KR101470591B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents
어레이 테스트 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101470591B1 KR101470591B1 KR1020080076203A KR20080076203A KR101470591B1 KR 101470591 B1 KR101470591 B1 KR 101470591B1 KR 1020080076203 A KR1020080076203 A KR 1020080076203A KR 20080076203 A KR20080076203 A KR 20080076203A KR 101470591 B1 KR101470591 B1 KR 101470591B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- modulator
- light source
- light
- electrode
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
본 발명은, 테스트 될 기판의 일측 방향에 배치되며, 제 1 축을 따라서 이동되는 적어도 하나의 모듈레이터와, 상기 모듈레이터와 대응되는 크기로 형성되고, 상기 기판의 타측 방향에서 상기 모듈레이터 각각에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치되며, 상기 기판의 테스트 시 상기 모듈레이터와 동일 위치에 위치되도록 이동되는 적어도 하나의 광원을 구비하는 어레이 테스트 장치를 제공한다.
Description
본 발명은 디스플레이 패널의 기판에 형성된 복수의 전극들의 전기적 결함 유무를 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
어레이 테스트 장치란 디스플레이 패널 제조 시, 기판의 전극의 불량 여부를 검출하는 장치이다. 디스플레이 패널이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 상기 어레이 테스트 장치의 일예로서, LCD 패널의 TFT 기판에 형성된 전극의 불량 유무를 측정한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 구비한다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장치를 일부 구성 요소만 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.
종래의 어레이 테스트 장치는 모듈레이터(10)와, 검출부(20)와, 광원(30)과, 기판 지지부재(40)를 구비한다.
모듈레이터(10)는 복수 개로 이루어지고, 상기 광원(30) 보다 작은 크기로 이루어지며, 기판 위에서 일정 구간 이동한다.
검출부(20)는 상기 모듈레이터(10)의 상측에 배치되어 상기 모듈레이터(10)를 통과한 광량을 측정한다.
광원(30)은 기판의 하측에 배치되어 상기 모듈레이터(10)를 향해 빛을 방출한다. 이러한 광원(30)은 하나의 부재로 형성되고, 상기 모듈레이터(10)의 이동 궤적을 따라 형성된다. 광원(30)은 기판으로 빛이 방출될 수 있도록 빛을 발광한다. 이러한 광원(30)의 폭은 기판의 폭과 같거나 더 크다.
기판 지지부재(40)는 광원(30)과 기판 사이에 배치된다. 상기 기판 지지부재(40)는 광원(30)과 유사한 크기로 이루어지며, 테스트될 기판이 안착된다. 또한, 기판 지지부재(40)는 투명한 소재로 이루어지며, 광원(30)으로부터 방출된 빛이 기판 지지부재(40)에 안착된 기판 전체에 빛이 비춰지게 한다.
상기와 같은 구조로 이루어진 종래의 어레이 테스트 장치에서 기판을 테스트하는 과정은, 모듈레이터(10)가 기판의 특정 영역을 이동하다가 일정 시간 동안 정지하면, 광원(30)이 빛을 발광하여 기판의 불량 유무를 테스트 하게 된다.
최근에는, 전광 기기 제조기술의 발달로 인해, 보다 넓은 기판을 사용하여 평판 디스플레이 장치를 제조한다. 이에 따라, 넓은 기판의 전극을 테스트 하기 위해서는 어레이 테스트 장치에 구비된 광원(30)도 기판의 크기와 비례하여 커질 수 밖에 없다.
이러한 광원(30)은 통상적으로 램프와, 상기 램프로부터 방출된 빛을 확산시 키는 확산판을 구비하는데, 확산판의 크기가 상대적으로 작을 때에는 램프가 위치한 곳과, 램프가 위치하지 않은 곳의 휘도 편차가 심하지 않아 패널의 결함 유무를 검출하는데 문제되지 않았으나, 확산판의 크기가 커지면서 램프가 위치한 곳과, 램프가 위치하지 않은 곳의 휘도의 편차가 커짐으로써, 모듈레이터(10)로 균일한 빛이 공급되지 않아 패널의 결함 유무를 검출하는데 있어서 신뢰성이 낮아지는 문제점이 있다.
또한, 상기 광원(30)은, 상기 모듈레이터(10)가 테스트하고 있는 영역 뿐만 아니라, 상기 모듈레이터(10)가 테스트하지 않고 있는 기판의 다른 영역도 발광시킨다. 이에 따라, 패널의 불량 유무 테스트 시, 불필요하게 전력을 소모하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 광원에서 모듈레이터로 방출되는 빛을 균일하게 하여 패널 불량 유무 테스트 시, 신뢰성이 높아지도록 구조가 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 모듈레이터로만 빛을 방출하도록 구조가 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 테스트 될 기판의 일측 방향에 배치되며, 제 1 축을 따라서 이동되는 적어도 하나의 모듈레이터와, 상기 모듈레이터와 대응되는 크기로 형성되고, 상기 기판의 타측 방향에서 상기 모듈레이터 각각에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치되며, 상기 기판의 테스트 시 상기 모듈레이터와 동일 위치에 위치되도록 이동되는 적어도 하나의 광원을 구비하는 어레이 테스트 장치를 제공한다.
한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치는, 상기 모듈레이터를 제 1 축으로 이동시키는 모듈레이터 이송 모듈과, 상기 광원을 상기 모듈레이터와 연동하여 이동시키는 광원 이송 모듈을 구비할 수 있다.
그리고, 상기 모듈레이터는, 상기 기판과 가까워지는 방향으로 순차적으로, 투광기판과, 상기 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극층과, 상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원으로부터 방출된 광량이 변경되 는 전광물질층을 구비할 수 있다.
한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치는, 상기 광원과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 기판이 안착되는 것으로, 상기 광원으로부터 방출된 빛이 상기 기판에 도달할 수 있도록 투광 소재로 이루어진 기판 지지부재를 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 광원의 크기가 모듈레이터에 대응되도록 작게 형성되어 광원의 휘도의 편차가 현저히 작게 된다. 이에 따라, 광원은 기판방향으로 균일한 빛을 방출하여, 모듈레이터에 균일한 빛이 공급되게 함으로써, 패널의 전극의 불량 유무에 따라 광량의 변화가 일정하게 된다. 그러므로, 검출부는 모듈레이터를 지난 빛의 광량을 측정하여 불량 전극인지 아닌지 정확하게 판단할 수 있으므로, 본 발명의 어레이 테스트 장치는 패널의 불량을 검출하는 과정에서 신뢰성이 높아지게 된다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 광원의 크기가 모듈레이터에 대응되도록 작게 형성되고, 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동된다. 이에 따라, 광원은 테스트될 기판의 특정 영역으로만 빛을 방출하고, 테스트되지 않는 영역으로는 빛을 방출하지 않으므로, 빛을 발광하는데 있어서 전력을 적게 소모하여 적은 비용으로 패널의 불량을 테스트할 수 있다.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(100)는 모듈레이터(110)와, 광원(120)을 구비한다.
모듈레이터(110)는 테스트 될 기판(10)의 일측(도면에서는 상측)에 배치된다. 상기 모듈레이터(110)는 제 1 축을 따라서 이동된다. 여기서 제 1 축은 기판이 모듈레이터(110)를 향하여 이동되는 방향과 직교하는 방향이다. 상기 모듈레이터(110)는 테스트 될 기판(10)과 인접하게 위치하며 기판(10)의 불량 유무에 따라 전기 신호가 인가되면, 특정 물성치가 변경된다. 일예로, 상기 모듈레이터(110)는 테스트될 기판(10)에 형성된 전극이 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되고, 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 기판(10)에 형성된 전극이 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써, 빛이 통과할 수 없게 된다. 이러한 모듈레이터(110)의 일측에 검출부(111)를 배치하고, 상기 검출부(111)로 상기 모듈레이터(110)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판(10)의 전극의 불량 유무를 검출할 수 있다.
광원(120)은 상기 기판(10)의 타측(도면에서는 하측) 방향에서 상기 모듈레이터(110)에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치된다. 즉, 기판(10)을 중심으로, 모듈레이터(110)와 광원(120)은 서로 반대 방향에 배치된다.
그리고, 이러한 광원(120)은 상기 모듈레이터(110)와 대응되는 크기, 즉 상 기 모듈레이터(110)와 동일하거나 약간 큰 크기로 형성되어, 패널의 불량 유무 테스트 시, 상기 기판(10)의 타측 방향에서 상기 모듈레이터(110)와 동일 위치에 위치되도록 이동된다. 즉, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)에 구비된 광원(120)은 모듈레이터(110)와 대응되는 크기로 이루어지므로, 빛을 발광시키는데 필요한 전력을 적게 소모한다. 상기 광원(120)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프 및 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다.
상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는, 광원(120)의 크기가 모듈레이터(110)에 대응되도록 작게 형성되어 광원(120)의 휘도의 편차가 현저히 작게 된다. 이에 따라, 광원(120)은 기판(10)방향으로 균일한 빛을 방출하여, 모듈레이터(110)에 균일한 빛이 공급되게 함으로써, 패널의 전극의 불량 유무에 따라 광량의 변화가 일정하게 된다. 그러므로, 검출부(111)는 모듈레이터(110)를 지난 빛의 광량을 측정하여 불량 전극인지 아닌지 정확하게 판단할 수 있으므로, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 패널의 불량을 검출하는 과정에서 신뢰성이 높아지게 된다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(100)는, 광원(120)의 크기가 모듈레이터(110)에 대응되도록 작게 형성되고, 광원(120)이 모듈레이터(110)와 연동되어 이동된다. 이에 따라, 광원(120)은 테스트될 기판(10)의 특정 영역으로만 빛을 방출하고, 테스트되지 않는 영역으로는 빛을 방출하지 않으므로, 빛을 발광하는데 있어서 전력을 적게 소모하여 적은 비용으로 패널의 불량을 테스트할 수 있다.
한편, 패널의 불량 유무 테스트 시, 상기 광원(120)은 모듈레이터(110)와 동 일한 위치에 위치되는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동되는 것을 도시한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 모듈레이터 이송 모듈(130)과, 광원 이송 모듈(140)을 더 구비할 수 있다.
모듈레이터 이송 모듈(130)은 기판(10)의 진행 방향인 제 2 축 방향(도 2 참조)과 직교하는 제 1 축 방향으로 모듈레이터(110)를 일정 구간마다 이동시킨다. 그리고, 모듈레이터 이송 모듈(130)은 상기 모듈레이터(110)를 상기 일정 구간 마다 일정 시간 동안 기판(10) 상에 머무르게 하여 패널의 불량 여부를 테스트할 수 있게 한다. 모듈레이터 이송 모듈(130)은 상기 방법을 반복 시행함으로써, 기판(10) 전체가 테스트될 수 있게 한다.
광원 이송 모듈(140)은, 상기 광원(120)이 상기 모듈레이터(110)와 연동하여 이동되게 한다. 즉, 광원 이송 모듈(140)은 상기 광원(120)을 상기 모듈레이터(110)들과 동일 방향(제 1 축 방향) 및 동일 거리만큼 이동하게 하여 모듈레이터(110)와 광원(120)이 수직방향(제 3 축 방향, 도 2 참조)으로 항상 나란한 상태를 유지하게 한다.
여기서, 모듈레이터(110)는 광원(120)과 각각 다른 속도로 이동하는 것도 가능하나, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 동일한 속도로 이동되게 하는 것이 더욱 유리하다. 이는, 전극의 불량 유무를 측정하기 위해 모듈레이터(110)와 광원(120)이 수직방향으로 나란하게 위치하였다가, 일정 구간 이동된 다음 모듈레이터(110) 와 광원(120)이 수직방향으로 다시 나란하게 위치 되기까지의 시간을 짧게 함으로써, 전극의 불량 유무를 측정하는 시간을 단축시킬 수 있기 때문이다.
이러한 광원 이송 모듈(140)의 일예로 레일(142)과, 이송판(141)이 될 수 있다.
레일(142)은 상기 기판(10)의 진행 방향인 제 2 축 방향과 직교하는 제 1 축 방향으로 길게 형성된 것이다.
이송판(141)의 일측에는 광원(120)이 결합된다. 상기 이송판(141)은 상기 레일(142)에 제 1 축 방향으로 이동 가능하게 결합된 것이다. 단, 광원 이송 모듈(140)은 레일(142)과 이송판(141)으로 이루어진 것으로 한정하지는 않는다.
이와 같이, 상기 모듈레이터 이송 모듈(130)이 모듈레이터(110)를 이동시키고, 광원 이송 모듈(140)이 광원(120)을 모듈레이터(110)와 동일한 위치에 위치하도록 이동시킴으로써, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 기판(10)에 대해 상대 이동되게 한다. 이에 따라, 테스트 될 기판(10)이 모듈레이터(110)와 광원(120) 사이에 위치하게 되면, 모듈레이터(110)와 광원(120)은 일정 시간 동안 정지하면서 기판(10)의 특정 영역의 불량 유무를 측정하고, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 기판(10)의 다른 영역으로 이동되어 일정 시간 동안 정지하면서 기판(10)의 소정 영역의 불량 유무를 측정한다. 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 이러한 과정을 반복적으로 수행함으로써, 기판(10) 전체의 불량 유무를 테스트한다.
한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 기판 지지부재(150)를 구비할 수 있다. 상기 기판 지지부재(150)는 상기 기판(10)이 안착되는 것으로, 상기 광 원(110)과 기판(10) 사이에 배치된다. 상기 기판 지지부재(150)에는 테스트 될 기판(10)이 안착되어 상기 기판(10)의 전기적 결함이 테스트 될 수 있게 한다. 상기 기판 지지부재(150)는 투광 소재로 이루어진 것이 바람직하다. 이는, 상기 광원(120)으로부터 방출된 빛이 상기 기판(10)을 지나 모듈레이터(110)에 도달할 수 있게 하기 위함이다.
한편, 다시 도 2로 되돌아가서 상기 모듈레이터(110)에 테스트 될 기판(10)이 공급될 수 있도록, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 로딩부(160)와, 언로딩부(160)를 구비할 수 있다.
로딩부(160)는 기판 지지부재(150)의 일측에 형성되어 기판(10)이 상기 기판 지지부재(150)방향으로 이송되게 한다. 이러한 로딩부(160)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(161)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(161)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 될 기판(10)이 이에 안착 또는 소정의 간격으로 이격된 상태에서 모듈레이터(110)로 이동되도록 한다.
언로딩부(160)는 기판 지지부재(150)의 타측에 형성되어 상기 기판 지지부재(150) 상에서 테스트 완료된 기판(10)이 이송되어 언로딩 되도록 한다. 이러한 언로딩부(160)는 상기 테스트 완료된 기판(10)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 하는 언로딩 플레이트(161)를 구비할 수 있다.
이 경우, 상기 로딩부(160)의 로딩 플레이트(161)와, 언로딩부(160)의 언로딩 플레이트(161)에는 소정의 압력을 기판(10)으로 공급하여 상기 기판(10)이 로딩 플레이트(161)에 대해 일정 거리 이격되게 하는 복수의 제 1 및 제 2 공기 홀(162,171)들이 형성될 수 있고, 이와 더불어 로딩부(160) 및 언로딩부(160)에는 상기 기판(10)들을 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착부(163) 및 미도시된 제 2 흡착부가 배치될 수 있다.
그리고, 상기 기판 지지부재(150)에도 제 3 공기 홀(151)들이 형성될 수 있다. 상기 제 3 공기 홀(151)들은 소정의 압력을 기판(10)으로 공급하여, 상기 기판(10)이 이동 시 상기 기판 지지부재(150)에 대해 일정 거리 이격되게 한다. 그리고, 상기 기판 지지부재(150)에는, 테스트 시 기판(10)에 접착되도록 상기 기판(10)들을 흡착하는 적어도 하나의 제 3 흡착부(152)가 배치될 수 있다.
한편, 전술한 모듈레이터(110)의 구조의 일예로, 미도시된 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층을 구비할 수 있다.
여기서, 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층은 기판과 가까워지는 방향을 향하여 순차적으로 형성된 것이다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 모듈레이터가 기판의 상측에 위치한 경우, 상측에서부터 하측으로 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층이 순차적으로 형성된다.
투광기판은 빛이 투과되는 물질로 이루어지는데, 통상적으로 유리(Quartz)나 BK-7 등의 투명 물질로 이루어진다. 이러한, 투광기판의 후면에는 후술할 모듈레이터 전극층과, 전광물질층이 설치된다. 따라서 투광기판은 강성을 가진 소재로 이루어져서, 후술할 모듈레이터 전극층과, 전광물질층을 지지할 수 있게 한다.
모듈레이터 전극층은 상기 기판(10)에 형성된 전극과 전기장을 형성한다. 이러한 모듈레이터 전극층은 빛의 경로가 되므로, 광 투과도가 우수하여야 한다. 이 러한 모듈레이터 전극층의 일예로 ITO(Indium Tin Oxide)이나 CNT(Carbon Nano Tube) 물질 등이 사용될 수 있다.
이러한 모듈레이터 전극층은 일반적인 패널에 형성된 공통전극과 동일한 역할을 한다. 여기서 공통전극은 패널 전극들 사이에 전기장을 형성시키는 역할을 하는 것이다. 이와 마찬가지로 모듈레이터 전극층도 패널 전극과 함께 전기가 인가되어 모듈레이터 전극층과 패널의 전극 사이에 전기장을 형성시킨다. 따라서, 어레이 테스트 장치(100)를 이용하여 패널의 불량 유무를 테스트하는 경우에는 모듈레이터 전극층과 패널 전극에 전원이 공급되면서 전기적으로 연결되게 배치하는 것이 바람직하다.
전광물질층은 상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원(120)으로부터 방출된 광량을 변경시킨다. 더욱 상세하게, 전광물질층은 모듈레이터 전극층과 패널의 전극 사이에 전기장이 형성되면 분자가 전계방향으로 배열되어 분자배열에 따라 빛을 통과시키고, 전기장이 형성되지 않으면 분자가 불규칙적으로 배열되어 빛을 통과시키지 않음으로써, 전기장의 유무에 따라 빛을 선택적으로 통과시켜 소정의 형상이 전광물질층에 형성되게 한다. 이를 위한 전광물질층은 PDLC(Polymer dispersed Liquid Crystal)을 구비할 수 있다. PDLC는 고분자 분산형 액정이라 하며, PDLC는 빛의 투과를 빛의 산란 강도에 따라 제어하는 것을 특징으로 하여 전광물질층으로 사용하기에 적합하다. 하지만 반드시 전광물질층을 이루는 것을 PDLC로 한정하지는 않으며, 무기EL(Electro Luminance), 액정 등 다양한 패널이 사용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장치를 일부 구성 요소만 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동되는 것을 도시한 개략도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 어레이 테스트 장치 110 : 모듈레이터
111 : 검출부 120 : 광원
130 : 모듈레이터 이송 모듈 140 : 광원 이송 모듈
141 : 이송판 142 : 레일
150 : 기판 지지부재 160 : 로딩부
161 : 로딩 플레이트 162,171 : 제 1 및 제 2공기 홀
163 : 제 1 흡착부 170 : 언로딩부
Claims (4)
- 테스트 될 기판의 일측 방향에 배치되고, 제 1 축을 따라서 이동되며, 상기 기판 전극과의 사이에 전기가 인가되며 상기 기판 전극의 정상 또는 불량에 따라 빛이 통과되거나 통과되지 않게 하는 적어도 하나의 모듈레이터;상기 모듈레이터와 대응되는 크기로 형성되고, 상기 기판의 타측 방향에서 상기 모듈레이터 각각에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치되며, 상기 기판의 테스트시 상기 모듈레이터와 동일 위치에 위치되도록 이동되는 적어도 하나의 광원;상기 모듈레이터를 제 1 축으로 이동시키는 모듈레이터 이송 모듈;상기 광원을 상기 모듈레이터와 연동하여 이동시키는 광원 이송 모듈; 및상기 광원과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 기판이 안착되는 것으로, 상기 광원으로부터 방출된 빛이 상기 기판에 도달할 수 있도록 투광 소재로 이루어지며, 상기 기판의 테스트시 상기 기판을 흡착하는 흡착부가 배치된 기판 지지부재;를 구비하는 어레이 테스트 장치.
- 제1항에 있어서,상기 모듈레이터는:상기 기판과 가까워지는 방향으로 순차적으로 형성된 것으로,투광기판;상기 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극층; 및상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원으로부터 방출된 광량이 변경되는 전광물질층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080076203A KR101470591B1 (ko) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | 어레이 테스트 장치 |
TW097147669A TWI391665B (zh) | 2008-08-04 | 2008-12-08 | 陣列測試器 |
CN2008101817758A CN101419373B (zh) | 2008-08-04 | 2008-12-08 | 阵列测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080076203A KR101470591B1 (ko) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | 어레이 테스트 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100015248A KR20100015248A (ko) | 2010-02-12 |
KR101470591B1 true KR101470591B1 (ko) | 2014-12-11 |
Family
ID=40630223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080076203A KR101470591B1 (ko) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | 어레이 테스트 장치 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101470591B1 (ko) |
CN (1) | CN101419373B (ko) |
TW (1) | TWI391665B (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101036112B1 (ko) * | 2009-11-20 | 2011-05-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치 |
KR101052491B1 (ko) * | 2009-12-18 | 2011-07-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101052490B1 (ko) * | 2009-12-31 | 2011-07-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101207029B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2012-11-30 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR101288457B1 (ko) * | 2011-11-08 | 2013-07-26 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR102612272B1 (ko) | 2016-12-15 | 2023-12-11 | 세메스 주식회사 | 프로브 모듈 및 이를 포함하는 어레이 테스트 장치 |
KR102344877B1 (ko) | 2017-03-30 | 2021-12-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
KR102218403B1 (ko) * | 2019-05-14 | 2021-02-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200400962Y1 (ko) * | 2005-08-31 | 2005-11-09 | 주식회사 디이엔티 | 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치 |
KR100748108B1 (ko) * | 2005-02-23 | 2007-08-09 | 참앤씨(주) | 음극선관용 패널의 검사장치 및 그 방법 |
KR20080028592A (ko) * | 2006-09-27 | 2008-04-01 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
KR100822895B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2008-04-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치용 모듈레이터 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002365252A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | マイクロ化学システム |
KR100479525B1 (ko) * | 2002-12-31 | 2005-03-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 다수의 어레이셀을 포함하는 액정표시장치용 기판 및 이의 제조방법 |
US7355418B2 (en) * | 2004-02-12 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | Configurable prober for TFT LCD array test |
JP4443337B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2010-03-31 | 株式会社バンダイナムコゲームス | 表示装置及びゲーム装置 |
JP2006266722A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Olympus Corp | 基板検査システム及び基板検査方法 |
US7859274B2 (en) * | 2006-02-15 | 2010-12-28 | Dongjin Semichem Co., Ltd. | System for testing a flat panel display device and method thereof |
KR100756229B1 (ko) * | 2006-10-26 | 2007-09-07 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
-
2008
- 2008-08-04 KR KR1020080076203A patent/KR101470591B1/ko active IP Right Grant
- 2008-12-08 TW TW097147669A patent/TWI391665B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-12-08 CN CN2008101817758A patent/CN101419373B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100748108B1 (ko) * | 2005-02-23 | 2007-08-09 | 참앤씨(주) | 음극선관용 패널의 검사장치 및 그 방법 |
KR200400962Y1 (ko) * | 2005-08-31 | 2005-11-09 | 주식회사 디이엔티 | 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치 |
KR20080028592A (ko) * | 2006-09-27 | 2008-04-01 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
KR100822895B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2008-04-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치용 모듈레이터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201007168A (en) | 2010-02-16 |
CN101419373B (zh) | 2012-03-21 |
KR20100015248A (ko) | 2010-02-12 |
TWI391665B (zh) | 2013-04-01 |
CN101419373A (zh) | 2009-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101470591B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101036112B1 (ko) | 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치 | |
KR101115874B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
JP2008134238A (ja) | アレイテスト装置 | |
TW201105988A (en) | Array testing apparatus including cleaning unit | |
KR100890282B1 (ko) | 어레이 테스트 장비 | |
KR101089059B1 (ko) | 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치 | |
KR101763619B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
US7227374B2 (en) | LCD inspection apparatus | |
KR100802980B1 (ko) | 액정기판 검사장치 및 검사방법 | |
KR101807195B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101949331B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101115879B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR100932751B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20190071140A (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
JP2008241808A (ja) | 電気光学装置の検査装置及び電気光学装置の検査方法 | |
KR101796593B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20210054635A (ko) | 검사 방법 및 검사 장치 | |
KR101207029B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20120077291A (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR101763622B1 (ko) | 글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치 | |
KR20180069377A (ko) | 프로브 모듈 및 이를 포함하는 어레이 테스트 장치 | |
KR101140257B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR20120007328A (ko) | 어레이 테스트 장치 | |
KR102612275B1 (ko) | 어레이 테스트 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181022 Year of fee payment: 5 |