KR20120110385A - 글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치 - Google Patents

글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 글라스패널 이송장치에서는, 글라스패널의 회전방향으로의 위치를 용이하게 조절할 수 있으며, 글라스패널의 위치정렬과 글라스패널의 이송을 함께 수행할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치 {GLASS PANEL TRANFERRING APPARATUS AND ARRAY TEST APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
글라스패널에 대한 정확한 검사를 위해서는, 글라스패널을 정확하게 정렬하여 이송하는 작업이 요구된다. 종래의 경우에는 글라스패널의 위치를 정렬하기 위하여 글라스패널이 탑재되는 스테이지를 회전시키거나 수평방향으로 이동시켰으므로, 스테이지를 구동시키기 위한 구성이 복잡하다는 문제점이 있었다. 또한, 글라스패널의 위치를 정렬하는 과정과 글라스패널을 이송시키는 과정을 별개로 수행하였기 때문에, 공정의 효율이 저하되고, 구성이 복잡하다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 글라스패널의 이송 및 위치조절을 함께 수행할 수 있는 글라스패널 이송장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 글라스패널 이송장치는, 글라스패널이 이송되는 방향으로 연장되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 이동이 가능하게 설치되는 이동부재와, 상기 이동부재에 회전이 가능하게 설치되며 상기 글라스패널을 흡착하여 지지하는 흡착부재와, 상기 흡착부재에 일단이 고정되는 탄성부재와, 상기 이동부재에 고정되며 상기 탄성부재를 상하방향으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 글라스패널 이송장치는, 글라스패널을 흡착시키는 흡착부재를 글라스패널이 이송되는 방향으로 이동되는 이동부재에 회전이 가능하게 고정시키고, 회전된 흡착부재를 원래의 상태로 복귀시킬 수 있도록 흡착부재에 탄성력을 부여하는 탄성부재를 구비함으로써, 글라스패널의 회전방향으로의 위치를 용이하게 조절할 수 있으며, 글라스패널의 위치정렬과 글라스패널의 이송을 함께 수행할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 글라스패널 이송장치가 구비된 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 글라스패널 이송장치가 도시된 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 글라스패널 이송장치의 요부가 도시된 사시도이다.
도 5는 도 1의 글라스패널 이송장치의 요부가 도시된 측면도이다.
도 6 및 도 7은 도 1의 글라스패널 이송장치의 작동상태가 도시된 개략도이다.
도 8 및 도 9는 도 1의 글라스패널 이송장치를 이용한 글라스패널의 위치정렬동작 및 이송동작이 도시된 개략도이다.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 글라스패널 이송장치의 요부가 도시된 개략도이다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 글라스패널 이송장치의 요부가 도시된 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 글라스패널 이송장치 및 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임(10)과, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(30)과, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.
테스트유닛(20)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.
테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임(223)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 테스트모듈(22)은 테스트모듈지지프레임(223)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다. 테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 상측에 배치되어 기판(S)의 결함여부를 검출한다. 테스트모듈(22)은, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)에 인접하는 모듈레이터(221)와, 모듈레이터(221)를 촬상하는 촬상장치(222)를 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 테스트유닛(20)은 반사방식 및 투과방식으로 두 가지의 형태로 나눌 수 있다. 반사방식의 경우에는, 광원이 테스트모듈(22)과 함께 배치되고, 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에 반사층이 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광된 광이 모듈레이터(221)로 입사된 후 모듈레이터(221)의 반사층으로부터 반사될 때, 반사되는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 투과방식의 경우에는, 광원이 투광지지플레이트(21)의 하측에 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광되어 모듈레이터(221)를 투과하는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(20)으로는 이러한 반사방식 및 투과방식이 모두 적용될 수 있다.
테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에는, 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 반사되는 광의 광량(반사방식의 경우) 또는 투과되는 광의 광량(투과방식의 경우)을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)이 구비된다. 전광물질층은, 글라스패널(P)과 모듈레이터(221)에 전기가 인가될 때 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어져 전광물질층으로 입사되는 광의 광량을 변경한다. 이러한 전광물질층은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)으로 이루어질 수 있다.
프로브모듈(23)은, X축방향으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(231)과, 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)을 따라 소정의 간격으로 배치되며 복수의 프로브핀(미도시)이 구비되는 프로브헤드(233)를 포함하여 구성될 수 있다.
프로브모듈지지프레임(231)은 Y축구동유닛(235)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브헤드(233)을 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(236)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(235) 및/또는 X축구동유닛(236)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.
로딩유닛(30)은 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)을 지지함과 아울러 글라스패널(P)을 테스트유닛(20)으로 이송시키는 역할을 수행하며, 언로딩유닛(40)은 검사가 완료된 글라스패널(P)을 지지함과 아울러 테스트유닛(20)으로부터 이송시키는 역할을 수행한다. 로딩유닛(30) 및 언로딩유닛(40)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 글라스패널(P)이 탑재되는 복수의 지지플레이트(50)와, 글라스패널(P)을 이송하기 위한 글라스패널 이송장치(60)가 구비될 수 있다.
지지플레이트(50)에는 글라스패널(P)을 부양시키기 위한 공기가 분사되는 공기분사홀(51)이 형성될 수 있으며, 공기구멍(51)은 공기를 공급하는 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 글라스패널 이송장치(60)는 로딩유닛(30) 및 언로딩유닛(40)에 각각 복수로 구비될 수 있다. 글라스패널 이송장치(60)는, 글라스패널(P)이 이송되는 방향과 평행한 방향(Y축방향)으로 연장되는 가이드레일(61)과, 가이드레일(61)에 이동이 가능하게 설치되는 이동부재(62)와, 이동부재(62)에 수평방향으로 회전이 가능하게 설치되며 글라스패널(P)의 하측면이 흡착되어 지지되는 흡착부재(63)와, 이동부재(62)에 설치되어 흡착부재(63)를 상하방향(Z축방향)으로 승강시키는 승강유닛(64)과, 가이드레일(61)과 이동부재(62)의 사이에 설치되어 이동부재(62)를 가이드레일(61)을 따라 이송시키는 이송유닛(65)과, 흡착부재(63)에 일단이 고정되며 하측방향으로 연장되는 탄성부재(66)와, 이동부재(62)에 고정되며 탄성부재(66)가 상하방향으로 이동이 가능하게 지지되는 지지부재(67)를 포함하여 구성될 수 있다.
흡착부재(63)에는 하나 이상의 흡착홀(631)이 형성될 수 있고, 흡착홀(631)에는 공기를 흡입하는 공기흡입장치(미도시)가 연결될 수 있다. 공기흡입장치의 동작에 의하여 공기가 흡착홀(631)을 통하여 흡입되면서 글라스패널(P)의 하측면이 흡착부재(63)의 상측면에 견고하게 흡착될 수 있다. 흡착홀(631)의 주위에는 흡착부재(63)의 상측으로 개방되는 공기흡입안내홈(632)이 형성될 수 있으며, 공기흡입안내홈(632)은 흡착부재(63)의 면적에 대응되는 면적을 차지할 수 있도록 형성될 수 있다. 흡착부재(63)가 이동부재(62)에 수평방향으로 회전이 가능하게 설치될 수 있도록, 흡착부재(63)와 승강유닛(64)의 사이에는 흡착부재(63)를 회전이 가능하게 지지하는 흡착부재지지부(68)가 구비될 수 있다. 흡착부재지지부(68)는, 흡착부재(63)의 회전중심과 연결되는 회전축(681)과, 회전축(681)이 회전이 가능하게 연결되는 회전축지지부(682)를 포함하여 구성될 수 있다.
승강유닛(64)은 흡착부재지지부(68)의 하측에 설치되며 유압 또는 공기압에 의하여 작동하는 실린더(641)와, 실린더(641)와 흡착부재지지부(68)를 연결하는 로드(642)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 실린더(641)의 구동에 의하여 로드(642)가 상하방향으로 이동하며, 이에 따라, 로드(642)와 연결되는 흡착부재지지부(68)가 상하방향으로 이동되는 것에 의하여 흡착부재(63)가 상하방향으로 승강될 수 있다. 다만, 본 발명은 흡착부재지지부(68)와 승강유닛(64)이 일체로 연결되는 구성에 한정되지 아니하며, 승강유닛(64) 및 흡착부재지지부(68)가 이동부재(62)에 독립적으로 설치되어, 승강유닛(64)이 흡착부재(63)를 상하방향으로 승강시키고, 흡착부재지지부(68)가 흡착부재(63)를 이동부재(62)에 회전이 가능하게 지지시키는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 본 발명은 승강유닛(64)이 실린더(641)와 로드(642)를 포함하는 구성에 한정되지 아니하며, 승강유닛(64)로는 회전모터와 볼스크류가 연결된 구조 또는 리니어모터가 채용된 구조 등 흡착부재(63)를 상승 및 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(64)은 글라스패널(P)을 이동시키거나 글라스패널(P)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에 흡착부재(63)의 상측면에 글라스패널(P)이 접촉되도록 흡착부재(63)를 상승시키는 역할을 수행하고, 글라스패널(P)을 이동시키거나 글라스패널(P)의 위치를 조절하는 동작이 완료된 경우에 글라스패널(P)로부터 흡착부재(63)가 이격되도록 흡착부재(63)를 하강시키는 역할을 수행한다.
이송유닛(65)은, 가이드레일(61)의 길이방향(Y축방향)으로 배치되는 고정자(652)와, 이동부재(62)와 연결되는 가동자(651)를 포함하여 구성될 수 있다. 이송유닛(65)으로는, 고정자(652)가 영구자석을 포함하여 구성되고 가동자(651)가 전기코일을 포함하여 구성되는 리니어모터가 적용될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 이송유닛(65)으로 가이드레일(61)과 이동부재(62)의 사이에 설치되는 볼스크류장치, 유압 또는 공기압에 의하여 동작하는 실린더 등 이동부재(62)를 가이드레일(61)을 따라 직선 이동시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 글라스패널 이송장치(60)에는, 흡착부재(63)를 글라스패널(P)이 이송되는 방향(Y축방향)과 수평으로 직교되는 방향(X축방향)으로 이동시키는 이동유닛(69)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이동유닛(69)은, 이동부재(62)의 하측에 설치되며 가이드레일(61)과 연결되는 지지부(691)와, 지지부(691)와 이동부재(62)의 사이에 설치되는 스크류축(692) 및 스크류축(692)를 회전시키는 회전모터(693)을 포함하는 볼스크류장치를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 이동부재(62)는 이동유닛(69)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 이동부재(62)와 연결된 흡착부재(63)가 X축방향으로 이동될 수 있고, 흡착부재(63)에 흡착된 글라스패널(P)이 X축방향으로 이동될 수 있다. 이러한, 이동유닛(69)은 글라스패널(P)이 지지플레이트(50)의 상측에 반입된 상태에서, 글라스패널(P)의 X축방향의 위치를 조절하는 역할을 수행할 수 있다. 한편, 본 발명은 이동유닛(69)으로 볼스크류장치가 적용된 구성에 한정되지 아니하며, 이동유닛(69)으로는 가이드레일(61)과 이동부재(62)의 사이에 설치되는 리니어모터, 유압 또는 공기압에 의하여 동작하는 실린더 등 이동부재(62)를 가이드레일(61)의 길이방향(Y축방향)과 직교되는 방향(X축방향)으로 직선 이동시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.
탄성부재(66)의 일단(661)은 흡착부재(63)의 회전중심(흡착부재(63)가 회전축(681)과 연결되는 부분)으로부터 소정의 간격으로 편심된 위치에서 볼트, 너트 또는 리벳 등의 체결수단을 통하여 흡착부재(63)의 하측면에 고정될 수 있다. 탄성부재(66)는 하측방향으로 연장되는 판형상으로 형성될 수 있으며, 탄성부재(66)의 타단(663)은 자유단이 될 수 있다. 탄성부재(66)는 소정의 탄성을 가지는 금속이나 합성수지의 재질로 형성될 수 있다.
지지부재(67)는, 이동부재(62)에 고정되어 탄성부재(66)의 상하방향으로의 이동을 안내함과 아울러 탄성부재(66)의 중앙부(662)를 지지한다. 지지부재(67)는 이동부재(62)의 상측면에 설치되고 상측방향으로 연장되는 연결부재(621)에 고정되는 것을 통하여 이동부재(62)에 고정될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 지지부재(67)가 이동부재(62)의 상측면에 직접 고정되는 구성이 적용될 수 있다. 지지부재(67)는, 탄성부재(66)의 일측면에 접촉되는 제1부재(671)와, 제1부재(671)와의 사이에 탄성부재(66)가 위치되도록 탄성부재(66)의 타측면에 접촉되는 제2부재(672)를 포함하여 구성될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 승강유닛(64)의 동작에 따라 탄성부재(60)가 흡착부재(63)와 함께 승강하는 경우, 제1부재(671) 및 제2부재(672)는 탄성부재(66)의 수평방향으로의 위치가 변동되지 않도록 탄성부재(66)의 양측을 지지하는 역할을 수행한다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 흡착부재(63)가 외력에 의하여 회전되는 경우, 제1부재(671) 및 제2부재(672)는 탄성부재(66)의 일단(661)이 흡착부재(63)의 회전방향으로 변형되는 것은 허용하는 한편 탄성부재(66)가 지지부재(67)로부터 이탈되지 않도록 탄성부재(66)의 중앙부(662)를 지지하는 역할을 수행한다.
탄성부재(66)의 일단(661)이 흡착부재(63)에 고정되고 탄성부재(66)의 중앙부(662)가 지지부재(67)를 통하여 이동부재(62)에 고정되는 구성에 따르면, 도 7에 도시된 바와 같이, 흡착부재(63)에 작용하는 외력에 의하여 흡착부재(63)가 회전되는 경우, 탄성부재(66)의 일단(661)은 흡착부재(63)의 회전방향으로 탄성한도 이하에서 변형된다. 즉, 흡착부재(63)가 회전되는 경우, 탄성부재(66)는 흡착부재(63)가 회전되는 방향으로 구부러진 형상으로 변형된다. 그리고, 흡착부재(63)에 흡착부재(63)를 회전시키는 외력이 작용하지 않는 경우에는, 탄성부재(66)가 원래의 상태로 복귀하려는 탄성복원력에 의하여 흡착부재(63)가 회전되어 원래의 상태로 복귀될 수 있다.
이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)이 지지플레이트(50)의 상측에 반입되는 것과 동시에 공기분사홀(51)을 통하여 지지플레이트(50)의 상측방향으로 공기가 분사되면, 글라스패널(P)은 지지플레이트(50)의 상측에 부양된 상태로 위치된다. 이때, 승강유닛(64)의 동작에 의하여 흡착부재(63)가 상승하여 글라스패널(P)의 하측면과 접촉하며, 이와 동시에, 흡착홀(631)을 통하여 공기가 흡입되면서, 글라스패널(P)의 하측면이 흡착부재(63)의 상측면에 흡착된다. 이러한 상태에서, 이동부재(62)가 가이드레일(61)을 따라 이동하면, 글라스패널(P)이 테스트유닛(20)으로 이송되거나 테스트유닛(20)으로부터 이송될 수 있다.
글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)의 상측으로 이송되면, 흡착홀(631)을 통한 공기의 흡입이 차단되면서 승강유닛(64)의 동작에 의하여 흡착부재(63)가 하강하고, 지지플레이트(50)의 공기분사홀(51)로부터 공기(A)의 분사가 차단되면서, 글라스패널(P)은 투광지지플레이트(21)의 상측면에 접촉되고, 프로브헤드(233)가 하강하면서 프로브핀이 글라스패널(P)의 전극을 가압하여 글라스패널(P)의 전극으로 전기신호가 인가된다. 그리고, 테스트모듈(22)이 하강하여 모듈레이터(221)가 글라스패널(P)의 상측면에 인접한 상태에서 모듈레이터(221)에 전기가 인가된다.
이때, 글라스패널(P)과 모듈레이터(221)의 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층을 이루는 전광물질의 특성이 변경된다. 이에 따라, 반사방식의 경우에는 광원에서 모듈레이터(221)로 입사된 후 모듈레이터(221)의 반사층에서 반사되는 광의 광량이 변경되며, 투과방식의 경우에는 광원에서 출사되어 모듈레이터(221)를 통과하는 광의 광량이 변경된다. 따라서, 촬상장치(222)에서 촬상한 모듈레이터의 이미지로부터 광의 광량을 분석하여 글라스패널(P)과 모듈레이터(221) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 없는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(221) 사이에는 미리 설정된 범위 내의 정상적인 전기장이 형성되지만, 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 글라스패널(P)과 모듈레이터(221) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성된다. 따라서, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
한편, 글라스패널(P)이 테스트유닛(20)으로 로딩되기 이전에, 글라스패널(P)의 위치를 조절하는 동작이 수행될 수 있다. 글라스패널(P)의 X축방향으로의 위치를 조절하기 위하여, 이동유닛(69)의 동작에 의하여 이동부재(62) 및 이동부재(62)와 연결되는 흡착부재(63)가 X축방향으로 이동되며, 이에 따라, 글라스패널(P)이 X축방향으로 이동될 수 있다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)의 회전방향으로의 정렬을 위하여 글라스패널(P)을 회전시키는 동작이 수행될 수 있다. 글라스패널(P)을 회전시키기 위하여, 한 쌍의 글라스패널 이송장치(60) 중 하나의 글라스패널 이송장치(60)의 흡착부재(63)를 가이드레일(61)를 따라 이동시키고, 다른 하나의 글라스패널 이송장치(60)의 흡착부재(63)의 수평방향으로의 위치를 고정시키면, 위치가 고정된 흡착부재(63)는 회전하게 되는데, 이와 같은 두 개의 흡착부재(63) 중 하나의 흡착부재(63)의 이동 및 다른 하나의 흡착부재(63)의 회전에 의하여 글라스패널(P)이 회전될 수 있다. 글라스패널(P)이 회전되면서 그 회전방향으로의 위치가 정렬된 이후에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 두 개의 흡착부재(63)가 동시에 가이드레일(61)을 따라 이동되며, 이에 따라, 글라스패널(P)이 가이드레일(61)이 연장되는 방향으로 이송될 수 있다.
그리고, 글라스패널(P)이 테스트유닛(20)으로 로딩된 후, 흡착홀(631)을 통한 공기의 흡입의 차단 및 흡착부재(63)의 하강에 의하여 흡착부재(63)가 글라스패널(P)로부터 이격되면, 흡착부재(63)로 글라스패널(P)의 하중이 가해지지 않게 되므로, 회전되었던 흡착부재(63)는 탄성부재(66)의 탄성복원력에 의하여 회전되면서 원래의 상태로 복귀될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 글라스패널 이송장치(60)는, 글라스패널(P)을 흡착시키는 흡착부재(63)를 글라스패널(P)이 이송되는 방향으로 이동되는 이동부재(62)에 회전이 가능하게 고정시키고, 흡착부재(63)를 원래의 상태로 복귀시킬 수 있도록 흡착부재(63)에 탄성력을 부여하는 탄성부재(66)를 구비함으로써, 글라스패널(P)의 회전방향으로의 위치를 용이하게 조절할 수 있으며, 글라스패널(P)의 위치정렬과 글라스패널(P)의 이송을 함께 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 글라스패널 이송장치는, 흡착부재(63)를 회전시키기 위한 회전모터 등의 구성이 없이도, 흡착부재(63)를 회전시키거나 원래의 상태로 복귀시킬 수 있으므로, 글라스패널(P)의 회전방향으로의 위치를 조절하기 위한 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 10을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 글라스패널 이송장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 글라스패널 이송장치는, 흡착부재(63)에 일단이 고정되며 하측방향으로 연장되는 탄성부재(66)와, 탄성부재(66)의 일측면으로부터 소정의 간격으로 이격되도록 배치되는 제1부재(671)와, 제1부재(671)와의 사이에 탄성부재(66)가 위치되도록 탄성부재(66)의 타측면으로부터 소정의 간격으로 이격되도록 배치되는 제2부재(672)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 탄성부재(66)는 자석에 붙는 성질을 가지는 물질을 포함하는 재질로 이루어질 수 있으며, 제1부재(671) 및 제2부재(672)는 동일한 극성을 가지는 자석으로 이루어질 수 있다. 제1부재(671) 및 제2부재(672)로는 영구자석 또는 전자석이 적용될 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 제1부재(671) 및 제2부재(672)는 탄성부재(66)에 대하여 서로 동일한 크기의 인력 또는 척력을 작용하므로, 탄성부재(66)는 제1부재(671) 및 제2부재(672) 중 어느 한 쪽에 치우치지 아니하고, 제1부재(671) 및 제2부재(672)로부터 소정의 간격을 유지한 상태로 지지될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 글라스패널 이송장치는, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)로부터 소정의 간격을 유지한 상태로 지지될 수 있으므로, 흡착부재(63)가 승강하는 경우, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)와 접촉되지 아니한 상태로 승강할 수 있으며, 이에 따라, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)와의 마찰에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 11을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 글라스패널 이송장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 글라스패널 이송장치는, 흡착부재(63)에 일단이 고정되며 하측방향으로 연장되는 탄성부재(66)와, 탄성부재(66)의 일측면으로부터 소정의 간격으로 이격되도록 배치되는 제1부재(671)와, 제1부재(671)와의 사이에 탄성부재(66)가 위치되도록 탄성부재(66)의 타측면으로부터 소정의 간격으로 이격되도록 배치되는 제2부재(672)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 제1부재(671) 및 제2부재(672)에는, 가스가 분사되는 복수의 분사홀(673)과, 분사홀(673)과 유로(674)를 통하여 연결되어 분사홀(673)로 가스를 공급하는 가스공급기(675)가 구비될 수 있다. 제1부재(671) 및 제2부재(672)의 분사홀(673)로부터 분사되는 가스는 제1부재(671) 및 제2부재(672) 사이에 위치되는 탄성부재(66)의 중앙부(662)와 충돌된다. 여기에서, 제1부재(671) 및 제2부재(672)의 분사홀(673)로부터 분사되는 가스의 압력은 동일하게 설정하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 따르면, 제1부재(671) 및 제2부재(672)의 분사홀(673)로부터 분사되는 가스에 의하여 탄성부재(66)는 제1부재(671) 및 제2부재(672) 중 어느 한 쪽에 치우치지 아니하고, 제1부재(671) 및 제2부재(672)로부터 소정의 간격을 유지한 상태로 지지될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제3실시예에 따른 글라스패널 이송장치는, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)로부터 소정의 간격을 유지한 상태로 지지될 수 있으므로, 흡착부재(63)가 승강하는 경우, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)와 접촉되지 아니한 상태로 승강할 수 있으며, 이에 따라, 탄성부재(66)가 제1부재(671) 및 제2부재(672)와의 마찰에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 글라스패널 이송장치는 어레이 테스트 장치뿐만 아니라 평판디스플레이 또는 반도체의 제조공정에서 글라스패널 또는 반도체를 이송하는 장치에 적용될 수 있다.
60: 글라스패널 이송장치 61: 가이드레일
62: 이동부재 63: 흡착부재
64: 승강유닛 65: 이송유닛
66: 탄성부재 67: 지지부재

Claims (7)

  1. 글라스패널이 이송되는 방향으로 연장되는 가이드레일;
    상기 가이드레일에 이동이 가능하게 설치되는 이동부재;
    상기 이동부재에 회전이 가능하게 설치되며 상기 글라스패널을 흡착하여 지지하는 흡착부재;
    상기 흡착부재에 일단이 고정되는 탄성부재; 및
    상기 이동부재에 고정되며 상기 탄성부재를 상하방향으로 이동이 가능하게 지지하는 지지부재를 포함하는 글라스패널 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 탄성부재의 일측에 배치되는 제1부재; 및
    상기 제1부재와의 사이에 상기 탄성부재가 위치되도록 상기 탄성부재의 타측에 배치되는 제2부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스패널 이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는, 상기 탄성부재에 접촉되지 않은 상태로 상기 탄성부재를 지지하는 것을 특징으로 하는 글라스패널 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지부재는, 상기 탄성부재의 일측에 배치되는 제1부재와, 상기 제1부재와의 사이에 상기 탄성부재가 위치되도록 상기 탄성부재의 타측에 배치되는 제2부재를 포함하고,
    상기 탄성부재는 자석에 부착되는 물질을 포함하는 재질로 이루어지며, 상기 제1부재 및 상기 제2부재는 동일한 극성을 가지는 자석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 글라스패널 이송장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 지지부재는, 상기 탄성부재의 일측에 배치되는 제1부재와, 상기 제1부재와의 사이에 상기 탄성부재가 위치되도록 상기 탄성부재의 타측에 배치되는 제2부재를 포함하고,
    상기 제1부재 및 상기 제2부재에는 상기 탄성부재를 향하여 가스가 분사되는 분사홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스패널 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 흡착부재를 상기 글라스패널이 이송되는 방향과 직교되는 방향으로 이동시키는 이동유닛을 더 포함하는 글라스패널 이송장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 글라스패널 이송장치가 복수로 구비되고,
    상기 복수의 글라스패널 이송장치 중 어느 하나의 글라스패널 이송장치의 흡착부재를 상기 글라스패널이 이송되는 방향으로 이송시키고 다른 하나의 글라스패널 이송장치의 흡착부재를 회전시키면서 상기 글라스패널의 회전방향으로의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
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