KR20100107175A - 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법 - Google Patents

액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법 Download PDF

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KR20100107175A
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Abstract

본 발명은 액정 패널이 안착되는 워크 테이블, 상기 워크 테이블 상에 위치하며, 상기 액정 패널을 촬영하는 촬영부, 상기 워크 테이블 내측에 위치하며, 상기 액정 패널 하부에서 편광판 및 확산판을 지지하는 이동 홀더 및 상기 이동 홀더와 연결되고, 상기 워크 테이블의 일측에 고정되어 상기 이동 홀더를 수평 이동시키는 이송부를 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치에 관한 것이다.
오토 프로브, 검사장치, 액정 패널

Description

액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법{Auto Probe Inspection Devise For Liquid Crystal Panel And Inpecting Method For The Same}
본 발명은 액정 패널의 결함을 검출하기 위한 검사장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정패널은 박막 트랜지스터 공정, 셀 공정 및 모듈공정으로 나누어진다.
박막 트랜지스터 공정은 유리 기판 상에 박막의 증착 및 식각을 반복하여 다수의 트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정이고, 셀 공정은 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판과 컬러필터가 형성된 상부기판에 배향막을 형성하는 배향막 도포 공정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록하는 러빙 공정, 스페이서를 도포하는 스페이서 공정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후 주입구를 봉지하는 액정주입 과정을 포함한다.
마지막으로, 모듈 공정은 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버 칩을 실장한 후 PCB를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛과 기구물을 조립하게 된다.
한편, 셀 공정 중에서, 액정주입 과정 후에 진행하게 되는 오토 프로브 검사 공정이 수행되는데, 오토 프로브 검사공정은 일종의 전자현미경인 오토 프로브 검사장치를 이용하여 검사자가 액정 패널 상태를 관측 검사하는 것을 말한다.
도 1은 종래 액정 패널을 검사하는 오토 프로브 검사장치를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 오토 프로브 검사장치는 액정 패널(10), 상기 액정 패널(10)을 지지하는 워크 테이블(11) 및 상기 액정 패널(10)을 촬영하여 검사하는 카메라(12)로 구성되어 있다.
상기 워크 테이블(11)에는 상기 액정 패널(10) 하부에 위치하는 편광판(13)과, 상기 편광판(13) 하부에 위치하는 확산판(14)이 구비된다. 그리고, 워크 테이블(11)의 하부에는 액정 패널(10)에 빛을 출사하는 백라이트 유닛(15)이 구비된다.
그리고, 상기 액정 패널(10)은 워크 테이블(11)을 통해, 액정 패널(10)의 패드단에 전기적 신호가 인가될 수 있도록 연결되어 있다.
오토 프로브 검사장치는 액정 패널(10)의 동작을 검증하는 장비로, 백라이트 유닛을 통해 빛을 출사하고 액정 패널(10)에 전기적 신호를 인가하여 화소의 구동시킨다. 따라서, 액정 패널(10)의 구동 상태를 카메라(12)로 촬영하여 그 결함 여부를 판단하게 된다.
그러나, 액정 패널(10)과 백라이트 유닛(15) 사이에 위치한 편광판(13) 및 확산판(14)에 이물이나 스크래치가 존재하면, 오토 프로브 검사장치에서 액정 패널 의 결함으로 검출되게 된다.
따라서, 편광판(13) 및 확산판(14)에 존재하는 이물이나 스크래치가 액정 패널(10)의 실제 결함으로 인식하여 작업자가 이를 판별해내기 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 액정 패널의 오토 프로브 검사 공정에서 액정 패널의 실제 결함을 정확하게 검출하고, 검사에 걸리는 시간을 단축시켜, 검사 공정의 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법을 제공한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사장치는 액정 패널이 안착되는 워크 테이블, 상기 워크 테이블 상에 위치하며, 상기 액정 패널을 촬영하는 촬영부, 상기 워크 테이블 내측에 위치하며, 상기 액정 패널 하부에서 편광판 및 확산판을 지지하는 이동 홀더 및 상기 이동 홀더와 연결되고, 상기 워크 테이블의 일측에 고정되어 상기 이동 홀더를 수평 이동시키는 이송부를 포함할 수 있다.
상기 이송부는 모터장치 또는 실린더장치일 수 있다.
상기 워크 테이블의 일측에 위치하며, 상기 편광판 및 상기 확산판을 교체하기 위해 상기 워크 테이블과 분리되는 사이드 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 편광판 및 상기 확산판 하부에 위치하며, 상기 워크 테이블 하측에 위치한 백라이트 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 워크 테이블 상부 양측에 위치하는 전면 측광원 및 상기 워크 테이블 하부 양측에 위치하는 후면 측광원을 더 포함할 수 있다.
상기 촬영부는 카메라를 포함할 수 있다.
상기 촬영부 및 상기 이송부는 컴퓨터 시스템에 연결될 수 있다.
상기 이동 홀더는 적어도 2mm 이상 수평 이동할 수 있다.
상기 워크 테이블 상에 상기 액정 패널을 고정시키기 위한 복수 개의 클램핑을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사방법은 액정 패널을 워크 테이블에 로딩하는 단계, 상기 워크 테이블 내측에 위치한 이동 홀더에 의해 고정된 편광판 및 확산판을 이송부를 통해 수평 이동시키는 단계, 상기 액정 패널을 촬영하여 제 1 검사하는 단계, 상기 편광판 및 확산판을 이송부를 통해 원위치로 수평 이동시키는 단계, 상기 액정 패널을 촬영하여 제 2 검사하는 단계 및 상기 검사 결과를 판별하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제 1 검사하는 단계 이전에, 상기 액정 패널에 전면 측광원을 조사하여 상기 액정 패널의 전면에 위치한 이물을 촬영하여 검사하는 단계 및 상기 액정 패널에 후면 측광원을 조사하여 상기 액정 패널의 후면에 위치한 이물을 촬영하여 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 이물을 검사하는 단계는, 상기 전면 또는 후면 측광원에서 빛이 조사되어 이물에 의해 확산되는 것을 촬영부에서 촬영할 수 있다.
상기 제 2 검사 이후에, 상기 액정 패널에 신호를 인가하여 검정색, 적색, 녹색, 청색 및 회색을 순차적으로 나타내면서 검사할 수 있다.
상기 검사 결과를 판별하는 단계는, 컴퓨터 시스템(PLC)에 의해 이루어질 수 있다.
상기 컴퓨터 시스템은 상기 액정 패널의 전면 및 후면의 이물 결과와, 상기 액정 패널의 제 1 검사 및 제 2 검사 결과를 비교하여 액정 패널 내의 실제 결함을 판별할 수 있다.
상기 제 1 검사 및 상기 제 2 검사의 결과는 상기 편광판 및 상기 확산판의 결함을 판별하여 상기 액정 패널 내의 실제 결함을 판별할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법은 액정 패널의 실제 결함을 판별하는 정확성을 향상시킬 수 있고, 또한, 액정 패널의 검사시간을 40% 정도 단축시켜 생산의 효율성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 예들을 자세하게 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사장치(100)를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 I-I'에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치(100)는 액정 패널(110)이 안착되는 워크 테이블(120), 상기 워크 테이블(120) 상에 위치하며, 상기 액정 패널(110)을 촬영하는 촬영부(130), 상기 워크 테이블(120) 내측에 위치하며, 상기 액정 패널(110) 하부에서 편광판(141) 및 확산판(142)을 지지하는 이동 홀더(150) 및 상기 이동 홀더(150)와 연결되고, 상기 워크 테이블(120)의 일측에 고정되어 상기 이동 홀더(150)를 수평 이동시키는 이송부(160)를 포함할 수 있다.
상기 액정 패널(110)은 하부기판 상에 박막의 증착 및 식각을 반복하여 다수의 트랜지스터를 배열하여 제작하는 박막 트랜지스터 공정과, 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판과 컬러필터가 형성된 상부기판에 배향막을 형성하는 배향막 도포 공정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록하는 러빙 공정, 스페이서를 도포하는 스페이서 공정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후 주입구를 봉지하는 액정주입 과정을 포함하는 셀 공정이 완료된 상태일 수 있다.
상기 워크 테이블(120)은 상기 액정 패널(110)을 지지하며 액정 패널(110)을 검사하기 위한 작업대 역할을 하는 것으로, 사각의 액자틀과 같은 형상일 수 있다.
상기 워크 테이블(120)의 일측에는 상기 액정 패널(110)이 워크 테이블(120)에 안착되었을 때, 액정 패널(110)의 위치를 고정하기 위한 하나 이상의 클램핑(170)이 구비되어 있다.
또한, 워크 테이블(120)의 타측에는 워크 테이블(120)의 내부 공간에 위치하는 편광판(141) 및 확산판(142)을 교체하기 용이하도록 사이드 커버(180)가 위치할 수 있다.
상기 사이드 커버(180)는 워크 테이블(120)의 타측을 개폐하는 역할을 하는 것으로, 사이드 커버(120)를 개폐함으로써, 워크 테이블(120) 내의 편광판(141) 및 확산판(142)을 교체할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따라 사이드 커버(180)가 분리된 오토 프로브 검사장치를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 사이드 커버(180)와 워크 테이블(120) 사이에는 편광판(141)과 확산판(142)을 이동 홀더(150)에 고정하는 역할을 하는 사이드 홀더(181)가 위치할 수 있다.
따라서, 사이드 커버(180)가 워크 테이블(120)에서 분리되면, 사이드 홀더(181)도 분리될 수 있어, 편광판(141) 및 확산판(142)을 슬라이딩 방법으로 이동 홀더(150)에서 분리할 수 있다. 그러므로, 편광판(141) 및 확산판(142)의 교체가 용이한 이점이 있다.
다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 패널(110)의 상부 및 하부에 해당하는 워크 테이블(120)에는 전면 측광원(191)과 후면 측광원(192)이 위치할 수 있다. 여기서, 전면 측광원(191)은 추후 액정 패널(110)의 검사 단계에서 액정 패널(110)의 전면에 존재할 수 있는 이물을 검사하기 위한 것이고, 후면 측광원(192)은 액정 패널(110)의 후면에 존재할 수 있는 이물을 검사하기 위해 구비될 수 있다.
상기 촬영부(130)는 워크 테이블(120)에 안착된 액정 패널(110)을 촬영하기 위한 것으로, 상기 워크 테이블(120)의 상부에 이격되어 위치할 수 있다. 이러한 촬영부(130)는 하나 이상의 카메라들로 이루어져 상기 액정 패널(110)을 촬영한 뒤 그 촬영이미지를 컴퓨터 시스템에 전송한다.
상기 이동 홀더(150)는 워크 테이블(120) 내측에 위치하며, 상기 액정 패널(110) 하부에서 편광판(141) 및 확산판(142)을 지지 및 이동시키는 역할을 할 수 있다.
보다 자세하게, 본 발명의 이동 홀더와 이송부를 나타낸 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5를 참조하면, 이동 홀더(150)는 ㄷ자 형태로 각 측변이 연결된 형태로 이루어져 상기 이송부(160)에 연결되어 있다.
따라서, 이송부(160)의 작동에 따라 이동 홀더(150)가 수평 이동을 함으로써, 이동 홀더(150)의 이동에 따라 편광판 및 확산판이 동시에 이동될 수 있다. 여기서, 상기 이동 홀더(150)의 수평 이동 거리는 적어도 2mm 이상일 수 있다.
다시, 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 워크 테이블(120) 하측에는 백라이트 유닛(200)이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛(200)은 액정 패널(110)에 빛을 제공하는 역할을 하는 것으로, 액정 패널(110)을 검사할 때 액정 패널(110)에서 다양한 색을 구현할 수 있도록 할 수 있다.
여기서, 백라이트 유닛(200)은 직하형 또는 에지형일 수 있으며, 특별히 한정되는 것은 아니다.
한편, 워크 테이블(120)의 일측에는 이송부(160)가 위치할 수 있다. 이송부(160)는 상기 이동 홀더(150)에 연결되어 이동 홀더(150)를 수평 이동시키는 역 할을 할 수 있다.
이송부(160)는 모터장치 또는 실린더장치로 이루어져 상기 이동 홀더(150)를 수평 이동시킬 수 있다.
보다 자세하게, 본 발명의 이송부를 나타낸 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6a를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송부(160)는 모터장치(210)로 이루어질 수 있다.
모터장치(210)는 회전력을 제공하는 모터(220)와, 상기 모터(220)에 회전력을 전달받는 모터기어(230) 및 상기 모터기어(230)의 회전에 따라 수평 이동되는 기어축(240)을 포함할 수 있다.
이러한 모터장치(210)는 모터(220)에 전원이 공급되면, 모터(220)가 일 방향으로 회전하게 되고, 모터(220)에 연결된 모터기어(230)는 모터(220)의 회전 방향과 동일한 방향으로 동시에 회전되게 된다. 그리고, 모터기어(230)과 맞물려 있는 기어축(240)은 모터기어(230)의 회전에 따라 일 방향으로 수평 이동 될 수 있다.
이러한 기어축(240)의 일단에는 상기 이동 홀더(150)가 연결되어 있어, 기어축(240)의 수평 이동에 따라, 이동 홀더(150)도 동시에 수평 이동할 수 있게 된다.
한편, 도 6b를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 이송부(160)는 실린더장치(250)로 이루어질 수 있다. 실린더장치(250)에는 다양한 종류가 있지만 본 실시 예에서는 공압실린더를 예로 설명한다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
실린더장치(250)는 실린더장치(250)의 바디(body)인 실린더(260)와, 상기 실린더(260) 내부에 위치하여, 수평 이동이 가능한 실린더헤드(265), 실린더헤드(265)에 연결된 실린더로드(270) 및 공기유입구(280a, 280b)를 포함할 수 있다.
이러한 실린더장치(250)는 공기유입구(280a)에 공기가 주입되면, 그 공기압으로 인해, 실린더(260) 내의 실린더헤드(265)가 수평 이동하게 된다. 따라서, 실린더헤드(265)의 이동에 따라 실린더헤드(265)에 연결된 실린더로드(270)가 동시에 동일 방향으로 이동될 수 있다.
반면, 반대 방향으로 실린더헤드(265)를 이동 시킬 때에는 반대 방향에 위치한 공기유입구(280b)에 공기를 주입하여, 그 공기압으로 실린더헤드(265) 및 실린더로드(270)를 반대 방향으로 이동시킬 수 있다.
이러한 실린더로드(270)의 일단에는 상기 이동 홀더(150)가 연결되어 있어, 실린더로드(270)의 수평 이동에 따라 이동 홀더(150)도 동시에 수평 이동할 수 있게 된다.
이하, 전술한 액정 패널의 오토 프로브 검사장치를 이용하여 액정 패널을 검사하는 검사방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사장치를 이용하여 액정 패널을 검사하는 검사방법을 순차적으로 나타낸 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 셀 공정이 완료된 액정 패널을 본 발명의 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치 내의 워크 테이블 상에 로딩시킨다.(S300)
오토 프로브 검사장치의 검사 단계는 크게 액정 패널에 전원을 인가하지 않는 상태와 전원을 인가한 상태의 검사 단계로 구분될 수 있다.
먼저, 액정 패널에 전원을 인가하지 않은 상태에서, 액정 패널의 전면 및 후면 측광 검사를 수행한다.(S310)
보다 자세하게는, 액정 패널 상부에 있는 전면 측광원을 작동시켜 액정 패널 전면에 빛을 출사한다. 그 다음, 전면 측광원에서 빛이 출사되는 동안에, 촬영부의 카메라에서 정해진 시간마다 액정 패널을 촬영한다. 이때, 촬영부에서는 촬영된 결과를 컴퓨터 시스템(PLC)에 전송하게 된다.
만약 액정 패널의 전면에 이물이 존재할 경우에는, 전면 측광원에서 출사된 빛이 이물에 의해 확산되는 것을 판별하게 된다. 따라서, 액정 패널의 전면에 이물의 존재 여부를 판단할 수 있다.
상기 전면 측광 검사가 수행된 후에, 액정 패널 하부에 있는 후면 측광원을 작동시켜 액정 패널의 후면 측광 검사를 수행한다. 후면 측광 검사도 전술한 전면 측광 검사와 동일한 방법으로 수행되므로, 그 설명을 생략한다.
이어서, 액정 패널에 전원을 인가한 상태에서, 액정 패널의 투명 패턴 검사를 수행한다.(S320)
보다 자세하게는, 액정 패널에 전원을 인가한 상태에서, 액정 패널의 하부에 위치한 백라이트 유닛을 작동시켜, 백라이트 유닛에서 출사되는 빛을 액정 패널에 입사시킨다.
그 다음, 촬영부의 카메라를 이용하여 정해진 시간마다 상기 액정 패널을 촬 영하여 그 결과를 컴퓨터 시스템에 전송하게 된다. 이렇게, 액정 패널 및 백라이트 유닛을 구동하여, 액정 패널의 전면, 후면 및 내부의 이물 데이터를 판별하게 된다.
이어, 워크 테이블 내에 구비된 편광판 및 확산판을 이동시킨다.(S330)
보다 자세하게는, 이송부를 작동시켜 이송부에 연결된 이동 홀더를 수평 이동시킨다. 이로써, 이동 홀더에 고정된 편광판 및 확산판은 이동 홀더의 수평 이동에 따라 동시에 수평 이동하게 된다.
이때, 이동 홀더는 적어도 2mm 이상 수평 이동할 수 있는데, 이는 액정 패널을 촬영하는 카메라가 인식할 수 있는 최소한의 마진을 고려한 것이다.
그 다음, 액정 패널을 구동하여 1차 블랙 패턴 검사를 수행한다.(S340)
즉, 액정 패널이 올 블랙을 구현하도록 액정 패널과 백라이트 유닛에 신호를 인가한다. 그리고, 촬영부의 카메라를 이용하여 정해진 시간마다 상기 액정 패널을 촬영하여 그 결과를 컴퓨터 시스템에 전송하게 된다.
이로써, 검은 색을 구현하는 액정 패널을 검사함으로써, 액정 패널 내의 결함을 판별하게 된다.
다음, 이전 공정에서 이동된 편광판 및 확산판을 원위치로 이동시킨다.(S350)
그리고, 이전에 수행되었던 1차 블랙 패턴 검사와 동일하게 2차 블랙 패턴 검사를 수행한다.(S360)
상기와 같이, 본 발명에서는 편광판 및 확산판의 위치를 변경하여, 2번의 동 일한 블랙 패턴 검사를 수행할 수 있다. 즉, 1차 블랙 패턴 검사와 2차 블랙 패턴 검사의 차이는 편광판 및 확산판의 위치가 상이하다는 점에 있다.
이로써, 1차 블랙 패턴 검사에서 결함이 발견된 영역과, 2차 블랙 패턴 검사에서 결함이 발견된 영역을 비교하여, 1차 블랙 패턴 검사에서 발견된 결함이 2차 블랙 패턴 검사에서 편광판 및 확산판의 수평 이동 거리만큼 이격된 영역에서 발견되었을 때, 이와 같은 결함은 액정 패널의 결함이 아닌 편광판 및 확산판의 결함으로 판별할 수 있다.
따라서, 본 발명에서는 편광판 및 확산판의 결함을 액정 패널의 결함으로 잘못 판별되는 오결함을 방지할 수 있는 이점이 있다.
다음으로, 액정 패널을 구동하여 다색상 패턴 검사를 수행한다.(S370)
보다 자세하게는, 액정 패널의 표시 영역을 상부 및 하부로 나누어, 상부는 검정색을 구현하고, 하부는 흰색을 구현하여 이를 카메라로 정해진 시간마다 촬영한다. 그리고, 색상을 역전시켜 검정색을 구현한 영역은 흰색을 구현하고, 흰색을 구현한 영역은 검정색을 구현하여 이를 카메라로 정해진 시간마다 촬영한다.
이어서, 액정 패널의 표시 영역 전면에 적색, 녹색, 청색 및 회색을 순차적으로 구현하여 카메라로 정해진 시간마다 촬영한다.
따라서, 각 색상별로 액정 패널을 구현하여 액정 패널의 결함을 판별할 수 있게 된다.
이어, 촬영부의 카메라에서 촬영된 결과를 컴퓨터 시스템에 전송한다.(S380) 본 실시 예의 흐름도에서는 다색상 패턴 검사(S370) 이후에 수행되는 것으로 나타 냈지만, 각 검사 단계마다 그 촬영 결과를 컴퓨터 시스템에 전송될 수 있다.
그 다음, 컴퓨터 시스템에서는 각 검사 단계마다 촬영된 결과를 비교한다.(S390)
즉, 전술한 바와 같이, 액정 패널의 전면 및 후면 측광 검사(S310)에서 판별된 액정 패널의 이물과, 1차 블랙 패턴 검사와 2차 블랙 패턴 검사에서 판별된 결과와, 다색상 패턴 검사에서 판별된 결과를 종합적으로 비교 판단한다.
따라서, 액정 패널 외부의 이물과 편광판 및 확산판의 이물이 실제 액정 패널의 결함으로 판별되는 것을 방지하여, 액정 패널의 실제 결함을 판별 능력을 향상시킬 수 있다.
이어, 컴퓨터 시스템에서 액정 패널의 이물 및 결함을 종합적으로 모니터에 전송되면, 작업자가 액정 패널의 실제 결함을 명확하게 판별하고, 그것을 토대로 액정 패널의 양불을 판정하게 된다.
그리고, 정확하게 판별된 액정 패널의 실제 결함이 기준치 이하로 판별되면, 액정 패널은 양호한 제품으로 결정되어 후 공정에 액정 패널을 투입된다.
반면, 정확하게 판별된 액정 패널의 실제 결함이 기준치 이상으로 판별되면, 액정 패널을 폐기처분하거나 리페어 단계를 거치게 된다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법을 적용하기 전과 적용 후의 오결함 개수 및 검사시간을 비교한 그래프이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법 을 적용하기 전에는 액정 패널의 실제 결함이 아닌데 액정 패널의 결함으로 판정된 오결함의 개수가 74.2 내지 83.5개로 나타나지만, 오토 프로브 검사장치 및 검사방법을 적용한 후에는 26.7개로 약 70% 정도 오결함 판정 개수가 감소된 것을 알 수 있다.
그리고, 도 9를 참조하면, 본 발명의 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법을 적용하기 전에는 액정 패널의 검사 시간이 99.7 내지 102.1초 정도 소요되지만, 오토 프로브 검사장치 및 검사방법을 적용한 후에는 67.5초로 검사 시간이 40% 정도 감소된 것을 알 수 있다.
상기와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사장치 및 검사방법은 액정 패널의 실제 결함을 판별하는 정확성을 향상시킬 수 있고, 또한, 액정 패널의 검사시간을 40% 정도 단축시켜 생산의 효율성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모 든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 종래 오토 프로브 검사장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치를 나타낸 도면.
도 3은 도 2의 I-I'에 따른 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치의 이동홀더를 나타낸 도면.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치의 이송부를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사장치를 이용한 검사방법을 나타낸 흐름도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오토 프로브 검사방법을 적용하기 전과 적용 후의 오결함 개수 및 검사시간을 비교한 그래프.

Claims (16)

  1. 액정 패널이 안착되는 워크 테이블;
    상기 워크 테이블 상에 위치하며, 상기 액정 패널을 촬영하는 촬영부;
    상기 워크 테이블 내측에 위치하며, 상기 액정 패널 하부에서 편광판 및 확산판을 지지하는 이동 홀더; 및
    상기 이동 홀더와 연결되고, 상기 워크 테이블의 일측에 고정되어 상기 이동 홀더를 수평 이동시키는 이송부를 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이송부는 모터장치 또는 실린더장치인 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 워크 테이블의 일측에 위치하며, 상기 편광판 및 상기 확산판을 교체하기 위해 상기 워크 테이블과 분리되는 사이드 커버를 더 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 편광판 및 상기 확산판 하부에 위치하며, 상기 워크 테이블 하측에 위치한 백라이트 유닛을 더 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 워크 테이블 상부 양측에 위치하는 전면 측광원 및 상기 워크 테이블 하부 양측에 위치하는 후면 측광원을 더 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 촬영부는 카메라를 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 촬영부 및 상기 이송부는 컴퓨터 시스템에 연결된 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 홀더는 적어도 2mm 이상 수평이동하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 워크 테이블 상에 상기 액정 패널을 고정시키기 위한 복수 개의 클램핑을 더 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치.
  10. 액정 패널을 워크 테이블에 로딩하는 단계;
    상기 워크 테이블 내측에 위치한 이동 홀더에 의해 고정된 편광판 및 확산판을 이송부를 통해 수평 이동시키는 단계;
    상기 액정 패널을 촬영하여 제 1 검사하는 단계;
    상기 편광판 및 확산판을 이송부를 통해 원위치로 수평 이동시키는 단계;
    상기 액정 패널을 촬영하여 제 2 검사하는 단계; 및
    상기 검사 결과를 판별하는 단계를 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제 1 검사하는 단계 이전에,
    상기 액정 패널에 전면 측광원을 조사하여 상기 액정 패널의 전면에 위치한 이물을 촬영하여 검사하는 단계; 및
    상기 액정 패널에 후면 측광원을 조사하여 상기 액정 패널의 후면에 위치한 이물을 촬영하여 검사하는 단계를 더 포함하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 이물을 검사하는 단계는,
    상기 전면 또는 후면 측광원에서 빛이 조사되어 이물에 의해 확산되는 것을 촬영부에서 촬영하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 제 2 검사 이후에,
    상기 액정 패널에 신호를 인가하여 검정색, 적색, 녹색, 청색 및 회색을 순차적으로 나타내면서 검사하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 검사 결과를 판별하는 단계는,
    컴퓨터 시스템(PLC)에 의해 이루어지는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  15. 제 11 또는 제 14항에 있어서,
    상기 컴퓨터 시스템은 상기 액정 패널의 전면 및 후면의 이물 결과와, 상기 액정 패널의 제 1 검사 및 제 2 검사 결과를 비교하여 액정 패널 내의 실제 결함을 판별하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 제 1 검사 및 상기 제 2 검사의 결과는 상기 편광판 및 상기 확산판의 결함을 판별하여 상기 액정 패널 내의 실제 결함을 판별하는 액정 패널의 오토 프로브 검사장치의 검사방법.
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