TWI391665B - 陣列測試器 - Google Patents

Description

陣列測試器 【相關申請案之交互參照】

本申請案主張2008年8月4日申請之韓國專利申請案10-2008-0076203號，其揭露整體結合於此作為參考。

本發明係關於陣列測試器，用以偵測置於基板上之複數個電極之電缺陷。

一般而言，陣列測試器是偵測顯示面板之基板上的電極之缺陷的裝置。顯示面板包含平面板顯示裝置，例如液晶顯示器(LCD)、電漿顯示面板(PDP)、以及有機發光二極體(OLED)。陣列測試器可量測置於液晶顯示面板之薄膜電晶體(TFT)基板上之電極的缺陷。一般的TFTLCD基板包含TFT基板、彩色濾光片及共用電極形成於其上且面對TFT基板之彩色基板、插入於TFT基板及彩色基板間之液晶、以及背光單元。

圖1為部份習知陣列測試器之示意圖。參考圖1，陣列測試器包含複數個調變器10、複數個偵測單元20、光源30、以及基板支撐單元40。

各調變器10比光源30小，且移動預定距離。

各偵測單元20設置於各調變器10的上部，且量測通過調變器10的光量。

光源30放置於基板的下部，且朝調變器10發射光。光源30形成為沿調變器10移動方向之單一單元。光源30發射光，使得所發射的光透過基板。光源30的寬度可與基板的寬度相同或更大。

基板支撐單元40插置於光源30與基板之間。基板支撐單元40具有類似於光源30的尺寸，且安置於待測基板上。基板支撐單元40由透明材料製成，且容許光源30發射的光擴散地散射到供基板支撐單元40安置的整個基板上。

在習知具有上述結構之陣列測試器測試基板時，當調變器10移動到基板的特定區域時，調變器10停止移動一段預定時間，而光源30發射光到基板來檢查基板是否有缺陷存在。

近來，隨著光電形成技術的發展，使用更寬的基板來製造平面板顯示裝置。因此，為了測試在這樣寬的基板上之電極，陣列測試器所含的光源必須依照基板尺寸增加的比例來加大。

典型地，光源30包含燈以及將燈發出的光擴散之擴散板，若擴散板的尺寸比較小時，燈所在位置的部分與燈不在的其他區域間之亮度差異增加程度較小，因此亮度差異不會顯著影響面板缺陷的偵測，但是當擴散板的尺寸變得更大時，燈所在位置的區域與燈不在的區域間之亮度差異增加的程度較大。結果，無法均勻地提供光到調變器10，因此降低了面板缺陷偵測的可靠度。

再者，光源30不僅發射光到調變器10測試的區域，亦發射光到調變器10未測試的區域。因此，當執行面板缺陷是否存在之測試時，消耗了不必要的功率。

揭露一種陣列測試器，其具有藉由光源發射均勻的光而增加面板缺陷測試可靠度之結構。再者，揭露一種具有容許僅發射光至調變器之結構之陣列測試器。

根據本發明之一方面，揭露一種陣列測試器，包含：至少一調變器，置於待測試之基板之一側，且沿第一軸移動；以及至少一光源，具有對應調變器尺寸之尺寸，設置成一個接一個地對應調變器，以及當於基板執行測試時，發射光到對應的調變器，且移動到與調變器相同之位置。

參考本發明以下詳細說明及伴隨圖式，揭露本發明之例示實施例，使熟此技藝者清楚本發明其他特徵。

提供以下說明以助於讀者了解於此所述之方法、裝置、及/或系統。因此，熟此技藝者應了解於此所述之系統、裝置、及/或方法有各種變化、修改、及均等物。再者，為增加清楚性及簡潔性，省略熟知功能及結構之說明。

圖2為根據例示實施例之陣列測試器100之透視圖。參考圖2，陣列測試器100包含複數個調變器110及複數個光源120。

各調變器110設置於待測基板101之一側(圖2基板101之上部)。調變器110沿第一軸移動。第一軸垂直於基板101朝調變器110移動之移動方向。調變器110放置於靠近待測基板101，且若施加根據基板101是否有缺陷存在之電訊號到調變器110時，調變器110之特定性質會改變。舉例而言，若待測基板101的電極為正常時，電場形成於調變器110內，且調變器110的分子由於電場被排列於特定方向，而容許光通過調變器110。另一方面，若基板101的電極具有缺陷時，調變器110內沒有電場形成，因此不會改變分子排列，結果使得光不會通過調變器110。偵測單元111置於調變器110之一側，且偵測單元111量測調變器110改變的性質，來偵測基板101之電極是否有缺陷存在。

各光源120設置於基板101另一側(圖2基板101之下部)，以面對各調變器110且發射光到各調變器110。亦即，基於基板101，調變器110與光源120彼此相對設置。

各光源120具有對應調變器110尺寸之尺寸，亦即相同或略大於調變器110之尺寸，且當測試面板是否有缺陷存在時，從基板101之另一方向移動到與調變器110相同的位置。陣列測試器100所包含之光源120具有對應調變器110之尺寸，且僅消耗小量的功率來發射光。從光源120發射的光可為從氙燈、鈉燈、水晶鹵素燈、或雷射所發出的光。

根據本發明例示實施例之陣列測試器100之光源120具有對應調變器110尺寸之尺寸，使得光源120及調變器110間之亮度差異可顯著地小。因此，光源120朝基板101射出均勻的光，以提供調變器110此均勻的光，而根據面板電極是否有缺陷一致地改變光的量。因此，偵測單元111量測通過調變器110之光量，來決定對應電極是否有缺陷，藉此加強陣列測試器100之面板缺陷偵測之可靠度。

再者，陣列測試器100之各光源120具有如調變器110尺寸一樣小的尺寸，且光源120耦接調變器110並一起移動。結果，光源120發射光到待測基板101之特定區域，而不會發射光到基板101意想不到的區域，藉此能以消耗小量功率來偵測面板缺陷。

於偵測面板是否有缺陷時，光源120可位於與調變器110相同的位置。

圖3為根據例示實施例具有光源配合調變器移動之陣列測試器之截面圖。參考圖3，除了圖2所示之元件外，陣列測試器更包含調變器移動模組130及光源移動模組140。

調變器移動模組130朝與基板101沿著移動之第二軸垂直之第一軸(參考圖2)，將調變器110移動預定距離。然後調變器移動模組130容許調變器110於預定距離停在基板上一段預定時間，以偵測面板是否有缺陷。調變器移動模組130重複上述操作，以測試整個基板101。

光源移動模組140容許光源120結合調變器110移動。具體而言，光源移動模組140容許光源120移動於與調變器110相同的方向(第一軸方向)及相同的距離，使得調變器110及光源120於垂直方向(圖2之第三軸方向)繼續地彼此面對。

於此，雖然調變器110可以不同於光源120之速度移動，但是使調變器110及光源120以相同速度移動有其優勢。將調變器110及光源120配置成彼此面對，可降低將調變器110及光源120配置成彼此面對之時間，因此亦可降低偵測電極是否有缺陷之時間。

光移動模組140包含軌道142及移動板141。

軌道142沿著與基板101沿其移動之第二軸垂直之第一軸延伸。

移動板141連接光源120。移動板141於第一軸方向可移動地連接軌道142。然而，光源移動模組140的結構不限於軌道142及移動板141。

調變器移動模組130移動調變器110，而光源移動模組140移動光源120到與調變器110相同位置，使得調變器110及光源120相對於基板101移動。因此，當待測基板101放置於調變器110及光源120之間時，調變器110及光源120停止移動一段預定時間，而各調變器110及對應的光源120偵測基板101之特定區域中是否有缺陷。然後，在預定時間後，調變器110及光源120移動到基板101的另一區域，且停止移動以偵測基板的這個區域中是否有缺陷。陣列測試器100重複這樣的操作來測試整個基板101。

陣列測試器100可包含基板支撐單元150。基板支撐單元150安置於基板101上，且插置於光源120及基板101之間。基板支撐單元150上供待測基板101安置，測試基板101是否有任何電缺陷。基板支撐單元150可由透明材料製成，因為透明材料可容許光源120發出的光通過基板101而到達調變器110。

再次參考圖2，根據例示實施例之陣列測試器100，包含裝載單元160及卸載單元170，用以將基板101饋送到調變器110來測試。

裝載單元160形成於基板支撐單元150的一側，並朝基板支撐單元150傳送基板101。此外，裝載單元160可包含至少兩個或更多裝載板161。裝載板161以間隔相間配置成一線，使得基板101可安置於裝載板161上，或可以相隔的裝載板161移動到調變器110。

卸載單元170形成於基板支撐單元150中設置裝載單元160之另一側，且將完成缺陷偵測測試的基板101卸下。完成缺陷偵測測試的基板101安置於卸載板171上或以預定間隙漂浮於卸載板171上而移動。

於此案例中，裝載單元160之裝載板161及卸載單元170之卸載板171，可包含複數個第一氣孔162及第二氣孔172，分別提供基板101預定壓力，使得基板101與裝載板161相距預定距離。再者，裝載單元160及卸載單元170可包含至少一第一抽吸單元163及第二抽吸單元(未顯示於圖2)。

再者，基板支撐單元150可包含複數個第三氣孔151。第三氣孔151提供基板101預定量的壓力，使得基板101在移動時與基板支撐單元150相距預定距離。此外，基板支撐單元150可包含至少一第三抽吸單元152，用以在執行測試時固定基板101。

於另一實施例，雖然未顯示於圖式中，但調變器110可包含透光基板、調變器電極層、以及電材料層。

透光基板、調變器電極層、以及電材料層以距離基板由遠到近之順序配置。亦即，如圖3所示，當調變器置於基板101上方時，透光基板、調變器電極層、以及電材料層由上向下形成。

透光基板由可讓光通過之材料形成，且此材料一般為透明物質，例如石英及BK-7。透明基板之背面具有調變器電極層，而將於後說明調變器電極層。因此，透光基板由剛性材料形成，以支撐調變器電極層及電材料層。

調變器電極層形成電極及電磁場，其形成於基板101上。由於調變器電極層變成光路徑，其需要有良好的透光率。調變器電極層之範例可包含氧化銦錫(ITO)或碳奈米管(CNT)。

調變器電極層作用如同形成於一般面板上之共用電極。共用電極在面板電極間產生電磁場。以相同方式，施加功率到調變器電極層及面板電極，而於調變器電極層及面板電極間產生電磁場。因此，當陣列測試器100測試面板是否有缺陷時，藉由供應功率可使調變器電極層及面板電極彼此電連接。

電材料層根據電磁場的大小改變光源發射光的量。具體而言，當有電磁場產生時，電材料層的分子排列於電場方向，而讓光通過電材料層。選替地，當無電場產生時。電材料層的分子不規則地排列，使電材料層不容許光通過。亦即，根據是否有電磁場來選擇性地容許光通過，而在電材料層產生預定形式。電材料層可包含聚合物分散液晶(PDLC)，聚合物分散液晶根據光散射的程度來調節透光率，而由於聚合物分散液晶這樣的特性適合用於電材料層。然而，電材料層之材料不限於聚合物分散液晶，且可使用各種類型的面板，包含無機電激發光(EL)及液晶。

熟此技術領域者應明瞭在不悖離本發明之精神與範疇下可有各種修改及變化。因此本發明意欲涵蓋所述申請專利範圍之範疇及其均等物所提供之各種變化及修改。

10．．．調變器

20．．．偵測單元

30．．．光源

40．．．基板支撐單元

100．．．陣列測試器

101．．．基板

110．．．調變器

111．．．偵測單元

120．．．光源

130．．．調變器移動模組

140．．．光源移動模組

141．．．移動板

142．．．軌道

150．．．基板支撐單元

151．．．第三氣孔

152．．．第三抽吸單元

160．．．裝載單元

161．．．裝載板

162．．．第一氣孔

163．．．第一抽吸單元

170．．．卸載單元

171．．．卸載板

172．．．第二氣孔

圖1為部份習知陣列測試器之示意圖。

圖2為根據例示實施例之陣列測試器之透視圖。

圖3為根據例示實施例具有光源配合調變器移動之陣列測試器之截面圖。

10．．．基板

100．．．陣列測試器

110．．．調變器

111．．．偵測單元

120．．．光源

130．．．調變器移動模組

140．．．光源移動模組

141．．．移動板

142．．．軌道

160．．．裝載單元

161．．．裝載板

162．．．第一氣孔

163．．．第一抽吸單元

170．．．卸載單元

171．．．卸載板

Claims (4)

1. 一種陣列測試器，包含：至少一調變器，置於待測試之一基板之一側，且沿一第一軸移動，其中該基板沿著一移動方向朝向該調變器移動，且該第一軸垂直於該移動方向；以及至少一光源，具有一尺寸對應該調變器之尺寸，設置成一個接一個地對應該調變器，以及當於該基板執行一測試時，發射光到該對應的調變器，且移動到與該調變器相同之位置，其中該光源朝向該基板射出均勻的光，以提供該調變器該均勻的光。
2. 如請求項1所述之陣列測試器，更包含：一調變器移動模組，沿該第一軸移動該調變器；以及一光源移動模組，配合該調變器移動該光源。
3. 如請求項1所述之陣列測試器，其中該調變器包含一透光基板、一調變器電極層，其具有一電磁場產生於其本身與形成在該基板上之電極之間、以及一電材料層，其根據該電磁場的大小改變自該光源所發射之光的量，且該透光基板、該調變器電極層、以及該電材料層以距離該基板由遠到近之順序配置。
4. 如請求項1所述之陣列測試器，更包含：一基板支撐單元，插置於該光源及該基板之間，並安置於該基板上，且由一透明材料製成，以容許自該光源發射的光到該基板。