KR102007718B1 - 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법 - Google Patents

턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102007718B1
KR102007718B1 KR1020170073755A KR20170073755A KR102007718B1 KR 102007718 B1 KR102007718 B1 KR 102007718B1 KR 1020170073755 A KR1020170073755 A KR 1020170073755A KR 20170073755 A KR20170073755 A KR 20170073755A KR 102007718 B1 KR102007718 B1 KR 102007718B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
robot arm
alignment plate
index robot
adsorption
Prior art date
Application number
KR1020170073755A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180135580A (ko
Inventor
조창제
Original Assignee
우리마이크론(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우리마이크론(주) filed Critical 우리마이크론(주)
Priority to KR1020170073755A priority Critical patent/KR102007718B1/ko
Publication of KR20180135580A publication Critical patent/KR20180135580A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102007718B1 publication Critical patent/KR102007718B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/70—Testing, e.g. accelerated lifetime tests
    • H01L51/0031—
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 봉지공정 후에 셀의 화질 및 전기적 특성을 검사하기 위해 패널을 반전시켜 검사하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따르면, 프레임, 복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암, 상기 프레임 내에 구비되며 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 흡착고정하고, 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈, 상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 기구에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여 이동시키는 스테이지유닛, 을 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치가 개시된다.

Description

턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법{TURNOVER TYPE DISPLAY CELL TEST EQUIPMENT AND CONTROLLING METHOD FOR THE SAME}
본 발명은 디스플레이 셀의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 봉지공정 후에 셀의 화질 및 전기적 특성을 검사하기 위해 패널을 반전시켜 검사하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
근래에 들어 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display)패널이나, 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diode)방식의 디스플레이패널 등 평판 디스플레이가 널리 사용되고 있으며, 수용의 증가에 따라 그 제작 수량도 늘어나고 있다.
이때 상기와 같은 평판 디스플레이 패널은 제조 과정에서 불량 유무를 검사하여 후속 공정을 진행하는데, 그 중 OLED 방식의 디스플레이 패널은 봉지 공정(Encapsulation) 전에 점등 검사과정을 수행하게 된다.
종래에는 유기재료를 보호하기 위한 봉지층의 소재로 유리나 박막필름이 사용되나 현재에는 소재소요량을 절감할 수 있는 인쇄공정(Screen Printing) 가 이용된다.
일반적으로 OLED 디스플레이 패널과 같은 평판 표시 패널에 대한 검사에서는, OLED 디스플레이 패널의 단자들에 전기 신호를 인가한다. 이때 그 전기 신호는 단자들과 접촉하는 프로브(Probe)를 통해서 OLED 패널에 인가된다.
또한 단자들은 OLED 디스플레이 패널에 위치된 각각의 셀 가장자리에 배치되는 것이 일반적이다. 이에 따라 각각의 셀에 배치된 단자들과 정확하게 접촉하여, 피검체인 셀들의 전기적 특성을 정확하게 파악할 수 있는 검사장치가 요구되어 왔다.
더불어, 최근에는 봉지 공정 전에 점등검사를 수행하는것 이외 봉지공정 이후에도 점등검사하는 기술이 필요해지고 있다.
봉지공전 전 종래 검사장치의 경우, 디스플레이 패널의 증착면이 하단에 위치한 페이스 다운(Face Down)방식의 검사가 이루어지나 봉지공정 이후에는 증착면이 상단에 위치한 페이스 업(Face Up)방식의 검사방법이 필요하게 되는데, 종래의 검사장치는 이러한 페이스 업 방식의 검사는 수행할 수 없어 이를 해결할 새로운 검사장치가 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 페이스 업 방식의 검사를 수행할 수 있는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이 과제이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 형태에 따르면, 프레임, 복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암, 상기 프레임 내에 구비되며 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 흡착고정하고, 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈, 상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 기구에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여, 이동시키는 스테이지유닛을 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치가 개시된다.
상기 턴오버 모듈은, 서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기둥, 앙 단이 상기 한 쌍의 기둥에 각각 회전 가능하게 배치된 축, 상기 축에 결합되며, 글래스 기판이 안착되어 정렬되는 얼라인 플레이트, 상기 얼라인 플레이트와의 사이에 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 반입된 패널을 흡착고정하는 흡착 포크, 상기 축을 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.
상기 흡착포크는, 서로 마주보도록 배치되며, 흡착홀이 형성된 적어도 한 쌍의 흡착바아, 상기 흡착바아와 상기 얼라인 플레이트와의 간격을 조절하며, 상기 흡착 바아를 상기 얼라인 플레이트에 고정시키는 업다운 유닛; 상기 흡착바아 간의 수평 간격을 조절하는 흡착바아 간격조절유닛을 포함할 수 있다.
상기 흡착바아의 최대 이격간격은 상기 패널의 폭보다 크도록 구비될 수 있다.
상기 턴오버 모듈은, 상기 프레임과 기둥 사이에 구비되며, 상기 기둥을 승강시켜 높이를 조절하는 높이조절유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 인덱스 로봇암이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 사이가 개구되도록, 상기업다운 유닛 및 흡착바아 간격조절유닛은 상기 인덱스 로봇암이 진입되는 측의 반대측에 구비될 수 있다.
상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널의 대각선으로 서로 마주보는 모서리 부위에 대응되는 얼라인 플레이트의 적어도 2개소에 구비되며, 안착된 패널을 정렬하는 패널 센터링 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 패널 센터링 유닛은, 상기 얼라인 플레이트의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되는 피스톤, 상기 피스톤에 구비되며, 사이에 패널의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍의 롤러를 포함할 수 있다.
한편, 상기 인덱스 로봇암의 반입방향이 상기 축의 길이방향과 평행한 방향으로 배치되고, 상기 인덱스 로봇암의 진입공간을 확보하도록 상기 기둥의 일부에, 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 진입되는 개구부가 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 다른 형태에 따르면, 패널이 얹힌 인덱스 로봇암이 수평이동하여 턴오버 모듈의 얼라인 플레이트와 흡착포크의 사이로 진입하는 반입단계, 상기 턴오버 모듈의 흡착포크에 반입된 패널이 안착되어 흡착고정되는 제1안착단계, 축이 회전되어 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 및 안착된 패널의 상면과 하면이 반전되는 회전단계, 스테이지 유닛이 흡착위치로 이동하는 흡착위치 이동단계, 상기 흡착바아가 얼라인 유닛측으로 이동하도록 상기 흡착포크의 업다운 유닛이 작동되어 상기 패널이 얼라인 플레이트에 안착되는 안착단계, 상기 흡착포크의 흡착이 중지되며, 상기 흡착바아 간격조절유닛이 작동되어 상기 흡착바아의 수평간격이 이격되며, 상기 흡착바아의 업다운 유닛이 작동되어 상기 흡착바아가 얼라인 플레이트로부터 이격되는 이격단계, 패널 센터링 장치를 통해 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 정렬되는 얼라인 단계, 상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널이 상기 스테이지 유닛에 밀착되도록 높이조절유닛이 작동되는 밀착되어 상기 스테이지 유닛에 패널이 흡착고정되는 밀착단계, 상기 높이조절유닛이 작동되어 상기 얼라인 플레이트 및 흡착포크가 하강하는 이탈단계, 패널이 흡착고정된 스테이지 유닛이 검사위치로 이동되는 검사위치 이동단계, 검사위치로 이동된 스테이지 유닛이 하강되어 프로브 유닛과 패널의 전극패턴이 접촉되는 접촉단계를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 제어방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법에 따르면, 페이스 업 방식의 검사를 수행할 수 있어 봉지공정 이후에 점등검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치를 도시한 도면;
도 2는 도 1의 턴오버 모듈을 도시한 사시도;
도 3은 패널의 일 실시예를 도시한 도면
도 4는 도 1의 스테이지 유닛을 도시한 도면;
도 5는 도 1의 턴오버 모듈의 평면도;
도 6은 도 1의 턴오버 모듈의 측면도;
도 7은 패널이 안착된 상태의 얼라인 플레이트를 도시한 사시도;
도 8은 턴오버 모듈의 다른 변형예를 도시한 사시도;
도 9는 도 8의 턴오버 모듈이 적용된 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 평면도;
도 10은 도 1의 턴오버 모듈의 작동을 도시한 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 따른 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(101), 인덱스 로봇암(110), 턴오버 모듈(130), 스테이지 유닛(120), 및 프로브 유닛(150)을 포함할 수 있다.
상기 프레임(101)은 후술하는 구성요소들이 설치되는 골조를 형성하며, 상기 골조 중에는 상측에 일방향으로 배치된 주행레일(103)을 포함할 수 있다.
상기 인덱스 로봇암(110)은 외부에서 패널(10)을 반입하는 구성요소로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 패널(10)을 얹거나 흡착하여 이동시킬 수 있도록 서로 이격된 한 쌍의 반입포크(112) 및 상기 반입포크(112)를 연결하도록 상기 반입포크(112)의 단부에 형성된 연결부(114)를 포함하여 이루어져, 수평이동이 가능하게 구비될 수 있다.
상기 패널(10)은 도 3에 도시된 바와 같이, 복수개의 디스플레이 셀(12)이 형성되어 있는 디스플레이의 원판으로서 복수 개의 디스플레이 셀(12)이 행렬을 맞춰 배열되도록 마련될 수 있다. 이 때, 상기 각 디스플레이 셀(12)은 전기적 신호가 입/출력되도록 일측면에 전극패턴(14)이 형성될 수 있다.
상기 턴오버 모듈(130)은 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 패널(10)을 반입받아 이를 흡착고정한 상태에서 상기 패널(10)의 상면과 하면이 뒤집혀 반전되도록 회전시키는 구성요소이다.
상기 스테이지 유닛(120)은 상기 프레임(101)의 주행레일(103)에 메달려 이동되며, 상기 턴오버 모듈(130)에서 반전된 패널(10)을 흡착고정하여 상기 패널(10)을 반입위치(105)에서 검사위치(106)로 이동시키는 구성요소이다.
여기서, 상기 반입위치(105)란, 상기 패널(10)이 인덱스 로봇암(110)에 의해 상기 턴오버 모듈(130)로 반입되는 수평위치를 뜻한다. 그리고, 상기 검사위치(106)란 상기 스테이지 유닛(120)에 의해 이동되는 패널(10)이 상기 프로브 유닛(150) 등의 검사장비에 의해 검사가 이루어지는 수평위치를 뜻한다.
이때, 상기 스테이지 유닛(120)은, 상기 패널(10)을 흡착고정하면서, 상기 패널(10)을 흡착고정하는 부분이 상기 주행레일(103)을 따라 수평이동되며, 또한, 상기 주행레일(103)과 직교하는 방향으로도 수평이동, 상하방향으로 수직이동 및 가상의 수직축을 기준으로 설치면과 수평하게 각도조절이 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 프로브 유닛(150)은 상기 프레임(101)의 검사위치(106)에 설치되며, 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착고정되어 이동된 패널(10)의 전극패턴(14)과 전기적으로 접촉되어 전기 및 전기적 신호를 인가하여 상기 디스플레이 셀(12)을 점등시킨 상태에서 전기적 특성을 검사하는 구성요소이다.
한편, 상기 검사위치(106)는 상기 프로브 유닛(150)등의 검사장비 등에 의해 검사가 이루어지는 위치를 뜻하는데, 본 실시예에서는 제1검사위치(107)와 제2검사위치(108)가 형성되는 것을 에로 들어 설명하기로 한다. 물론, 본 발명은 이에 한정된 것은 아니며, 상기 제1검사위치(107)와 제2검사위치(108) 외에 추가적인 검사위치가 형성될 수도 있으며, 제1검사위치(107) 단독으로 형성될 수도 있다.
상기 제1검사위치(107)에는 상기 프로브 유닛(150) 등이 설치되며, 상기 제1검사위치(107)의 일측에 형성된 제2검사위치(108)에는 현미경 유닛(170) 등이 설치될 수 있다.
또한, 상기 프로브 유닛(150)은 제1검사위치(107)에 고정설치되어, 상기 주행레일(103)을 따라 이동된 스테이지 유닛(120)이 하강함에 따라 상기 패널(10)의 전극패턴(14)과 전기적 접촉을 이룰 수 있다.
상기 현미경 유닛(170)은 상기 패널(10)의 일부분을 확대관찰하여 정밀검사를 수행하는 구성요소이다.
그리고, 상기 제1검사위치(107)에는 카메라 유닛(160)이 설치될 수 있다. 상기 카메라 유닛(160)은 상기 프로브 유닛(150)에 접촉되어 점등된 디스플레이 셀(12)을 촬영하여 정상적으로 점등이 이루어지는지를 검사하거나 또는, 상기 프로브 유닛(150)와 디스플레이 셀(12)의 전극패턴(14)이 정확하게 접촉하는지의 여부를 관찰하도록 구비될 수 있다.
즉, 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착되어 이동된 패널(10)과 상기 프로브 유닛(150)이 정확하게 접촉할 수 있도록, 상기 패널(10)에 형성된 얼라인 마크(미도시) 등의 센싱을 통해 패널(10)의 정확한 위치를 획득하고, 이를 바탕으로 프로브 유닛(150)과 전극패턴(14)을 정확하게 정렬시키기 위해 스테이지 유닛(120)의 위치를 조정하거나 또는 프로브 유닛(150)을 정렬시킬 수 있다.
한편, 상기 프로브 유닛(150)도 정렬을 위한 소폭 이동이 가능하게 구비될 수 있으며, 본 실시예에서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 턴오버 모듈(130)은 전술한 바와 같이, 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 패널(10)을 반입받아 이를 흡착고정한 상태에서 상기 패널의 상면과 하면이 뒤집혀 반전되도록 회전시키는 구성요소로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기둥(132), 축(134), 얼라인 플레이트(135), 흡착포크(140) 및 모터(136)를 포함할 수 있다.
상기 기둥(132)은 서로 마주보며 이격되게 배치될 수 있다. 이 때, 상기 기둥(132)이 이격되는 방향은 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 방향과 직교하는 방향일 수 있다.
그리고, 상기 축(134)은 양 단이 상기 각 기둥(132)에 각각 회전가능하게 결합될 수 있다.
상기 얼라인 플레이트(135)는 상기 축(134)에 결합되어 축(134)과 함께 회전되며, 패널(10)이 안착되어 정렬되는 구성요소로서, 일반적으로 상기 패널(10)이 사각형의 형태를 가지고 잇으므로, 상기 얼라인 플레이트(135) 또한 상기 패널(10)의 형태와 유사하게 사각형태로 이루어질 수 있다. 그러나, 반드시 사각형태에 한정되는 것은 아니며, 여타 다른 형태로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 흡착포크(140)는 상기 얼라인 플레이트(135)와의 사이에 상기 인덱스 로봇암(110) 및 패널(10)이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트(135)의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 상기 인덱스 로봇암(110)으로부터 반입된 패널(10)을 흡착고정하는 구성요소이다.
상기 흡착포크(140)는 상기 얼라인 플레이트(135)에 결합되어, 상기 축(134)의 회전을 따라 상기 얼라인 플레이트(135)와 같이 움직이도록 구비될 수 있다.
그리고, 상기 축(134)을 회전시키는 모터(136)가 구비될 수 있다. 상기 모터(136)는 정방향 또는 역방향으로 회전각도의 조절이 가능하도록 이루어질 수 있다.
한편, 상기 흡착포크(140)는 도 2 및 도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 흡착바아(142), 업다운 유닛(146), 흡착바아 간격조절유닛(148)을 포함할 수 있다.
상기 흡착바아(142)는 서로 마주보도록 수평하게 이격되어 적어도 한 쌍이 배치되며, 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향과 평행한 길이방향을 가지며, 패널(10)을 흡착고정하기 위한 흡착홀(144)이 하나 이상 형성될 수 있다.
상기 업다운 유닛(146)은, 상기 흡착바아(142)와 상기 얼라인 플레이트(135)의 간격을 조절하는 구성요소이다. 그리고, 상기 업다운 유닛(146)은 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착바아(142)와의 사이에 구비되어 상기 흡착바아(142)를 상기 얼라인 플레이트(135) 측으로 근접시키거나 또는 반대로 멀어지도록 이격시킬 수 있다.
또한, 상기 흡착바아 간격조절유닛(148)은 상기 흡착바아(142)간의 수평간격을 조절하는 구성요소로서, 상기 업다운 유닛(146)과 상기 흡착바아(142)의 사이에 구비되어 상기 흡착바아(142)를 수평이동시켜 상호 가깝게 근접시키거나 또는 멀어지도록 이격시킬 수 있다.
이 때, 상기 흡착바아(142)의 최대이격간격은, 상기 인덱스 로봇암(110)에 의해 반입되는 패널(10)의 폭 및 상기 스테이지 유닛(120)의 수평방향 폭 보다 클 수 있다.
그리고, 상기 기둥(132)과 프레임(101) 사이에 구비되어, 상기 기둥(132)의 높이를 조절하는 높이조절유닛(133)이 더 구비될 수 있다. 상기 높이조절유닛(133)의 신축에 따라 상기 기둥(132), 축(134), 얼라인 플레이트(135), 흡착바아(142)의 높이가 조절될 수 있다.
이 때, 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 사이가 개구되도록, 상기 업다운 유닛(146) 및 흡착바아 간격조절유닛(148)은 상기 인덱스 로봇암(110)이 진입되는 측의 반대측에 구비될 수 있다.
따라서, 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 측은 항상 개구되어 상기 인덱스 로봇암(110)이 반입되는 공간이 확보될 수 있다.
한편, 상기 얼라인 플레이트(135)에는 안착된 패널(10)을 정렬하는 패널 센터링 유닛(137)이 구비될 수 있다.
상기 패널 센터링 유닛(137)은 도 7에 도시된 바와같이, 상기 패널(10)의 모서리 중 서로 대각선으로 마주보는 모서리에 대응하는 지점의 얼라인 플레이트(135)에 적어도 한 쌍이 구비되며, 각각 상기 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 신축되도록 구비됨으로써 상기 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.
상기 패널 센터링 유닛(137)은 도 7에 도시된 바와 같이 피스톤(138) 및 롤러(139)를 포함할 수 있다.
상기 피스톤(138)은 상기 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되며, 상기 롤러(139)는 상기 피스톤(138)에 구비되며, 사이에 패널(10)의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍이 구비될 수 있다.
따라서, 상기 피스톤(138)이 수축함에 따라 상기 패널(10)의 모서리의 각변에 접촉된 롤러(139)가 얼라인 플레이트(135)의 중심점을 향하여 이동되어 패널(10)을 정렬할 수 있다.
한편, 설치지점의 형태 및 공간 면적 사정 또는 장비 배치형태에 따라 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향이 다르게 배치될 수 있다.
즉, 전술한 실시예에서는 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입방향이 상기 축(134)과 직교하도록 배치될 수 있으나, 도 8 및 도 9 에 도시된 바와 같이, 상기 인덱스 로봇암(110)이 축(134)과 평행한 방향으로 진입되도록 배치될 수 있다.
이 때, 상기 인덱스 로봇암(110)의 진입공간을 확보하기 위하여, 상기 인덱스 로봇암(110)이 진입되는 측의 기둥(132)에 상기 인덱스 로봇암(110) 및 상기 인덱스 로봇암에 얹히거나 흡착된 패널(10)이 진입되는 개구부(133)가 형성될 수 있다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(180)가 더 구비될 수 있다. 상기 챔버(180)는 내부에 비활성 가스가 채워지는 격리된 공간을 구획하며, 전술한 프레임(101), 턴오버 모듈(130), 스테이지 유닛(120), 프로브 유닛(150) 등이 내부에 수용될 수 있다. 또한, 상기 인덱스 로봇암(110)은 상기 챔버(180)의 외부에 구비되며, 패널을 반입할 때 챔버(180)내부로 인입될 수 있도록 일측이 개구되거나 또는 인덱스 로봇암(110)이 진입될 때 선택적으로 개방되는 도어(미도시)가 설치될 수 있다.
이러한 챔버(180)의 내부에는 디스플레이 셀(12)이 공기와 접촉되는 것을 방지하기 위하여 비활성 가스가 공급되어 채워지며, 상기 비활성 가스로는 여러 종류의 비활성 가스가 사용될 수 있으나 비용 측면 및 원료 수급 측면을 고려하여 비교적 구하기 쉬운 질소와 같이 반응성이 낮은 가스를 이용하여 비활성 분위기를 조성할 수도 있다.
또한 챔버(180)의 상부에는 질소 가스 또는 비활성 가스를 챔버 내부로 공급 또는 배출하기 위한 팬 또는 블로워들이 배치될 수 있으며, 도면으로 도시되지는 않았으나 챔버(180) 내부로 공급된 가스를 배출하고 순환시켜 상기 팬 또는 블로워들을 통해 챔버(180)의 내부로 재공급하는 순환 시스템이 마련될 수 있다.
한편, 이하에서는 전술한 실시예의 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치의 제어방법에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 반입단계가 수행될 수 있다. 상기 반입단계는 도 10의 (a)에도시된 바와 같이, 패널(10)이 얹힌 인덱스 로봇암(110)이 수평이동하여 상기 턴오버 모듈(130)의 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140)의 사이로 패널(10)을 반입하는 단계이다.
그리고, 제1안착단계가 수행될 수 있다. 상기 제1안착단계서는 상기 반입단계에서 반입된 패널(10)이 상기 턴오버 모듈(130)의 흡착포크(140)에 안착되어 흡착고정될 수 있다.
상기 제1안착단계가 수행될 때, 상기 턴오버 모듈(130)은 상기 흡착포크(140)가 상기 얼라인 플레이트(135)의 하측면에 위치되도록 회전된 상태일 수 있으며, 상기 흡착바아(142)는 상기 인덱스 로봇암(110) 및 패널(10)의 진입공간을 확보하도록 상기 얼라인 플레이트(135)와 이격된 상태이며, 반입된 패널(10)을 흡착고정하도록 상기 흡착바아(142)의 상호 간격은 상기 패널(10)의 폭보다 좁도록 위치될 수 있다.
또한, 상기 반입단계에서 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 사이로 패널(10)이 반입된 상태에서 상기 높이조절유닛(133)에 의해 상기 흡착포크가 상승되어 상기 인덱스 로봇암(110)에 얹힌 패널(10)이 상기 흡착포크(140)에 옮겨 얹힐 수 있다.
그리고, 회전단계가 수행될 수 있다. 상기 회전단계에서는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 축(134)이 회전되어 상기 얼라인 플레이트(135)와 흡착포크(140) 및 안착된 패널(10)의 상면과 하면이 반전될 수 있다.
한편, 전술한 단계가 수행되는 동안 도 10의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지 유닛(120)이 상기 턴오버 모듈(130)의 상측의 흡착위치에 위치되도록 이동되는 흡착위치 이동단계가 수행될 수 있다.
그리고, 제2안착단계가 수행될 수 있다. 상기 제2안착단계는, 상기 흡착바아(142)가 얼라인 플레이트(135)측으로 이동하도록 상기 흡착포크(140)의 업다운 유닛(146)이 작동되어 상기 패널(10)이 얼라인 플레이트(135)에 밀착되어 안착되는 단계이다.
그리고, 이격단계가 수행될 수 있다. 도 10의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 이격단계는, 상기 흡착포크(140)의 흡착이 중지되어 상기 패널(10)이 얼라인 플레이트(135)측에 자중에 의해 놓여지며, 상기 흡착바아 간격조절유닛(148)이 작동되어 상기 흡착바아(142)의 수평간격이 상기 패널(10)의 폭보다 넓도록 이격되며, 상기 흡착바아(142)의 업다운 유닛(146)이 작동되어 상기 흡착바아(142)가 얼라인 플레이트(135)로부터 멀어지도록 이격되는 단계이다. 이 때, 상기 회전단계에서 턴오버 모듈(130)이 회전된 상태이므로 상기 흡착포크(140)가 얼라인 플레이트(135)의 상측에 위치된 상태이며, 상기 이격단계를 통해 상기 흡착포크(140)가 상기 얼라인 플레이트(135)의 상측으로 상승될 수 있다.
그리고, 얼라인 단계가 수행될 수 있다. 상기 얼라인 단계에서는 패널 센터링 유닛(137)이 작동되어 패널(10)의 위치를 정렬할 수 있다.
그리고, 밀착단계가 수행될 수 있다. 상기 밀착단계에서는 도 10의(d)에 도시된 바와 같이, 상기 높이조절유닛(133)이 작동되어 상기 턴오버 모듈(130)을 상승시켜, 상기 얼라인 플레이트(135)에 안착된 패널(10)이 턴오버 모듈(130)의 상측에 위치된 상기 스테이지 유닛(120)에 밀착되며, 밀착된 패널(10)이 상기 스테이지 유닛(120)에 흡착고정될 수 있다.
그리고, 이탈단계가 수행될 수 있다. 상기 이탈단계는 상기 높이조절유닛(133)이 수축되도록 작동되어 상기 얼라인 플레이트(135) 및 흡착포크(140)가 하강하여 상기 스테이지 유닛(120)에 밀착된 패널(10)로부터 이탈하는 단계이다.
그리고, 검사위치 이동단계가 수행될 수 있다. 상기 이동단계에서는 패널(10)이 흡착고정된 스테이지 유닛(120)이 검사위치(106)로 이동될 수 있다. 상기 검사위치(106) 이동단계에서 스테이지 유닛(120)이 이동되는 위치는 제1검사위치(107)일 수 있다.
그리고, 접촉단계가 수행될 수 있다. 상기 접촉단계는 상기 제1검사위치(107)로 이동된 스테이지 유닛(120)이 하강되어 상기 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전극패턴(14)이 접촉될 수 있다.
그리고, 상기 접촉단계에서 상기 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전극패턴(14)이 전기적 접촉을 이룬 후에 상기 패널(10)의 디스플레이 셀(12)에 전력 및 전기적 신호가 공급되어 전기적 특성등의 검사가 이루어질 수 있다.
또한 필요한 경우, 상기 스테이지 유닛(120)이 상승되어 프로브 유닛(150)과 패널(10)의 전기적 접촉을 해제한 후에 제2검사위치(108) 등으로 이동되어 필요한 여타 다른 검사를 수행할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 패널 12: 디스플레이 셀
14: 전극패턴 101: 프레임
103: 주행레일 105: 반입위치
106: 검사위치 107: 제1검사위치
108: 제2검사위치 110: 인덱스 로봇암
112: 반입포크 114: 연결부
120: 스테이지 유닛 130: 턴오버 모듈
132: 기둥 134: 축
135: 얼라인 플레이트 136: 모터
137: 패널 센터링 유닛 138: 피스톤
139: 롤러 140: 흡착포크
142: 흡착바아 144: 흡착홀
146: 업다운 유닛 148: 흡착바아 간격조절유닛
150: 프로브 유닛 160: 카메라 유닛
170: 현미경 유닛

Claims (10)

  1. 프레임;
    복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암;
    상기 프레임 내 구비되며, 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈;
    상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 모듈에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여 이동시키는 스테이지유닛을 포함하고,
    상기 턴오버 모듈은,
    서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기둥;
    앙 단이 상기 한 쌍의 기둥에 각각 회전 가능하게 배치된 축;
    상기 축에 결합되며, 패널이 안착되어 정렬되는 얼라인 플레이트;
    상기 얼라인 플레이트와의 사이에 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 반입된 패널을 흡착고정하는 흡착 포크;
    상기 축을 회전시키는 모터를 포함하며,
    상기 흡착포크는,
    서로 마주보도록 수평하게 이격되어 배치되며, 흡착홀이 형성된 적어도 한 쌍의 흡착바아;
    상기 흡착바아와 상기 얼라인 플레이트와의 간격을 조절하며, 상기 흡착 바아를 상기 얼라인 플레이트에 고정시키는 업다운 유닛;
    상기 흡착바아 간의 수평 간격을 조절하는 흡착바아 간격조절유닛;
    을 포함하며,
    상기 인덱스 로봇암이 반입되는 측의 상기 얼라인 플레이트와 흡착포크 사이가 개구되도록, 상기업다운 유닛 및 흡착바아 간격조절유닛은 상기 인덱스 로봇암이 진입되는 측의 반대측에 구비되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흡착바아의 최대 이격간격은 상기 패널의 폭보다 크도록 구비되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 턴오버 모듈은,
    상기 프레임과 기둥 사이에 구비되며,
    상기 기둥을 승강시켜 높이를 조절하는 높이조절유닛을 더 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 인덱스 로봇암의 반입방향이 상기 축의 길이방향과 평행한 방향으로 배치되고,
    상기 인덱스 로봇암의 진입공간을 확보하도록 상기 기둥의 일부에, 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 진입되는 개구부가 형성되는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  7. 프레임;
    복수개의 디스플레이 셀이 배열되어 있는 패널을 수평상태로 반입하는 인덱스 로봇암;
    상기 프레임 내 구비되며, 상기 인덱스 로봇암으로부터 반입된 기판을 상면과 하면이 뒤집히도록 회전시키는 턴오버 모듈;
    상기 프레임에 구비되어 수평 수직 및 회전이동하며, 상기 턴오버 모듈에서 뒤집힌 상태의 패널을 흡착고정하여 이동시키는 스테이지유닛을 포함하고,
    상기 턴오버 모듈은,
    서로 마주보게 배치된 한 쌍의 기둥;
    앙 단이 상기 한 쌍의 기둥에 각각 회전 가능하게 배치된 축;
    상기 축에 결합되며, 패널이 안착되어 정렬되는 얼라인 플레이트;
    상기 얼라인 플레이트와의 사이에 상기 인덱스 로봇암 및 인덱스 로봇암에 얹힌 패널이 반입되도록, 상기 얼라인 플레이트의 일면과 이격되어 마주보도록 배치되며, 반입된 패널을 흡착고정하는 흡착 포크;
    상기 축을 회전시키는 모터를 포함하며,
    상기 얼라인 플레이트에 안착된 패널의 대각선으로 서로 마주보는 모서리 부위에 대응되는 얼라인 플레이트의 적어도 2개소에 구비되며, 안착된 패널을 정렬하는 패널 센터링 유닛을 더 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 패널 센터링 유닛은,
    상기 얼라인 플레이트의 중심점을 향하여 수평방향으로 신축 가능하게 구비되는 피스톤;
    상기 피스톤에 구비되며, 사이에 패널의 모서리가 위치되며, 상기 모서리의 각 변에 접촉되도록 이격되게 구비되는 한 쌍의 롤러;
    를 포함하는 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020170073755A 2017-06-13 2017-06-13 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법 KR102007718B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170073755A KR102007718B1 (ko) 2017-06-13 2017-06-13 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170073755A KR102007718B1 (ko) 2017-06-13 2017-06-13 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180135580A KR20180135580A (ko) 2018-12-21
KR102007718B1 true KR102007718B1 (ko) 2019-10-21

Family

ID=64959927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170073755A KR102007718B1 (ko) 2017-06-13 2017-06-13 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102007718B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102081609B1 (ko) * 2019-04-17 2020-02-26 우리마이크론(주) 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비
WO2020213901A1 (ko) * 2019-04-17 2020-10-22 우리마이크론(주) 원장 패널 이송 장치, 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 설비
KR102112555B1 (ko) * 2019-11-21 2020-05-19 케이맥(주) 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치
KR102430727B1 (ko) * 2020-02-25 2022-08-10 (주)메가센 원장 패널 흡착 장치
CN116313947B (zh) * 2023-05-25 2023-08-08 深圳赛仕电子科技有限公司 一种micro-LED显示面板封装方法及装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100936903B1 (ko) * 2007-09-20 2010-01-15 아주하이텍(주) 검사 장치 및 검사 방법
KR101340692B1 (ko) * 2012-02-14 2013-12-12 세메스 주식회사 유기발광소자 셀들의 검사 방법 및 이를 수행하기 위한 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180135580A (ko) 2018-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102007718B1 (ko) 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법
KR101234088B1 (ko) 어레이 테스트 장치
CN102374995A (zh) 用于检查显示设备的装置和方法
KR20130093262A (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
CN102117588A (zh) 阵列测试装置
CN102565564A (zh) 阵列测试装置
TW201302641A (zh) 玻璃面板運輸設備
JP5555757B2 (ja) 基板検査装置
KR101980849B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR20130093257A (ko) 유기발광소자 셀들의 검사 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
KR102112555B1 (ko) 이종 사이즈 디스플레이 패널 검사 장치
KR101322164B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR101807195B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101902604B1 (ko) 디스플레이 셀 검사 장치
KR101172686B1 (ko) 기판 수리 장치
KR101535726B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR102521073B1 (ko) 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법
KR20190071140A (ko) 어레이 테스트 장치
KR20180091510A (ko) 디스플레이 셀의 검사 장치
KR101452121B1 (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR20070118770A (ko) 복합 검사기
KR20190009124A (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치 및 방법
KR20200049003A (ko) 기판 스테이지 및 이를 포함하는 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치
KR102068034B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101140257B1 (ko) 어레이 테스트 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right