KR101191343B1

KR101191343B1 - 어레이 테스트 장치

Info

Publication number: KR101191343B1
Application number: KR1020100139191A
Authority: KR
Inventors: 정동현; 방규용
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2010-12-30
Filing date: 2010-12-30
Publication date: 2012-10-16
Also published as: TW201226913A; CN102565564A; KR20120077289A

Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브핀이 서로 다른 형태로 배치되는 복수의 프로브바를 구비하고, 복수의 프로브바의 글라스패널로부터의 위치를 조절하는 것을 통하여 복수의 전극의 위치 및 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 효과가 있다.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}

본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.

이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.

글라스패널의 검사를 위하여, 복수의 프로브핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 어레이 테스트 장치가 이용되는데, 이러한 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브핀을 검사대상이 되는 글라스패널에 배열된 복수의 전극에 대응되도록 위치시키고, 복수의 프로브핀을 복수의 전극에 가압한 후, 복수의 프로브핀을 통하여 복수의 전극에 전기신호를 인가하는 과정을 포함하여 진행된다.

글라스패널의 복수의 전극의 위치, 배열형태, 즉, 복수의 전극의 개수 및 복수의 전극 사이의 간격은 글라스패널의 종류에 따라 서로 다르다. 따라서, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 여러 종류의 글라스패널을 검사하기 위해서는, 각 글라스패널의 복수의 전극의 위치 및 배열형태에 대응되는 복수의 프로브핀이 구비된 프로브모듈로 교체하는 작업을 수행하여야 한다. 이와 같이, 종래의 어레이 테스트 장치는, 여러 종류의 글라스패널을 검사하기 위하여 복수의 프로브핀의 위치 및 배열형태가 서로 다른 프로브모듈을 교체하는 작업을 수행하여야 하였기 때문에 공정의 효율성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 복수의 전극의 위치, 배열형태 및 배열방향이 다른 여러 종류의 글라스패널에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널로부터의 위치가 조절이 가능하게 구비되며 복수의 프로브핀이 배열되는 제1프로브바와, 상기 제1프로브바에 대하여 독립적으로 상기 글라스패널로부터 위치가 조절이 가능하게 설치되고 상기 제1프로브바의 복수의 프로브핀의 배열형태와 다른 배열형태로 복수의 프로브핀이 배열되는 제2프로브바가 구비되는 프로브모듈을 포함하여 구성될 수 있다.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 복수의 전극의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위하여, 종래와 같이 글라스패널의 종류에 따라 프로브모듈을 교체하지 아니하고, 프로브바의 글라스패널로부터의 위치를 조절하는 간단한 동작을 통하여 대응되는 복수의 프로브핀을 글라스패널의 복수의 전극에 일치시킬 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 2의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 4 내지 도 6은 도 3의 프로브모듈의 프로브바의 작동상태도이다.
도 7은 도 3의 프로브모듈의 작동상태도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 9 및 도 10은 도 8의 프로브모듈의 프로브바의 작동상태도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(10)과, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다.

테스트유닛(20)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전극(E)으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 길이방향(X축방향)으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(50)에 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)으로 이동이 가능하게 설치된다. 프로브모듈(23)에는 복수의 프로브핀(60)을 구비하는 프로브바(70)와, 프로브바(70)를 Z축방향으로 승강시키는 승강유닛(80)이 구비될 수 있다.

프로브모듈지지프레임(50)은 Y축구동유닛(51)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브모듈(23)을 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(52)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(51) 및/또는 X축구동유닛(52)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 프로브바(70)는 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 형태로 배열되고 상하방향(Z축방향), 즉, 글라스패널(P)에 수직으로 대향하는 방향으로 일렬로 배치되며 상하방향(Z축방향)으로 이동이 가능하게 배치되는 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)로 구성될 수 있다. 본 발명은 두 개의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용되는 데에 한정되지 아니하며, 두 개 이상의 타입의 프로브핀(60)이 배열되는 두 개 이상의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용될 수 있다. 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)는 수평방향으로 연장되는 형태로 구성된다. 제1프로브바(71)는 글라스패널(P)에 인접하게 배치되며, 제2프로브바(72)는 글라스패널(P)과 제1프로브바(71)를 사이에 두고 배치될 수 있다. 글라스패널(P)에 대향하는 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)의 일측에는 복수의 프로브핀(60)이 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)가 연장되는 방향으로 배열된다. 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)에는 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 배열형태로 배열되는데, 복수의 프로브핀(60)의 배열형태는, 예를 들면, 복수의 프로브핀(60)의 개수 또는 복수의 프로브핀(60) 사이의 간격이 될 수 있다. 예를 들면, 제1프로브바(71)에는 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 제1프로브핀(61)이 구비될 수 있으며, 제2프로브바(72)에는 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 제2프로브핀(62)이 구비될 수 있다.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 배열되는 복수의 전극(E)의 개수 및 배열간격에 따라, 제1프로브핀(61)만이 전극(E)에 접촉되거나 제2프로브핀(62)만이 전극(E)에 접촉되거나 제1프로브핀(61) 및 제2프로브핀(62)이 전극(E)에 접촉될 수 있다. 이를 위하여, 제2프로브핀(62)의 길이는 제1프로브핀(61)의 길이에 비하여 길게 형성되고, 제1프로브바(71)에는 제2프로브핀(62)이 관통하는 관통홀(711)이 형성될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 제1프로브바(71)와 제2프로브바(72) 사이의 상하방향(Z축방향)으로의 간격에 따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1프로브핀(61)만이 전극(E)에 접촉될 수 있는 상태가 될 수 있고, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2프로브핀(62)만이 전극(E)에 접촉될 수 있는 상태가 될 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1프로브핀(61) 및 제2프로브핀(62)이 함께 전극(E)에 접촉될 수 있는 상태가 될 수 있다.

이와 같이, 제1프로브바(71)와 제2프로브바(72) 사이의 상하방향(Z축방향)으로의 간격을 조절하는 간단한 방법을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)의 다양한 배열형태에 대응할 수 있다. 제1프로브바(71)와 제2프로브바(72) 사이의 간격의 조절은 제1프로브바(71)의 위치를 고정시킨 상태에서 제2프로브바(72)를 상하방향으로 이동시키거나, 제2프로브바(72)의 위치를 고정시킨 상태에서 제1프로브바(71)를 상하방향으로 이동시키거나, 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)를 상하방향으로 이동시키는 방법을 통하여 수행될 수 있다. 이러한 제1프로브바(71)와 제2프로브바(72) 사이의 간격의 조절은 작업자가 직접 수동으로 수행할 수 있으며, 자동적으로 수행될 수 있다. 제1프로브바(71) 및/또는 제2프로브바(72)의 위치를 자동적으로 조절하기 위하여 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 적어도 어느 하나에는, 상하방향(Z축방향)으로 연장되는 가이드레일(731)과, 가이드레일(731)을 따라 이동하는 가동자(732)로 구성되는 프로브바이동장치(73)가 구비될 수 있다. 프로브바이동장치(73)의 다른 구성으로 리니어모터, 유압실린더, 공압실린더, 볼스크류장치 등 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 적어도 어느 하나를 상하방향(Z축방향)으로 이동시킬 수 있는 다양한 직선이송기구가 적용될 수 있다.

승강유닛(80)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더를 포함하는 액추에이터나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브바(70)를 Z축방향으로 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(80)은, 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치된 상태에서, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)을 가압할 수 있도록 프로브바(70)를 하강시키는 역할을 수행한다.

한편, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 프로브모듈(23)에는 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 회전유닛(90)이 구비되는 것이 바람직하다. 회전유닛(90)으로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회전유닛(90)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다.

회전유닛(90)은 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행하는데, 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 Y축방향으로 배열된 경우에, 프로브핀(60)이 전극(E)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 회전유닛(90)의 동작에 의하여 회전될 수 있고, 도 7에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 X축방향으로 배열된 경우에도, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)상의 전극(E)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 회전유닛(90)의 동작에 의하여 회전될 수 있다. 한편, 회전유닛(92)은 글라스패널(P)상에서 복수의 전극(E)이 배열되는 방향이 다른 글라스패널(P)에 대응하기 위한 것으로, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)의 배열방향이 항상 동일한 경우에는 회전유닛(90)이 구비되지 않을 수 있다.

이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 로딩유닛(10)의 동작에 의하여 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치되면, 테스트유닛(20)에 의하여 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하기 전에, 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하는 과정이 진행된다.

프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하기 위하여, 먼저, 프로브모듈(23)은 프로브모듈지지프레임(50)이 Y축구동유닛(51)의 동작에 의하여 Y축방향으로 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있으며, X축구동유닛(52)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있다. 프로브모듈(23)의 X축방향 및/또는 Y축방향으로의 이동에 의하여 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)이 형성된 위치로 이동하며, 이에 따라, 프로브바(70)에 설치된 복수의 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 인접되는 위치로 이동된다.

여기에서, 작업자가 수동적인 동작 또는 프로브바이동장치(73)의 동작에 의하여 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 적어도 하나의 상하방향으로의 위치가 조절되며, 이에 따라, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)에 접촉될 수 있도록 복수의 전극(E)의 개수 및 배열간격에 대응되는 제1프로브핀(61) 및/또는 제2프로브핀(62)이 프로브바(70)의 하측으로 돌출될 수 있다.

그리고, 승강유닛(80)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 하강되면 프로브바(70)의 하측으로 돌출된 복수의 프로브핀(60)은 복수의 전극(E)을 각각 가압하게 된다. 이러한 상태에서 프로브바(70)의 하측으로 돌출된 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되면, 테스트유닛(20)의 테스트모듈(22)이 동작하면서 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하는 과정이 진행된다.

이상과 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 형태로 배열되고 상하방향(Z축방향)으로 일렬로 배치되며 상하방향(Z축방향)으로 이동이 가능하게 배치되는 복수의 프로브바(70)를 포함하여 구성되고, 복수의 프로브바(70)의 상하방향(Z축방향)으로의 간격을 조절하는 것을 통하여 복수의 전극(E)의 배열형태에 맞도록 복수의 프로브핀(60)을 복수의 전극(E)에 대응할 수 있으므로, 복수의 전극(E)의 개수, 간격 또는 배열방향 등 복수의 전극(E)의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널(P)이 하나의 어레이 테스트 장치로 로딩되는 경우에도, 종래와 같이, 프로브모듈(23)을 교체할 필요가 없이, 복수의 전극(E)의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널(P)에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 효과가 있다.

이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(61)이 구비되는 제1프로브바(71)와, 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(62)이 구비되는 제2프로브바(72)가 서로 수평방향, 즉, 글라스패널(P)의 일면과 평행한 방향으로 나란하게 배치되는 구성을 가지며, 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)가 서로 독립적으로 상하방향(Z축방향)으로 이동이 가능하게 프로브모듈(23)에 설치될 수 있다. 복수의 프로브핀(60)의 배열형태로, 예를 들면, 복수의 프로브핀(60)의 개수 또는 복수의 프로브핀(60) 사이의 간격이 될 수 있다. 예를 들면, 제1프로브바(71)에는, 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(61)이 구비될 수 있으며, 제2프로브바(72)에는 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(62)이 구비될 수 있다. 제1타입의 배열형태는 복수의 프로브핀(61)의 개수가 16개인 타입(16핀 타입)이 될 수 있으며, 제2타입의 배열형태는 복수의 프로브핀(62)의 개수가 24개인 타입(24핀 타입)이 될 수 있다. 다만, 본 발명은 두 개의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용되는 데에 한정되지 아니하며, 두 개 이상의 타입의 프로브핀(60)이 배열되는 두 개 이상의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용될 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 배열되는 복수의 전극(E)의 개수 및 배열간격이 제1타입의 프로브핀(61)과 대응되는 경우에는 제1타입의 프로브핀(61)이 전극(E)에 접촉될 수 있도록 제1프로브바(71)가 하강하거나 제2프로브바(72)가 상승할 수 있다. 또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 배열되는 복수의 전극(E)의 개수 및 배열간격이 제2타입의 프로브핀(62)과 대응되는 경우에는 제2타입의 프로브핀(62)이 전극(E)에 접촉될 수 있도록 제1프로브바(71)가 상승하거나 제2프로브바(72)가 하강할 수 있다.

이와 같이, 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)의 글라스패널(P)로부터의 상하방향(Z축방향)으로의 위치를 조절하는 간단한 방법을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)의 다양한 배열형태에 대응할 수 있다. 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)의 글라스패널(P)로부터의 위치의 조절은 작업자가 직접 수동으로 수행할 수 있으며, 자동적으로 수행될 수 있다. 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)의 글라스패널(P)로부터의 위치를 자동적으로 조절하기 위하여 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)에는, 상하방향(Z축방향)으로 연장되는 가이드레일(731)과, 가이드레일(731)을 따라 이동하는 가동자(732)로 구성되는 프로브바이동장치(73)가 구비될 수 있다. 프로브바이동장치(73)의 다른 구성으로 리니어모터, 유압실린더, 공압실린더, 볼스크류장치 등 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 적어도 어느 하나를 상하방향(Z축방향)으로 이동시킬 수 있는 다양한 직선이송기구가 적용될 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여, 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 어느 하나는 글라스패널(P)의 전극(E)과 인접되게 위치되고 다른 하나는 글라스패널(P)로부터 소정의 간격으로 이격된 상태에서, 승강유닛(80)의 동작에 의하여 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72)가 하강하면, 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 글라스패널(P)과 인접하게 위치된 프로브바(70)에 구비된 복수의 프로브핀(60)이 복수의 전극(E)을 각각 가압하게 된다. 이러한 상태에서 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 글라스패널(P)의 전극(E)과 인접하게 위치된 프로브바(70)에 구비된 돌출된 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되면, 테스트유닛(20)의 테스트모듈(22)이 동작하면서 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하는 과정이 진행될 수 있다.

한편, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에도, 본 발명의 제1실시예에서 설명한 회전유닛(90)이 구비될 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브바(70)를 글라스패널(P)의 일면과 평행한 방향으로 나란하게 배치하고, 복수의 프로브바(70)를 서로에 대하여 독립적으로 상하방향(Z축방향)으로 이동이 가능하게 구성함으로써, 복수의 전극(E)의 배열형태, 즉, 전극(E)의 간격 또는 개수 등이 서로 다른 글라스패널(P)에 대해서도 복수의 프로브바(70)의 글라스패널(P)로부터의 위치를 조절하는 간단한 동작을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)과 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브모듈은 글라스패널뿐만 아니라 전극이 형성되는 다양한 형태의 기판의 검사를 위하여 기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 장치에 적용될 수 있다.

20: 테스트유닛 23: 프로브모듈
60: 프로브핀 70: 프로브바
80: 승강유닛 90: 회전유닛

Claims

글라스패널로부터의 위치가 조절이 가능하게 구비되며 복수의 프로브핀이 배열되는 제1프로브바; 및
상기 제1프로브바에 대하여 독립적으로 상기 글라스패널로부터 위치가 조절이 가능하게 설치되고 상기 제1프로브바의 복수의 프로브핀의 배열형태와 다른 배열형태로 복수의 프로브핀이 배열되는 제2프로브바가 구비되는 프로브모듈을 포함하고,
상기 글라스패널상의 전극의 배열형태에 대응되는 형태로 상기 복수의 프로브핀이 배열되도록 상기 제1프로브바 및 상기 제2프로브바 중 적어도 어느 하나가 이동되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1프로브바 및 상기 제2프로브바는 상기 글라스패널에 수직으로 대향하는 방향으로 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
제2항에 있어서,
상기 제1프로브바에는 복수의 관통홀이 형성되고,
상기 제2프로브바의 복수의 프로브핀은 상기 제1프로브바의 복수의 관통홀을 통과할 수 있도록 배열되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1프로브바 및 상기 제2프로브바는 상기 글라스패널의 일면과 평행한 방향으로 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
제4항에 있어서,
상기 프로브모듈은, 상기 제1프로브바 및 상기 제2프로브바 중 적어도 어느 하나를 상기 글라스패널에 수직으로 대향하는 방향으로 이동시키는 프로브바이동장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프로브모듈에는 상기 제1프로브바 및 상기 제2프로브바를 회전시키는 회전유닛이 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.