KR101414273B1 - 반사 및 투과 효율을 향상시켜 기판을 검사하는 방법 및장치 - Google Patents

반사 및 투과 효율을 향상시켜 기판을 검사하는 방법 및장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치를 위한 상판 또는 하판의 합착 전 기판 검사에서는 육안으로 확인되지 않은 얼룩 등 결함이 합착 후 기판 검사에서 나타나는 현상이 자주 발생하고 있으므로, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함을 좀 더 명확히 검사해 낼 수 있도록 반사 및 투과 효율이 향상된 검사 환경을 제공함으로써, 합착되기 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하고 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 검사 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따라 기판에 빛을 조사하여 기판의 상태를 검사하는 기판 검사 방법은, 미리 정해진 빛의 반사율 및 투과율을 가지는 보조 수단(일방 투명경)을 기판 아래에 접촉시키는 단계, 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 단계, 및 상기 조사된 빛에 의하여 상기 기판으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사하는 단계를 포함한다.
기판 검사, 확산판, 일방 투명경, 반사, 투과

Description

반사 및 투과 효율을 향상시켜 기판을 검사하는 방법 및 장치{Method and Apparatus for Inspecting Substrate with High Efficiency Reflection and Transmission}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 반사 검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 투과 검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 액정 표시 장치를 위한 합착 후 기판의 액정 상태 목시 검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 액정 표시 장치를 위한 합착 후 기판의 구동 상태 등 최종 검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 6의 근거리 투과 조명계와 그 위에 놓인 기판 간의 구체적인 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도 이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
121: 회전 유닛
122: 근거리 투과 조명계
131: BLU(Back Light Unit: 백라이트 유닛)
132: 확산판
133: 일방투명경
123: 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판
본 발명은 액정 표시 장치를 위한 기판을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 액정 표시 장치를 위한 상판 또는 하판의 합착 전 기판 검사에서는 육안으로 확인되지 않은 얼룩 등 결함이 합착 후 기판 검사에서 나타나는 현상이 자주 발생하고 있으므로, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함을 좀 더 명확히 검사해 낼 수 있도록 반사 및 투과 효율이 향상된 검사 환경을 제공함으로써, 합착되기 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하고 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 1을 참조하면, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 검사 기판이 회전할 수 있는 고정 부재 상에서 이동할 수 있도록 구성된 소정 프레임(frame) 형태의 슬라이딩 부재에 고정된다.
검사자는 반사 조명계로부터 나오는 빛이 검사 기판에서 반사되는 빛을 관찰함으로써 기판 상의 전극, 컬러 필터, 컬럼 스페이서(spacer) 등의 불균일에 의한 얼룩 등 결함을 확인하고 양호/불량 기판을 판별할 수 있다. 이러한 검사는 검사자의 위치에서 카메라를 이용하여 이미지를 촬영하고 분석함으로써도 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 2와 같이, CF(color filter: 컬러 필터) 기판(액정 표시 장치를 위한 컬러 필터를 포함하는 합착 전 유리 기판)에는 R(red), G(green), B(blue) 컬러 필터 셀들(21)이 도포되어 있고, CF 기판 위에 이물질이 붙거나 기타 공정 과정 중의 여러 가지 원인으로 인한 결함(22) 등이 존재하는 경우에, 검사자는 CF 기판의 해당 부분에서 반사되는 빛의 색으로부터 얼룩 등 결함이 있는 불량 기판으로 판정할 수 있다.
또한, 도 3과 같이, 검사자는 투과 조명계로부터 나오는 빛이 CF 기판을 통과하여 투과하는 빛을 관찰함으로써, 컬러 필터 셀들(31) 중 불균일한 부분(32)에서 투과되는 빛의 색으로부터 얼룩 등 결함을 판정할 수 있다. 투과 검사 시에 조명을 위한 투과 조명계는 CF 기판으로부터 3m 이상 떨어져 있기 때문에 도 1과 같은 검사 장치는 많은 공간을 차지하는 문제점이 있다.
TFT(Thin Film Transistor) 기판(액정 표시 장치를 위한 TFT를 포함하는 합착 전 유리 기판)에 대해서도 위와 같은 반사 검사와 투과 검사가 이루어질 수 있 으며, 액정 표시 장치를 위한 상판(CF 기판)과 하판(TFT 기판)의 합착 전에는 투과 검사 보다 반사 검사에서 얼룩 등 결함을 검출하는 것을 주목적으로 검사가 진행되고 있다.
한편, 액정 표시 장치를 위한 상판(CF 기판)과 하판(TFT 기판)의 합착 후 기판 검사에서는, 도 4와 같이 액정 상태 목시 검사와 도 5와 같이 구동 상태 등 최종 검사가 이루어진다.
액정 상태 목시 검사를 위하여, 도 4와 같이, BLU(Back Light Unit)(41) 위에 편광 필름(42)이 놓이고, 그 위에 합착 기판(43)이 놓인다. 검사자는 BLU(41)로부터 나오는 빛이 편광 필름(42)과 합착 기판(43)을 통과하여 나오는 빛을 편광 필름(44)을 통하여 관찰함으로써, 합착 기판(43) 내에 봉입된 액정의 불균일 상태에 따른 투과 빛의 이상으로부터 얼룩 등 결함을 판정할 수 있다. 이때에는 액정에서 위상 지연으로 인하여 빛의 진행 방향에 따라 서로 다른 방향에서 각기 R, G, B 가강하게 보이는 컬러 쉬프트(color shift) 현상을 이용하기 위하여, 검사자는 편광 필름(44)을 돌리면서 여러 방향에서 각 색의 이상 여부를 관찰하여 결함을 판정한다.
구동 상태 등 최종 검사를 위하여, 도 5와 같이, BLU(Back Light Unit)(51) 위에 편광 필름(52)이 놓이고, 그 위에 합착 기판(53)과 편광 필름(54)이 놓인다. 검사자는 BLU(51)로부터 나오는 빛이 편광 필름(52), 합착 기판(53), 편광 필름(54)을 통과하여 나오는 빛을 육안 또는 카메라가 촬영한 이미지를 통한 분석으로 얼룩 등 결함을 관찰함으로써, 합착되기까지의 전체 공정에서 결함이 있었는지 를 판정할 수 있다. 이때에는 합착 기판(53)의 실제 구동 시에 필요한 신호(V), 즉, 게이트라인, 데이터 라인 등의 구동에 필요한 신호를 고정밀 얼라인먼트(alignment)가 가능한 장치로 탐침(probe)하여 인가해 줌으로써, 픽셀 단위로 R, G, B 각 컬러별 얼룩이나 특정 이미지의 정상 여부 등을 관찰한다.
그러나, 위와 같은 합착 전 검사 방법에서 양호한 기판으로 판정받은 기판이, 합착 후 검사에서 얼룩 등 결함이 나타나 불량으로 판정되는 경우가 자주 발생되는 문제점이 있다. 즉, 위와 같은 합착 전 반사 검사에서는, 합착 시 봉입되는 액정이 합착 전 CF 기판이나 TFT 기판에 미치는 영향을 반영하여 관찰 할 수 없으므로, 합착 전에 보이지 않은 얼룩이 합착 후의 달라진 환경에서 나타날 수 있다. 예를 들어, 최근 경향이 컬러 필터의 투과도는 높이고 반사율은 낮게 하는 추세이므로, 합착 후 기판의 반사 검사에서 컬러 필터를 투과한 빛이 다시 컬러 필터 쪽으로 반사되어 나올 수 있는 등 합착 전후에 컬러 필터에서의 빛의 반사 환경이 달라질 수 있다. 또한, 위와 같은 합착 전 투과 검사가 보조적인 검사이지만, 투과 조명계가 검사 기판과 3m 이상 멀리 떨어져 있으므로 조도가 낮아 얼룩 등 결함이 용이하게 판정되지 않을 수 있다. 따라서, 이와 같은 문제점들로 인하여 합착 전에 보이지 않은 얼룩이 합착 후의 달라진 환경에서 나타나게 됨으로써, 불량 기판을 조기에 발견하지 못함으로 인한 합착 공정비용의 증가나 합착 후 액정 패널의 수율 저하를 야기 시킬 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 서, 본 발명의 목적은, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함을 좀 더 명확히 검사해 낼 수 있게 하기 위하여, 반사와 투과 효율을 증대시켜 미세한 얼룩 등의 결함이라도 용이하게 검출할 수 있는 기판 검사 방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함의 검출을 용이하게 하여, 합착 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하고 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 기판 검사 방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일면에 따른, 기판에 빛을 조사하여 기판의 상태를 검사하는 기판 검사 방법은, 미리 정해진 빛의 반사율 및 투과율을 가지는 보조 수단을 기판 아래에 접촉시키는 단계; 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 단계; 및 상기 조사된 빛에 의하여 상기 기판으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사하는 단계를 포함한다.
상기 보조 수단은 일방 투명경이고, 상기 기판은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판 또는 하판일 수 있다.
상기 접촉시키는 단계 후에, 상기 보조 수단의 아래에서 빛을 조사하는 단계; 및 상기 보조 수단의 아래에서 조사된 빛에 의하여 상기 기판을 통과하여 투과되는 빛을 검사하는 단계를 더 포함한다.
상기 투과되는 빛을 검사하는 단계에서, 광원으로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판을 통과한 빛이 상기 보조 수단의 아래에서 조사되는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 방법은, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 아래에 일방 투명경을 접촉시키는 단계; 및 상기 일방 투명경이 접촉된 상기 기판의 위에서 빛을 조사하여 기판의 반사 검사를 수행하거나 상기 일방 투명경의 아래에서 빛을 조사하여 기판의 투과 검사를 수행하는 단계를 포함한다.
상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 또 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치는, BLU(Back Light Unit); 상기 BLU 위에서 상기 BLU로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판; 및 상기 확산판 위에 놓인 일방 투명경을 포함하고, 상기 일방 투명경 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 기판의 위에서 광원 수단으로 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 반사 검사를 수행하고, 상기 BLU에서 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 투과 검사를 수행하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명의 또 다른 일면에 따른, 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치는, 회전축에 지지된 회전 유닛; 및 상기 회전 유닛 위에 장착된 근거리 투과 조명계를 포함하고, 상기 근거리 투과 조명계 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 회전 유닛을 이용하여 상기 기판의 경사 각도를 조절하고, 상기 근거리 투과 조명계가 상기 회전 유닛의 가이드를 따라 움직여 검사 위치를 조절하며, 상기 근거리 투과 조명계는 상기 기판 에 접촉되는 일방 투명경을 이용하여, 상기 기판에 대한 반사 검사 시에 빛의 반사 효율을 증가시키고, 상기 기판에 대한 투과 검사 시에 상기 일방 투명경 아래의 광원으로부터의 빛이 상기 일방 투명경과 상기 기판을 통과하도록 하는 것을 특징으로 한다. 상기 기판 검사 장치는 상기 반사 검사 시에 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계를 더 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하에서 설명될 실시예 및 도면은 본 발명의 기술사상의 범위를 제한하거나 한정하는 의미로 해석될 수는 없다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)를 설명하기 위한 도면이다. 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)는 회전축(126)에 의하여 지지되도록 설치되어 있는 회전 유닛(unit)(121), 및 상기 회전 유닛(121) 위에 장착된 근거리 투과 조명계(122)를 포함할 수 있다.
회전축(126)은 전후/좌우로 움직일 수 있는 소정 스테이지(stage) 상의 지지 기구물에 의하여 지지될 수 있고, 경사 각도를 조절하기 위하여 소정 회전 구동 장치(예를 들어, 모터)에 의하여 회전축(126)이 회전함에 따라 회전축(126)에 물려있는 회전 유닛(121)도 회전축(126)을 중심축으로 하여 회전할 수 있다. 검사될 기판(123)을 올려놓고 홀딩(holding)하기 위한 근거리 투과 조명계(122)는 상기 회전 유닛(121)의 소정 가이드(예를 들어, 레일 구조)를 따라 미끄러지듯이(sliding) 움직일 수 있도록 설치되어 있어서, 대면적 기판의 검사 시에 검사 위치의 상하를 조 절할 수 있도록 할 수 있다.
이외에도, 도 6에는 도시하지 않았으나, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 장치(120)는 반사 검사 시에 근거리 투과 조명계(122) 위에 놓인 검사될 기판(123)의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에서는 아래 에서도 기술하는 바와 같이, 반사 검사에서는 상기 반사 조명계의 광원으로부터 나오는 빛을 검사될 기판(123)으로 조사하여 반사되어 나오는 빛을 검사하고, 투과 검사에서는 근거리 투과 조명계(122) 내에 장착된 광원으로부터 나오는 빛이 검사될 기판(123)을 통과하여 나오는 빛을 검사한다.
여기서, 검사될 기판(123)은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판(CF 기판) 또는 하판(TFT 기판)일 수 있다. 이외에도, 유리와 같은 투명 기판 위에 투명 도전막, 산화막, 금속 박막, 단일 컬러 필터 등 소정 박막이 적절히 코팅되었는지를 검사하기 위하여 다양한 기판이 근거리 투과 조명계(122) 위에 놓여 검사될 수 있다. 특히, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판(CF 기판) 또는 하판(TFT 기판)의 반사 검사 또는 투과 검사를 통하여, 검사자는 기판(123) 상에 도포되거나 코팅된 전극, 컬러 필터, 컬럼 스페이서(spacer) 등의 불균일에 의한 얼룩 등 결함을 확인하고 양호/불량 기판을 판별할 수 있다.
도 6의 근거리 투과 조명계(122)와 그 위에 놓인 기판(123) 간의 구체적인 구성이 도 7에 도시되어 있다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따라 검사될 기판(123)을 올려놓고 홀딩하기 위한 근거리 투과 조명계(122)는 BLU(Back Light Unit: 백라이트 유닛)(131), 확산판(132) 및 일방 투명경(133)을 포함한다.
도 6에서는 검사될 기판(123)의 한변의 길이가 2m, 3m 등 대면적인 경우에 기판(123)의 핸들링을 용이하게 하기 위한 기판 검사 장치(120)의 실시예를 도시하였으나, 도 7과 같은 근거리 투과 조명계(122)만을 이용하는 방식으로 기판의 대소 면적 여부에 상관없이 본 발명의 기판 검사 장치 및 방법을 실시하는 것도 가능함을 미리 밝혀둔다.
BLU(131)은 투과 검사 시에 기판(123)의 밑에서 위로 빛을 투과시키기 위한 광원으로 사용되며, 일반적인 LCD(Liquid Crystal Display)에서와 같이 투과후의 조도가 500 룩스 정도 되도록 하기 위하여 광원 자체의 조도는 약 10,000 룩스 또는 그 이상인 것이 사용될 수 있다.
BLU(131) 위의 확산판(132)은 BLU(131)로부터 나오는 빛의 균일성을 보완한다. 즉, 일반적인 형광등 형태의 BLU(131)에서 발생되는 빛이 기판(123)의 전면에 균일하고 높은 휘도로 입사될 수 있도록 확산판(132)이 이용된다. 이외에도, 휘도를 높이고 시야각을 향상시키기 위하여 확산판(132) 위에 도광판이나 프리즘판 등이 더 사용될 수 있다.
확산판(132) 위에 놓인 일방 투명경(133)은 미리 정해진 빛의 반사율(예를 들어, 50%) 및 투과율(예를 들어, 50%)을 가지는 필름 형태의 구조물로서, 반사 검사 시에는 반사 효율을 증가시키고 투과 검사 시에는 BLU(131)로부터 나오는 빛의 일부가 기판(123) 쪽으로 전달되어 투과되도록 한다.
본 발명에서는, 일방 투명경(133) 위에 검사될 기판(123)을 올려놓은 상태에서, 투과 검사 시에는 일방 투명경(133) 아래의 BLU(131)로부터의 빛이 확산 판(132)을 거쳐 일방 투명경(133)과 기판(123)의 컬러 필터(137) 등을 통과하여 나오는 빛(도 7의 139)을 육안 검사하거나 카메라로 촬영된 이미지를 분석한다. 따라서, 도 1과 같이 먼 거리에 투과 조명계를 두고 빛을 조사하는 방식보다 효율적으로 BLU(131)의 빛을 이용할 뿐만아니라, 확산판(132)에 의한 휘도 균일화 또는 휘도 향상을 이용하므로, 투과 효율이 증대되고, 높은 휘도에서 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있게 된다.
특히, 본 발명에서, 반사 검사 시에는 검사될 기판(123)의 위에서 광원 수단(반사 조명계)으로 빛을 조사하여 기판(123)의 컬러 필터(137) 등으로부터 반사되는 빛(도 7의 138)을 육안 검사하거나 카메라로 촬영된 이미지를 분석한다. 이때, 도 7과 같이 일방 투명경(133)으로부터도 빛이 반사되어 나오므로, 반사 효율이 증대되고, 높은 반사 빛의 밝기에서 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있게 된다.
한편, 도 6과 같이 근거리 투과 조명계(122)에 검사될 기판(123)을 소정 홀더로 고정시켜 검사하는 경우에는, 회전 유닛(121)을 회전 시키면서 기판(123)의 경사 각도를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있으며, 근거리 투과 조명계(122)는 회전 유닛(121)의 소정 가이드를 따라 움직일 수 있으므로 이를 이용하여 기판(123)의 적절한 상하 위치를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있게 된다.
이에 따라, 본 발명에서는, 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판 검사에서, 기판(123)에 접촉되어 사용되는 일방 투명경(133)에 따라 얼룩 등의 결함의 검출이 용이하므로, 액정 표시 장치를 위한 상판과 하판의 합착 전에 미리 불량 기판인지를 판정하기가 용이해지며, 기존과 같이 판정이 명확하지 않아 양호한 기판으로 판정받은 불량성 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 하여 합착 후의 패널, 즉, 액정 패널의 불량 판정율을 줄일 수 있게 된다.
이하, 도 8을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사 방법을 좀더 자세히 설명한다.
먼저, 검사될 액정 표시 장치를 위한 CF 기판이나 TFT 기판을 근거리 투과 조명계(122)의 일방 투명경(133)에 접촉시켜 고정한다. 기판의 사이즈에 상관없이 도 7과 같은 근거리 투과 조명계(122) 위에 기판(123)이 놓여져 검사될 수 있으며, 도 6의 장치가 사용되는 경우에 회전 유닛(121)을 이용하여 기판(123)의 경사 각도를 조절하거나, 근거리 투과 조명계(122)를 회전 유닛(121)의 소정 가이드를 따라 움직여 적절한 상하 위치를 조절하여 반사 및 투과 검사를 진행할 수 있다.
반사 검사, 즉, 기판(123)의 위에서 빛을 조사하고 상기 조사된 빛에 의하여 기판(123)으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사함으로써, 기반의 빛 반사 상태에 따라 얼룩 등 결함이 있는 지를 검사할 때는 도 7의 BLU(131)는 오프(off)된다. 투과 검사, 즉, BLU(131)로부터의 백라이트가 기판(123) 위로 투과되는 빛을 검사함으로써, 기판(123)의 빛 투과 상태에 따라 얼룩 등 결함이 있는 지를 검사할 때는 도 7의 BLU(131)는 온(on)된다. 투과 검사에서 BLU(131)는 기판(123) 위로 투과된 빛의 조도가 500 룩스 정도의 적절한 조도를 갖도록 미리 그 밝기가 조절된 상태이거나 소정 수단에 의하여 가변되어 조절될 수 있다(S141). BLU(131) 위에 놓인 확산 판(132)은 그 위의 전면으로 빛이 균일하고 높은 휘도로 진행될 수 있도록 한다(S142).
반사 검사에서 일방 투명경(133)은 반사 효율을 증대시키는 보조 수단으로 작용하고, 투과 검사에서 일방 투명경(133)은 BLU(131)로부터의 백라이트를 일부 투과시키도록 하며 일방 투명경(133)을 통과한 빛은 기판(123)을 통과하여 기판(123) 밖으로 투과된다(S143).
일반적으로 휘도 향상을 위하여 액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판(123)의 컬러 필터나 투명 도전막 등의 반사율은 낮추고 투과도를 증가시키는 방향으로 발전하고 있으므로, 반사 검사에서 일방 투명경(133)이 없다면 반사되는 빛이 적어 얼룩 등의 결함 검출이 용이하지 않지만, 본 발명에서는, 일방 투명경(133)으로부터도 빛이 반사되어 나오도록 할 수 있으므로, 좀더 밝아진 반사 빛(도 7의 138)에 따라 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있다(S144).
또한, 투과 검사에서 일방 투명경(133) 아래의 BLU(131)로부터의 빛이 확산판(132)을 거쳐 일방 투명경(133)과 기판(123)을 통과하여 나오는 빛(도 7의 139)을 검사할 때, 근거리 투과 조명계(122)에 의한 투과 효율의 증대와 높은 휘도에 따라 기판(123) 상의 미세한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확하고 용이하게 검사해 낼 수 있다.
본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 형태의 변형 및 응용이 가능하다. 예를 들어, 본 발명의 실시예들에서 BLU 위에 접촉되어 부착되는 확산판, 일방 투명경 등은 플렉시블(flexible)한 필름 형태인 것이 바람직하나, 필요에 따라 이들은 유사한 작용이나 기능을 유지하는 한 딱딱한 플라스틱 형태나 유리 형태 등의 다양한 구조물로 대체될 수도 있다. 결국, 상기 실시예들과 도면들은 본 발명의 내용을 상세히 설명하기 위한 목적일 뿐, 발명의 기술적 사상의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니므로, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 뿐만 아니라 그와 균등한 범위를 포함하여 판단되어야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법에서는, 합착 전 기판 검사에서 일방 투명경을 이용하여 반사와 투과 효율을 증대시켜 미세한 얼룩 등의 결함이라도 용이하게 검출할 수 있게 하므로, 합착 전 기판에 대한 얼룩 등의 결함을 좀더 명확히 검사해 낼 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법에서는, 합착 전 기판 검사에서 얼룩 등의 결함의 검출이 용이하므로, 합착 전에 불량 기판을 미리 판정하여 불량 기판이 합착 공정으로 진행되지 않도록 할 수 있고, 이에 따라 합착된 후의 액정 패널의 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 기판에 빛을 조사하여 기판의 상태를 검사하는 기판 검사 방법에 있어서,
    미리 정해진 빛의 반사율 및 투과율을 가지는 일방 투명경인 보조 수단을 기판 아래에 접촉시키는 단계;
    선택적으로 상기 기판의 위에서 빛을 조사하거나 상기 보조 수단의 아래에서 빛을 조사하는 단계; 및
    상기 빛을 조사하는 단계에서의 선택에 따라 상기 기판으로부터 반사되어 나오는 빛을 검사하거나 상기 기판을 통과하여 투과되는 빛을 검사하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판은 액정 표시 장치를 위한 합착 전 상판 또는 하판인 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 투과되는 빛을 검사하는 단계에서,
    광원으로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판을 통과한 빛이 상기 보조 수단의 아래에서 조사되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  6. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 방법에 있어서,
    액정 표시 장치를 위한 합착 전 기판의 아래에 일방 투명경을 접촉시키는 단계; 및
    상기 일방 투명경이 접촉된 상기 기판의 위에서 빛을 조사하여 기판의 반사 검사를 수행하거나 상기 일방 투명경의 아래에서 빛을 조사하여 기판의 투과 검사를 수행하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  7. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치에 있어서,
    BLU(Back Light Unit);
    상기 BLU 위에서 상기 BLU로부터의 빛의 균일성을 보완하는 확산판; 및
    상기 확산판 위에 놓인 일방 투명경을 포함하고,
    상기 일방 투명경 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 기판의 위에서 광원 수단으로 빛을 조사하여 상기 기판에 대한 반사 검사를 수행하고, 상기 BLU에서 빛 을 조사하여 상기 기판에 대한 투과 검사를 수행하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  8. 기판의 반사 및 투과 상태를 검사하는 기판 검사 장치에 있어서,
    회전축에 의하여 지지된 회전 유닛; 및
    상기 회전 유닛 위에 장착된 근거리 투과 조명계를 포함하고,
    상기 근거리 투과 조명계 위에 검사될 기판을 올려놓고, 상기 회전 유닛을 이용하여 상기 기판의 경사 각도를 조절하고, 상기 근거리 투과 조명계가 상기 회전 유닛의 가이드를 따라 움직여 검사 위치를 조절하며,
    상기 근거리 투과 조명계는 상기 기판에 접촉되는 일방 투명경을 이용하여, 상기 기판에 대한 반사 검사 시에 빛의 반사 효율을 증가시키고, 상기 기판에 대한 투과 검사 시에 상기 일방 투명경 아래의 광원으로부터의 빛이 상기 일방 투명경과 상기 기판을 통과하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 반사 검사 시에 상기 기판의 위에서 빛을 조사하는 반사 조명계
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
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