KR20130006221A

KR20130006221A - 디스플레이 패널 검사장치

Info

Publication number: KR20130006221A
Application number: KR1020110068124A
Authority: KR
Inventors: 전승화; 이건희
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2011-07-08
Filing date: 2011-07-08
Publication date: 2013-01-16

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널을 지지하기 위한 스테이지부; 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널이 컨베이어 시스템으로부터 이격되도록 상기 스테이지부를 이동시키기 위한 이격부; 디스플레이 패널의 부분(部分)에 대응되는 이미지획득영역을 갖는 이미지획득부; 및 상기 이미지획득부가 컨베이어 시스템으로부터 이격된 디스플레이 패널에 대한 부분별 이미지들을 획득하도록 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동부를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면 컨베이어 시스템에 발생하는 진동이 디스플레이 패널에 대한 검사공정에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있고, 디스플레이 패널에 대한 불량 여부를 자동으로 검출하기 위한 이미지를 획득함으로써 디스플레이 패널에 대한 검사공정을 자동 검사 방식으로 구현할 수 있다.

Description

디스플레이 패널 검사장치{Apparatus for Testing Display Panel}

본 발명은 디스플레이 장치에 사용되는 디스플레이 패널을 검사하기 위한 검사장치에 관한 것이다.

액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diodes, OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display, EPD) 등의 디스플레이 장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 디스플레이 장치에 사용되는 디스플레이 패널이 정상적으로 작동하는지 여부를 검사하는 검사공정이 포함된다.

도 1은 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정에서 디스플레이 패널을 이송하는 컨베이어 시스템과 팔레트를 나타낸 개략도이다.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은, 디스플레이 패널(10)이 컨베이어 시스템(Conveyor System)(100)에 의해 이동되는 팔레트(Pallet)(200)에 지지된 상태로 수행되었다. 상기 컨베이어 시스템(100)은 탭핑(Tapping) 검사, 누름/문지름 검사 등과 같은 복수의 검사장치들(미도시) 간에 상기 팔레트(200)를 이동시킴으로써 디스플레이 패널(10)을 상기 검사장치들 간에 이송한다. 도 1에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(10)이 팔레트(200)에 지지된 상태로 검사공정이 이루어짐에 따라, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 디스플레이 패널(10)을 다른 검사장치들 간에 이송하기 위해 팔레트(200)를 이송 및 정지시킴에 따라 발생하는 진동, 탭핑 검사 등 특수검사를 진행할 때 두드림 동작 등으로 인해 발생하는 진동 등과 같이 컨베이어 시스템에서 발생하는 진동이 디스플레이 패널에 대한 검사 결과에 영향을 미치게 되는 문제가 있다.

또한, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 작업자에 의한 육안 검사로 이루어졌다. 즉, 종래에는 작업자가 검사신호에 의해 구동되는 디스플레이 패널을 육안으로 보면서 정상적으로 작동되지 않는 부분을 판단하는 방식에 의해 디스플레이 패널에 대한 검사공정이 이루어졌다. 따라서, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 다음과 같은 문제가 있다.

첫째, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 작업자의 숙련도, 경험, 집중도 등이 디스플레이 패널에 대한 검사 결과에 영향을 미치게 되므로, 검사 결과에 대한 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.

둘째, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 작업자에 의한 수동 검사 방식이기 때문에, 디스플레이 패널에 대한 검사를 수행하는데 오랜 시간이 걸리고, 디스플레이 패널 제조 공정에 대한 수율을 저하시키는 문제가 있다.

셋째, 최근 업계에서는 고해상도, 고성능을 갖는 디스플레이 패널을 요구하고 있다. 그러나, 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정은 작업자에 의한 육안 검사 방식이기 때문에, 고해상도, 고성능을 갖는 디스플레이 패널을 제조하기 위한 검사공정을 구현하는데 한계가 있는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 컨베이어 시스템에서 발생하는 진동이 디스플레이 패널에 대한 검사공정에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 디스플레이 패널 검사공정을 자동 검사 방식으로 구현할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 패널에 대한 검사를 수행하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널 제조 공정에 대한 수율을 향상시킬 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 고해상도, 고성능을 갖는 디스플레이 패널을 제조하기 위한 검사공정을 구현할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치는 디스플레이 패널을 지지하기 위한 스테이지부; 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널이 컨베이어 시스템으로부터 이격되도록 상기 스테이지부를 이동시키기 위한 이격부; 디스플레이 패널의 부분(部分)에 대응되는 이미지획득영역을 갖는 이미지획득부; 및 상기 이미지획득부가 컨베이어 시스템으로부터 이격된 디스플레이 패널에 대한 부분별 이미지들을 획득하도록 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동부를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.

본 발명은 컨베이어 시스템에 발생하는 진동이 디스플레이 패널에 대한 검사공정에 영향을 미치는 것을 방지함으로써, 검사 결과에 대한 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 디스플레이 패널에 대한 불량 여부를 자동으로 검출하기 위한 이미지를 획득할 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널에 대한 검사공정을 자동 검사 방식으로 구현할 수 있다.

본 발명은 디스플레이 패널에 대한 검사공정이 이루어지는데 걸리는 시간을 줄일 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널 제조 공정에 대한 수율을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 작업자의 숙련도, 경험, 집중도 등이 디스플레이 패널에 대한 검사 결과에 영향을 미치는 것을 방지함으로써, 검사 결과에 대한 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사공정에서 디스플레이 패널을 이송하는 컨베이어 시스템과 팔레트를 나타낸 개략도
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 개략적인 측면도
도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 개략적인 평면도
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치를 설명하기 위한 비교예의 개략적인 측면도
도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 디스플레이 패널을 컨베이어 시스템으로부터 이격시키는 작동관계를 설명하기 위한 개략적인 작동상태도
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 이동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 이동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 이동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 이동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 13은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 획득하는 이미지의 해상도를 설명하기 위한 개념도
도 14는 본 발명에 따른 이미지획득부와 조절부의 블록도
도 15는 디스플레이 패널의 점등주기에 따른 휘도 변화를 나타낸 그래프
도 16은 본 발명에 따른 이미지획득부가 디스플레이 패널에 대한 이미지를 획득하는 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 17 및 도 18은 디스플레이 패널의 점등주기에 따른 휘도 변화를 나타낸 그래프
도 19는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 복수개의 디스플레이 패널에 대한 검사공정을 수행하는 실시예를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 20은 본 발명에 따른 정렬부를 설명하기 위한 개략적인 정면도
도 21은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 디스플레이 패널의 위치를 정렬하는 모습을 설명하기 위한 개략적인 측면도
도 22는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 디스플레이 패널의 위치를 정렬하는 모습을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 23은 본 발명에 따른 스테이지부와 정렬부의 개략적인 정면도
도 24는 본 발명에 따른 스테이지부와 정렬부의 개략적인 사시도
도 25는 본 발명에 따른 정렬부에 있어서 비젼유닛과 정렬유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도
도 26은 본 발명에 따른 비젼유닛이 촬영한 정렬마크를 나타낸 개념도
도 27 내지 도 30은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치가 시야각 검사를 수행하기 위한 실시예들을 설명하기 위한 개략적인 평면도

이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 수행하기 위한 것이다. 디스플레이 패널(10)은 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diodes, OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display, EPD) 등의 디스플레이 장치에 사용되는 것이다.

본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)을 검사하기 위한 이미지를 획득한다. 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하는 검출장치(미도시)와 연결될 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)가 상기 획득된 이미지를 상기 검출장치에 제공하면, 상기 검출장치는 상기 획득된 이미지를 이용하여 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수 있다. 예컨대, 상기 검출장치는 정상적으로 작동되는 디스플레이 패널에 대한 기준이미지를 상기 획득된 이미지와 비교함으로써, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수 있다. 상기 검출장치는 상기 획득된 이미지를 부분별로 서로 비교하여 밝기 등에 차이가 있는 부분을 검출함으로써, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수도 있다. 한편, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 검출장치와 별개의 장비로 구현될 수도 있고, 상기 검출장치의 기능을 갖는 구성을 포함하여 구현될 수도 있다.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)을 지지하기 위한 스테이지부(2), 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격되도록 상기 스테이지부(2)를 이동시키기 위한 이격부(3), 디스플레이 패널(10)의 부분(部分)에 대한 이미지를 획득하기 위한 이미지획득부(4), 및 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동부(5)를 포함한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 이격부(3)는 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격되도록 상기 스테이지부(2)를 이동시킨다. 이에 따라, 디스플레이 패널(10)은 상기 컨베이어 시스템(100)에 설치된 팔레트(Pallet)(200)로부터 이격될 수 있다. 상기 이격부(3)가 디스플레이 패널(10)을 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격시킨 상태에서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 컨베이어 시스템(100)이 다른 검사장치(미도시)들에 위치한 팔레트(200)들을 이송 및 정지시킴에 따라 발생하는 진동, 다른 검사장치에서 탭핑(Tapping) 검사 등 특수검사를 진행할 때 두드림 동작 등으로 인해 발생하는 진동 등과 같이 상기 컨베이어 시스템(100)에서 발생하는 진동이 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.

도 3을 참고하면, 상기 이미지획득부(4)는 소정의 이미지획득영역(4a)을 갖는다. 도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)를 도 2의 A 화살표 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 평면도이다. 상기 이미지획득영역(4a)은 상기 이미지획득부(4)가 이미지를 획득할 수 있는 범위를 의미한다. 상기 이미지획득영역(4a)은 디스플레이 패널(10)이 갖는 크기보다 작은 크기를 갖는다. 즉, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)의 일부에 대응되는 이미지획득영역(4a)을 갖는다. 이에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현 가능한 해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10) 전체 크기에 대응되는 이미지획득영역(4a)을 갖는 경우, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 자동으로 검출하기 어려운 이미지를 획득하게 된다. 예컨대, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(Sub Pixel)(미도시)을 기준으로 1/3 이상의 해상도를 갖는 이미지를 획득하도록 구현된 경우, 아래 그림 1과 같은 해상도를 갖는 이미지를 획득하게 된다.

[그림 1]

그림 1로부터 알 수 있듯이, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/3 이상의 해상도를 갖는 이미지를 획득하면, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 자동으로 검출하기 어려운 해상도를 갖는 이미지가 획득됨을 알 수 있다. 따라서, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10) 전체 크기에 대응되는 이미지획득영역(4a)을 갖도록 구현된 경우, 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현할 수 없고, 자동 방식으로 구현할 수 있더라도 검출 결과에 대한 정확성이 현저히 저하된다.

다음, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)의 부분에 대응되는 이미지획득영역(4a)을 갖는다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 자동으로 검출 가능한 이미지를 획득할 수 있다. 예컨대, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/12 이하의 해상도를 갖는 이미지를 획득하도록 구현된 경우, 아래 그림 2와 같은 해상도를 갖는 이미지를 획득하게 된다.

[그림 2]

그림 2로부터 알 수 있듯이, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/12 이하의 해상도를 갖는 이미지를 획득하면, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 자동으로 검출 가능한 해상도를 갖는 이미지가 획득됨을 알 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현 가능한 해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다.

도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 제조 비용을 줄일 수 있으면서도, 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현 가능한 해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)의 부분에 대응되는 이미지획득영역(4a)을 갖는 경우, 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 이미지들을 획득하기 위해서는 상기 이미지획득부(4)가 복수개 구비되어야 한다. 즉, 상기 이미지획득부(4)와 디스플레이 패널(10)이 고정된 방식이기 때문에, 디스플레이 패널(10) 전체에 대응되는 개수의 이미지획득부(4)가 구비되어야 한다. 따라서, 상기 이미지획득부(4)와 디스플레이 패널(10)을 고정 방식으로 구현하는 경우, 상기 이미지획득부(4)의 개수가 증가됨으로써 제조 비용이 증가하게 된다. 이러한 제조 비용은 디스플레이 패널(10)의 크기가 증가할수록 더 증가하게 되고, 상기 이미지획득부(4)가 획득하는 이미지의 해상도를 높일수록 더 증가하게 된다. 더욱이, 상기 이미지획득부(4)가 획득하는 이미지의 해상도를 높일수록 상기 이미지획득부(4)들 간의 설치 간격이 줄어들게 되므로, 상기 이미지획득부(4)들 간에 물리적 간섭이 발생하게 되어 상기 이미지획득부(4)가 획득하는 이미지의 해상도를 높이는데 한계가 있다.

다음, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시킴에 따라, 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 이미지들을 획득할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 방식이기 때문에, 상술한 고정 방식과 비교할 때 상기 이미지획득부(4)의 개수를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 제조 비용을 줄일 수 있으면서도, 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현 가능한 해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상술한 고정 방식과 비교할 때, 상기 이미지획득부(4)가 획득하는 이미지의 해상도를 높일 수 있으면서도 상기 이미지획득부(4)들 간에 물리적 간섭이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이하에서는 상기 스테이지부(2), 상기 이격부(3), 상기 이미지획득부(4), 및 상기 이동부(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 2, 도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 스테이지부(2)는 디스플레이 패널(10)을 지지한다. 상기 스테이지부(2)에 디스플레이 패널(10)이 지지된 상태에서, 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정이 이루어질 수 있다. 상기 스테이지부(2)는 제1스테이지(21), 제2스테이지(22) 및 홀딩유닛(23)을 포함할 수 있다.

상기 제1스테이지(21)는 상기 제2스테이지(22)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1스테이지(21)에는 상기 홀딩유닛(23)이 이동 가능하게 결합된다. 도 6의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 홀딩유닛(23)은 디스플레이 패널(10)을 가압함으로써, 디스플레이 패널(10)을 상기 제1스테이지(21)에 고정할 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 상기 홀딩유닛(23)에 의해 상기 제1스테이지(21)에 고정되면, 상기 제1스테이지(21)는 상기 이격부(3)에 의해 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 이에 따라, 디스플레이 패널(10)은 상기 팔레트(200)로부터 이격됨으로써, 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격될 수 있다.

상기 제1스테이지(21)는 상기 이격부(3)에 의해 수직방향(Z축 방향)으로 승강(昇降)될 수 있다. 이 경우, 상기 제1스테이지(21)는 상기 제2스테이지(22)에 승강 가능하게 결합될 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(10)이 상기 팔레트(200)에 수직방향(Z축 방향)을 향하도록 세워진 상태에서, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)와 상기 홀딩유닛(23) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입되도록 상기 제1스테이지(21)를 하강시킨다. 상기 제1스테이지(21)와 상기 홀딩유닛(23) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입되면, 상기 홀딩유닛(23)은 디스플레이 패널(10)을 가압할 수 있도록 이동함으로써, 디스플레이 패널(10)을 상기 제1스테이지(21)에 고정한다. 그 후, 상기 이격부(3)는 디스플레이 패널(10)이 상기 팔레트(200)로부터 이격되도록 상기 제1스테이지(21)를 상승시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)을 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격시킨 상태에서, 디스플레이 패널(10)에 대해 검사공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 디스플레이 패널(10)은 상기 수직방향(Z축 방향)을 향하도록 세워진 상태에서 검사공정이 이루어질 수 있다.

도시되지 않았지만, 디스플레이 패널(10)은 상기 팔레트(200)에 상기 수직방향(Z축 방향) 또는 상기 수직방향(Z축 방향)에 근접하게 세워진 상태로 상기 컨베이어 시스템(100)에 의해 상기 제1스테이지(21) 아래에 위치되게 이송된다. 디스플레이 패널(10)이 상기 수직방향(Z축 방향)에 근접하게 세워진 상태인 경우, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 상기 수직방향(Z축 방향)을 향하도록 디스플레이 패널(10)을 세우는 로테이터(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 로테이터는 상기 팔레트(200)에 위치한 디스플레이 패널(10)을 밀어서 회전시킴으로써, 디스플레이 패널(10)을 상기 수직방향(Z축 방향)으로 세울 수 있다. 상기 제1스테이지(21)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 디스플레이 패널(10)이 지지될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 2, 도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 제2스테이지(22)에는 상기 제1스테이지(21)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2스테이지(22)는 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 결합될 수 있다. 상기 본체(1a) 내부에는 상기 스테이지부(2), 상기 이격부(3), 상기 이미지획득부(4), 및 상기 이동부(5)가 설치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 본체(1a)는 바닥면에 설치된 아이솔레이터(Isolator)에 결합될 수 있다. 상기 아이솔레이터는 상기 컨베이어 시스템(100)에서 발생하는 진동에 의해 상기 본체(1a)가 진동되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2스테이지(22)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1스테이지(21)가 이동 가능하게 결합될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 2, 도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 홀딩유닛(23)은 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 가압함으로써, 디스플레이 패널(10)을 상기 제1스테이지(21)에 고정할 수 있다. 상기 스테이지부(2)는 상기 홀딩유닛(23)을 복수개 포함할 수도 있다. 이에 따라, 상기 홀딩유닛(23)들은 디스플레이 패널(10)을 상기 제1스테이지(21)에 더 견고하게 고정할 수 있다. 상기 홀딩유닛(23)들은 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1스테이지(21)에 결합될 수 있다. 상기 홀딩유닛(23)은 상기 제1스테이지(21)에 이동 가능하게 결합되는 그립퍼(231, 도 6에 도시됨) 및 상기 그립퍼(231)를 이동시키는 구동기구(232, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 그립퍼(231)는 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 가압하기 위해 디스플레이 패널(10)에 접촉될 수 있다. 상기 그립퍼(231)는 상기 구동기구(232)가 제공하는 구동력에 의해 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 가압할 수 있다. 상기 그립퍼(231)는 디스플레이 패널(10)에서 영상이 표시되는 화면(10a, 도 6에 도시됨) 외측에 위치한 프레임(10b, 도 6에 도시됨)에 접촉될 수 있다. 상기 그립퍼(231)는 전체적으로 'ㄱ' 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1스테이지(21)와 상기 그립퍼(231) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입될 수 있고, 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 가압하여 고정할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 구동기구(232)는 상기 그립퍼(231)를 이동시킨다. 상기 구동기구(231)는 상기 제1스테이지(21)와 상기 그립퍼(231) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입될 수 있도록 상기 그립퍼(231)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1스테이지(21)와 상기 그립퍼(231) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입되면, 상기 구동기구(231)는 상기 그립퍼(231)가 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 가압할 수 있도록 상기 그립퍼(231)를 이동시킬 수 있다. 상기 구동기구(232)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터(Linear Motor)를 이용한 방식 등으로 상기 그립퍼(231)를 이동시킬 수 있다.

도 2, 도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)를 이동시킬 수 있다. 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)와 상기 홀딩유닛(23) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입되게 상기 제1스테이지(21)를 이동시킬 수 있다. 상기 홀딩유닛(23)에 의해 디스플레이 패널(10)이 상기 제1스테이지(21)에 고정되면, 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)에 고정된 디스플레이 패널(10)이 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격되도록 상기 제1스테이지(21)를 이동시킬 수 있다. 상기 이격부(3)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 제1스테이지(21)를 이동시킬 수 있다. 상기 이격부(3)는 상기 제2스테이지(22)에 결합될 수 있다.

상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)를 상기 수직방향(Z축 방향)으로 승강시킬 수도 있다. 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)와 상기 홀딩유닛(23) 사이에 디스플레이 패널(10)이 삽입되게 상기 제1스테이지(21)를 하강시킬 수 있다. 상기 홀딩유닛(23)에 의해 디스플레이 패널(10)이 상기 제1스테이지(21)에 고정되면, 상기 이격부(3)는 상기 제1스테이지(21)에 고정된 디스플레이 패널(10)이 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격되도록 상기 제1스테이지(21)를 상승시킬 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 이격부(3)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있는 위치에 디스플레이 패널(10)이 위치되게 상기 제1스테이지(21)를 상승시킬 수 있다.

도 9 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 방식에 따라 다음과 같은 실시예들을 포함할 수 있다. 도 9 내지 도 12는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)를 도 2의 A 화살표 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 평면도이다.

우선, 도 9를 참고하면 본 발명의 제1실시예에 따른 이동부(5)는 상기 스테이지부(2)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)는 디스플레이 패널(10)이 상기 이미지획득부(4)가 갖는 이미지획득영역(4a)을 통과하도록 상기 스테이지부(2)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)가 상기 스테이지부(2)를 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 스테이지부(2)를 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)는 디스플레이 패널(10)이 상기 이미지획득부(4)가 갖는 이미지획득영역(4a)을 반복적으로 통과하도록 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 왕복 이동시킬 수도 있다.

다음, 도 10을 참고하면 본 발명의 제2실시예에 따른 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)가 갖는 이미지획득영역(4a)이 디스플레이 패널(10)을 통과하도록 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)를 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)가 갖는 이미지획득영역(4a)이 디스플레이 패널(10)을 반복적으로 통과하도록 상기 이미지획득부(4)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 왕복 이동시킬 수도 있다.

다음, 도 11을 참고하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 모두 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 왕복 이동시킬 수도 있다.

상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 서로 반대되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 이미지획득부(4)가 왼쪽으로 이동할 때 상기 스테이지부(2)는 오른쪽으로 이동할 수 있다. 상기 이미지획득부(4)가 오른쪽으로 이동할 때 상기 스테이지부(2)는 왼쪽으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상술한 제1실시예 및 제2실시예와 비교할 때, 본 발명의 제3실시예에 따른 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득하기 위해 상기 이미지획득부(4)를 이동시키는 거리(4L) 및 상기 스테이지부(2)를 이동시키는 거리(10L)를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.

도 12를 참고하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 이동부(5)는 상기 이미지획득영역(4a)을 기준이동단위(U)로 하여 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 스텝(Step) 이동시킬 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분으로부터 이미지를 획득할 때, 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)는 정지되어 있다.

다음, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분으로부터 이미지를 획득하면, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 상기 이미지획득영역(4a)의 크기만큼 이동시킨 후 정지시킨다. 즉, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 상기 이미지획득영역(4a)의 크기만큼 스텝 이동시킨다.

다음, 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)가 정지되면, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분으로부터 이미지를 획득한다.

이와 같은 공정을 반복적으로 수행함으로써, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 도 12에는 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)를 스텝 이동시키는 것이 도시되어 있으나, 상기 이동부(5)는 상기 스테이지부(2)를 스텝 이동시킬 수도 있고, 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 모두를 스텝 이동시킬 수도 있다. 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 모두를 스텝 이동시키는 경우, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득영역(4a)의 1/2를 기준이동단위(U)로 하여 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 서로 반대되는 방향으로 스텝 이동시킬 수 있다.

도 9 내지 도 12를 참고하면, 본 발명의 제5실시예에 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 연속적으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 때까지, 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 정지시키지 않고 연속적으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 연속적으로 획득할 수 있다.

도시되지 않았지만, 본 발명의 제1실시예 내지 제5실시예에 따른 이동부(5)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 이미지획득부(4)와 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.

상술한 본 발명의 제1실시예 내지 제5실시예에 따른 이동부(5)에 있어서, 도 9 내지 도 12를 기준으로 할 때 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 좌우(X축 방향)로 이동시키는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 상하(Z축 방향, 도 2에 도시됨)로 이동시킬 수도 있다. 상기 이동부(5)는 디스플레이 패널(10)이 상기 이미지획득부(4)가 갖는 이미지획득영역(4a)을 반복적으로 통과하도록 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 상하(Z축 방향, 도 2에 도시됨)로 왕복 이동시킬 수도 있다.

상기 이동부(5)가 상기 스테이지부(2)를 이동시키는 경우, 상기 이동부(5)는 상기 스테이지부(2)에 결합될 수 있다. 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)를 이동시키는 경우, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)에 결합될 수 있다. 상기 이동부(5)는 상기 스테이지부(2)와 상기 이미지획득부(4) 중 적어도 하나에 결합되게 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)의 앞쪽에 위치되게 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이미지획득부(4)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 이미지획득부(4)들은 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 대형화된 디스플레이 패널(10)인 경우, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 복수개의 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)의 전체 면을 분담하여 부분별 이미지들을 획득함으로써, 대형화된 디스플레이 패널(10)에 대해서도 용이하게 대응할 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 크기에 따라 상기 이미지획득부(4)들 중에서 일부 또는 전부를 선택적으로 작동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 다른 크기를 갖는 디스플레이 패널(10)로 변경되더라도, 변경된 크기를 갖는 디스플레이 패널(10)에 용이하게 대응할 수 있다.

도 11을 참고하면, 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 모두를 이동시키는 경우, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)를 이동시키기 위한 제1이동유닛(51) 및 상기 스테이지부(2)를 이동시키기 위한 제2이동유닛(52)을 포함할 수 있다. 상기 제1이동유닛(51)과 상기 제2이동유닛(52)은 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 서로 반대되는 방향으로 이동시킴으로써, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득하도록 할 수 있다. 상기 제1이동유닛(51)과 상기 제2이동유닛(52)은 각각 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 왕복 이동시킬 수도 있다.

도 2, 도 9 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 검사신호를 인가하기 위한 신호인가부(6)를 포함한다. 상기 신호인가부(6)는 상기 검사신호를 디스플레이 패널(10)에 인가함으로써, 디스플레이 패널(10)을 구동시킬 수 있다. 상기 이미지획득부(4)는 상기 검사신호에 따라 구동된 디스플레이 패널(10)로부터 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 상기 검사신호에 따라 정상적으로 구동되는지 여부를 검출하기 위한 이미지를 획득할 수 있다.

상기 신호인가부(6)는 디스플레이 패널(10)에 복수개의 검사신호를 순차적으로 인가할 수 있다. 상기 신호인가부(6)는 디스플레이 패널(10)이 3개 이상의 서로 다른 패턴으로 순차적으로 구동되도록 디스플레이 패널(10)에 3개 이상의 서로 다른 검사신호를 순차적으로 인가할 수 있다. 예컨대, 상기 신호인가부(6)는 디스플레이 패널(10)을 레드 패턴, 블루 패턴, 그린 패턴, 화이트 패턴, 그레이 패턴 등으로 구동시키기 위한 검사신호들을 디스플레이 패널(10)에 순차적으로 인가할 수 있다. 상기 이미지획득부(4)가 하나의 패턴으로 구동된 디스플레이 패널(10)로부터 부분별 이미지를 획득하면, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 방향을 전환하게 된다. 즉, 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 왕복 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 레드 패턴, 블루 패턴, 그린 패턴, 화이트 패턴, 그레이 패턴 등으로 순차적으로 구동된 디스플레이 패널(10)로부터 부분별 이미지들을 순차적으로 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하기 위한 검출항목을 늘릴 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 라인 불량, 포인트 불량, 얼룩 불량, 외관 불량, 편광판 불량 등을 검출할 수 있는 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 다양한 구동조건에서 정상적으로 작동하는지 여부를 검사할 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 액정표시장치인 경우, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 백라이트유닛 불량을 검출할 수도 있다. 이 경우, 상기 스테이지부(2)에는 상기 백라이트유닛이 부착된 디스플레이 패널(10)이 지지될 수 있다.

도 12에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 스텝 이동시키는 경우, 상기 신호인가부(6)는 상기 이미지획득부(4)가 상기 이미지획득영역(4a)에 위치된 디스플레이 패널(10)의 부분에 대해 3개 이상의 서로 다른 패턴으로 구동된 이미지들을 획득하도록 디스플레이 패널(10)에 3개 이상의 서로 다른 검사신호를 순차적으로 인가할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분에 대해 3개 이상의 서로 다른 패턴으로 구동된 이미지들을 모두 획득한다.

다음, 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 기준이동단위(U)만큼 스텝 이동시킨다.

다음, 디스플레이 패널(10) 중에서 상기 이미지획득영역(4a)에 위치한 부분이 변경되면, 상기 이미지획득부(4)는 변경된 부분에 대해 3개 이상의 서로 다른 패턴으로 구동된 이미지들을 획득한다.

이와 같은 공정을 반복적으로 수행함으로써, 상기 이미지획득부(4)는 3개 이상의 서로 다른 패턴에 따라 구동된 디스플레이 패널(10)의 부분별 이미지들을 획득할 수 있다.

한편, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(5)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 스텝 이동시키는 경우에도, 상기 신호인가부(6)는 상기 이미지획득부(4)가 하나의 패턴으로 구동된 디스플레이 패널(10)로부터 부분별 이미지들을 모두 획득하면, 디스플레이 패널(10)에 변경된 검사신호를 인가할 수도 있다.

도 2, 도 9 내지 도 12를 참고하면, 상기 신호인가부(6)는 상기 이동부(5)가 이동방향을 전환하면, 디스플레이 패널(10)에 변경된 검사신호를 인가할 수 있다. 따라서, 상기 신호인가부(6)는 디스플레이 패널(10)이 변경된 검사신호에 따라 구동되기 전에, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)로부터 이미지를 획득하게 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 신호인가부(6)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 대한 이미지 획득을 완료하기 전에, 디스플레이 패널(10)에 변경된 검사신호가 인가되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 2를 참고하면, 상기 신호인가부(6)는 상기 팔레트(200)에 설치될 수 있다. 상기 신호인가부(6)는 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격된 디스플레이 패널(10)에 상기 검사신호를 인가할 수 있도록 디스플레이 패널(10)에 전기적으로 연결된 연결수단(61)을 포함할 수 있다. 디스플레이 패널(10)은 상기 연결수단(61)에 연결된 상태로 상기 컨베이어 시스템(100)에 의해 상기 스테이지부(2) 아래에 위치되게 이송될 수 있다. 상기 신호인가부(6)는 패턴발생기(Pattern Generator, PG)와 전원공급기(Power Supply, PS)를 포함할 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 신호인가부(6)는 상기 스테이지부(2)에 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 신호인가부(6)는 디스플레이 패널(10)에 상기 검사신호를 인가하기 위해 디스플레이 패널(10)에 접속되는 접속기구를 포함할 수 있다. 상기 접속기구는 디스플레이 패널(10)에 부착된 회로필름(미도시)에 접속될 수 있다. 상기 접속기구는 상기 회로필름을 통해 디스플레이 패널(10)에 상기 검사신호를 인가할 수 있다. 디스플레이 패널(10)은 TAB(Tape Automated Bonding) 공정에 의해 회로필름이 부착된 상태로 상기 컨베이어 시스템(100)에 의해 상기 스테이지부(2) 아래에 위치되게 이송될 수 있다. 상기 회로필름은 TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip on Film) 등일 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 스테이지부(2)에는 디스플레이 패널(10)에 광(光)을 제공하는 조명유닛(미도시)을 포함할 수도 있다. 상기 조명유닛은 디스플레이 패널(10) 쪽으로 광을 방출할 수 있다. 상기 조명유닛은 디스플레이 패널(10)에 광을 제공함으로써 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)로부터 더 선명한 이미지를 획득하도록 할 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 액정표시장치(LCD) 등과 같이 자기발광성이 없는 디스플레이 장치에 사용되는 것인 경우, 상기 조명유닛은 디스플레이 패널(10)에 광을 제공함으로써 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)로부터 이미지를 획득하도록 할 수 있다. 이 경우, 디스플레이 패널(10)에는 백라이트유닛이 부착되지 않은 상태로 상기 스테이지부(2)에 지지될 수 있다. 상기 조명유닛은 광을 방출하는 광원(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 광원은 형광램프, 엘이디(Light Emitting Diode, LED) 등일 수 있다.

이하에서는 상기 이미지획득부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 13을 참고하면, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/N (N은 12보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정을 자동 방식으로 구현 가능한 해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다. 이를 위해, 상기 이미지획득부(4)는 이미지를 획득하기 위한 이미지센서(41)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 이미지센서(41)들은 각각 소정의 촬영영역(FOV)을 갖는다. 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 N개로 나누어 촬영할 수 있는 촬영영역(FOV)을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/N의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다. 예컨대, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/108 이상 1/12 이하의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다. 상기 이미지획득부(4)는 적어도 N개 이상의 이미지센서(41)를 포함할 수 있다. 상기 이미지센서(41)들 각각이 갖는 촬영영역(FOV)은 가로 길이(41L)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이(41H)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하일 수 있다.

도 13 및 도 14를 참고하면, 디스플레이 패널(10)은 사양에 따라 다양한 크기를 갖는 서브픽셀(SP)을 포함할 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기가 변경되더라도, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이미지획득부(4)가 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 조절하는 조절부(7, 도 14에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 조절부(7)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기에 따라 상기 이미지획득부(4)가 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)가 상기 이미지획득부(4)를 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)와 디스플레이 패널(10) 간의 거리가 조절될 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/N의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지센서(41)가 갖는 촬영영역(FOV)이 가로 길이(41L)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이(41H)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하일 수 있도록 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기가 변경되더라도, 자동 검사가 가능한 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다.

예컨대, 디스플레이 패널(10)이 기존에 비해 큰 크기의 서브픽셀(SP)을 갖는 것인 경우, 상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)로부터 멀어지게 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 디스플레이 패널(10)이 기존에 비해 작은 크기의 서브픽셀(SP)을 갖는 것인 경우, 상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)에 가까워지게 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다.

상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)를 이동시키기 위한 제1조절유닛(51)을 포함할 수 있다. 상기 제1조절유닛(51)은 상기 이미지획득부(4)에 결합될 수 있다. 상기 제1조절유닛(51)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1조절유닛(51)은 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 제1조절유닛(51)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)에 수직한 제2축방향(Y축 방향, 도 2에 도시됨)으로 상기 이미지획득부(4)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2축방향(Y축 방향, 도 2에 도시됨)은 상기 이미지획득부(4)에서 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 향하는 방향이다.

도 13 및 도 14를 참고하면, 상기 조절부(7)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기에 따라 상기 이미지획득부(4)가 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부(4)가 갖는 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다.

상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)와 상기 이미지센서(41) 간의 거리를 조절하기 위해 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)가 상기 이미지센서(41)에 가까워지거나 상기 렌즈(42)가 상기 이미지센서(41)로부터 멀어지도록 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)와 상기 이미지센서(41) 간의 거리를 조절함으로써 상기 렌즈(42)의 배율을 조절할 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/N의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지센서(41)가 갖는 촬영영역(FOV)이 가로 길이(41L)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이(41H)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하일 수 있도록 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기가 변경되더라도, 자동 검사가 가능한 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 이미지획득부(4)는 상기 렌즈(42)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)들 간의 거리를 조절하기 위해 상기 렌즈(42)들 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)들이 서로 가까워지거나 상기 렌즈(42)들이 서로 멀어지도록 상기 렌즈(42)들 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)들 간의 거리를 조절함으로써 상기 렌즈(42)들의 배율을 조절할 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 하나의 서브픽셀(SP)을 기준으로 1/N의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있도록 상기 렌즈(42)들 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 이미지센서(41)가 갖는 촬영영역(FOV)이 가로 길이(41L)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이(41H)가 3㎛ 이상 60㎛ 이하일 수 있도록 상기 렌즈(42)들 중 적어도 하나를 이동시킬 수도 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기가 변경되더라도, 자동 검사가 가능한 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다.

상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)를 이동시키기 위한 제2조절유닛(52)을 포함할 수 있다. 상기 제2조절유닛(52)은 상기 렌즈(42)에 결합될 수 있다. 상기 제2조절유닛(52)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2조절유닛(52)은 상기 제2축방향(Y축 방향, 도 2에 도시됨)으로 상기 렌즈(42)를 이동시킬 수 있다.

상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)와 상기 이미지센서(41) 간의 거리 또는 상기 렌즈(42)들 간의 거리 중에서 어느 하나를 조절함으로써, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기에 따라 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득하도록 조절할 수 있다. 상기 조절부(7)는 상기 렌즈(42)와 상기 이미지센서(41) 간의 거리 및 상기 렌즈(42)들 간의 거리 모두를 조절함으로써, 상기 이미지획득부(4)가 디스플레이 패널(10)이 갖는 서브픽셀(SP)의 크기에 따라 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득하도록 조절할 수도 있다.

도 13 및 도 14를 참고하면, 상기 이미지획득부(4)는 상기 이미지센서(41)에 도달하는 광량을 조절하기 위한 광량조절유닛(43)을 포함할 수 있다. 상기 광량조절유닛(43)은 빛이 상기 이미지센서(41)에 도달하기 위해 통과하는 통로(미도시)를 포함한다. 상기 광량조절유닛(21)은 상기 통로의 크기를 조절함으로써, 상기 이미지센서(41)에 도달하는 광량을 조절할 수 있다. 예컨대, 디스플레이 패널(10)이 낮은 조도(照度)를 갖는 패턴으로 구동되는 경우, 상기 광량조절유닛(43)은 상기 이미지센서(41)에 도달하는 광량이 증가되도록 상기 통로의 크기를 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 이미지획득부(4)는 디스플레이 패널(10)이 낮은 조도를 갖는 패턴으로 구동되는 경우에도, 자동 검사가 가능한 밝은 이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 다양한 구동조건에서 정상적으로 작동하는지 여부를 검사할 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 상기 광량조절유닛(43)이 상기 통로를 최대 크기로 개방시켰을 때 상기 통로의 직경과, 상기 렌즈(42)의 초점거리의 비율은 5.6 이하일 수 있다. 상기 광량조절유닛(43)이 상기 통로를 최대 크기로 개방시켰을 때 상기 통로의 직경과, 상기 렌즈(42)의 초점거리의 비율은 1 이상일 수 있다. 상기 렌즈(42)는 광학왜곡(Optical Distortion)이 0.1% 이하인 것일 수 있다. 따라서, 상기 이미지획득부(4)는 영상 왜곡 발생이 적은 이미지를 획득할 수 있다.

여기서, 디스플레이 패널(10)은 상기 검사신호에 따라 소정의 점등주기로 점등하게 된다. 이에 따라, 디스플레이 패널(10)은 도 15에 도시된 바와 같이 휘도가 변화하게 된다. 도 15에 표시된 실선(E)이 점등주기에 따른 휘도의 변화 상태를 도시한 것이다. 따라서, 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 감소한 상태일 때(F), 상기 이미지센서(41)가 디스플레이 패널(10)에 대한 이미지를 획득하는 경우가 발생할 수 있다. 이 경우, 상기 이미지센서(41)는 낮은 휘도를 갖는 이미지를 획득하게 됨으로써, 불량 여부를 검출하기 어려운 이미지를 획득하게 되는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 증가한 상태일 때(G), 상기 이미지센서(41)가 디스플레이 패널(10)에 대한 이미지를 획득하도록 제어하는 방안이 있다. 그러나, 이러한 방안은 다음과 같은 문제가 있다.

첫째, 상기 이동부(5, 도 2에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도 및 상기 이미지센서(41)가 이미지를 획득하는 시점이 연동되도록, 상기 이동부(5, 도 2에 도시됨)와 상기 이미지센서(41)를 정확하게 제어하여야 하는 부담이 있다.

둘째, 상기 이동부(5, 도 2에 도시됨)와 상기 이미지센서(41)를 정확하게 제어할 수 있더라도, 이로 인해 상기 이동부(5, 도 2에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도가 감소하게 된다. 이에 따라, 상기 이미지센서(41)가 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 이미지를 획득하는데 걸리는 시간이 증가하게 되는 문제가 있다.

도 16을 참고하면, 상술한 바와 같은 문제들을 해결하기 위해, 상기 이미지획득부(4)는 설치기구(44) 및 이미지생성유닛(45)을 포함할 수 있다.

상기 설치기구(44)에는 상기 이미지센서(41)가 복수개 설치된다. 상기 설치기구(44)에는 상기 이미지센서(41)들이 상기 제1축방향(X축 방향)으로 복수개가 설치될 수 있다. 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2, 도 3에 도시됨) 중 적어도 하나가 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동함에 따라, 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10)에 대해 동일한 부분에 해당하는 이미지들을 반복하여 획득할 수 있다. 상기 이미지획득부(4)와 스테이지부(2, 도 3에 도시됨) 중 적어도 하나가 상기 제1축방향(X축 방향)으로 계속하여 이동함에 따라, 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다.

예컨대, 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)가 상기 스테이지부(2, 도 3에 도시됨)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시키는 경우를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 16은 디스플레이 패널(10)이 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)에 의해 제1대기영역(W1)에서 제2대기영역(W2)으로 이동하는 상태를 도시한 것이다. 상기 제1대기영역(W1)과 상기 제2대기영역(W2)은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 서로 이격되어 있다. 상기 제1대기영역(W1)과 상기 제2대기영역(W2) 사이에는 상기 이미지획득영역(4a)이 위치한다. 이에 따라, 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)가 상기 스테이지부(2, 도 3에 도시됨)를 상기 제1대기영역(W1)과 상기 제2대기영역(W2) 간에 이동시키면, 디스플레이 패널(10)은 상기 이미지획득영역(4a)을 통과하게 된다. 상기 이미지획득부(4)는 상기 이미지획득영역(4a)을 통과하는 디스플레이 패널(10)로부터 이미지를 획득할 수 있다.

다음, 상기 제1대기영역(W1)에 위치한 디스플레이 패널(10)은, 상기 제2대기영역(W2)을 향하는 일면(10c)부터 상기 이미지획득영역(4a)에 진입하고, 타면(10d)이 상기 이미지획득영역(4a)으로부터 벗어난 후 상기 제2대기영역(W2)에 위치하게 된다. 디스플레이 패널(10)이 상기 제1대기영역(W1)에서 상기 제2대기영역(W2)으로 이동함에 따라, 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10)에 대해 a1 ~ an에 해당하는 부분별 이미지들을 순차적으로 획득할 수 있다. 즉, 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10)에 대해 a1, a2, a3, … ,a(n-1), an에 해당하는 부분별 이미지들을 순차적으로 획득함으로써, 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. a1 ~ an은 각각 상기 이미지센서(41)가 갖는 촬영영역(FOV, 도 13에 도시됨)에 대응되는 크기를 갖는다.

도시되지 않았지만, 디스플레이 패널(10)이 상기 제2대기영역(W2)에서 상기 제1대기영역(W1)으로 이동하는 경우, 상기 이미지센서(41)들은 각각 디스플레이 패널(10)에 대해 an ~ a1에 해당하는 부분별 이미지들을 순차적으로 획득함으로써, 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 설치기구(44)에는 상기 이미지센서(41)들이 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 수직방향(Z축 방향, 도 2에 도시됨)으로 복수개가 설치될 수도 있다.

상기에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 이동부(5, 도 3에 도시됨)를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명의 제2실시예 내지 제5실시예에 따른 이동부(5, 도 3에 도시됨)인 경우에도 마찬가지로, 상기 이미지센서(41)들이 각각 디스플레이 패널(10)에 대해 a1 ~ an에 해당하는 부분별 이미지들을 순차적으로 획득함으로써, 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다.

도 16 및 도 17을 참고하면, 상기 이미지생성유닛(45)은 상기 이미지센서(41)들이 획득한 이미지들에 대해 디스플레이 패널(10)에서 동일한 부분에 해당하는 이미지들끼리 중첩하여 검사이미지를 생성한다. 예컨대, 상기 이미지센서(41)들이 각각 a1, a2, a3, … ,a(n-1), an 부분별 이미지들을 획득한 경우, 상기 이미지생성유닛(45)은 a1 부분 이미지들끼리, a2 부분 이미지들끼리, a3 부분 이미지들끼리, … ,a(n-1) 부분 이미지들끼리, an 부분 이미지끼리 중첩하여 부분별 검사이미지들을 생성할 수 있다. 상기 이미지생성유닛(45)은 생성한 부분별 검사이미지들로부터 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 검사이미지가 갖는 휘도를 향상시킬 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 정확하게 검출할 수 있는 검사이미지를 획득할 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 이미지센서(41, 도 16에 도시됨)들이 획득한 이미지들 중에서 상기 디스플레이 패널(10, 도 16에 도시됨)이 점등주기에 따라 휘도가 감소한 상태일 때(F, F') 획득한 이미지들이 있더라도, 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 증가한 상태일 때(G, G', G") 획득한 이미지들과 중첩됨으로써 휘도가 보상되기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 정확하게 검출할 수 있는 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 변화하는 것에 관계없이 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 정확하게 검출할 수 있는 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도, 및 상기 이미지센서(41)가 이미지를 획득하는 시점이 연동되도록 제어할 필요가 없으므로, 제어의 용이성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5, 도 2에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도를 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 검사이미지를 획득하는데 걸리는 시간이 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정에 걸리는 시간을 단축할 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널(10)에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

상기 이미지생성유닛(45)은 생성한 검사이미지를 상기 검출장치(미도시)에 제공할 수 있다. 상기 검출장치는 상기 이미지생성유닛(45)으로부터 제공된 검사이미지를 이용하여 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수 있다.

도 16 및 도 18을 참고하면, 본 발명에 따른 이미지획득부(4)는 제어유닛(46)을 포함할 수 있다.

상기 제어유닛(46)은 디스플레이 패널(10)이 갖는 점등주기(T1, 도 18에 도시됨)보다 상기 이미지센서(41)가 이미지를 획득하기 위한 노출시간(T2, 도 18에 도시됨)이 길도록 상기 이미지센서(41)를 제어할 수 있다. 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 이미지센서(41, 도 16에 도시됨)가 이미지를 획득하기 위한 노출시간(T2) 동안, 디스플레이 패널(10, 도 16에 도시됨)이 점등주기에 따라 휘도가 감소한 상태일 때가 존재하더라도, 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 증가한 상태일 때가 존재하므로, 휘도가 서로 보상되기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 점등주기에 따라 휘도가 변화하는 것에 관계없이 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 정확하게 검출할 수 있는 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(5, 도 3에 도시됨) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도, 및 상기 이미지센서(41)가 이미지를 획득하는 시점이 연동되도록 제어할 필요가 없으므로, 제어의 용이성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 이동부(5, 도 3에 도시됨)가 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2, 도 3에 도시됨) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 속도를 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10) 전체에 대한 검사이미지를 획득하는데 걸리는 시간이 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정에 걸리는 시간을 단축할 수 있고, 이에 따라 디스플레이 패널(10)에 대한 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

도 16을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 이미지획득부(4)는 검출유닛(47)을 포함할 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 디스플레이 패널(10)에 대해 획득된 이미지들로부터 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수 있다. 예컨대, 상기 검출유닛(47)은 정상적으로 작동되는 디스플레이 패널(10)에 대한 기준이미지들과 상기 획득된 이미지들을 서로 비교함으로써, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 상기 획득된 이미지를 복수의 부분으로 구분하고, 구분된 부분들 간에 서로 비교하여 밝기 등에 차이가 있는 부분을 검출함으로써, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수도 있다. 상기 검출유닛(47)은 디스플레이 패널(10)에 대한 픽셀 불량, 라인 불량, 포인트 불량, 얼룩 불량, 외관 불량, 편광판 불량, 백라이트유닛 불량 등을 검출할 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 병렬 처리하여 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출할 수도 있다. 이에 따라, 상기 검출유닛(47)은 복수개의 이미지들을 동시에 처리할 수 있으므로, 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 GPU 기반 CUDA의 Multi Thread를 이용할 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하기 위한 이미지를 상기 이미지생성유닛(45)으로부터 제공받을 수 있다. 상기 검출유닛(47)은 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하기 위한 이미지를 상기 이미지센서(41)들로부터 제공받을 수도 있다.

도 19를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 스테이지부(2)에 상기 제1축방향(X축 방향)으로 복수개의 디스플레이 패널(10, 10')이 지지될 수 있다. 상기 이동부(5)가 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동시킴에 따라, 상기 이미지획득부(4)는 복수개의 디스플레이 패널(10, 10') 각각에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 짧은 시간에 더 많은 개수의 디스플레이 패널(10)에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정에 걸리는 시간을 단축할 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 작은 크기를 갖는 것으로 변경된 경우, 상기 스테이지부(2)에 복수개의 디스플레이 패널(10)이 지지되도록 함으로써, 복수개의 디스플레이 패널(10) 각각에 대한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 스테이지부(2)가 갖는 공간을 효율적으로 활용할 수 있고, 다양한 크기를 갖는 디스플레이 패널(10)에 대해 용이하게 대응할 수 있다.

도 19에는 상기 스테이지부(2)에 2개의 디스플레이 패널(10, 10')이 지지되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 스테이지부(2)에는 3개 이상의 디스플레이 패널(10)들이 지지될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 스테이지부(2)에는 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 수직방향(Z축 방향, 도 2에 도시됨)으로 복수개의 디스플레이 패널(10)이 지지될 수도 있다. 상기 신호인가부(6)는 상기 스테이지부(2)에 지지된 복수개의 디스플레이 패널(10)에 검사신호를 인가할 수 있다.

상기에서는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)가 본 발명의 제1실시예에 따른 이동부(5, 도 3에 도시됨)를 이용하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 본 발명의 제2실시예 내지 제5실시예에 따른 이동부(5, 도 3에 도시됨)를 이용할 수도 있다.

도 2, 도 20 내지 도 22를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 정렬부(8, 도 20에 도시됨)를 포함한다. 상기 정렬부(8)는 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 컨베이어 시스템(100, 도 2에 도시됨)으로부터 이격된 디스플레이 패널(10)의 상대적인 위치를 정렬할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)이 일정한 검사조건에서 정상적으로 작동하는지 여부가 검사되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

상기 정렬부(8)는 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치정보를 획득하기 위한 위치정보획득유닛(81), 및 상기 획득된 위치정보에 따라 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬하기 위해 상기 스테이지부(2)를 이동시키는 정렬유닛(82)을 포함한다.

상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 전체적으로 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)로부터 일정한 거리에 위치되도록 하기 위한 위치정보를 획득할 수 있다. 즉, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 기울어진 정도에 따른 위치정보를 획득할 수 있다.

이를 위해, 상기 위치정보획득유닛(81)은 복수개의 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)을 포함할 수 있다. 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)은 각각 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)로부터 이격된 거리를 측정할 수 있다. 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d) 각각이 측정한 거리로부터 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 기울어진 정도에 따른 위치정보를 획득할 수 있다.

예컨대, 도 21에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 기준으로 상기 수직방향(Z축 방향)으로 소정 거리 이격되게 설치된 제1변위센서(811a)와 제2변위센서(811b)는, 각각 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)로부터 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이격된 거리를 측정할 수 있다. 상기 제1변위센서(811a)가 측정한 거리가 설정된 제1거리(8111a)보다 크면, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 기울어진 상태에 관한 위치정보를 획득할 수 있다. 이 경우, 상기 제2변위센서(811b)는 설정된 제2거리(8111b)보다 작은 거리를 측정할 수 있다. 상기 설정된 제1거리(8111a)와 상기 설정된 제2거리(8111b)는, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 전체적으로 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)로부터 일정한 거리에 위치될 때에 대응되는 거리이다. 상기 제1변위센서(811a)가 측정한 거리가 설정된 제1거리(8111a)보다 작으면, 상기 제2변위센서(811b)는 설정된 제2거리(8111b)보다 큰 거리를 측정할 수 있다. 도 21에 도시된 바와 같이, 상기 정렬유닛(82)은 상기 제1변위센서(811a)와 상기 제2변위센서(811b)가 측정한 거리가 각각 상기 설정된 제1거리(8111a)와 상기 설정된 제2거리(8111b)에 동일해지도록 상기 스테이지부(2)를 회전시킴으로써, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.

예컨대, 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)을 기준으로 상기 제1축방향(X축 방향)으로 소정 거리 이격되게 설치된 제3변위센서(811c)와 제4변위센서(811d)는, 각각 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)로부터 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이격된 거리를 측정할 수 있다. 상기 제3변위센서(811c)가 측정한 거리가 설정된 제3거리(8111c)보다 크면, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 기울어진 상태에 관한 위치정보를 획득할 수 있다. 이 경우, 상기 제4변위센서(811d)는 설정된 제4거리(8111d)보다 작은 거리를 측정할 수 있다. 상기 설정된 제3거리(8111c)와 상기 설정된 제4거리(8111d)는, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 전체적으로 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)로부터 일정한 거리에 위치될 때에 대응되는 거리이다. 상기 제3변위센서(811c)가 측정한 거리가 설정된 제3거리(8111c)보다 작으면, 상기 제4변위센서(811d)는 설정된 제4거리(8111d)보다 큰 거리를 측정할 수 있다. 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 정렬유닛(82)은 상기 제3변위센서(811c)와 상기 제4변위센서(811d)가 측정한 거리가 각각 상기 설정된 제3거리(8111c)와 상기 설정된 제4거리(8111d)에 동일해지도록 상기 스테이지부(2)를 회전시킴으로써, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.

상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)은 상기 이미지획득부(2, 도 2에 도시됨) 및 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10) 사이에 위치되게 이동할 수 있다. 이 상태에서, 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 컨베이어 시스템(100, 도 2에 도시됨)으로부터 이격된 디스플레이 패널(10)의 상대적인 위치를 정렬하는 작업이 이루어질 수 있다. 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)을 이용하여 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬하는 작업이 완료되면, 도 20에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)은 상기 이미지획득부(2, 도 2에 도시됨) 및 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10) 사이로부터 벗어나게 이동할 수 있다. 이 상태에서, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정이 이루어질 수 있다. 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)은 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 이동 가능하게 결합될 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 정렬부(8)는 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)을 이동시키기 위한 이동수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)을 이동시킬 수 있다. 도 20에는 상기 위치정보획득유닛(81)이 4개의 변위센서들(811a, 811b, 811c, 811d)을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 위치정보획득유닛(81)은 2개, 3개, 또는 5개 이상의 변위센서들을 포함할 수도 있다.

도 2, 도 20 내지 도 22를 참고하면, 상기 정렬유닛(82)은 상기 위치정보획득유닛(81)이 획득한 위치정보에 따라 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬하기 위해 상기 스테이지부(2)를 이동시킨다. 상기 위치정보획득유닛(81)은 획득한 위치정보를 상기 정렬유닛(82)에 제공할 수 있다. 상기 정렬유닛(82)은 상기 획득된 위치정보에 따라 상기 스테이지부(2)를 회전시키는 제1회전기구(821) 및 제2회전기구(822)를 포함한다.

도 21을 참고하면, 상기 제1회전기구(821)는 상기 스테이지부(2)를 제1회전축(821a)을 중심으로 회전시킨다. 상기 제1회전축(821a)은 상기 제1축방향(X축 방향, 도 22에 도시됨)과 평행한 방향이다. 상기 제1회전기구(821)는 상기 제1변위센서(811a)와 상기 제2변위센서(811b)가 측정한 거리가 각각 상기 설정된 제1거리(8111a)와 상기 설정된 제2거리(8111b)에 동일해지도록 상기 스테이지부(2)를 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1회전기구(821)는 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1회전기구(821)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 스테이지부(2)를 회전시킬 수 있다.

도 22를 참고하면, 상기 제2회전기구(822)는 상기 스테이지부(2)를 제2회전축(822a)을 중심으로 회전시킨다. 상기 제2회전축(822a)은 상기 수직방향(Z축 방향, 도 21에 도시됨)과 평행한 방향이다. 상기 제2회전기구(822)는 상기 제3변위센서(811c)와 상기 제4변위센서(811d)가 측정한 거리가 각각 상기 설정된 제3거리(8111c)와 상기 설정된 제4거리(8111d)에 동일해지도록 상기 스테이지부(2)를 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2회전기구(822)는 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2회전기구(822)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 스테이지부(2)를 회전시킬 수 있다.

도 23 및 도 24를 참고하면, 상기 정렬유닛(82)이 상기 제1회전기구(821)와 상기 제2회전기구(822)를 포함하는 경우, 상기 스테이지부(2)는 상기 제2스테이지(22)가 결합된 제3스테이지(24), 및 상기 제3스테이지(24)가 결합된 결합기구(25)를 포함할 수 있다.

상기 제3스테이지(24)는 상기 결합기구(25)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제3스테이지(24)는 상기 정렬유닛(82)에 의해 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전될 수 있다. 상기 제3스테이지(24)가 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전함에 따라, 상기 제2스테이지(22), 상기 제2스테이지(22)에 결합된 제1스테이지(21), 및 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 제1회전기구(821)는 상기 제3스테이지(24)를 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 상기 제1회전기구(821)는 상기 결합기구(25)에 결합될 수 있다. 상기 제3스테이지(24)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2스테이지(22)가 결합될 수 있고, 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 결합기구(25)에 결합될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 결합기구(25)는 상기 본체(1a)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 결합기구(25)는 상기 정렬유닛(82)에 의해 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전될 수 있다. 상기 결합기구(25)가 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전함에 따라, 상기 제3스테이지(24), 상기 제3스테이지(24)에 결합된 제2스테이지(22), 상기 제2스테이지(22)에 결합된 제1스테이지(21), 및 상기 제1스테이지(21)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 제2회전기구(822)는 상기 결합기구(25)를 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전시킬 수 있다. 상기 제2회전기구(822)는 상기 본체(1a)에 결합될 수 있다. 상기 결합기구(25)는 상기 제2회전기구(822)에 결합됨으로써, 상기 본체(1a)에 결합될 수도 있다. 상기 결합기구(25)는 상기 제3스테이지(24)가 상기 제1회전축(821a)을 중심으로 회전하는데 방해되지 않도록 전체적으로 'ㄷ' 형태를 갖도록 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제3스테이지(24)가 회전하는데 방해되지 않고, 상기 제2회전축(822a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 본체(1a)에 결합될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 24 내지 도 26을 참고하면, 상기 위치정보획득유닛(81)은 디스플레이 패널(10)에 표시된 정렬마크(M, 도 26에 도시됨)로부터 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치정보를 획득할 수 있다. 상기 정렬마크(M)는 상기 신호인가부(6, 도 25에 도시됨)가 디스플레이 패널(10)을 구동시킴에 따라 디스플레이 패널(10)에 표시될 수 있다. 상기 정렬마크(M)는 디스플레이 패널(10)에서 영상이 표시되는 화면(10a)에 표시될 수 있다. 도 26에는 상기 신호인가부(6, 도 25에 도시됨)가 십자 형태를 갖는 정렬마크(M)를 표시하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 정렬마크(M)를 이용하여 디스플레이 패널(10)의 위치정보를 획득할 수 있는 형태이면 상기 신호인가부(6, 도 25에 도시됨)는 다른 형태를 갖는 정렬마크(M)를 표시할 수도 있다. 도 25에는 상기 신호인가부(6)가 디스플레이 패널(10)에서 영상이 표시되는 화면(10a)의 상측 양단(10e, 10f)에 상기 정렬마크(M, 도 26에 도시됨)를 표시하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 정렬마크(M, 도 26에 도시됨)를 이용하여 디스플레이 패널(10)의 위치정보를 획득할 수 있는 위치이면 상기 신호인가부(6, 도 25에 도시됨)는 다른 위치에 상기 정렬마크(M, 도 26에 도시됨)를 표시할 수도 있다. 상기 신호인가부(6)는 복수개의 정렬마크(M, 도 26에 도시됨)가 표시되도록 디스플레이 패널(10)을 구동시킬 수도 있다.

도 24 내지 도 26을 참고하면, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 정렬마크(M)를 이용하여 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동된 정도, 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이동된 정도, 및 회전된 정도에 따른 위치정보를 획득할 수 있다.

이를 위해, 상기 위치정보획득유닛(81)은 복수개의 비젼유닛(812a, 812b)을 포함할 수 있다. 상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 각각 상기 정렬마크들(M, M')을 촬영한 후, 상기 정렬마크들(M, M') 각각이 기준마크들(S, S')로부터 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이격된 정도, 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이격된 정도, 및 회전된 정도를 확인할 수 있다. 이에 따라, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 정렬마크(M)를 이용하여 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동된 정도, 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이동된 정도, 및 회전된 정도에 따른 위치정보를 획득할 수 있다.

예컨대, 상기 비젼유닛들(812a, 812b) 각각이 촬영한 정렬마크들(M, M')이 도 26에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 기준마크들(S, S')로부터 이격된 것으로부터, 상기 위치정보획득유닛(81)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)이 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동된 정도, 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이동된 정도, 및 회전된 정도에 따른 위치정보를 획득할 수 있다. 상기 정렬유닛(82)은 도 26에 실선으로 된 바와 같이 상기 정렬마크들(M, M')이 상기 기준마크들(S, S') 각각의 중앙에 위치되도록 상기 스테이지부(2)를 이동시킴으로써, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.

상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 상기 이미지획득부(2, 도 2에 도시됨) 및 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10) 사이에 위치되게 이동할 수 있다. 이 상태에서, 상기 이미지획득부(4, 도 2에 도시됨)를 기준으로 상기 컨베이어 시스템(100)으로부터 이격된 디스플레이 패널(10)의 상대적인 위치를 정렬하는 작업이 이루어질 수 있다. 상기 비젼유닛들(812a, 812b)을 이용하여 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬하는 작업이 완료되면, 도 25에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 상기 이미지획득부(2, 도 2에 도시됨) 및 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10) 사이로부터 벗어나게 이동할 수 있다. 이 상태에서, 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)에 대한 검사공정이 이루어질 수 있다. 상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 상기 본체(1a, 도 23에 도시됨)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 상기 결합기구(25, 도 23에 도시됨)에 이동 가능하게 결합될 수도 있다.

도시되지 않았지만, 상기 정렬부(8)는 상기 비젼유닛들(812a, 812b)을 이동시키기 위한 이동수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 비젼유닛들(812a, 812b)을 이동시킬 수 있다. 도 25에는 상기 위치정보획득유닛(81)이 2개의 비젼유닛들(812a, 812b)을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 위치정보획득유닛(81)은 1개 또는 3개 이상의 비젼유닛들을 포함할 수도 있다.

도 2, 도 25 및 도 26을 참고하면, 상기 정렬유닛(82)은 상기 비젼유닛들(812a, 812b)이 획득한 위치정보에 따라 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬하기 위해 상기 스테이지부(2)를 이동시킨다. 상기 비젼유닛들(812a, 812b)은 획득한 위치정보를 상기 정렬유닛(82)에 제공할 수 있다. 상기 정렬유닛(82)은 상기 획득된 위치정보에 따라 상기 정렬마크들(M, M')이 상기 기준마크들(S, S') 각각의 중앙에 위치되도록 상기 스테이지부(2)를 이동시킬 수 있다. 상기 정렬유닛(82)은 상기 스테이지부(2)를 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이동시킬 수 있고, 회전시킬 수도 있다. 이에 따라, 상기 정렬유닛(82)은 상기 스테이지부(2)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 정렬유닛(82)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 스테이지부(2)를 이동시킬 수 있다. 도 23 및 도 24를 참고하면, 상기 제3스테이지(24)에는 상기 제2스테이지(22)가 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 수직방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제3스테이지(24)에는 상기 제2스테이지(22)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 정렬유닛(82)은 상기 제3스테이지(24)에 결합될 수 있다.

도 27 내지 도 30을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각(Viewing Angle) 검사를 수행할 수도 있다. 예컨대, 디스플레이 패널(10)을 제조하는 과정에서 합착 마진이 부족하거나 합착이 잘못되어 시야각에서 빛이 새어 부분적으로 뿌옇게 얼룩져 보이는 얼룩 불량이 발생할 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 수행함으로써, 상술한 바와 같은 얼룩 불량을 검출할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 불량 여부를 검출하기 위한 검출항목을 늘릴 수 있다.

도 27 내지 도 30을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 상기 시야각 검사를 구현하는 방식에 따라 다음과 같은 실시예들을 포함할 수 있다.

우선, 도 27을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위해 상기 이미지획득부(4)를 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 기울어지게 회전시키는 회전부(20)를 포함할 수 있다. 상기 이미지획득부(4)가 상기 회전부(20)에 의해 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 기울어지게 회전된 상태에서, 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 상기 회전부(20)는 상기 이미지획득부(4)를 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 대략 45° 기울어지게 회전시킬 수 있다.

다음, 도 28을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위해 시야각검사부(30)를 포함할 수 있다. 상기 시야각검사부(30)는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 기울어지게 설치된다. 상기 시야각검사부(30)는 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 시야각검사부(30)는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 기울어지게 설치되는 것 외에 상기 이미지획득부(4)와 대략 일치하게 구성될 수 있으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 상기 이동부(5, 도 11에 도시됨)는 상기 시야각검사부(30)를 이동시키기 위한 제3이동유닛(53)을 포함할 수 있다. 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제3이동유닛(53, 도 28에 도시됨)이 상기 시야각검사부(30, 도 28에 도시됨)와 상기 스테이지부(2) 중 적어도 하나를 이동시킴에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 상기 시야각검사부(30)는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 대략 45° 기울어지게 설치될 수 있다.

다음, 도 29 및 도 30을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위해 반사기구(40) 및 이동기구(50)를 포함할 수 있다. 상기 반사기구(40)는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 기울어지게 설치된다. 상기 반사기구(40)는 상기 본체(1a, 도 7에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 반사기구(40)는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 대략 45° 기울어지게 설치될 수 있다. 상기 반사기구(40)로 평면미러가 이용될 수 있다.

상기 이동기구(50)는 상기 반사기구(40)가 상기 이미지획득부(4)와 디스플레이 패널(10) 사이에 위치되는 제1위치 및 상기 제1위치로부터 이격된 제2위치 간에 상기 반사기구(40)를 이동시킬 수 있다. 도 30에 도시된 바와 같이 상기 반사기구(40)가 상기 제1위치에 위치된 상태에서, 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 이동기구(50)는 상기 이동부(5)에 연동되어 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치(1)는 디스플레이 패널(10)에 대한 시야각 검사를 위한 부분별 이미지들을 획득할 수 있다. 도 29에 도시된 바와 같이 상기 반사기구(40)가 상기 제2위치에 위치된 상태에서, 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동부(5)는 상기 이미지획득부(4)와 상기 스테이지부(2) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 상기 이동기구(50)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등으로 상기 반사기구(40)를 이동시킬 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

1 : 디스플레이 패널 검사장치 2 : 스테이지부 3 : 이격부
4 : 이미지획득부 5 : 이동부 6 : 신호인가부 7 : 조절부
8 : 정렬부 10 : 디스플레이 패널

Claims

디스플레이 패널을 지지하기 위한 스테이지부;
상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널이 컨베이어 시스템으로부터 이격되도록 상기 스테이지부를 이동시키기 위한 이격부;
디스플레이 패널의 부분(部分)에 대응되는 이미지획득영역을 갖는 이미지획득부; 및
상기 이미지획득부가 컨베이어 시스템으로부터 이격된 디스플레이 패널에 대한 부분별 이미지들을 획득하도록 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동부를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 이미지획득부를 기준으로 컨베이어 시스템으로부터 이격된 디스플레이 패널의 상대적인 위치를 정렬하기 위한 정렬부를 포함하고;
상기 정렬부는 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널의 위치정보를 획득하기 위한 위치정보획득유닛, 및 상기 획득된 위치정보에 따라 디스플레이 패널의 위치를 정렬하기 위해 상기 스테이지부를 이동시키는 정렬유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널에 정렬마크가 표시되도록 디스플레이 패널을 구동시키는 신호인가부, 및 상기 이미지획득부를 기준으로 컨베이어 시스템으로부터 이격된 디스플레이 패널의 상대적인 위치를 정렬하기 위한 정렬부를 포함하고;
상기 정렬부는 디스플레이 패널에 표시된 정렬마크로부터 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널의 위치정보를 획득하기 위한 위치정보획득유닛, 및 상기 획득된 위치정보에 따라 디스플레이 패널의 위치를 정렬하기 위해 상기 스테이지부를 이동시키는 정렬유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 이동부는 상기 이미지획득부가 상기 부분별 이미지들을 연속적으로 획득하도록 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 연속적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 이동부는 상기 이미지획득영역을 기준이동단위로 하여 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 스텝(Step) 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널을 구동시키기 위한 검사신호를 인가하는 신호인가부를 포함하고;
상기 이동부는 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 왕복 이동시키며;
상기 신호인가부는 상기 이동부가 이동방향을 전환하면 디스플레이 패널이 변경된 패턴으로 구동되도록 디스플레이 패널에 변경된 검사신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널이 갖는 서브픽셀의 크기에 따라 상기 이미지획득부가 설정된 해상도를 갖는 이미지를 획득하도록 조절하는 조절부를 포함하고,
상기 조절부는 상기 이미지획득부가 디스플레이 패널이 갖는 하나의 서브픽셀(Sub Pixel)을 기준으로 1/N (N은 12보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득도록 조절하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 이미지획득부는
디스플레이 패널에 대한 부분별 이미지를 획득하기 위한 이미지센서;
상기 이동부가 상기 이미지획득부와 상기 스테이지부 중에서 적어도 하나를 이동시키는 제1축방향으로 상기 이미지센서가 복수개가 설치되는 설치기구; 및
상기 이미지센서들이 획득한 부분별 이미지들에 대해 디스플레이 패널에서 동일한 부분에 해당하는 이미지들끼리 중첩하여 검사이미지를 생성하는 이미지생성유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 이미지획득부는
디스플레이 패널에 대한 부분별 이미지를 획득하기 위한 이미지센서; 및
상기 이미지센서가 이미지를 획득하기 위한 노출시간이 디스플레이 패널이 갖는 점등주기보다 길도록 상기 이미지센서를 제어하는 제어유닛을 포함하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널에 대한 시야각(Viewing Angle) 검사를 위해 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널에 수직한 제2축방향을 기준으로 상기 이미지획득부를 상기 제2축방향에 대해 기울어지게 회전시키는 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널에 대한 시야각 검사를 위해 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널에 수직한 제2축방향을 기준으로 상기 제2축방향에 대해 기울어지게 설치된 시야각검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
제1항에 있어서,
디스플레이 패널에 대한 시야각 검사를 위해 상기 스테이지부에 지지된 디스플레이 패널에 수직한 제2축방향을 기준으로 상기 제2축방향에 대해 기울어지게 설치된 반사기구; 및
상기 반사기구가 상기 이미지획득부와 디스플레이 패널 사이에 위치되는 제1위치 및 상기 제1위치로부터 이격된 제2위치 간에 상기 반사기구를 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.