の画素領域１０ａには、画素スイッチング用素
子としてのＴＦＴ（Thin Film Transistor）や走査線、データ線等の配線上に画素電極９
ａが、更にその上から配向膜１６が形成されている。尚、本実施形態では、画素スイッチ
ング素子はＴＦＴのほか、各種トランジスタ或いはＴＦＤ等により構成されてもよい。

他方、対向基板２０上の画素領域１０ａには、格子状又はストライプ状の遮光膜２３が
形成され、この遮光膜２３上（図２中遮光膜２３より下側）に、液晶層５０を介して複数
の画素電極９ａと対向する対向電極２１が形成され、更に、配向膜２２が形成される。

液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、こ
れら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。そして、液晶装置の駆動時、夫々に電圧
が印加されることで、画素電極９ａと対向電極２１との間には液晶保持容量が形成される
。

尚、ここでは図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１、
走査線駆動回路１０４の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査す
るための検査回路等が形成されていてもよい。そして、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領
域には外部回路接続端子１０２のほか、検査回路等に検査信号を供給するための検査端子
等が設けられてもよい。

次に、液晶装置に係る電気的な構成について、図３及び図４を参照して説明する。ここ
に、図３は、ＴＦＴアレイ基板上の画素領域及び周辺領域の各々における各種構成要素の
配置関係や電気的な接続関係等の構成を概略的に示すブロック図であり、図４は、複数の
画素部における各種素子、配線等の等価回路を示す回路図である。

図３において、ＴＦＴアレイ基板１０上における画素領域１０ａには、マトリクス状に
配置された複数の画素電極９ａと、互いに交差して配列された複数の走査線１１ａ及びデ
ータ線６ａとが形成され、走査線１１ａ及びデータ線６ａの交差に対応して画素に対応す
る画素部が構築されている。

また、ＴＦＴアレイ基板１０上における周辺領域には、周辺回路部を構成するデータ線
駆動回路１０１及びサンプリング回路７、走査線駆動回路１０４、更には複数の外部回路
接続端子１０２が設けられている。

本実施形態において、複数の外部回路接続端子１０２には、外部回路（図示省略）より
、Ｙクロック信号ＣＬＹ並びにその反転信号ＣＬＹＢ、Ｘクロック信号ＣＬＸ並びにその
反転信号ＣＬＸＢ等の複数種類のクロック信号、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６等の各種信
号が供給される。尚、本実施形態では、このような複数種類の信号のうち少なくとも一部
が周辺回路部内で生成されて供給されるようにしてもよい。この場合、周辺回路部内で生
成されて供給される信号については、外部回路接続端子１０２を設けなくてもよい。

外部回路より外部回路接続端子１０２に、走査線駆動回路１０４を駆動するために供給
される、Ｙクロック信号ＣＬＹ並びにその反転信号ＣＬＹＢ、更には、Ｙスタートパルス
ＤＹは、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂを介して走査線駆動回路１０４に供給される
。また、外部回路より外部回路接続端子１０２に、データ線駆動回路１０１を駆動するた
めに供給される、Ｘクロック信号ＣＬＸ並びにその反転信号ＣＬＸＢ、更には、Ｘスター
トパルスＤＸは、データ線駆動回路用信号配線８０１ａを介してデータ線駆動回路１０１
に供給される。更に、外部回路より外部回路接続端子１０２に供給される画像信号ＶＩＤ
１〜ＶＩＤ６は、画像信号線６を介してサンプリング回路７に供給される。

ＴＦＴアレイ基板１０上において、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂやデータ線駆動
回路用信号配線８０１ａ、画像信号線６は、夫々、外部回路接続端子１０２に電気的に接
続される一端側から他端側に向かって、データ線駆動回路１０１やサンプリング回路７の
周囲に引き回されて、他端側がデータ線駆動回路１０１や走査線駆動回路１０４に電気的
に接続される。

尚、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂやデータ線駆動回路用信号配線８０１ａは、図
３中に示されるように、周辺回路部内でデータ線駆動回路１０１等に電気的に接続される
構成に加えて若しくは代えて、クロック信号又はその他各種信号を供給するために、一端
側から他端側に引き回されて、各画素部に電気的に接続されるか、或いは図３に示したこ
れら配線の他に別途、各種信号を供給するために一端側から他端側に引き回されて各画素
部に電気的に接続される他の配線が設けられることもあるが、このような構成については
図示を省略してある。

本実施形態では、走査線駆動回路１０４には、例えば外部回路より外部回路接続端子１
０２及び走査線駆動回路用信号配線８０１ｂを介して、Ｙクロック信号ＣＬＹ及びその反
転信号である反転Ｙクロック信号ＣＬＹＢ、並びにＹスタートパルスＤＹが夫々供給され
る。走査線駆動回路１０４は、ＹスタートパルスＤＹが入力されると、Ｙクロック信号Ｃ
ＬＹ及び反転Ｙクロック信号ＣＬＹＢに基づくタイミングで走査信号を順次生成して出力
する。

本実施形態では、データ線駆動回路１０１には、例えば外部回路より外部回路接続端子
１０２及びデータ線駆動回路用信号配線８０１ａを介して、Ｘクロック信号ＣＬＸ及びそ
の反転信号である反転Ｘクロック信号ＣＬＸＢ、並びにＸスタートパルスＤＸが夫々供給
される。そして、データ線駆動回路１０１は、ＸスタートパルスＤＸが入力されると、Ｘ
クロック信号ＣＬＸ及び反転Ｘクロック信号ＣＬＸＢに基づくタイミングでサンプリング
回路駆動信号Ｓ１、・・・、Ｓｎを順次生成して出力する。

サンプリング回路７は、Ｐチャネル型又はＮチャネル型の片チャネル型ＴＦＴ、若しく
は相補型のＴＦＴから構成されたサンプリングスイッチ７１を複数備える。サンプリング
回路７には、例えば外部回路より外部回路接続端子１０２に供給された画像信号ＶＩＤ１
〜ＶＩＤ６が、画像信号線６を介して供給される。ここで、画像信号線６は、例えば外部
回路において、例えば６相にシリアル−パラレル変換、即ち相展開された画像信号ＶＩＤ
１〜ＶＩＤ６に対応して６本設けられる。

そして、各サンプリングスイッチ７１は、データ線駆動回路１０１から出力されて供給
されるサンプリング回路駆動信号Ｓｉ（ｉ＝１、・・・、ｎ）に応じて、６本のデータ線
６ａを１群とするデータ線群毎に、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６を供給する。従って、本
実施形態では、複数のデータ線６ａをデータ線群毎に駆動するため、駆動周波数が抑えら
れる。

図３に示す液晶装置の画素領域１０ａにおいて、走査線１１ａ及びデータ線６ａの各交
点に対応してマトリクス状に配列された複数の画素部には、それぞれ、図３又は図４に示
すように、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０と
が形成されており、画像信号ＶＩＤｋ（但し、ｋ＝１、２、３、・・・、６）が供給され
るデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。また、ＴＦＴ３０
のゲートに、例えば走査線１１ａの一部をなすゲート電極が電気的に接続されており、画
素電極９ａはＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されている。

走査線駆動回路１０４から出力される走査信号Ｇ１、・・・、Ｇｍによって、各走査線
１１ａは線順次に選択される。選択された走査線１１ａに対応する画素部において、ＴＦ
Ｔ３０にゲート電極を介して走査信号Ｇｊ（但し、ｊ＝１、２、３、・・・、ｍ）が供給
されると、ＴＦＴ３０はオン状態となり、画素電極９ａには、ＴＦＴ３０を一定期間だけ
そのスイッチを閉じることにより、データ線６ａより画像信号ＶＩＤｋが所定のタイミン
グで供給される。これにより、液晶には、画素電極９ａ及び対向電極２１の各々の電位に
よって規定される印加電圧が印加される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合
の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホ
ワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が
減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入
射光に対する透過率が増加され、全体として液晶装置からは画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６
に応じたコントラストをもつ光が出射する。

ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極２１
との間に形成される液晶容量と電気的に並列に蓄積容量７０を付加する。蓄積容量７０の
一方の電極は、画素電極９ａと電気的に並列にＴＦＴ３０のドレインに接続され、他方の
電極は、定電位となるように、電位固定の容量配線４００に接続されている。

次に、図１から図４に加えて、図５及び図６を参照して外部回路接続端子１０２、及び
各種信号配線８０１ａ、８０１ｂ等の構成について、より詳細に説明する。図５は、外部
回路接続端子及び信号配線の構成について概略的に示す平面図であって、図６は、図５の
Ｂ−Ｂ’断面図である。図５及び図６には、特に、図３における点線で囲まれた部分Ａに
おいて、データ線駆動回路用信号配線８０１ａ及び走査線駆動回路用信号配線８０１ｂと
、これら信号配線に対応する外部回路接続端子１０２との構成に着目して、その配置関係
について、概略的に示してある。尚、図５及び図６においては、各層・各部材を図面上で
認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてあり、係
る縮尺については各図毎で互いに異なることもある。

図３に示すように、本実施形態では、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域において、外
部回路接続端子１０２は複数列に配列される。より具体的には、図３又は図５に示すよう
に、外部回路接続端子１０２は、同図中、第１の方向としてＹ方向に沿って配列される各
列において、第１の方向に交差する第２の方向としてＸ方向に沿って配列される。図３又
は図５中において、Ｙ方向に沿って同図中上側から順に、第１列目にはデータ線駆動回路
用信号配線８０１ａに対応する外部回路接続端子１０２が配列され、第２列目には走査線
駆動回路用信号配線８０１ｂに対応する外部回路接続端子１０２が配列される。尚、本実
施形態では、外部回路接続端子１０２のうち少なくとも一部が複数列に配列されるように
してもよいし、外部回路接続端子１０２とは別の検査端子（図示せず）等が、図３から図
６に示す構成と同様に複数列に配列されてもよい。

また、図５又は図６に示されるように、第２列目に配列される外部回路接続端子１０２
に対応する信号配線のうち、例えば少なくとも走査線駆動回路用信号配線８０１ｂは、第
１列目における外部回路接続端子１０２及び外部回路接続端子１０２に対応するデータ線
駆動回路用信号配線８０１ａのうち少なくとも一方と、異なる層に配置され且つＴＦＴア
レイ基板１０上で平面的に見て重なるように配置される。

従って、本実施形態では、第１及び第２列目の各列で、図５中、Ｘ方向における外部回
路接続端子１０２の配列ピッチｄ０を、外部回路接続端子１０２を複数列ではなく一列で
配列させる場合と比較して、より広くすることが可能となると共に、端子のサイズをより
大きくすることができる。従って、外部回路接続端子１０２に対して外部回路を電気的に
接続する場合に、両者間の電気的接続に係るマージンをより大きく確保し、外部回路接続
端子１０２間の電気的な短絡による導通不良の発生を防止することができる。即ち、典型
的には、フレキシブル基板を含む配線機材に実装されて形成された外部回路が、ＦＰＣ（
Flexible Printed Circuit）或いはフレキシブル基板又はフレキシブルコネクタ等を介し
て、例えば異方性導電部材により外部回路接続端子１０２に電気的に接続される際に、図
６に示すように、外部回路接続端子１０２間を電気的に分離させるための層間絶縁膜４４
を突き破って、開孔１０２ｈ内で、端子間が短絡されてしまうことも起こり得る。本実施
形態では、このような事態による導通不良の発生をより確実に防止することが可能となる
。

ここに、図５又は図６において、第２列目の外部回路接続端子１０２に対応する走査線
駆動回路用信号配線８０１ｂについて、より詳細には、夫々、走査線駆動回路用信号配線
８０１ｂの一端は、好ましくは、該一端と同層に配置され同一膜により形成されるコンタ
クト部８０１ｃを介して、外部回路接続端子１０２と電気的に接続される。そして、走査
線駆動回路用信号配線８０１ｂにおいて、一端を含み、該一端から、第１列目の外部回路
接続端子１０２及びデータ線駆動回路用信号配線８０１ａの少なくとも一方とＴＦＴアレ
イ基板１０上に平面的に見て重なるように延在させて、重畳部分８０１ｂａが形成される
。

そして、本実施形態では、図６において、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域に、層間
絶縁膜４２、４３、や４４の各々により層間絶縁されつつ複数の導電膜が順次積層された
積層構造において、データ線駆動回路用信号配線８０１ａにおいて少なくとも重畳部分８
０１ｂａに対して重ねて配置される一部及び各外部回路接続端子１０２は、例えば、積層
構造の層間絶縁膜のうち最上層に配置される層間絶縁膜４４より下層側であって、この層
間絶縁膜４４よりも一層下層側に配置される層間絶縁膜４３より上層側に配置されると共
に、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂの少なくとも重畳部分８０１ｂａは、データ線駆
動回路用信号配線８０１ａより例えば下層側に配置される。尚、コンタクト部８０１ｃは
、それよりも上層側の層間絶縁膜４３を貫通して開孔されたコンタクトホール８１ｈを介
して、外部回路接続端子１０２と電気的に接続される。また、各外部回路接続端子１０２
の表面は、それよりも上層側の層間絶縁膜４４に開孔された開孔１０２ｈ内に露出される
。

また、本実施形態では、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂの少なくとも重畳部分８０
１ｂａ及び、データ線駆動回路用信号配線８０１ａにおいて少なくとも重畳部分８０１ｂ
ａに対して重ねて配置される一部は夫々、例えばアルミニウムを含む金属材料により形成
される金属膜を１層のみで積層した単層膜、若しくはこの金属膜に加えて他の導電膜を含
む２層以上の多層膜として形成される。従って、本実施形態では、外部回路接続端子１０
２に対応する信号配線のうち、少なくともデータ線駆動回路用信号配線８０１ａ及び走査
線駆動回路用信号配線８０１ｂの各々を、電気的な抵抗がより低抵抗な配線として形成す
ることが可能となる。

以上説明したような構成によれば、走査線駆動回路用信号配線８０１ｂにおいて、少な
くとも重畳部分８０１ｂａを、第１列目における外部回路接続端子１０２又はこれに対応
するデータ線駆動回路用信号配線８０１ａに対して、平面的に見て重ねて、その一端から
Ｙ方向に沿って延在させて形成することが可能となる。よって、本実施形態では、第１列
目と第２列目とで、互いの列に属する外部回路接続端子１０２が、Ｙ方向で相隣接するよ
うに、第２列目の外部回路接続端子１０２から引き出される走査線駆動回路用信号配線８
０１ｂの重畳部分８０１ｂａの引き回し形状等の構成に関わらず、各列の外部回路接続端
子１０２をＹ方向に沿って配列させることができる。

よって、本実施形態では、ＴＦＴアレイ基板１０上の周辺領域において、外部回路接続
端子１０２の数が増加しても、これら外部回路接続端子１０２を複数列に配列させつつ、
外部回路接続端子１０２の配列ピッチ及びサイズ等の構成、更にはデータ線駆動回路用信
号配線８０１ａや走査線駆動回路用信号配線８０１ｂの引き回し形状や配線幅等の構成に
ついて、設計上の自由度をより大きく確保して、周辺領域をより容易に狭小化させること
が可能となる。

従って、以上のような本実施形態によれば、液晶装置の製造プロセスにおける歩留りの
低下を防止しつつ、より容易に液晶装置を小型化することができる。

次に、上述した液晶装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー
表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここ
に、図７は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。

図７において、投射型カラー表示装置の一例たる液晶プロジェクタ１１００は、駆動回
路がＴＦＴアレイ基板上に搭載された液晶装置を含む液晶モジュールを３個用意し、それ
ぞれＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂとして用いたプロジェクタ
として構成されている。液晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等の白色
光源のランプユニット１１０２から投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６及び２
枚のダイクロックミラー１１０８によって、ＲＧＢの三原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ及び
Ｂに分けられ、各色に対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにそれぞれ
導かれる。この際特に、Ｂ光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ１１２
２、リレーレンズ１１２３及び出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を介
して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂによりそれぞれ変
調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリズム１１１２により再度合成され
た後、投射レンズ１１１４を介してスクリーンにカラー画像として投射される。

尚、図７を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータ
や、携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ
、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステ
ーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして
、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。

また、本発明は、上述の実施形態で説明した液晶装置以外にも、シリコン基板上に素子
を形成する反射型液晶装置（ＬＣＯＳ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、電界放出型
ディスプレイ（ＦＥＤ、ＳＥＤ）、有機ＥＬディスプレイ、デジタルマイクロミラーデバ
イス（ＤＭＤ）、電気泳導装置等にも適用可能である。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から
読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような
変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を具備してなる電子機器もまた、本発明の技
術的範囲に含まれるものである。

液晶装置の概略的な平面図である。 図１のＨ−Ｈ'断面図である。 ＴＦＴアレイ基板上の画素領域及び周辺領域の各々における各種構成要素の配置関係や電気的な接続関係等の構成を概略的に示すブロック図である。 複数の画素部における各種素子、配線等の等価回路を示す回路図である。 外部回路接続端子及び信号配線の構成について概略的に示す平面図である。 図５のＢ−Ｂ’断面図である。 本発明の電子機器の実施形態である投射型カラー表示装置の一例たるカラー液晶プロジェクタを示す図式的断面図である。

符号の説明

７…サンプリング回路、１０…ＴＦＴアレイ基板、１０ａ…画素領域、１０１…データ
線駆動回路、１０４…走査線駆動回路、１０２…外部回路接続端子、８０１ａ…データ線
駆動回路用信号配線、８０１ｂ…走査線線駆動回路用信号配線

Claims (5)

1. 基板と、
   該基板上の画素領域に配列された複数の画素部と、
   前記基板上の前記画素領域の周辺に位置する周辺領域に配置されており、前記複数の画
   素部を制御する周辺回路部と、
   前記周辺領域に配列されると共に、少なくとも一部が複数列に配列される複数の端子と
   、
   該複数の端子から前記基板上に引き回され、前記画素部及び前記周辺回路部の少なくと
   も一方に電気的に接続される複数の信号配線と
   を備え、
   前記複数の信号配線は、前記複数の端子のうち前記複数列の一の列をなす第１端子部分
   から引き回されている第１配線部分と前記複数の端子のうち前記複数列の他の列をなす第
   ２端子部分から引き回されている第２配線部分とを含み、前記第１及び第２配線部分は少
   なくとも部分的に、相異なる層に配置され且つ前記基板上で平面的に見て相互に重なるよ
   うに配置されていることを特徴とする電気光学装置。
2. 前記第１配線部分における前記重なるように配置されている部分は、前記第１端子部分
   に電気的に接続される一端を含み、該一端において、前記第２端子部分及び前記第２配線
   部分のうち少なくとも一方と重なること
   を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記第１端子部分と前記第２端子部分とは、前記一の列及び前記他の列の配列方向に沿
   って交互に配置されていること
   を特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
4. 前記複数の信号配線は夫々、金属膜により形成されることを特徴とする請求項１から４
   のいずれか一項に記載の電気光学装置。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする
   電子機器。

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