JP2931505B2 - マトリクス型表示装置に用いられるカラーフィルタの検査装置及び検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置の
対向電極基板等に形成されるカラーフィルタの検査を行
うためのマトリクス型表示装置に用いられるカラーフィ
ルタの検査装置及び検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶テレビジョン受像機や携帯用パーソ
ナルコンピュータのディスプレイ又は液晶方式の投射型
テレビジョン受像機等に用いられるカラー液晶表示装置
のカラーフィルタは、対向電極基板上に印刷法、染色法
又は電着法等によりＲＧＢ各色の微細なフィルタ膜を多
数形成したものである。このカラーフィルタは、各フィ
ルタ膜に色ムラや色抜け、異物の付着等が存在すると画
質の低下を来すこととなるため、製造段階でこれらの欠
陥がないかどうかを検査している。

【０００３】上記カラーフィルタは、このカラーフィル
タを形成した対向電極基板をマトリクス基板上に取り付
け液晶を封入して表示装置として動作可能な状態で検査
を行えば、欠陥を確実に検出することができる。しかし
ながら、このようにして製造工程の最終段階で初めて欠
陥が発見されたのでは、製造プロセスのロスが大きくな
りすぎる。従って、カラーフィルタの欠陥は、対向電極
基板をマトリクス基板に取り付ける前の単体での検査に
よってできるだけ確実に検出することが望ましい。

【０００４】ところで、上記カラーフィルタの単体での
検査は、対向電極基板に光を照射して、この反射光を検
査員が目視することによって行うことができる。しかし
ながら、カラー液晶表示装置の画素数は、近年さらに増
加し、しかも各画素がますます微細化しているため、こ
のような反射光による目視検査では、色ムラや色抜け、
異物の付着等の欠陥を確実に発見することは困難になっ
て来ていた。

【０００５】そこで、従来は、対向電極基板に光を照射
した際の透過光を目視により検査し又はこの透過光を画
像処理装置を用いて自動的に検査していた（例えば、特
開平１−３１３７４３号公報に従来技術及び当該発明と
して記載）。また、目視による検査においては、この透
過光の検査によって欠陥が発見されると、後工程での修
復等のために、油性のフェルトペン等を用いて直接対向
電極基板に欠陥位置を示す印を記入していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に透過光を利用する場合にも、これを漫然と目視検査し
ていたのでは、必ずしも確実な検査は困難であり、しか
も、能率が悪く検査員の個人差による検査精度のムラも
大きくなるという問題があった。欠陥を発見した場合に
も、フェルトペン等で対向電極基板に直接印を記入して
いたのでは、欠陥位置を正確に特定することが困難であ
り、記入に手間がかかるだけでなく記入間違いが発生す
るおそれもあり、さらに対向電極基板を汚すことにもな
るという問題があった。

【０００７】また、画像処理装置を用いて自動的に検査
を行う場合には、画像処理のための高速演算装置及び精
密なＸ−Ｙステージ等が必要となり、装置が高価で大規
模になるという問題が生じる。しかも、この場合には、
正確な検査を行おうとするほど複雑な画像処理が必要と
なるため、プログラムの開発コストが莫大なものになる
という問題も生じる。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑み、透過光を利用
した目視検査によって最終工程での検査と同様に確実に
欠陥を発見することができるマトリクス型表示装置に用
いられるカラーフィルタの検査装置及び検査方法を提供
することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のマトリクス型表
示装置の対向電極基板に形成されるカラーフィルタの検
査装置は、検査対象となるカラーフィルタの画素と同じ
配置で形成され、かつ少なくとも光透過と不透過との２
状態の制御が可能な画素を備えた液晶パネルと、指示さ
れた位置に対応する該液晶パネルの任意の１又は２以上
の画素を不透過状態とする駆動制御を行う液晶パネル駆
動装置と、該液晶パネルに該検査対象となるカラーフィ
ルタを重ね合わせて位置合わせを行う位置調整装置と、
該液晶パネルの背後に設けられた光源と、該液晶パネル
駆動装置により不透過状態とされた該液晶パネルの画素
と、検出された該カラーフィルタの欠陥画素との位置を
対応させることで、該液晶パネルにおいて指示された画
素の位置から、該カラーフィルタの欠陥画素の位置を特
定する手段とを具備しており、そのことにより上記目的
が達成される。

【００１０】

【００１１】また、本発明のマトリクス型表示装置に用
いられるカラーフィルタの検査装置は、前記液晶パネル
と前記カラーフィルタとを透過した光を投影するための
光学系装置を更に備えていてもよい。

【００１２】本発明のマトリクス型表示装置の対向電極
基板に形成されるカラーフィルタの検査方法は、検査対
象となるカラーフィルタの各画素と該カラーフィルタの
各画素と同じ配置で形成され、かつ少なくとも光透過と
不透過との２状態の制御が可能な画素を備えた液晶パネ
ルとを重ね合わせて位置合わせを行う工程、該液晶パネ
ル側から該カラーフィルタに光を照射して、該カラーフ
ィルタを透過した光を観測することにより該カラーフィ
ルタの欠陥画素を検出する工程、及び該液晶パネルの画
素を所定パターンで不透過状態とすることにより、検出
された該カラーフィルタの欠陥画素と対応する該液晶パ
ネルの画素を特定する工程、を包含しており、そのこと
により上記目的が達成される。

【００１３】本発明の他のマトリクス型表示装置の対向
電極基板に形成されるカラーフィルタの検査方法は、検
査対象となるカラーフィルタの各画素と該カラーフィル
タの各画素と同じ配置で形成され、かつ少なくとも光透
過と不透過との２状態の制御が可能な画素を備えた液晶
パネルとを重ね合わせて位置合わせを行う工程、該液晶
パネル側から該カラーフィルタに光を照射して、前記カ
ラーフィルタの像をスクリーンに投影する工程、該スク
リーンに投影された該カラーフィルタの像を観測するこ
とにより該カラーフィルタの欠陥画素を検出する工程、
及び該液晶パネルの画素を所定パターンで不透過状態と
することにより、検出された該カラーフィルタの欠陥画
素と対応する該液晶パネルの画素を特定する工程、を包
含しており、そのことにより上記目的が達成される。

【００１４】

【作用】本発明の検査装置及び検査方法では、検査装置
にカラーフィルタをセットして、このカラーフィルタの
各画素がそれぞれ液晶パネルの各画素と重なり合い、光
源からの光がこれらカラーフィルタと液晶パネルの重な
り合った各画素を通り透過するように位置調整装置によ
り位置合わせを行う。この際、液晶パネルの各画素は、
液晶パネル駆動装置に制御されて任意に透過状態と不透
過状態とを切り替えることができる。すると、検査対象
となるカラーフィルタを実際に表示装置に組み込んだ場
合と同様の条件で検査することが可能となり、例えば、
光源からの光がカラーフィルタ上の特定の領域の画素の
みを透過するように制御して、１度に検査する画素数を
減少させ検査員の集中力が低下するのを防止したり、特
定のパターンを構成する画素のみを透過させるように制
御して、表示されるパターンによって欠陥のある画素が
特に目立つようにすることにより、検査員の目視検査を
補助することができるようになる。

【００１５】この結果、対向電極基板等に形成された単
体のカラーフィルタをこの対向電極基板にマトリクス基
板を取り付け表示装置として動作させた場合と同様の状
態で透過光により検査することができるので、漏れのな
い確実な検査を行うことができるようになる。

【００１６】また、本発明の他の検査装置によれば、マ
ウス等のポインティングデバイスを用いて液晶パネルの
任意の位置に画素の不透過状態による印を表示させるこ
とができるので、欠陥を検出した場合に、この印を移動
させて正確に欠陥位置を特定することができるようにな
る。

【００１７】この結果、欠陥を検出した場合に、その欠
陥位置をポインティングデバイスによって指示すること
ができるので、対向電極基板に直接印を記入するような
場合に比べ、欠陥位置を正確で間違いなくしかも迅速に
特定することができるようになり、また、対向電極基板
を汚すようなおそれもなくなる。

【００１８】さらに、本発明の他の検査装置及び検査方
法によれば、液晶パネルとカラーフィルタを透過した光
が光学系装置を介してスクリーン等に投影されるので、
この透過光のパターンを拡大して目視検査をより見易く
することができるようになる。

【００１９】この結果、検査員はスクリーン等の上に拡
大表示された透過光のパターンに基づいて検査を行うこ
とができるので、より確実に欠陥を検出することができ
るようになる。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
を詳述する。

【００２１】（第１実施例）第１実施例である、アクテ
ィブマトリクス型のカラー液晶表示装置における対向電
極基板に形成されたカラーフィルタの検査装置について
説明する。

【００２２】図１乃至図５は本実施例を示すものであっ
て、図１はカラーフィルタの検査装置の全体構成を示す
構成図、図２はカラーフィルタと液晶パネルの重ね合わ
せ部分を示す部分拡大縦断面図、図３はカラーフィルタ
の画素に欠陥がある場合の光の透過の様子を示す説明斜
視図、図４は液晶パネルの画素を不透過状態にした場合
の光の透過の様子を示す説明斜視図、図５は図４の液晶
パネルの画素を不透過状態にした場合の光の透過の様子
をさらに広い範囲にわたって示した説明斜視図である。

【００２３】この検査装置は、図１に示すように、Ｘ、
Ｙ、θステージ１上に照明装置２と液晶パネル３とを配
置したものである。Ｘ、Ｙ、θステージ１は、図示しな
い制御装置によって、その上方の照明装置２及び液晶パ
ネル３を平面上のＸ−Ｙ軸方向に任意に移動させると共
に、これらの傾斜角度（θ）を任意に変更することがで
きるようにした装置である。照明装置２は、内部にラン
プ２ａと反射板２ｂとを有し、このランプ２ａから発せ
られた光と、反射板２ｂによって反射された光とを液晶
パネル３に照射する。なお、この照明装置２が照射する
光は、一旦拡散板によって拡散してから液晶パネル３に
照射するようにしてもよい。

【００２４】液晶パネル３は、図２に示すように、マト
リクス基板３ａと対向電極基板３ｂとの間に液晶３ｃを
封入した構造をしている。マトリクス基板３ａは、ガラ
ス等の透明な基板であり、対向電極基板３ｂとの対向面
上にはマトリクス状に多数の透明な絵素電極３ｄ及び、
これら各絵素電極３ｄの間にデータ線又は走査線となる
バスライン３ｅが形成されている。これら絵素電極３ｄ
とバスライン３ｅとの間は、図示しないＴＦＴ（薄膜ト
ランジスタ）を介してそれぞれ接続されている。また、
これら絵素電極３ｄ及びバスライン３ｅの上層は、液晶
３ｃの配向を定めるための配向膜３ｆで覆われている。
対向電極基板３ｂも、ガラス等の透明な基板であり、マ
トリクス基板３ａとの対向面上に透明な対向電極３ｇと
配向膜３ｆとが順に形成されている。マトリクス基板３
ａ上の各絵素電極３ｄは、検査対象となるカラーフィル
タの画素と同じ配置で形成され、それぞれが液晶パネル
３の各画素を構成する。この絵素電極３ｄと対向電極基
板３ｂにおける対向電極３ｇとの間の電場が制御される
ことにより、液晶３ｃの分子配向が変化して各画素を任
意に光透過と不透過とのいずれかの状態にすることがで
きる。なお、液晶パネル３は上記アクティブマトリクス
型表示パネルに限られず、単純マトリクス型表示パネル
を使用してもよい。

【００２５】なお、この液晶パネル３は、検査時の画素
の基準となるものであるため、各画素には全く欠陥のな
いものを使用する必要がある。また、ここでは液晶３ｃ
の光散乱を利用して不透過状態を作っているが、この液
晶３ｃが入射光の偏光状態を変化させるものである場合
には、液晶パネル３に適宜偏光フィルタを配置する必要
がある。

【００２６】上記液晶パネル３には、図１に示すよう
に、駆動回路４を介して制御回路５が接続されている。
制御回路５は、液晶パネル３の各画素を所定のパターン
で光透過又は不透過状態とするためのデータを作成し駆
動回路４に送る。駆動回路４は、この制御回路５から送
られて来たデータを走査によって順に各画素に送り込む
ための回路である。また、制御回路５には、マウス６が
接続され、マウス６の操作に対応した位置の画素を随時
不透過状態とするようなデータを作成することもでき
る。

【００２７】上記液晶パネル３の上方には、図示しない
支持具に支持されて対向電極基板７が配置される。この
支持具は、Ｘ、Ｙ、θステージ１とは別個に固定されて
いるので、これに支持される対向電極基板７は、Ｘ、
Ｙ、θステージ１による液晶パネル３の動作には連動し
ないようになっている。

【００２８】対向電極基板７は、アクティブマトリクス
型のカラー液晶表示装置において、マトリクス基板に向
き合って配置される基板であり、この基板上には検査対
象となるカラーフィタが形成されている。このカラーフ
ィタは、図２に示すように、対向電極基板７上にマトリ
クス状に多数形成されたフィルタ膜７ａからなり、各フ
ィルタ膜７ａがそれぞれ各画素を構成する。各フィルタ
膜７ａは、ＲＧＢのいずれかの色のみを透過するフィル
タであり、これらの各色が所定の配置となるように印刷
法、染色法又は電着法等により形成されている。なお、
この対向電極基板７には、対向電極となる透明電極膜が
形成されるが、ここでは検査の後に各フィルタ膜７ａを
覆うように形成されることになる。

【００２９】上記構成の検査装置を使用する場合には、
まず検査対象となる対向電極基板７を支持具に支持させ
た後に、Ｘ、Ｙ、θステージ１によって、液晶パネル３
とこの対向電極基板７との位置合わせを行う。即ち、図
２に示すように、液晶パネル３の傾斜角度を変えて、こ
の液晶パネル３を対向電極基板７に一定間隔で平行に沿
わせると共に、液晶パネル３をＸ−Ｙ軸方向に移動させ
て、この液晶パネル３の各画素（絵素電極３ｄ）が対向
電極基板７におけるカラーフィタの各画素（フィルタ膜
７ａ）に正確に重なり合うように調整を行う。すると、
照明装置２のランプ２ａから発した光が反射板２ｂで反
射されて、液晶パネル３及び対向電極基板７の各画素を
通って透過するので、対向電極基板７のカラーフィタに
欠陥がなければ全ての画素が例えば同じ方形として観察
される筈である。検査員は、この透過光を目視すること
によりカラーフィタの検査を行う。

【００３０】ここで、制御回路５には、予め何種類かの
表示パターンが記憶され、これらの表示パターンのデー
タが駆動回路４に順に送られる。駆動回路４は、このデ
ータを液晶パネル３の各画素に順に送り込むことにより
当該表示パターンを構成する画素のみを不透過状態とし
他の画素を光透過状態となるように制御する。従って、
この表示パターンによって、検査範囲を限定されたり欠
陥のある画素が特に目立つようになるので、検査員は、
目視検査を補助されて漏れのない確実な検査を行うこと
ができる。

【００３１】また、上記目視検査によって画素の欠陥を
発見した場合には、制御回路５にマウス６で指示した位
置のデータを作成させるようにする。すると、このマウ
ス６の操作に応じて液晶パネル３の任意の画素を随時不
透過状態とすることができるので、この不透過状態の画
素をカラーフィタの欠陥画素に重ね合わせる。即ち、図
３に示すように、対向電極基板７上のカラーフィタに欠
陥画素１１がある場合、液晶パネル３の対応画素１２が
光透過状態であれば、ランプ２ａからの光がこれら対応
画素１２及び欠陥画素１１を透過するので、検査員は、
この欠陥画素１１の画像を欠陥画素画像１３として観察
することができる。また、マウス６の操作によって、図
４に示すように、対応画素１２を不透過状態にすると、
ランプ２ａからの光は、この対応画素１２で遮断される
ので、検査員が観察する欠陥画素１１の位置は透過光の
ない不透過画像１４となる。ここで、図５に示すよう
に、マウス６の操作によって液晶パネル３上の対応する
１個の画素のみが不透過状態となるようにしておけば、
この不透過状態の画素を移動させる過程を経て対応画素
１２が不透過状態になることにより、欠陥画素１１に重
ね合わさったことを容易に知ることができる。

【００３２】従って、検査員は、マウス６を操作するこ
とにより、発見した欠陥画素１１の位置を迅速かつ正確
に指示することができる。このようにして欠陥画素１１
の位置を指示した場合には、このとき制御回路５が作成
したデータに基づいてこの欠陥画素１１の座標位置を特
定することができるので、マウス６をクリックする等の
操作により、この座標位置を記憶装置等に記録してお
く。その結果、この検査によって発見された欠陥位置を
後の欠陥修復工程等で正確に知ることができるようにな
る。なお、本実施例では、欠陥画素１１に重なる対応画
素１２のみを不透過状態とすることにより欠陥位置を指
示したが、対応画素１２を光透過状態とし、この周囲の
適当な画素を不透過状態とすることにより欠陥画素１１
を指示するようにしてもよい。

【００３３】（第２実施例）図６は本発明の第２実施例
を示すものであって、カラーフィルタの検査装置の全体
構成を示す構成図である。なお、上記図１に示した第１
実施例と同じ機能を有する構成部材には同じ番号を付記
する。

【００３４】本実施例の検査装置は、上記第１実施例の
検査装置における対向電極基板７の上方に反射鏡８を配
置すると共に、この反射鏡８の側方に投影レンズ９とス
クリーン１０とを配置したものである。反射鏡８は、平
板の反射鏡であり、４５°の角度に傾斜させて配置され
ている。従って、照明装置２から発せられ液晶パネル３
及び対向電極基板７を通って上方に向けて透過した光
は、この反射鏡８で反射されて側方の投影レンズ９に向
かう。また、投影レンズ９は、この反射鏡８で反射され
た光によって、対向電極基板７上の画像を所定の焦点距
離の位置にあるスクリーン１０上に結像させ投影する。
なお、反射鏡８は、画像の投影方向を調節するためのも
のに過ぎないため、この反射鏡８を排して液晶パネル３
の上方に直接投影レンズ９及びスクリーン１０を配置す
ることもできる。

【００３５】従って、本実施例の場合には、上記第１実
施例の場合に直接目視した対向電極基板７の透過光の画
像がスクリーン１０上に拡大されて投影される。このた
め、検査員は、より大きな画面でカラーフィルタの欠陥
画素を検査することができるので、さらに容易に確実な
検査を行うことができる。

【００３６】また、本実施例では、マウス６の操作によ
って液晶パネル３上の画素をクロスカーソル状に不透過
状態となるようにしている。即ち、直接指示する画素と
Ｘ−Ｙ軸上でそれぞれ同じ座標を持つ画素を全て不透過
状態とすることにより十文字のクロスカーソル状のパタ
ーンを表示させている。従って、スクリーン１０上には
図示のようにクロスカーソル状の表示パターン１５が現
れるので、これによって微細な欠陥画素をさらに容易に
指示することができる。

【００３７】なお、本実施例においても、上記第１実施
例に示したように、１個の画素のみが不透過状態となる
ような指示方法、又は、指示する画素の周囲の適当な画
素のみが不透過状態となるような指示方法を用いること
もできる。また、上記第１実施例において、本実施例の
ようなクロスカーソル状の表示パターン１５を用いるこ
ともできる。

【００３８】また、検査の対象となる表示装置は、アク
ティブマトリクス型表示装置に限られず、マトリクス型
表示装置に対しても本発明は適用できる。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の検査装置及び検査方法によれば、対向電極基板に形成
されたカラーフィルタを表示装置として動作させた場合
と同じ状態で透過光により漏れなく確実に単体検査する
ことができるので、製造プロセスのロスを減少させるこ
とができるようになる。

【００４０】また、欠陥を検出した場合にも、その欠陥
位置をポインティングデバイスによって指示することが
できるので、迅速かつ正確な欠陥位置の特定が可能とな
る。

【００４１】さらに、スクリーン等の上に拡大表示され
た透過光のパターンに基づいて、検査員が容易かつ確実
に検査を行うことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示すものであって、カラ
ーフィルタの検査装置の全体構成を示す構成図である。

【図２】本発明の第１実施例を示すものであって、カラ
ーフィルタと液晶パネルの重ね合わせ部分を示す部分拡
大縦断面図である。

【図３】本発明の第１実施例を示すものであって、カラ
ーフィルタの画素に欠陥がある場合の光の透過の様子を
示す説明斜視図である。

【図４】本発明の第１実施例を示すものであって、液晶
パネルの画素を不透過状態にした場合の光の透過の様子
を示す説明斜視図である。

【図５】本発明の第１実施例を示すものであって、液晶
パネルの画素を不透過状態にした場合の光の透過の様子
をさらに広い範囲にわたって示した説明斜視図である。

【図６】本発明の第２実施例を示すものであって、カラ
ーフィルタの検査装置の全体構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１ Ｘ、Ｙ、θステージ ２ 照明装置 ３ 液晶パネル ４ 駆動回路 ５ 制御回路 ６ マウス ７ 対向電極基板 ８ 反射鏡 ９ 投影レンズ １０ スクリーン

フロントページの続き (72)発明者 細見 正司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 佐々木 竜也 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 長井 剛 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 溝上 竜 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 伊黒 元貴 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−279225（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−81889（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−37711（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−96801（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G02F 1/1335 505 G02F 1/13 101 G02B 5/20 101

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マトリクス型表示装置の対向電極基板に
   形成されるカラーフィルタの検査装置において、 検査対象となるカラーフィルタの画素と同じ配置で形成
   され、かつ少なくとも光透過と不透過との２状態の制御
   が可能な画素を備えた液晶パネルと、 指示された位置に対応する該液晶パネルの任意の１又は
   ２以上の画素を不透過状態とする駆動制御を行う液晶パ
   ネル駆動装置と、 該液晶パネルに該検査対象となるカラーフィルタを重ね
   合わせて位置合わせを行う位置調整装置と、 該液晶パネルの背後に設けられた光源と、 該液晶パネル駆動装置により不透過状態とされた該液晶
   パネルの画素と、検出された該カラーフィルタの欠陥画
   素との位置を対応させることで、該液晶パネルにおいて
   指示された画素の位置から、該カラーフィルタの欠陥画
   素の位置を特定する手段とを具備した、マトリクス型表
   示装置に用いられるカラーフィルタの検査装置。
2. 【請求項２】 前記液晶パネルと前記カラーフィルタと
   を透過した光を投影するための光学系装置を具備した、
   請求項１記載のカラーフィルタの検査装置。
3. 【請求項３】 マトリクス型表示装置の対向電極基板に
   形成されるカラーフィルタの検査方法において、 検査対象となるカラーフィルタの各画素と該カラーフィ
   ルタの各画素と同じ配置で形成され、かつ少なくとも光
   透過と不透過との２状態の制御が可能な画素を備えた液
   晶パネルとを重ね合わせて位置合わせを行う工程、 該液晶パネル側から該カラーフィルタに光を照射して、
   該カラーフィルタを透過した光を観測することにより該
   カラーフィルタの欠陥画素を検出する工程、及び該液晶
   パネルの画素を所定パターンで不透過状態とすることに
   より、検出された該カラーフィルタの欠陥画素と対応す
   る該液晶パネルの画素を特定する工程、 を包含した、マトリクス型表示装置に用いられるカラー
   フィルタの検査方法。
4. 【請求項４】 マトリクス型表示装置の対向電極基板に
   形成されるカラーフィルタの検査方法において、 検査対象となるカラーフィルタの各画素と該カラーフィ
   ルタの各画素と同じ配置で形成され、かつ少なくとも光
   透過と不透過との２状態の制御が可能な画素を備えた液
   晶パネルとを重ね合わせて位置合わせを行う工程、 該液晶パネル側から該カラーフィルタに光を照射して、
   前記カラーフィルタの像をスクリーンに投影する工程、 該スクリーンに投影された該カラーフィルタの像を観測
   することにより該カラーフィルタの欠陥画素を検出する
   工程、及び該液晶パネルの画素を所定パターンで不透過
   状態とすることにより、検出された該カラーフィルタの
   欠陥画素と対応する該液晶パネルの画素を特定する工
   程、を包含した、マトリクス型表示装置に用いられるカ
   ラーフィルタの検査方法。