KR101796593B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 글라스패널이 지지플레이트에 흡착된 후 글라스패널과 지지플레이트 사이에 공기층이 형성되는 것을 방지하여 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}
본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
글라스패널의 검사를 위하여, 광원과, 전광물질층이 구비되는 모듈레이터와, 촬상유닛이 구비되는 어레이 테스트 장치가 사용된다. 모듈레이터와 글라스패널에 일정한 전압을 가한 상태에서 모듈레이터를 글라스패널에 인접되도록 하면, 글라스패널에 결함이 없는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지만, 글라스패널에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되는데, 어레이 테스트 장치는 이러한 모듈레이터와 글라스패널 사이의 전기장의 크기를 검출하고 이를 이용하여 글라스패널의 결함여부를 검출한다.
글라스패널에 대한 검사는 글라스패널을 지지플레이트상에 탑재시킨 상태에서 수행되는데, 이를 위하여 지지플레이트에는 부압원과 연결되는 공기흡입홀을 복수로 형성하고 공기흡입홀을 통하여 공기를 흡입하는 것을 통하여 글라스패널을 지지플레이트상에 흡착하여 고정하고 있다. 그러나, 종래의 경우에는, 공기의 흡입동작이 복수의 공기흡입홀에서 동시에 진행되었기 때문에 글라스패널의 영역 중 공기흡입홀 부근에 해당하는 영역은 공기흡입홀을 통한 공기의 흡입에 의하여 지지플레이트상에 흡착되지만 글라스패널의 영역 중 공기흡입홀 부근에 해당하지 않는 영역에서는 공기가 미쳐 공기흡입홀을 통하여 배출되지 않아 글라스패널과 지지플레이트의 상면 사이에 공기층이 형성되는 현상이 발생된다. 이러한 현상에 의하여 글라스패널의 상면의 높이가 전체적으로 균일하지 않게 되며, 이에 따라, 글라스패널에 대한 검사가 정확하게 수행될 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 글라스패널이 지지플레이트에 흡착된 후 글라스패널과 지지플레이트 사이에 공기층이 형성되는 것을 방지하여 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널이 탑재되고 복수의 공기흡입홀이 형성되는 지지플레이트와, 상기 각 공기흡입홀과 연결되는 복수의 흡입관과, 상기 복수의 흡입관과 연통되어 공기를 흡입하는 공기흡입장치와, 상기 각 흡입관에 연결되어 상기 흡입관을 개폐하는 흡입관개폐장치와, 상기 복수의 공기흡입홀에서의 공기의 흡입이 순차적으로 진행될 수 있도록 상기 흡입관개폐장치의 동작을 제어장치를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널이 탑재되고 복수의 공기분사홀이 형성되는 지지플레이트와, 상기 각 공기분사홀과 연결되는 복수의 분사관과, 상기 복수의 분사관과 연통되어 공기를 공급하는 공기분사장치와, 상기 각 분사관과 연결되어 상기 분사관을 개폐하는 분사관개폐장치와, 상기 복수의 공기분사홀에서의 공기의 분사가 순차적으로 차단될 수 있도록 상기 분사관개폐장치의 동작을 제어하는 제어장치를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널을 지지플레이트로 탑재하기 위하여 복수의 공기분사홀을 통한 공기의 분사를 차단하는 과정 및 글라스패널을 지지플레이트에 흡착시키는 과정에서, 복수의 공기분사홀을 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되도록 하거나 복수의 공기흡입홀을 통한 공기의 흡입이 순차적으로 진행되도록 함으로써, 글라스패널과 지지플레이트 사이에 존재하는 배출하여 글라스패널이 지지플레이트에 흡착된 후 글라스패널과 지지플레이트 사이에 공기층이 형성되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 어레이 테스트 장치의 지지플레이트가 도시된 개략도이다.
도 5는 도 4의 지지플레이트에 연결되는 공기흡입유닛의 개략도이다.
도 6은 도 5의 공기흡입유닛의 제어블럭도이다.
도 7은 도 1의 어레이 테스트 장치에서 글라스패널이 지지플레이트상에 흡착되는 과정이 순차적으로 도시된 개략도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 기지플레이트가 도시된 개략도이다.
도 9는 도 8의 지지플레이트에 연결되는 공기분사유닛의 개략도이다.
도 10은 도 9의 공기분사유닛의 제어블럭도이다.
도 11은 도 8의 어레이 테스트 장치에서 글라스패널이 지지플레이트상에 탑재되는 과정이 순차적으로 도시된 개략도이다.
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 지지플레이트에 연결되는 공기흡입유닛 및 공기분사유닛의 개략도이다.
도 13은 도 12의 공기흡입유닛 및 공기분사유닛의 제어블럭도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치(10)는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(20)과, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(30)과, 테스트유닛(30)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.
로딩유닛(20)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제1지지플레이트(22)를 포함하여 구성되고, 언로딩유닛(40)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사가 완료된 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제2지지플레이트(42)를 포함하여 구성된다. 로딩유닛(20)의 제1지지플레이트(22)와 언로딩유닛(40)의 제2지지플레이트(42)에는 글라스패널(P)의 하측면을 향하여 공기를 분사하여 글라스패널(P)을 부양시키기 위한 공기구멍(24)(44)이 형성될 수 있다. 또한, 로딩유닛(20) 및 언로딩유닛(40)에는 글라스패널(P)의 하측면을 흡착한 후 직선형으로 이동하면서 글라스패널(P)을 이송시키기 위한 글라스패널이송유닛(70)이 구비될 수 있다.
테스트유닛(30)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 지지플레이트(31)와, 지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(32)과, 지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)상의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(33)과, 지지플레이트(31)에 형성되는 복수의 공기흡입홀(312)을 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입유닛(80)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 테스트모듈(32)은 지지플레이트(31)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈이송유닛(60)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있고, 테스트모듈(32)은 테스트모듈이송유닛(60)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(32)은, 광원(321)과, 광원(321)으로부터 출사되는 광의 방향을 조절하는 하프프리즘(322)과, 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(100)을 포함하여 구성될 수 있다.
모듈레이터(120)는, 글라스패널(P)에 인접되게 배치되는 반사층(121)과, 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 통과하는 광의 광량을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)(122)과, 전원(미도시)과 연결되는 모듈레이터전극층(123)과, 모듈레이터전극층(123)의 상측에 배치되는 투광블록(124)으로 구성될 수 있다. 반사층(121)은 얇은 막 형태의 반사필름으로 이루어질 수 있으며, 유리에 반사막이 코팅된 미러 형태의 반사유리로 이루어질 수 있다. 반사층(121)이 반사유리로 이루어지는 경우에는 반사층(121)이 반사필름으로 이루어진 경우에 비하여 경도가 향상되므로 글라스패널(P)과의 접촉에 의한 스크래치 등의 손상을 방지할 수 있다.
전광물질층(122)은 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어질 수 있는데, 예를 들면, 전기장의 크기에 따라 광량을 변화시키는 액정(LC, liquid crystal)으로 이루어질 수 있다. 또한, 전광물질층(122)은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 광원(321)에서 발광되고 하프프리즘(322)을 통하여 모듈레이터(120)로 입사된 후 모듈레이터(120)의 반사층(121)으로부터 반사되는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(100)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고 촬상유닛(100)으로 촬상한 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
한편, 테스트유닛(30)은, 상술한 바와 같이, 광원(321)이 테스트모듈(32)에 구비되고 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비되는 반사방식의 구성 외에도, 도 3에 도시된 바와 같이, 광원(321)이 지지플레이트(31)의 하측, 즉, 모듈레이터(120)에 대향하는 지지플레이트(31)의 일측에 반대되는 타측에 구비되며, 광원(321)에서 발광되어 모듈레이터(120)를 투과하는 광의 광량을 측정하여 글라스패널(P)의 결함여부를 검출하는 투과방식으로 구성될 수 있다. 이러한 투과방식의 테스트유닛(30)은 글라스패널(P)이 탑재되는 지지플레이트(31)가 광을 투과할 수 있는 재질로 형성되며, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일측에 보호층(125)이 구비될 수 있다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(30)으로는 이러한 반사방식의 구성 및 투과방식의 구성이 모두 적용될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 지지플레이트(31)는, 중앙부에 배치되며 글라스패널(P)의 검사대상에 해당하는 영역이 부착되는 테스트부(311)와 테스트부(311)의 양측에 배치되는 복수의 공기흡입홀(312)을 포함하여 구성될 수 있다. 공기흡입홀(312)의 주위에는 지지플레이트(31)의 상측으로 개방되는 공기흡입안내홈(313)이 형성될 수 있으며, 공기흡입안내홈(313)은 글라스패널(P)이 되는 면적에 대응되도록 형성될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 공기흡입유닛(80)은, 복수의 공기흡입홀(312)과 연결되는 복수의 흡입관(81)과, 복수의 흡입관(81)과 연통되어 공기흡입홀(312) 및 흡입관(81)을 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입장치(82)와, 흡입관(81)에 설치되어 복수의 흡입관(81)을 개별적으로 개폐하는 흡입관개폐장치(83)와, 흡입관개폐장치(83)의 동작을 제어하는 제어장치(50)를 포함하여 구성될 수 있다.
공기흡입장치(82)로는 공기를 흡입할 수 있는 송풍기, 진공발생장치 등의 다양한 장치가 적용될 수 있다.
복수의 흡입관(81)은 복수의 공기흡입홀(312)이 공기흡입장치(82)에 직접적으로 연결될 수 있도록 복수의 공기흡입홀(312)의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 인접하는 두 개 이상의 공기흡입홀(312)들을 하나의 그룹으로 정하고, 하나의 그룹에 속하는 복수의 공기흡입홀(312)이 하나의 흡입관(81)을 통하여 공기흡입장치(82)에 연결될 수 있도록 구성될 수 있다.
흡입관개폐장치(83)는 각 흡입관(81)에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하여 구성될 수 있다. 제어밸브로는 전자기적 특성에 의하여 동작되는 솔레노이드밸브가 적용될 수 있는 등, 제어장치(50)의 전기적 또는 전자적 제어신호에 따라 흡입관(81)의 개폐동작을 자동으로 수행할 수 있는 자동제어밸브가 적용될 수 있다. 복수의 공기흡입홀(312) 각각에 흡입관(81)이 연결되는 경우, 제어밸브의 개수는 복수의 공기흡입홀(312)의 개수와 대응될 수 있으며, 인접되는 두 개 이상의 공기흡입홀(312)이 그룹으로 연결되는 경우 제어밸브의 개수는 복수의 그룹의 개수와 대응될 수 있다.
제어장치(50)는, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 흡착되는 과정에서 복수의 공기흡입홀(312)에서 순차적으로 공기의 흡입이 진행될 수 있도록 흡입관개폐장치(83)의 동작을 순차적으로 제어하는 역할을 수행한다. 이에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이, 제어장치(50)의 동작에 의한 흡입관개폐장치(83)의 동작의 순차적인 제어에 의하여 복수의 공기흡입홀(312)을 통한 공기의 흡입이 동시에 진행되지 않고 복수의 공기흡입홀(312)을 통한 공기의 흡입이 순차적으로 진행된다. 따라서, 글라스패널(P)에 흡착력이 가해지는 부분(A)의 면적이 복수의 공기흡입홀(312)을 통하여 흡입동작이 진행되는 방향(도 7에서의 B방향)으로 순차적으로 증가하며, 이에 따라, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 존재할 수 있는 공기가 복수의 공기흡입홀(312)을 통하여 흡입동작이 진행되는 방향(도 7에서의 B방향)으로 배출될 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착되는 과정에서 복수의 공기흡입홀(312)에서 순차적으로 공기의 흡입이 진행되도록 함으로써, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이의 공기를 복수의 공기흡입홀(312)에서 순차적으로 공기의 흡입이 진행되는 방향으로 배출시킬 수 있으므로, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착된 후 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 공기층이 형성되는 문제를 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널(P)의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널(P)에 대한 검사를 정확하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 8 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 지지플레이트(31)에는 테스트부(311)의 양측에 배치되는 복수의 공기분사홀(314)이 형성될 수 있으며, 테스트유닛(30)은, 지지플레이트(31)의 복수의 공기분사홀(314)을 통하여 공기를 분사하는 공기분사유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다. 공기분사홀(314)의 주위에는 지지플레이트(31)의 상측으로 개방되는 공기분사안내홈(315)이 형성될 수 있다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 공기분사유닛(90)은, 복수의 공기분사홀(314)과 연결되는 복수의 분사관(91)과, 복수의 분사관(91)과 연통되어 공기분사홀(314) 및 분사관(91)을 통하여 공기를 공급하는 공기공급장치(92)와, 분사관(91)에 설치되어 복수의 분사관(91)을 개별적으로 개폐하는 분사관개폐장치(93)와, 분사관개폐장치(93)의 동작을 제어하는 제어장치(50)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 공기분사유닛(90)은, 글라스패널(P)이 로딩유닛(20)에 의하여 지지플레이트(31)로 반입되는 과정 또는 글라스패널(P)이 언로딩유닛(40)에 의하여 지지플레이트(31)로부터 반출되는 과정에서 지지플레이트(31)의 상측에 위치된 글라스패널(P)의 하측면에 공기를 분사하는 역할을 수행한다. 이러한 공기분사유닛(90)의 동작에 의하여 글라스패널(P)은 지지플레이트(31)로부터 소정의 높이로 부양될 수 있으며, 이에 따라, 글라스패널(P)이 반입 또는 반출되는 과정에서, 글라스패널(P)의 하측면이 지지플레이트(31)에 접촉되어 손상되는 것이 방지된다.
공기공급장치(92)로는 공기를 공급할 수 있는 송풍기, 압축기 등의 다양한 장치가 적용될 수 있다.
복수의 분사관(91)은 복수의 공기분사홀(314)이 공기공급장치(92)에 직접적으로 연결될 수 있도록 복수의 공기분사홀(314)의 개수에 대응되는 개수로 마련될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 인접하는 두 개 이상의 공기분사홀(314)들을 하나의 그룹으로 정하고, 하나의 그룹에 속하는 복수의 공기분사홀(314)이 하나의 분사관(91)을 통하여 공기공급장치(92)에 연결될 수 있도록 구성될 수 있다.
분사관개폐장치(93)는 각 분사관(91)에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하여 구성될 수 있다. 제어밸브로는 전자기적 특성에 의하여 동작되는 솔레노이드밸브가 적용될 수 있는 등, 제어장치(50)의 전기적 또는 전자적 제어신호에 따라 분사관(91)의 개폐동작을 자동으로 수행할 수 있는 자동제어밸브가 적용될 수 있다. 복수의 공기분사홀(314) 각각에 분사관(91)이 연결되는 경우, 제어밸브의 개수는 복수의 공기분사홀(314)의 개수와 대응될 수 있으며, 인접되는 두 개 이상의 공기분사홀(314)이 그룹으로 연결되는 경우 제어밸브의 개수는 복수의 그룹의 개수와 대응될 수 있다.
제어장치(50)는, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 반입되어 흡착되는 과정에서, 복수의 공기분사홀(314)에서의 공기의 분사가 순차적으로 차단될 수 있도록 분사관개폐장치(93)의 동작을 순차적으로 제어하는 역할을 수행한다. 이에 따라, 도 11에 도시된 바와 같이, 제어장치(50)의 동작에 의한 분사관개폐장치(93)의 동작의 순차적인 제어에 의하여 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사가 동시에 차단되지 않고 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사의 차단이 순차적으로 진행된다. 따라서, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 부착되는 부분(A)의 면적은 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되는 방향(도 11에서의 B방향)으로 증가하며, 이에 따라, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 존재할 수 있는 공기가 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되는 방향(도 11에서의 B방향)으로 배출될 수 있다.
복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되면서 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 부착된 후에는 공기흡입유닛(80)에 의하여 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착되는 과정이 진행될 수 있다. 공기흡입유닛(80)에 의한 글라스패널(P)의 흡착과정에서, 복수의 공기흡입홀(312)을 통한 공기의 흡입이 동시에 진행될 수 있으며, 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 복수의 공기흡입홀(312)을 통한 공기의 흡입이 순차적으로 진행될 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 탑재하는 과정에서, 복수의 공기분사홀(314)를 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되도록 함으로써, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 존재하는 공기를 복수의 공기분사홀(314)를 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되는 방향으로 배출시킬 수 있으므로 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착된 후 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 공기층이 형성되는 문제를 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널(P)의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널(P)에 대한 검사를 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.
이하, 도 12 및 도 13을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 지지플레이트(31)에는 테스트부(311)의 양측에 복수의 공기흡입홀(312) 및 공기분사홀(314)이 형성될 수 있으며, 테스트유닛(30)은, 지지플레이트(31)의 복수의 공기흡입홀(312)을 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입유닛(80)과, 지지플레이트(31)의 복수의 공기분사홀(314)을 통하여 공기를 분사하는 공기분사유닛(90)과, 공기흡입유닛(80) 및 공기분사유닛(90)의 동작을 제어하는 제어장치(50)를 포함하여 구성될 수 있다.
공기흡입유닛(80)은, 복수의 공기흡입홀(312)과 연결되는 복수의 흡입관(81)과, 복수의 흡입관(81)과 연통되어 공기흡입홀(312) 및 흡입관(81)을 통하여 공기를 흡입하는 공기흡입장치(82)와, 흡입관(81)에 설치되어 복수의 흡입관(81)을 개별적으로 개폐하는 흡입관개폐장치(83)를 포함하여 구성될 수 있다.
공기분사유닛(90)은, 복수의 공기분사홀(314)과 연결되는 복수의 분사관(91)과, 복수의 분사관(91)과 연통되어 공기분사홀(314) 및 분사관(91)을 통하여 공기를 공급하는 공기공급장치(92)와, 분사관(91)에 설치되어 복수의 분사관(91)을 개별적으로 개폐하는 분사관개폐장치(93)를 포함하여 구성될 수 있다.
제어장치(50)는 흡입관개폐장치(83) 및 분사관개폐장치(93)의 동작을 제어하는 역할을 수행하며, 제어장치(50)에 의한 흡입관개폐장치(83) 및 분사관개폐장치(93)의 동작은 아래와 같다.
(1) 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사를 순차적으로 차단 및 복수의 공기흡입홀(312)에서 공기를 동시에 흡입
(2) 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사를 동시에 차단 및 복수의 공기흡입홀(312)에서 공기를 순차적으로 흡입
(3) 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사를 순차적으로 차단 및 복수의 공기흡입홀(312)에서 공기를 순차적으로 흡입
상기한 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 지지플레이트(31)로 탑재하기 위하여 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사를 차단하는 과정 및 글라스패널(P)을 지지플레이트(31)에 흡착시키는 과정에서, 제어장치(50)가 복수의 공기분사홀(314)을 통한 공기의 분사가 순차적으로 차단되도록 분사관개폐장치(93)의 동작을 제어하도록 하거나 제어장치(50)가 복수의 공기흡입홀(312)에서 공기가 순차적으로 흡입되도록 흡입관개폐장치(83)의 동작을 제어하도록 함으로써, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 존재하는 배출하여 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착된 후 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 공기층이 형성되는 문제를 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널(P)의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널(P)에 대한 검사를 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다.
31: 지지플레이트 32: 테스트모듈
50: 제어장치 80: 공기흡입유닛
90: 공기분사유닛 120: 모듈레이터

Claims (5)

  1. 복수의 공기분사홀이 형성되는 지지플레이트;
    상기 각 공기분사홀과 연결되는 복수의 분사관;
    상기 복수의 분사관과 연통되어 공기를 공급하는 공기분사장치;
    상기 각 분사관과 연결되어 상기 분사관을 개폐하는 분사관개폐장치; 및
    글라스패널이 상기 지지플레이트 상부로 반입되는 과정에서 상기 글라스패널의 하측면에 공기를 분사시켜 상기 글라스패널을 상기 지지플레이트로부터 부양시키도록 상기 분사관개폐장치를 제어하고, 상기 글라스패널이 상기 지지플레이트에 부착되는 과정에서 상기 글라스패널이 상기 지지플레이트 상에 부착되는 부분의 면적이 일방향으로 순차적으로 증가하도록 상기 복수의 공기분사홀로부터의 공기의 분사를 순차적으로 차단하도록 상기 분사관개폐장치를 제어하는 제어장치를 포함하는 어레이 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트에는 복수의 공기흡입홀이 형성되고,
    상기 공기흡입홀과 연결되는 흡입관과, 상기 흡입관과 연통되어 공기를 흡입하는 공기흡입장치와, 상기 흡입관과 연결되어 상기 흡입관을 개폐하는 흡입관개폐장치를 더 포함하고,
    상기 제어장치는 상기 복수의 공기흡입홀에서의 공기의 흡입이 동시에 진행되도록 상기 흡입관개폐장치의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트에는 복수의 공기흡입홀이 형성되고,
    상기 공기흡입홀과 연결되는 흡입관과, 상기 흡입관과 연통되어 공기를 흡입하는 공기흡입장치와, 상기 흡입관과 연결되어 상기 흡입관을 개폐하는 흡입관개폐장치를 더 포함하고,
    상기 제어장치는 상기 복수의 공기흡입홀에서의 공기의 흡입이 순차적으로 진행되도록 상기 흡입관개폐장치의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4443353B2 (ja) * 2004-08-31 2010-03-31 東京応化工業株式会社 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20210246233A1 (en) * 2018-09-14 2021-08-12 Lg Chem, Ltd. Photopolymerization Reaction System Including Air Injection Module for Preventing Contamination of Ultraviolet-Transmitting Plate

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