KR101807195B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

어레이 테스트 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101807195B1
KR101807195B1 KR1020110122194A KR20110122194A KR101807195B1 KR 101807195 B1 KR101807195 B1 KR 101807195B1 KR 1020110122194 A KR1020110122194 A KR 1020110122194A KR 20110122194 A KR20110122194 A KR 20110122194A KR 101807195 B1 KR101807195 B1 KR 101807195B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass panel
test module
axis direction
frame
supporting
Prior art date
Application number
KR1020110122194A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130056541A (ko
Inventor
엄정아
방규용
김현정
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020110122194A priority Critical patent/KR101807195B1/ko
Publication of KR20130056541A publication Critical patent/KR20130056541A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101807195B1 publication Critical patent/KR101807195B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 투과방식의 테스트모듈을 적용하면서도 장치가 설치되는 면적을 줄일 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

어레이 테스트 장치{ARRAY TEST APPARATUS}
본 발명은 글라스패널을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는, 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고, 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록, 상부기판 또는 하부기판 중 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조한다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, 이를 '글라스패널'이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행한다. 이와 같은 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위하여, 어레이 테스트 장치가 이용된다.
어레이 테스트 장치에는 글라스패널에 인접하게 위치되어 글라스패널을 측정하는 테스트유닛이 구비된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 이러한 테스트유닛(100)은, 광원(110)과, 광원(110)으로부터 출사되는 광의 방향을 조절하는 하프프리즘(130)과, 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(140)으로 구성될 수 있다.
모듈레이터(120)는, 글라스패널(P)에 인접되게 배치되는 반사층(121)과, 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 통과하는 광의 광량을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)(122)과, 전원(미도시)과 연결되는 모듈레이터전극층(123)과, 모듈레이터전극층(123)의 상측에 배치되는 투광블럭(124)으로 구성될 수 있다. 반사층(121)은 얇은 막 형태의 반사필름으로 이루어질 수 있으며, 유리에 반사막이 코팅된 미러 형태의 반사유리로 이루어질 수 있다.
전광물질층(122)은 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어질 수 있는데, 예를 들면, 전기장의 크기에 따라 광량을 변화시키는 액정(LC, liquid crystal)으로 이루어질 수 있다. 또한, 전광물질층(122)은, 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 광원(110)에서 발광되고 하프프리즘(130)을 통하여 모듈레이터(120)로 입사된 후 모듈레이터(120)의 반사층(121)으로부터 반사되는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(140)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고 촬상유닛(140)으로 촬상한 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
한편, 테스트유닛(100)은, 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비되는 반사방식의 구성 외에도, 도 2에 도시된 바와 같이, 광원(110)이 글라스패널(P)의 하측에 구비되며, 광원(110)에서 발광되어 모듈레이터(120)를 투과하는 광의 광량을 측정하여 글라스패널(P)의 결함여부를 검출하는 투과방식이 적용될 수 있다. 이러한 투과방식의 테스트유닛(100)에서는, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일측에 보호층(125)이 구비된다.
도 1에 도시된 반사방식의 테스트유닛(100)은, 글라스패널(P)의 상부에서 수평으로 이동이 가능하다. 다만, 반사방식의 테스트유닛(100)는, 광원(110)에서 발광된 광이, 하프프리즘(130) 및 모듈레이터(120)를 통과하여 반사층(121)에서 반사된 후, 다시 모듈레이터(120)를 통과하여 촬상유닛(140)으로 입사되는 과정에서 광의 손실이 발생하는 문제가 있으며, 광원(110), 모듈레이터(120) 및 촬상유닛(140) 사이에 하프프리즘(130)이 구비되어야 하고, 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비되어야 하는 등 구조가 복잡하다는 문제가 있다.
이에 비하여, 도 2에 도시된 투과방식의 테스트유닛(100)은, 광원(110)에서 발광된 광이 모듈레이터(120)를 통과한 후 곧바로 촬상유닛(140)으로 입사되므로, 광의 손실의 우려가 적기 때문에, 촬상유닛(140)에 의하여 획득할 수 있는 이미지의 광량이 크며, 이에 따라, 글라스패널(P)에 대한 검사를 보다 정확하게 수행할 수 있다. 또한, 투과방식의 테스트유닛(100)은 하프프리즘(130)이 요구되지 않고, 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비될 필요가 없으므로, 그 구성을 단순화할 수 있다는 장점이 있다.
이러한 투과방식의 테스트유닛이 구비되는 어레이 테스트 장치로서, 예를 들면, 대한민국 공개특허 제10-2011-0079024호(도 3 참조)에 제시된 바와 같은 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임(10)과, 글라스패널을 로딩하는 로딩유닛(30)과, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널을 언로딩하는 언로딩유닛(40)으로 구성된다. 로딩유닛(30)에는 테스트유닛(20)으로 이송될 예정인 글라스패널이 지지되는 지지플레이트(50)가 구비되며, 언로딩유닛(40)에는 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널이 지지되는 지지플레이트(50)가 구비된다. 이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널에 대한 검사는, 테스트유닛(20)이 고정된 상태에서, 먼저, 글라스패널이 로딩유닛(30)의 지지플레이트(50)상에 로딩되고, 글라스패널이 언로딩유닛(40)의 지지플레이트(50)상로 이동되며, 글라스패널이 로딩유닛(30)과 언로딩유닛(40) 사이에 배치된 테스트유닛(20)을 통과하면서, 글라스패널에 대한 검사가 수행되는 과정을 통하여 진행된다.
즉, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 투과방식의 테스트유닛(20)을 이용하기 위하여, 테스트유닛(20)의 위치를 고정시킨 상태에서, 글라스패널이 테스트유닛(20)을 통과하도록 글라스패널을 이송시키면서, 글라스패널에 대한 검사를 수행하였다.
따라서, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 테스트유닛(20)을 중심으로 양측에, 검사가 수행될 예정인 글라스패널이 로딩되어 대기하는 로딩영역(A)과, 검사가 완료된 글라스패널이 다음의 공정으로 언로딩되기 위하여 대기하는 언로딩영역(B)이 요구되었다. 한편, 로딩영역(A) 및 언로딩영역(B)에 글라스패널이 위치되기 위하여, 로딩영역 및 언로딩영역의 Y축방향으로의 폭은, 글라스패널의 Y축방향으로의 폭과 같다. 따라서, 로딩영역(A), 언로딩영역(B) 및 테스트유닛(20) 차지하는 영역의 Y축방향으로의 폭은, 두 개의 글라스패널의 Y축방향으로의 폭에 비하여 크다.
이와 같이, 반사방식의 테스트유닛에 비하여 장점이 있는 투과방식의 테스트유닛을 이용하기 위해서는, 상기한 바와 같은 로딩영역(A) 및 언로딩영역(B)이 확보되어야 하므로, 어레이 테스트 장치가 설치되는 면적을 축소하는 데에 한계가 있다.
한편, 액정디스플레이의 양산성을 확보하기 위하여, 대면적의 글라스패널을 이용하여 액정디스플레이를 제조하고 있다. 대면적의 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해서는 대면적의 글라스패널을 수용할 수 있는 어레이 테스트 장치가 필요하다. 그러나, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 상기한 바와 같은 로딩영역(A) 및 언로딩영역(B)이 존재하여야 하므로, 대면적의 글라스패널을 수용하기 위해서는, 어레이 테스트 장치를 대형화시켜야 하는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 투과방식의 테스트모듈을 적용하면서도 장치가 설치되는 면적을 축소할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임의 상부에 배치되며, X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임과, 상기 테스트모듈지지프레임에 설치되는 테스트모듈과, 상기 베이스프레임과 상기 테스트모듈지지프레임의 양단을 연결하며, 상기 테스트모듈지지프레임을 상기 X축방향과 수평으로 직교하는 Y축방향으로 이동시키는 테스트모듈지지프레임이동유닛과, 상기 X축방향에 수직으로 직교하는 Z축방향으로 상기 테스트모듈에 대향되게 배치되고, 상기 테스트모듈지지프레임과 연결되어 상기 테스트모듈지지프레임과 함께 이동하는 백라이트유닛과, 상기 테스트모듈지지프레임이 상기 Y축방향으로 이동될 때, 글라스패널이 상기 테스트모듈과 상기 백라이트유닛 사이에 위치되도록, 상기 글라스패널을 지지하는 글라스패널지지유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 테스트모듈지지프레임이 Y축방향으로 이동될 때, 글라스패널이 테스트모듈과 백라이트유닛 사이에 위치되도록 글라스패널을 지지하는 글라스패널지지유닛을 구비함으로써, 투과방식의 테스트모듈을 적용하면서도 장치의 전체적인 사이즈를 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 어레이 테스트 장치에 구비되는 반사방식의 테스트유닛의 개략도이다.
도 2는 어레이 테스트 장치에 구비되는 투과방식의 테스트 유닛의 개략도이다.
도 3은 종래의 어레이 테스트 장치의 사시도이다.
도 4는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이다.
도 5는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 6은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 적용되는 투과방식의 테스트모듈의 개략도이다.
도 7은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 투광지지플레이트가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 8은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브유닛이 도시된 사시도이다.
도 9는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 다른 예가 도시된 단면도이다.
도 10 내지 도 12는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작이 순차적으로 도시된 단면도이다.
도 13은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 종래의 어레이 테스트 장치와 비교하기 위하여 도시된 평면도이다.
도 14는 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 단면도이다.
도 15 및 도 16은 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작이 도시된 단면도이다.
도 17은 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치와 비교하기 위하여 도시된 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
첨부된 도면에서, X축과 Y축은 수평으로 직교하고, X축과 Z축은 수직으로 직교하며, Y축과 Z축은 수평으로 직교한다. X축과 Y축이 이루는 평면을 X-Y평면이라 정의한다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임(210)과, 베이스프레임(210)의 상부에 배치되며 X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임(220)과, 테스트모듈지지프레임(220)에 설치되는 테스트모듈(230)과, 베이스프레임(210)과 테스트모듈지지프레임(220)의 양단을 연결하며 테스트모듈지지프레임(220)을 Y축방향으로 이동시키는 테스트모듈지지프레임이동유닛(240)과, 테스트모듈지지프레임(220)과 연결되어 테스트모듈지지프레임(220)과 함께 이동하는 백라이트유닛(250)과, 백라이트유닛(250)의 상부에 배치되며 테스트모듈지지프레임(220)에 승강이 가능하게 설치되는 투광지지플레이트(260)와, 글라스패널(P)의 전극에 전원을 인가하는 프로브유닛(270)과, 글라스패널(P)을 지지하는 글라스패널지지유닛(280)을 포함하여 구성될 수 있다.
테스트모듈지지프레임(220)과 테스트모듈(230) 사이에는 테스트모듈(230)을 Z축방향으로 승강시키는 테스트모듈승강장치(233)가 구비될 수 있다. 테스트모듈승강장치(233)의 동작에 의하여, 테스트모듈(233)이 글라스패널(P)에 인접되는 방향 및 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향으로 이동될 수 있다. 테스트모듈승강장치(233)로는, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더나 전기적으로 작동하는 리니어모터나 볼스크류장치 등과 같이 테스트모듈(230)을 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 이용될 수 있다.
테스트모듈(230)은 테스트모듈지지프레임(220)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위하여, 테스트모듈지지프레임(220)과 테스트모듈(230) 사이에는 리니어모터와 같은 직선이동기구(235)가 설치될 수 있다. 테스트모듈(230)은 테스트모듈지지프레임(220)에 복수로 설치될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(230)은, 투과방식의 테스트모듈(230)로서, 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향되도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(140)을 포함하여 구성될 수 있다.
모듈레이터(120)는, 글라스패널(P)에 인접되게 배치되는 전광물질층(122)과, 전원(미도시)과 연결되는 모듈레이터전극층(123)과, 모듈레이터전극층(123)의 상측에 배치되는 투광블럭(124)을 포함하여 구성될 수 있다. 전광물질층(122)은 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 통과하는 광의 광량을 변경한다. 전광물질층(122)으로는 액정(LC, liquid crystal)이나, 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 백라이트유닛(250)에서 발광되어 모듈레이터(120)를 투과하는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(140)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고, 촬상된 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
테스트모듈지지프레임이동유닛(240)은, 테스트모듈지지프레임(220)의 양단에 설치되는 한 쌍의 제1이동블럭(241)을 포함하여 구성될 수 있다. 제1이동블럭(241)은 베이스프레임(210)에 Y축방향으로 연장되게 설치되는 한 쌍의 가이드레일(290)에 Y축방향으로 이동이 가능하게 연결될 수 있다. 테스트모듈지지프레임(220)의 자동적인 이동을 위하여 제1이동블럭(241)에 전자석이 구비되고 가이드레일(290)에 영구자석이 구비되는 구성이 이용될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 테스트모듈지지프레임이동유닛(240)으로는, 전자석 및 영구자석을 포함하는 리니어모터 외에도 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 이용될 수 있다.
백라이트유닛(250)은 테스트모듈(230)과 Z축방향으로 대응되는 위치에 배치된다. 글라스패널(P)에 대한 검사가 수행되는 과정에서, 글라스패널(P)은 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이에 위치된다.
백라이트유닛(250)은 테스트모듈지지프레임(220)에 연결되어 테스트모듈지지프레임(220)과 함께 Y축방향으로 이동될 수 있다. 백라이트유닛(250)이 테스트모듈지지프레임(220)에 연결될 수 있도록, 예를 들면, 테스트모듈지지프레임(220)의 양단에는 X축방향으로 연장되는 백라이트유닛지지프레임(251)이 설치될 수 있다. 테스트모듈지지프레임(220)과 백라이트유닛지지프레임(251) 사이에는 글라스패널(P)이 통과하는 공간이 형성될 수 있다. 백라이트유닛지지프레임(251)에는 상측방향을 향하여 개방되는 수용부(252)가 형성될 수 있으며, 수용부(252)에 백라이트유닛(250)이 내장될 수 있다. 테스트모듈지지프레임(220)과 백라이트유닛지지프레임(251) 사이에 글라스패널(P)이 위치되는 것에 의하여, 글라스패널(P)이 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이에 위치될 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 투광지지플레이트(260)는, 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 과정에서, 글라스패널(P)의 하면에 접촉된 상태로 글라스패널(P)을 지지한다. 이에 따라, 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 과정에서, 모듈레이터(120)의 하면과 글라스패널(P)의 상면은 서로 평행하게 그리고 소정의 간격으로 유지될 수 있다. 투광지지플레이트(260)는 광이 투과할 수 있는 재질로 형성된다.
투광지지플레이트(260)은 백라이트유닛지지프레임(251)에 Z축방향으로 승강이 가능하게 설치된다. 이를 위하여, 백라이트유닛지지프레임(251)과 투광지지플레이트(260) 사이에는 투광지지플레이트(260)를 승강시키는 투광지지플레이트승강장치(261)가 구비될 수 있다. 투광지지플레이트승강장치(261)는, 유압 또는 공압으로 동작하는 액추에이터(261a)와, 액추에이터(261a)의 구동력을 투광지지플레이트(260)로 전달하는 전달로드(261b)로 구성될 수 있다. 물론, 투광지지플레이트승강장치(261)로는, 상기한 구성 외에, 리니어모터나 볼스크류장치와 같은 다양한 직선이동기구가 적용될 수 있다. 이와 같은 구성에 따라, 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 과정에서는 투광지지플레이트(260)가 상승하여 글라스패널(P)의 하면과 접촉되며, 이에 따라, 글라스패널(P)가 투광지지플레이트(260)상에 지지될 수 있다. 그리고, 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동하는 경우에는, 투광지지플레이트(260)가 하강한다.
또한, 투광지지플레이트(260)에는 글라스패널(P)이 흡착되는 흡착홀(262)이 형성될 수 있다. 흡착홀(262)은 복수로 형성될 수 있다. 흡착홀(262)에는, 투광지지플레이트(260)가 글라스패널(P)과 접촉될 때, 흡착홀(262)를 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입장치(263)가 연결될 수 있다. 이러한 구성에 따라, 투광지지플레이트(260)상에 글라스패널(P)이 지지될 때 흡착홀(262)을 통하여 공기가 흡입되면서, 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(260)상에 흡착되므로, 글라스패널(P)이 더욱 견고하게 지지될 수 있다.
또한, 흡착홀(262)에는 흡착홀(262)로 공기를 공급하는 공기공급장치(264)가 연결될 수 있다. 이러한 구성에 따라, 투광지지플레이트(260)가 글라스패널(P)로부터 이격될 때, 흡착홀(262)을 통하여 공기가 분사될 수 있다. 따라서, 투광지지플레이트(260)가 글라스패널(P)로부터 이격되는 과정 및 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동되는 과정, 글라스패널(P)이 하측방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 공기흡입장치(263) 및 공기공급장치(264)는 절환밸브(265)를 통하여 투광지지플레이트(260)의 흡착홀(262)에 연통될 수 있다.
도 4 및 도 8에 도시된 바와 같이, 프로브유닛(270)은, 베이스프레임(210)의 상부에서 X축방향으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(271)과, 프로브모듈지지프레임(271)에 설치되는 프로브모듈(272)과, 프로브모듈지지프레임(271)과 프로브모듈(272) 사이에 설치되어 프로브모듈(272)을 Z축방향으로 승강시키는 프로브모듈승강장치(273)와, 프로브모듈지지프레임(271)의 양단에 연결되어 프로브모듈지지프레임(271)을 Y축방향으로 이동시키는 프로브모듈지지프레임이동유닛(276)을 포함하여 구성될 수 있다.
프로브모듈(272)에는 글라스패널(P)의 전극과 접촉되는 프로브핀(274)이 구비된다. 프로브모듈(272)은 프로브모듈지지프레임(271)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위하여, 프로브모듈지지프레임(271)과 프로브모듈(272) 사이에는 리니어모터와 같은 직선이동기구(275)가 설치될 수 있다. 프로브모듈(272)은 프로브모듈지지프레임(271)에 복수로 설치될 수 있다.
프로브모듈승강장치(273)는 프로브모듈(272)을 Z축방향으로 승강시킨다. 프로브모듈(272)이 하강할 때, 프로브핀(274)이 글라스패널(P)의 전극과 접촉될 수 있으며, 프로브모듈(272)이 상승할 때, 프로브핀(274)이 글라스패널(P)의 전극으로부터 이격될 수 있다. 프로브모듈승강장치(273)로는, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더나 전기적으로 작동하는 리니어모터나 볼스크류장치 등과 같이 프로브모듈(272)을 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 이용될 수 있다.
프로브모듈지지프레임이동유닛(276)은, 프로브모듈지지프레임(271)의 양단에 설치되는 한 쌍의 제2이동블럭(277)을 포함하여 구성될 수 있다. 한 쌍의 제2이동블럭(277)은 한 쌍의 가이드레일(290)과 각각 연결될 수 있다. 한 쌍의 가이드레일(290)에 영구자석이 배치되는 경우, 제2이동블럭(277)에는 전자석이 구비될 수 있다.
여기에서, 테스트모듈지지프레임이동유닛(240)의 제1이동블럭(241) 및 프로브모듈지지프레임이동유닛(276)의 제2이동블럭(277)이 가이드레일(290)에 함께 연결되므로, 제1이동블럭(241) 및 제2이동블럭(277)이 서로 다른 가이드레일에 연결되는 경우에 비하여, 그 구성을 단순화할 수 있으며, 어레이 테스트 장치의 X축방향으로의 폭을 최소화할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 글라스패널지지유닛(280)은, X축방향으로 소정의 폭을 가지는 지지부재(300)와, 지지부재(300)를 지지하는 복수의 롤러(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
지지부재(300)로는 복수의 롤러(400)의 설치위치에서 복수의 롤러(400)에 의하여 절곡될 수 있는 벨트 또는 체인 등이 이용될 수 있다.
지지부재(300)는, X-Y평면과 평행한 평면을 이루는 제1부(310)와, 제1부(310)와 이격되며 X-Y평면과 평행한 평면을 이루는 제2부(320)와, 제1부(310)와 제2부(320) 사이에서 백라이트유닛(250)의 하측에 위치되는 제3부(330)를 포함하여 구성될 수 있다. 글라스패널(P)의 일부는 제1부(310)에 지지될 수 있고, 글라스패널(P)의 다른 일부는 제2부(320)에 지지될 수 있다.
복수의 롤러(400)는, 지지부재(300)의 제1부(310) 및 제2부(320)를 지지하는 복수의 고정롤러(411, 412)와, 복수의 고정롤러(411, 412)와 함께 지지부재(300)의 제1부(310) 및 제2부(320)를 지지하고, 지지부재(300)의 제3부(330)를 백라이트유닛(250)의 하측에서 지지하며, 테스트모듈지지프레임(220)과 연결되어 테스트모듈지지프레임(220)과 함께 이동하는 복수의 이동롤러(421, 422, 423)를 포함하여 구성될 수 있다.
복수의 고정롤러(411, 412)와 복수의 이동롤러(421, 422, 423)는 X축방향과 평행한 축을 중심으로 회전이 가능하도록 구성될 수 있다. 복수의 고정롤러(411, 412)와 복수의 이동롤러(421, 422, 423)는 X축방향으로 연장되는 형상으로 형성될 수 있다.
복수의 고정롤러(411, 412)는, 지지부재(300)의 제1부(310)를 지지하는 제1고정롤러(411)와, 지지부재(300)의 제2부(320)를 지지하는 제2고정롤러(412)를 포함하여 구성될 수 있다. 복수의 고정롤러(411, 412)는, 고정롤러체결부재(430)를 통하여 베이스프레임(210)에 고정될 수 있다.
복수의 이동롤러(421, 422, 423)는, 이동롤러체결부재(440)를 통하여 백라이트유닛지지프레임(251)에 고정되는 것에 의하여 테스트모듈지지프레임(220)에 연결될 수 있다.
복수의 이동롤러(421, 422, 423)는, 제1고정롤러(411)와 동일한 X-Y평면상에 위치하며 제1고정롤러(411)와 함께 지지부재(300)의 제1부(310)를 X-Y평면과 평행한 평면으로 유지하는 제1이동롤러(421)와, 제2고정롤러(412)와 동일한 X-Y평면상에 위치하며 제2고정롤러(412)와 함께 지지부재(300)의 제2부(320)를 X-Y평면과 평행한 평면으로 유지하는 제2이동롤러(422)와, 백라이트유닛(250)의 하부에서 지지부재(320)의 제3부(330)를 지지하는 적어도 하나의 제3이동롤러(423)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1고정롤러(411)와 제1이동롤러(421)에 의하여 지지부재(300)의 제1부(310)가 X-Y평면과 평행한 평면으로 유지될 수 있으며, 제2고정롤러(412)와 제2이동롤러(422)에 의하여 지지부재(300)의 제2부(320)가 X-Y평면과 평행한 평면으로 유지될 수 있다. 제1고정롤러(411)와 제1이동롤러(421) 사이의 Y축방향으로의 간격이 조절됨에 따라 지지부재(300)의 제1부(310)의 Y축방향으로의 폭이 조절되며, 제2고정롤러(412)와 제2이동롤러(422) 사이의 Y축방향으로의 간격이 조절됨에 따라 지지부재(300)의 제2부(320)의 Y축방향으로의 폭이 조절된다.
제3이동롤러(423)는 지지부재(300)의 제3부(330)를 백라이트유닛지지프레임(251)으로부터 소정의 간격으로 이격된 상태로 유지하는 역할을 한다. 도 5에 제시된 바에 따르면, 두 개의 제3이동롤러(423)가 백라이트유닛지지프레임(251)에 고정되는 구성이 제시되지만, 지지부재(300)의 제3부(330)를 백라이트유닛지지프레임(251)의 하측으로부터 이격된 상태로 유지시킬 수 있다면, 하나의 제3이동롤러(423)가 백라이트유닛지지프레임(251)에 고정되는 구성이나, 3개 이상의 제3이동롤러(423)가 백라이트유닛지지프레임(251)에 고정되는 구성이 적용될 수 있다.
한편, 글라스패널지지유닛(280)에는 지지부재(300)가 연장되는 위치에 각각 배치되어 지지부재(300)가 지지되는 복수의 지지롤러(450)가 구비될 수 있으며, 이러한 복수의 지지롤러(450)는 고정롤러체결부재(430)를 통하여 베이스프레임(210)에 고정될 수 있다.
한편, 지지부재(300)는 무한궤도의 형상으로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 도 9에 도시된 바와 같이, 지지부재(300)가 무한궤도(300)의 형상으로 형성되지 않고, 지지부재(300)의 양단이 지지부재체결수단(340)을 통하여 베이스프레임(210)에 고정되는 구성이 적용될 수 있다.
이하, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 지지부재(300)의 상부에 글라스패널(P)이 반입될 수 있는 공간이 확보되도록 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 어레이 테스트 장치의 외곽에 위치된다. 그리고, 지지부재(300)의 상부에 글라스패널(P)이 반입된다. 글라스패널(P)이 반입되기 위하여 진공흡착부를 구비한 반송로봇 등이 이용될 수 있다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)이 지지부재의 상부에 반입되면, 백라이트유닛(250)에서 광이 발광되고, 테스트모듈지지프레임이동유닛(240)의 구동에 따라 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동되면서 글라스패널(P)이 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이에 위치되며, 이에 따라, 테스트모듈(230)이 글라스패널(P)의 복수의 피검사영역 중 어느 하나의 피검사영역의 상부에 위치된다.
그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 테스트모듈승강장치(233)의 구동에 의하여 테스트모듈(230)이 Z축방향으로 하강하여 글라스패널(P)의 피검사영역에 인접하며, 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)에 전원이 인가된다. 이와 동시에, 프로브모듈지지프레임이동유닛(276)의 구동에 따라 프로브모듈지지프레임(271)이 Y축방향으로 이동되면서 프로브모듈(272)이 글라스패널의 전극에 인접되게 위치된다. 그리고, 프로브모듈승강장치(273)의 구동에 의하여 프로브모듈(272)이 Z축방향으로 하강하고, 프로브핀(274)이 글라스패널(P)의 전극에 접촉되며, 이에 따라, 글라스패널(P)의 전극으로 전원이 인가된다. 이와 동시에, 투광지지플레이트(260)가 상승하면서 백라이트유닛(250)의 상부에 위치된 글라스패널(P)의 일부분이 투광지지플레이트(260)에 지지된다.
이때, 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경된다. 이에 따라, 백라이트유닛(250)으로부터 출사된 후 모듈레이터(120)를 통과하는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(140)에서 촬상한 모듈레이터(120)의 이미지로부터 광의 광량을 분석하여 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 없는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 미리 설정된 범위 내의 정상적인 전기장이 형성되지만, 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성된다. 따라서, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결합여부를 측정할 수 있다.
이와 같이, 글라스패널(P) 상의 하나의 피검사영역에 대한 검사를 완료한 후에는, 테스트모듈(230)이 검사가 수행될 다른 피검사영역상으로 이동되며, 프로브모듈(230)이 검사가 수행된 피검사영역에 대응되는 전극에 전원을 인가하기 위하여 이동된다. 복수의 피검사영역에 대한 검사를 수행하기 위해서, 테스트모듈(230)의 상승, 테스트모듈(230)의 X축방향 및 Y축방향으로의 이동, 테스트모듈(230)의 하강의 동작이 반복적으로 수행된다. 마찬가지로, 복수의 피검사영역에 대한 검사를 수행하기 위해서, 프로브모듈(272)의 상승, 프로브모듈(272)의 X축방향 및 Y축방향으로의 이동, 프로브모듈(272)의 하강의 동작이 반복적으로 수행된다. 마찬가지로, 복수의 피검사영역에 대한 검사를 수행하기 위해서, 투광지지플레이트(260)의 승강동작이 반복적으로 수행된다.
여기에서, 테스트모듈(230)의 Y축방향으로의 이동은, 테스트모듈지지프레임(220)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 수행될 수 있다. 글라스패널(P)이 지지부재(300)상에 지지되어 그 위치가 고정된 상태에서, 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동된다.
이때, 테스트모듈지지프레임(220)의 이동방향으로의 전방측에 배치된 제3이동롤러(423)가 지지부재(300)를 Y축방향으로 미는 힘에 의하여, 제1이동롤러(421)와 인접된 지지부재(300)의 일부분(제1부(310))이 제1이동롤러(421)에 안내되어 하측방향으로 절곡되면서 글라스패널(P)의 하면으로부터 이격된다. 또한, 백라이트유닛(250)의 하측에 위치된 지지부재(230)의 일부분(제3부(330))은 테스트모듈지지프레임(220)의 이동방향으로의 후방측에 배치된 제3이동롤러(423)에 지지되면서 상측방향으로 절곡된다. 그리고, 제2이동롤러(422)와 인접된 지지부재(300)의 일부분이 제2이동롤러(422)에 안내되어 글라스패널(P)의 하면에 접촉된다.
따라서, 테스트모듈지지프레임(220)의 이동에 의하여, 제1이동롤러(421)와 인접된 지지부재(300)의 일부분이 글라스패널의 하면으로부터 이격되고, 제2이동롤러(422)와 인접된 지지부재(300)의 일부분이 글라스패널(P)의 하면과 접촉되며, 이에 따라, 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동되더라도, 글라스패널은 항상 지지부재(300)에 지지될 수 있다. 여기에서, 지지부재(300)는, 테스트모듈지지프레임(220)의 이동방향으로의 전방측에서 글라스패널(P)의 일부를 지지하는 제1부(310)와, 테스트모듈지지프레임(220)의 이동방향으로의 후방측에서 글라스패널(P)의 일부를 지지하는 제2부(320)와, 백라이트유닛(250)의 하측에 위치되는 제3부(330)로 나뉠 수 있다. 이에 따라, 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동될 때, 글라스패널(P)은 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이에 위치될 수 있다.
테스트모듈(230) 및 프로브모듈(272)의 X축방향으로의 이동을 통하여, 글라스패널(P)상에 X축방향으로 배열된 복수의 피검사영역에 대한 검사가 완료되고, 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)의 Y축방향으로의 이동을 통하여, 글라스패널(P)상에 Y축방향으로 배치된 복수의 피검사영역에 대한 검사가 완료되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 글라스패널(P)이 차지하는 영역을 벗어난 위치로 이동된 후, 글라스패널(P)이 지지부재(300)로부터 다음의 공정을 위한 위치로 반출된다.
이상과 같이, 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 투과방식의 테스트모듈(230)이 적용하면서도 글라스패널(P)의 위치를 고정시키고 테스트모듈(230)을 X축방향 및 Y축방향으로 이동시키면서 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행할 수 있다.
도 13를 참조하여, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(도 13에서 아래의 도면)와 종래의 어레이 테스트 장치(도 13에서 위의 도면)를 비교한다. 여기에서, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 적용되는 글라스패널과 종래의 어레이 테스트 장치에 적용될 글라스패널은 서로 동일하다고 가정한다.
먼저, 종래의 어레이 테스트 장치에서는, 글라스패널(P)이 반입되어 대기하는 로딩영역(A)과, 검사가 완료된 글라스패널(P)이 대기하는 언로딩영역(B)과, 글라스패널(P)이 검사되는 테스트유닛이 배치되는 테스트영역(A)이 요구된다. 따라서, 종래의 어레이 테스트 장치의 Y축방향으로의 폭은 두 개의 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 폭을 합한 값에 비하여 크다.
반면, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 글라스패널(P)이 반입되어 위치가 고정된 상태에서 검사가 수행되므로, 글라스패널(P)이 반입되어 대기하거나 반출되기 위하여 대기하는 하나의 영역(D)만이 요구된다. 다만, 글라스패널(P)의 반입 및 반출과정에서 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 글라스패널(P)이 차지하는 영역(D)을 벗어난 위치로 이동되기 위하여 필요한 영역(E1, E2)만이 더 요구된다. 따라서, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 Y축방향으로의 폭은, 하나의 글라스패널(P)의 Y축방향으로의 폭(Wp)에 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 위치되는 영역(E1, E2)의 Y축방향으로의 폭을 합한 것에 비하여 약간 클 뿐이다.
따라서, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 Y축방향으로의 폭은 종래의 어레이 테스트 장치의 Y축방향으로 폭에 비하여 작아질 수 있다.
상기한 바와 같은 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 테스트모듈지지프레임(220)을 Y축방향으로 이동이 가능하게 설치하고, 테스트모듈지지프레임(220)이 Y축방향으로 이동될 때, 글라스패널(P)이 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이에 위치되도록, 글라스패널(P)을 지지하는 글라스패널지지유닛(280)을 구비함으로써, 투과방식의 테스트모듈(230)을 적용하면서도 장치의 전체적인 사이즈를 줄일 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 14 내지 도 17을 참조하여 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 14에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 글라스패널지지유닛(280)은, 지지부재(300)와 연결되는 구동롤러(460)와, 구동롤러(460)를 회전시키는 회전장치(500)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
구동롤러(460)의 회전에 의하여 지지부재(300)가 Y축방향으로 이동할 수 있다. 회전장치(500)로는, 구동롤러(460)와 벨트, 체인 또는 기어와 같은 링크(510)을 통하여 연결되는 회전모터(520)가 이용될 수 있다.
여기에서, 구동롤러(460)는, 고정롤러(411, 412) 및 지지롤러(450)와 독립적으로 마련될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 고정롤러(411, 412) 및 지지롤러(450)가 구동롤러(460)와 같은 역할을 함께 수행할 수 있다.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)을 지지부재(300)상으로 반입 및 반출하는 과정에서, 글라스패널(P)이 지지부재(300)의 제1부(310) 및 제2부(320)의 상면과 동일한 평면상에서 반입 및 반출될 수 있다. 이때, 구동롤러(460)는 회전장치(500)의 동작에 의하여 회전되고, 구동롤러(460)의 회전에 의하여 지지부재(300)가 이동되며, 이에 따라, 글라스패널(P)이 지지부재(300)상에서 반입되는 방향 및 반출되는 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 글라스패널(P)이 지지부재(300)상으로 반입 및 반출하는 과정에서는, 테스트모듈(230) 및 프로브모듈(272)이 Z축방향으로 상승하며, 투광지지플레이트(260)가 Z축방향으로 하강한다.
이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널(P)은 지지부재(300)상으로 수평으로 반입 및 반출될 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)은 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이 및 프로브모듈(272)의 하측으로 반입될 수 있고, 테스트모듈(230)과 백라이트유닛(250) 사이 및 프로브모듈(272)의 하측으로부터 반출될 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)이 반입 또는 반출되는 과정에서, 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 글라스패널(P)이 차지하는 영역을 벗어난 위치로 이동될 필요가 없다.
따라서, 도 17에 도시된 바와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치(도 17에서 아래의 도면)는 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치(도 17에서 위의 도면)와 비교할 때, 글라스패널(P)의 반입 및 반출과정에서 테스트모듈지지프레임(220) 및 프로브모듈지지프레임(271)이 글라스패널(P)이 차지하는 영역(D)을 벗어난 위치로 이동되기 위하여 필요한 영역(E1, E2)이 요구되지 않으므로, 어레이 테스트 장치의 Y축방향으로의 폭은 글라스패널(P)이 차지하는 영역(D)의 Y축방향으로의 폭(Wp)에 비하여 약간 클 뿐이다. 이와 같이, 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 그 Y축방향으로의 폭을 더 줄일 수 있는 효과가 있다.
상기한 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 개별적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.
210: 베이스프레임 220: 테스트모듈지지프레임
230: 테스트모듈 240: 테스트모듈지지프레임이동유닛
250: 백라이트유닛 260: 투광지지플레이트
270: 프로브유닛 280: 글라스패널지지유닛

Claims (8)

  1. 베이스프레임의 상부에 배치되며, X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임;
    상기 테스트모듈지지프레임에 설치되는 테스트모듈;
    상기 베이스프레임과 상기 테스트모듈지지프레임의 양단을 연결하며, 상기 테스트모듈지지프레임을 상기 X축방향과 수평으로 직교하는 Y축방향으로 이동시키는 테스트모듈지지프레임이동유닛;
    상기 X축방향에 수직으로 직교하는 Z축방향으로 상기 테스트모듈에 대향되게 배치되고, 상기 테스트모듈지지프레임과 연결되어 상기 테스트모듈지지프레임과 함께 이동하는 백라이트유닛; 및
    상기 테스트모듈지지프레임이 상기 Y축방향으로 이동될 때, 글라스패널이 상기 테스트모듈과 상기 백라이트유닛 사이에 위치되도록, 상기 글라스패널을 지지하는 글라스패널지지유닛을 포함하며,
    상기 글라스패널지지유닛은, X-Y평면과 평행한 평면을 이루는 제1부와, 상기 제1부와 이격되며 X-Y평면과 평행한 평면을 이루는 제2부와, 상기 제1부와 상기 제2부 사이에서 상기 백라이트유닛의 하측에 위치되는 제3부를 포함하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 글라스패널지지유닛은, 상기 지지부재를 지지하는 복수의 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 롤러는,
    복수의 고정롤러; 및
    상기 복수의 고정롤러와 함께 상기 지지부재의 제1부 및 제2부를 지지하고, 상기 지지부재의 제3부를 상기 백라이트유닛의 하측에서 지지하며, 상기 테스트모듈지지프레임과 연결되어 상기 테스트모듈지지프레임과 함께 이동하는 복수의 이동롤러를 포함하는 어레이 테스트 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트모듈과 상기 백라이트유닛 사이에는, 상기 글라스패널을 지지하는 투광지지플레이트가 Z축방향으로 승강이 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 투광지지플레이트에는 상기 글라스패널이 흡착되는 흡착홀이 형성되고,
    상기 흡착홀에는 상기 흡착홀을 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입장치가 연결되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 흡착홀에는 상기 흡착홀로 공기를 공급하는 공기공급장치가 연결되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 글라스패널지지유닛은,
    상기 지지부재와 연결되는 구동롤러; 및
    상기 구동롤러를 회전시키는 회전장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 베이스프레임의 상부에 배치되며, 상기 X축방향으로 연장되는 프로브모듈지지프레임;
    상기 프로브모듈지지프레임에 설치되는 프로브모듈; 및
    상기 프로브모듈지지프레임의 양단과 상기 베이스프레임을 연결하며, 상기 프로브모듈지지프레임을 상기 Y축방향으로 이동시키는 프로브모듈지지프레임이동유닛을 포함하고,
    상기 베이스프레임에는 한 쌍의 가이드레일이 상기 Y축방향으로 연장되게 설치되고,
    상기 테스트모듈지지프레임이동유닛은, 상기 테스트모듈지지프레임의 양단에 설치되고 상기 한 쌍의 가이드레일과 각각 연결되는 한 쌍의 제1이동블럭을 포함하며,
    상기 프로브모듈지지프레임이동유닛은, 상기 프로브모듈지지프레임의 양단에 설치되고 상기 한 쌍의 가이드레일과 각각 연결되는 한 쌍의 제2이동블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
KR1020110122194A 2011-11-22 2011-11-22 어레이 테스트 장치 KR101807195B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110122194A KR101807195B1 (ko) 2011-11-22 2011-11-22 어레이 테스트 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110122194A KR101807195B1 (ko) 2011-11-22 2011-11-22 어레이 테스트 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130056541A KR20130056541A (ko) 2013-05-30
KR101807195B1 true KR101807195B1 (ko) 2017-12-11

Family

ID=48664539

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110122194A KR101807195B1 (ko) 2011-11-22 2011-11-22 어레이 테스트 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101807195B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104635363B (zh) * 2015-03-11 2017-08-11 京东方光科技有限公司 背光源的点灯治具及应用其的瑕疵检测设备
KR102612275B1 (ko) * 2016-06-13 2023-12-11 세메스 주식회사 어레이 테스트 장치
KR102612272B1 (ko) * 2016-12-15 2023-12-11 세메스 주식회사 프로브 모듈 및 이를 포함하는 어레이 테스트 장치
CN107132679A (zh) * 2017-06-29 2017-09-05 武汉精测电子技术股份有限公司 一种大尺寸液晶面板检测装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002181714A (ja) 2000-12-19 2002-06-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 薄板検査装置
KR100582233B1 (ko) 2005-12-16 2006-05-23 나노세미텍(주) 탈부착을 겸용하는 일체형 프로브 블록
KR100760538B1 (ko) 2007-06-01 2007-09-19 나노세미텍(주) 지지결합식 블레이드 니들을 갖는 프로브블록용 니들블록
JP2010073990A (ja) 2008-09-19 2010-04-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 光電変換装置モジュールの検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002181714A (ja) 2000-12-19 2002-06-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 薄板検査装置
KR100582233B1 (ko) 2005-12-16 2006-05-23 나노세미텍(주) 탈부착을 겸용하는 일체형 프로브 블록
KR100760538B1 (ko) 2007-06-01 2007-09-19 나노세미텍(주) 지지결합식 블레이드 니들을 갖는 프로브블록용 니들블록
JP2010073990A (ja) 2008-09-19 2010-04-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 光電変換装置モジュールの検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130056541A (ko) 2013-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101115874B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101052490B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR20130005128A (ko) 글라스패널 이송장치
KR101191343B1 (ko) 어레이 테스트 장치
JP2012037503A (ja) 表示装置の検査装置及び検査方法
CN106873195B (zh) 探针单元更换装置
KR20070058829A (ko) 편광필름 검사장치 및 방법
KR101763619B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101807195B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR102007718B1 (ko) 턴오버 방식의 디스플레이 셀 검사장치 및 그 제어방법
KR100890282B1 (ko) 어레이 테스트 장비
KR100903530B1 (ko) 어레이 테스트 장비
KR20130006221A (ko) 디스플레이 패널 검사장치
KR100994494B1 (ko) 기판 합착장치
KR101949331B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101207029B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101763622B1 (ko) 글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치
KR101796593B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR20120077291A (ko) 어레이 테스트 장치
KR101140257B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR20120007328A (ko) 어레이 테스트 장치
KR100352384B1 (ko) 엘시디 검사시스템
KR20130035623A (ko) 어레이 테스트 장치
KR102612272B1 (ko) 프로브 모듈 및 이를 포함하는 어레이 테스트 장치
KR20080029097A (ko) 패턴 검사기

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant