KR20080074560A - 어레이 테스트 장비 - Google Patents

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KR20080074560A KR1020070013861A KR20070013861A KR20080074560A KR 20080074560 A KR20080074560 A KR 20080074560A KR 1020070013861 A KR1020070013861 A KR 1020070013861A KR 20070013861 A KR20070013861 A KR 20070013861A KR 20080074560 A KR20080074560 A KR 20080074560A
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Abstract

본 발명은 어레이 테스트 장비를 개시한다. 본 발명의 어레이 테스트 장비는: 테스트 받을 패널이 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩부에서 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부와; 상기 로딩부 및 테스트부 중 적어도 하나에 설치되며, 상기 패널의 정렬 여부를 판단하는 정렬 판단부와; 상기 패널을 하부로부터 지지한 채로 상기 로딩부로부터 테스트부로 이송시키며, 상기 정렬 판단부의 판단에 따라서 상기 패널을 정렬하는 이동 정렬 모듈을 구비하고, 상기 이동 정렬 모듈은: 상기 로딩부에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된 적어도 두개의 가이드 레일과; 상기 가이드 레일과 동일한 방향을 가진 제1축 방향과, 상기 제1축 방향과 교차하는 제2축 방향으로 이동 가능하게 각각의 가이드 레일마다 설치된 적어도 두 개의 패널 이동 부재들을 구비한다.

Description

어레이 테스트 장비{Array tester}
도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에서 패널 이송 어셈블리를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 A부를 확대 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 패널 이동 부재를 분해 도시한 분해 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 패널 이송 어셈블리의 패널 회전 기구를 도시한 평면도들이다.
도 7은 도 3에서 테스트 모듈을 도시한 개념도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
2: 패널 5: 패널 전극
7: 얼라인 마크 110: 로딩부
112: 로딩 플레이트 114: 블로잉 홀
117: 정렬 홀 120: 테스트부
122: 테스트 플레이트 130: 언로딩부
132: 언로딩 플레이트 150: 테스트 모듈
151: 광원 152: 모듈레이터
152a: 모듈레이터 입사면 152b: 모듈레이터 출사면
154: 전광 물질층 155: 모듈레이터 전극층
157: 결함 검출부 160: 패널 이송 어셈블리
162: 가이드 레일 164: 제1 이동 부재
166: 흡착 블록 167: 흡착 홀
168: 제2 이동 부재 170: 정렬 판단부
172: 촬영부
본 발명은 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 평판 디스플레이 패널과 같은 패널의 전기적 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.
평판 디스플레이 패널에는, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT LCD 기판은, 하부 기판 상에 TFT가 형성된 TFT 패널과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 패널과 대향 배치된 필터 패널과, 상기 TFT 패널과 필터 패널 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다.
상기 TFT 패널과 같은 패널의 결함은 어레이 테스트 장비에 의하여 검사된다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 어레이 테스트 장비(10)는 테스트 베이스(20)와, 패널 안착판(30)과, 모듈 이동 기구(40)와, 테스트 모듈(50)을 구비한다. 패널 안착판(30)은 테스트 베이스(20)에 설치되어서, 테스트 받을 적어도 하나 이상의 패널(2)을 하측으로부터 지지한다. 이 경우 후술할 테스트 모듈(50)은 그 구성요소들이 모두 패널 안착판(30)의 일측 방향에 위치하므로, 상기 패널 안착판(30)은 투명한 소재로 이루어지지 않는다.
테스트 모듈(50)은 패널(2)의 전극들의 결함을 검출한다.
모듈 이동 기구(40)는 상기 테스트 베이스(20)에 설치되어서 테스트 모듈(50)을 수평 이동시키는 기능을 한다. 이 경우 상기 모듈 이동 기구(40)는 X축 겐트리(42) 및 Y축 겐트리(44)를 구비한다. Y축 겐트리(44)는 상기 테스트 베이스(20)의 양측부에서 Y축 방향으로 연장되도록 설치되고, X축 겐트리(42)는 그 양단부가 상기 Y축 겐트리(44)들에 결합되어서 전체적으로 X축 방향으로 연장 형성된다. 따라서 상기 X축 겐트리(42)는 상기 Y축 겐트리(44)를 따라서 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이 경우 테스트 모듈(50)은 상기 X축 겐트리(42)에 X축 방향으로 이동가능하게 결합된다.
즉, 패널(2)은 고정된 채로, 테스트 모듈(50)이 X, Y축으로 이동하면서 패널의 결함 여부를 검출한다. 이로 인하여, 테스트 모듈이 이동하면서 진동이 발생하게 되고, 상기 발생으로 인하여 미세입자들이 상기 패널 상에 떨어지는 문제가 발생한다.
이와 더불어, 상기 패널(2)을 상기 패널 안착부(30)에 로딩하거나 상기 패널 안착부(30)로부터 언로딩하는 작업이 상기 패널을 테스트하는 작업과 동시에 행해지기 어렵다. 또한, 패널(2)이 패널 안착부(30)에 로딩하거나 패널 안착부(30)로부터 언로딩하는 경우, 상기 테스트 모듈(50)이 방해가 되지 않는 위치에 있어야 한다. 이로 인하여 상기 어레이 테스트 장비의 테스트 시간이 증가하게 된다는 문제점이 있다.
한편, 상기 패널은 정확히 정렬이 된 상태에서 테스트 모듈에 의하여 테스트를 받아야 한다. 종래에는 상기 패널이 패널 안착판에 움직이지 않으며 고정되어 있으므로, 패널 대신 테스트 모듈이 이동되면서 패널에 맞추어 정렬하게 된다.
따라서 테스트 모듈이 패널과 정렬하기 위한 이동 시간이 증가하게 되고, 테스트 모듈이 이동함으로 인하여 발생하는 진동이 심하게 되며, 상기 발생으로 인하여 미세입자들이 상기 패널 상에 떨어지는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기 문제점을 포함하는 여러 문제점을 해결하기 위한 것으로, 테스트 장비의 테스트 시간을 감축시킬 수 있고, 테스트 모듈을 구성하는 구성요소간의 정렬이 어긋나지 않는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 패널의 결함을 검출하기 위하여 테스트 모듈이 이동하지 않거나, 최소한의 거리를 이동하는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 패널의 정렬을 간단하고 정확하게 할 수 있는 구 조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.
따라서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비는: 테스트 받을 패널이 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩부에서 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부와; 상기 로딩부 및 테스트부 중 적어도 하나에 설치되며, 상기 패널의 정렬 여부를 판단하는 정렬 판단부와; 상기 패널을 하부로부터 지지한 채로 상기 로딩부로부터 테스트부로 이송시키며, 상기 정렬 판단부의 판단에 따라서 상기 패널을 정렬하는 이동 정렬 모듈을 구비하고, 상기 이동 정렬 모듈은: 상기 로딩부에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된 적어도 두개의 가이드 레일과; 상기 가이드 레일과 동일한 방향을 가진 제1축 방향과, 상기 제1축과 교차하는 제2축 방향으로 이동 가능하게 각각의 가이드 레일마다 설치된 적어도 두 개의 패널 이동 부재들을 구비한다.
이 경우, 상기 패널 이동 부재들은 각각: 상기 가이드 레일 각각을 따라서 제1축 방향으로 이동 가능하게 상기 가이드 레일에 결합된 제1 이동 부재들과; 상기 제1 이동 부재들 각각을 제1축 방향으로 이동 구동하는 제1 구동 부재들과; 상기 제1 이동 부재들에 제2축 방향으로 이동 가능하게 결합된 제2 이동 부재들과; 상기 제2 이동 부재들에 결합된 흡착 블록들을 구비하고, 상기 패널 이동 부재들 중 적어도 하나는, 상기 제2 이동 부재를 제2축 방향으로 이동 구동하는 제2 구동 부재를 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 레일들 및 패널 이동 부재들은 로딩부의 중심을 기준으로 좌우에 2개가 설치되고, 상기 패널 이동 부재 중 하나에 상기 제2 구동 부재가 구비되며, 다른 패널 이동 부재에 구비된 제2 이동 부재는 제2축 방향으로 자유 이동 가능하도록 상기 제1 이동 부재에 결합된 것이 바람직하다.
한편, 상기 가이드 레일은 LM 가이드(linear motion guide) 레일이고, 상기 제1 이동 부재는 상기 LM 가이드 레일을 따라서 이동하는 런너 블록일 수 있다.
상기 제2 구동 부재는, 상기 제1 이동 부재에 설치된 스테핑 모터를 구비하고, 상기 제2 이동 부재는 상기 스테핑 모터와 볼스크류 결합될 수 있다.
이 경우, 상기 흡착 블록에는, 상기 흡착 블록을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀이 형성되고, 상기 흡착 홀에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 흡착 블록은 승, 하강 가능하도록 상기 제2 이동 부재에 결합되며, 상기 패널 이동 부재는, 상기 흡착 블록을 승하강 구동하는 승하강 구동 부재를 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 로딩부는: 상기 가이드 레일과 인접하여 설치되며, 상기 패널이 그 상측에 위치하며, 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀들이 형성된 복수의 로딩 플레이트와; 상기 블로잉 홀들을 통하여 상기 로딩 플레이트의 상측으로 정압을 공급하는 정압 공급 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 테스트부는: 적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어 상기 패널이 그 상측에서 테스트 받으며, 투광 소재의 테스트 플레이트와; 상기 테스트 플레이트 상측에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비하여, 상기 광원으로부터 발생한 빛이 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 테스트 모듈을 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 정렬 판단부는: 상기 로딩부 및 테스트부 중 적어도 하나에, 적어도 두 지점에 배치되는 촬영부와; 상기 촬영부의 촬영 신호를 전달받아서 상기 패널의 정렬 여부를 판단하는 중앙 처리부를 구비하는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 로딩부는, 상기 가이드 레일과 인접하여 설치되며, 상기 패널이 그 상측에 위치하며, 상기 패널의 얼라인 마크와 대응되는 위치에 정렬 홀이 배치된 적어도 하나의 로딩 플레이트를 구비하고, 상기 촬영부는 상기 정렬 홀 하측에 배치되는 것이 바람직하다.
이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 사시도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장비(100)란 패널(2)에 형성된 패널 전극(5; 도 7 참조)들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다. 이 경우, 패널(2)이란 전광기기에 구비된 패널일 수 있으며, 예를 들어 TFT LCD 기판 중 TFT가 형성된 TFT 패널일 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 로딩부(110)와, 테스트부(120)와, 적어도 두 개의 정렬 촬영 장치(170) 와, 이동 정렬 모듈(160)을 구비한다.
로딩부(110)에는 테스트 받을 패널(2)이 로딩된다. 상기 로딩부(110)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(112)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 로딩 플레이트(112)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 받을 패널(2)이 그 상측에 로딩된다. 상기 로딩 플레이트(112)는 상기 테스트될 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 테스트부(120)로 이동되도록 한다.
상기 로딩 플레이트(112)에는 상기 로딩 플레이트(112)의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀(114)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는, 상기 블로잉 홀(114)들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하여 상기 패널이 상기 로딩 플레이트(112)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.
테스트부(120)는 상기 로딩부(110)의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 부(110)를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트된다. 상기 테스트부(120)는, 투광 소재로 이루어진 테스트 플레이트(122) 및 상기 테스트 플레이트(122) 상에 배치된 패널의 오류 여부를 검출하는 테스트 모듈(150)을 구비할 수 있다. 상기 테스트 모듈(150)에 대해서는 후에 상세히 설명한다.
정렬 판단부(170)는 상기 로딩부(110) 및 테스트부(120) 중 적어도 하나에 설치되며, 상기 패널(2)의 정렬 여부를 판단한다.
상기 정렬 판단부(170)는 촬영부(172)들과, 중앙 처리부(미도시)를 구비할 수 있다. 촬영부(172)들은 상기 로딩부(110) 및 테스트부(120) 중 적어도 하나에 배치되어서 패널(2)의 정렬 상태를 촬영한다. 중앙 처리부는 상기 촬영부(172)의 촬영 신호를 전달받아서 상기 패널의 정렬 여부를 판단한다.
이 경우 상기 촬영부(172)들은 로딩부(110) 및 테스트부(120)에 각각 배치될 수 있다.
또한 상기 촬영부(172)들은 로딩부(110)의 복수 군데에 설치될 수도 있다. 이 경우 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 촬영부(172)들이 상기 로딩부의 대각선 방향에 각각 설치될 수 있다. 이 경우 상기 촬영부(172)가 상기 패널의 얼라인 마크(align mark)(8; 도 3 참조) 하측에 배치될 수 있다. 만약 상기 로딩부(110)에 로딩 플레이트(112)가 구비되어 있다면, 상기 촬영부(172)는 상기 로딩 플레이트(112) 하측에 배치될 수 있다. 이 경우 상기 로딩 플레이트(112)의 상기 촬영부(172)에 대응되는 부분에는 정렬 홀(117)이 형성될 수 있다. 상기 정렬 홀(117)은 상기 패널에 형성된 얼라인 마크(8; 도 3참조)와 동일한 위치에 배치되도록 하여서 상기 패널(2)이 올바른 정렬이 이루어지도록 한다. 상기 촬영부(172)는 상기 패널의 상측에 배치될 수도 있으며, 이 경우에는 로딩 플레이트에 정렬 홀(117)이 불필요하다.
한편, 상기 촬영부(172)의 위치는 상기한 위치에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어서, 상기 촬영부(172)들은 테스트부(120)의 복수 군데에 설치될 수도 있다. 이 경우 상기 촬영부(172)들이 상기 촬영부(172)의 대각선 방향에 각각 설치될 수 있다. 상기 촬영부(172)가 대각선 방향으로 설치됨으로써 상기 패널의 비틀어짐 여부까지도 판단할 수 있게 된다.
이동 정렬 모듈(160)은 상기 패널(2)을 하부로부터 지지한 채로 상기 로딩부로부터 테스트부로 이송시키는 기능과 함께, 상기 패널(2)을 정렬하는 기능을 한다.
상기 이동 정렬 모듈(160)은 적어도 두 개의 가이드 레일(162)들과, 적어도 두 개의 패널 이동 부재(163)들을 구비할 수 있다. 상기 가이드 레일(162)들은 상기 로딩부(110)에 상기 패널(2)의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된다. 상기 가이드 레일 각각에 패널 이동 부재가(163) 설치된다. 이 경우 상기 패널 이동 부재(163)는 상기 가이드 레일(162)과 동일한 방향을 가진 제1축(도 2에서는 Y축) 방향과, 상기 제1축 방향과 교차하는 제2축(도 2에서는 X축) 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
도 3은 도 2 중 로딩부(110)에서 로딩 플레이트(112)를 제외한 이동 정렬 모듈(160) 및 정렬 판단부(170)를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 A부를 확대 도시한 사시도이며, 도 5는 도 4의 패널 이동 부재(163)를 분해 도시한 분해 사시도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 패널 이동 부재(163)는 제1 이동 부재(164)와, 제2 이동 부재(168)와, 흡착 블록(166)을 구비할 수 있다. 가이드 레일(162)은 상기 로딩 플레이트(112)들 사이에 상기 패널(2)의 진행 방향과 나란한 제1축(도 3에서는 Y축) 방향으로 설치된다. 제1 이동 부재(164)는 상기 가이드 레일(162)을 따라서 이동 가능하게 설치된다. 이 경우 가이드 레일(162)은 LM(liner motion) 가이드 레일이고, 제1 이동 부재(164)는 상기 LM 가이드 레일 상에 배치된 런너 블록일 수 있으며, 따라서 상기 가이드 레일 및 제1 이동 부재는 LM 가이드 결합되어 있을 수 있다. 이로 인하여 이동 정렬 모듈(160)이 패널을 정확한 위치로 이동 시킬 수 있다.
제2 이동 부재(168)는 상기 제1 이동 부재(164)에 결합된 것으로, 제2축 방향으로 소정 거리만큼 이동 가능할 수 있도록 배치된다. 이 경우, 상기 패널 이동 부재(163) 중 적어도 하나는 제2 구동 부재(172)를 더 구비할 수 있다. 상기 제2 구동 부재(172)는 상기 제2 이동 부재(168)를 제2축 방향으로 이동 구동한다. 본 발명에는 제2 이동 부재(168) 각각을 구동하도록, 상기 제2 이동 부재(168) 각각과 결합된 복수의 제2 구동 부재(172)들을 구비할 수 있다.
이와 달리 본 발명은 하나의 제2 구동 부재(162)들을 구비할 수도 있다. 이 경우, 제2 구동 부재(172)에 의하여 제2축 방향으로 구동되지 않는 제2 이동 부재(168)들은 제2축 방향으로는 자유 운동(free motion) 가능하도록 제1 이동 부재(164)에 결합될 수 있다. 따라서 상기 패널(2)이 제2 이동 부재(168)의 흡착 블록(166)에 안착된 채로, 제2 구동 부재(163)가 제2 이동 부재(168)를 제2축 방향으로 이동되도록 구동시키면, 상기 패널(2)이 제2축 방향으로 이동되고 이와 함께 제2축 방향으로 자유 운동하는 다른 제2 이동 부재(168) 또한 제2축 방향으로 이동될 수 있다.
이 경우 특히 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2 구동 부재(163)는 상기 제1 이동 부재에 설치된 스테핑 모터(173)를 구비하고, 상기 제2 이동 부재(168)는 상기 스테핑 모터(173)와 볼스크류 결합될 수 있다.
즉, 제2 구동 부재(168)는 스테핑 모터(173)와 함께, 상기 스테핑 모터(173) 에 결합되며 제2축 방향으로 연장 형성되고 상기 스테핑 모터(173)의 구동력에 의하여 회전하는 구동축(174)과, 상기 구동축(174)에 결합되어 상기 구동축(174)이 회전함에 따라서 전진 또는 후진하는 것으로 그 일측이 상기 제2 이동 부재(168)에 결합되는 볼 스크류(175)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 이동 부재(164)에는 제2 이동 부재(168)의 이동을 가이드 하는 LM 스케일(linear scale)(165)을 구비할 수 있다.
상기 볼 스크류 장치는 LM 가이드 장치에 비하여 저가이면서, 제2 이동 부재의 위치제어가 간단하고 정확하게 된다는 장점이 있다.
그러나 본 발명은 제2 구동 부재(172)가 볼 스크류 장치인 것에 한정되지 않으며, LM 가이드 장치나 실린더 장치 등의 다른 직동 장치일 수도 있다.
흡착 블록(166)은 상기 제2 이동 부재(168)에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착한다.
따라서 로딩 플레이트(112) 상에 테스트용 패널(2)이 로딩되면, 흡착 블록(166)이 상기 패널을 하측에서 접하면서 지지한다. 이 상태에서 상기 제1 이동 부재(164)가 가이드 레일(162)을 따라서 이동하게 되고 이로 인하여 흡착판이 제1축 방향으로 이동하면서 상기 패널을 테스트부(120)로 이동시킨다. 이와 함께, 제2 이동 부재(168)가 제2축 방향으로 이동함에 따라서 흡착판(166)이 제2축 방향으로 이동 하게 된다. 따라서 상기 흡착 블록(166)에 지지된 패널이 제1축 및 제2축 방향으로 이동 가능하게 된다. 상기 패널이 제1축 및 제2축 방향으로 이동 가능하게 됨으로써, 패널을 정확한 위치에 정렬하는 것이 흡착 블록(166)을 통하여 가능 하게 된다.
한편, 상기 흡착 블록(166)은 승, 하강 가능하도록 상기 제2 이동 부재(168)에 결합되며, 상기 패널 이동 부재(163)는, 상기 흡착 블록(166)을 승하강 구동하는 승하강 구동 부재(180)를 더 구비할 수 있다. 상기 승하강 구동 부재(180)는 특히 도 5에 도시된 바와 같이, 실린더(182)와, 피스톤 로더(183)를 구비한 실린더 장치일 수 있다. 상기 실린더(182)는 상기 제2 이동 부재(168)에 결합된다. 상기 피스톤 로더(183)는 상기 실린더(182)의 내측 공간에 승하강하게 배치된 피스톤과, 피스톤으로부터 상측으로 연장 배치되며 그 일측이 상기 흡착 블록(166)과 결합되는 상하에 걸쳐 연장 배치된 로더를 구비한다. 이 경우 상기 흡착 블록과 피스톤 로더 사이에 베어링(184)이 개재될 수 있다.
상기 승하강 구동 부재(180)는, 로딩 플레이트 상에 부양되어 있는 패널 방향으로 상기 흡착 블록을 상승시켜서 상기 패널을 지지하도록 하고, 흡착 블록이 패널을 지지할 필요가 없는 경우에는 상기 흡착 블록(166)을 소정의 거리만큼 하강시키도록 한다.
상기 흡착 블록(166)에는, 상기 흡착 블록(166)을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀(167)이 형성될 수 있다. 이 경우, 이동 정렬 모듈(160)은, 상기 흡착 홀(167)에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 흡착 블록은 고무 재질로 이루어질 수 있다.
다시 도 2로 되돌아가서, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장비는 언로딩부(130)를 더 구비할 수 있다. 언로딩부(130)는 상기 테스트부(120) 일측에 배치 되며 상기 테스트 완료된 패널(2)이 상기 테스트부(120)로부터 여기로 이송되어 언로딩된다. 이 경우 언로딩부(130)는 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 한다.
상기 언로딩부(130)는 적어도 두 개 이상의 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 완료된 패널이 그 상측에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 이동 정렬 모듈(160)은 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에도 배치될 수도 있다. 즉, 가이드 레일(162)이 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치되고, 제1 이동 부재(164)는 상기 가이드 레일(162)을 따라서 이동 가능하게 설치되며, 흡착 블록(166)이 상기 제1 이동 부재(164) 상측에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착하도록 배치될 수 있다. 이로 인하여 로딩부(110)에 배치된 이동 정렬 모듈(160)이 패널을 흡착하여 테스트부(120)로 이동시키고, 상기 테스트부(120)로부터 언로딩부(130)로는 언로딩부(130)에 배치된 이동 정렬 모듈(160)이 패널을 이동시킬 수 있게 된다.
이로 인하여 패널을 테스트부(120)로 이동시키는 작업과, 테스트 완료된 패널을 언로딩부(130)로 이동시키는 작업을 연동하여 실시할 수 있으며, 결과적으로 상기 어레이 테스트 장비의 작업 속도가 증가하게 된다.
이와 함께, 상기 언로딩 플레이트(132)에도 상기 언로딩 플레이트(132)의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀(134)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비는, 상기 언로딩 플레이트에 형성된 블로잉 홀(134)들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하여 상기 패널이 상기 언로딩 플레이트(132)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.
따라서 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132)의 블로잉 홀(114, 134)을 통한 정압 유체에 의하여 패널이 상기 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132) 상측에 부양되고, 이 상태에서 흡착 블록(166)에 지지된 채로 제1축 방향을 따라서 이동하게 된다. 본 발명에 의하면 상기 패널이 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132)에 접하지 않은 상태에서 이동되므로, 패널과 로딩 플레이트(112) 또는 패널(2)과 언로딩 플레이트(132) 간의 접촉 저항력이 발생하지 않는다. 이로 인하여 흡착 블록(166)이 작은 힘을 가지고도 상기 패널을 이동시킬 수 있다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 로딩 플레이트(112) 3개 이상이 나란히 배치되고, 각각의 이동 정렬 모듈(160)이, 서로 인접하는 로딩 플레이트(112) 사이 중 적어도 2영역에 배치될 수 있다. 즉, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 로딩부(110) 좌측에 제1패널 이송 어셈블리(160a)가 배치되고, 로딩부 우측에 제2패널 이송 어셈블리(160b)가 배치될 수 있다. 이 경우 도 6a에 도시된 바와 같이 패널(2)이 상기 제1, 2패널 이송 어셈블리(160a, 160b)들의 흡착 블록(166a, 166b)에 안착되어 있는 상태에서, 상기 패널이 상기 정렬 홀(117)에 패널의 얼라인 마크가 정확하게 일치하지 않도록 회전되어 안착되어 있을 수 있다.
이 경우 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 제1패널 이송 어셈블리(160a)에 구비된 흡착 블록(166a)의 제1축 이송 거리와 제2패널 이송 어셈블리(160b)에 구비된 흡착 블록(166b)의 제1축 이송 거리를 다르게 하여서, 상기 패널(2)을 회전시킴으로써 패널을 정확하게 정렬할 수 있다. 이로써 이동 정렬 모듈(160)에 의하여, 패널이 제1, 2축 이동과 함께, 회전도 가능하게 된다.
상기 테스트부(120)는 투광 플레이트(122)와, 테스트 모듈(150)을 구비한다. 투광 플레이트(122)는 적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어서, 패널(2)이 상기 투광 플레이트(122) 상측에서 테스트 받도록 한다.
테스트 모듈(150)은 상기 패널(2)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 상기 테스트 모듈(150)에 관하여는 후에 상세히 설명한다. 이 경우 테스트 모듈(150)은 고정되어 있을 수도 있고, 이와 달리 모듈 이동 기구(125)를 따라서 제2축 방향으로 이동할 수 있다. 이는 상기 패널이 이동 정렬 모듈(160)에 의하여 제1축 방향으로 이동되므로, 상기 테스트 모듈(150)을 적어도 제1축 방향으로는 이동시킬 필요가 없기 때문이다. 이 경우 상기 모듈 이동 기구(125)는 상기 어레이 테스트 장비의 본체에 설치된 제1축 겐트리일 수 있다.
이하 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비의 작동을 설명한다.
패널이 사용자나 로딩 장비에 의하여 먼저 로딩 플레이트(112) 상측으로 이동된다. 이 경우, 로딩 플레이트(112)의 상측에는 블로잉 홀(114)을 통하여 정압이 형성되어 있으며, 이로 인하여 패널(2)이 로딩 플레이트(112) 상측에 일정 유격을 가지고 부양된다.
그 상태에서 흡착 블록(166)이 상승하여 상기 패널(2)을 지지한 상태에서, 상기 패널(2)을 테스트부(120)로 이동하게 된다. 이 상태에서 정렬 판단부(170)가 상기 패널의 정렬이 바르게 되어 있는지를 판단하게 되고, 상기 패널이 올바르게 정렬되어 있지 않으면 상기 이동 정렬 모듈이 상기 패널을 바르게 정렬되도록 이동시킨다.
상기 테스트부(120)에 이동된 패널(2)은 테스트부에 설치된 테스트 모듈(150)에 의하여 결함 여부를 테스트 받게 된다. 이 경우 상기 테스트 모듈(150)은 테스트부 상측에 고정된 상태로 또는 모듈 이동 장치에 의하여 제2축 방향(도면에서는 X축 방향)으로 이동하면서 패널의 결함 여부를 검출한다. 그 후에 테스트 완료된 패널(2)은 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(132) 상측으로 이동된다. 이 경우 상기 언로딩 플레이트(132) 상측에도 블로잉 홀(134)을 통한 정압이 형성되어 있으므로, 상기 패널(2)은 상기 언로딩 플레이트(132)에 부양된다. 패널의 일정 부분 이상이 언로딩부(130)에 위치하게 되면, 상기 언로딩부에 배치된 이동 정렬 모듈(160)가 상기 패널의 선단을 지지하여서 이동시킨다. 그 후에 작업자나 언로딩 장치에 의하여 패널이 상기 어레이 테스트 장비로부터 언로딩 된다.
도 7은 본 발명의 어레이 테스트 장비에 구비된 테스트 모듈(150)을 도시한 도면이다. 도 7을 참조하면, 테스트 모듈(150)은 광원(151)과, 모듈레이터(152)와, 결함 검출부(157)를 구비한다. 이 경우, 광원(151)은 상기 패널(2)의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치되고, 상기 모듈레이터(152) 및 결함 검출부(157)는 상기 패널(2)을 기준으로 상기 광원(151)과 반대 방향에 위치한다.
광원(151)은 상기 패널(2)의 전면에 배치된 전극(5)을 테스트하기 위한 광을 조사한다. 상기 광원(151)은 패널(2)의 배면 측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 광원(151)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프, 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다.
모듈레이터(152)는 패널을 기준으로 상기 광원과 반대방향에 배치된다. 도 7에는 상기 광원이 패널의 배면에 위치하므로, 모듈레이터는 패널(2)의 전면(2b) 측에 배치된다.
상기 모듈레이터는 입사면(152a)과, 모듈레이터 전극층(155)과, 전광 물질층(154)과, 출사면(152b)을 구비한다. 입사면(152a)은, 상기 광원(151)부로부터 상기 패널(2)의 배면(2a) 측으로 입사하여 전면(2b) 측으로 출사된 빛이 입사되는 부분이다.
모듈레이터 전극층(155)은 상기 패널 전극(5)들과 평행하게 배치되어 상기 패널 전극(5)들과 전기장을 형성한다. 보다 상세히 설명하면, 상기 모듈레이터 전극층(155)은 외부로부터 일정한 전압을 인가받는 공통전극의 기능을 한다. 따라서 상기 모듈레이터 전극층(155)이 패널 전극(5)과 일정 간격 이하의 간격을 가지도록 배치하고, 상기 패널 전극(5) 및 모듈레이터 전극층(155)에 각각 소정의 전압을 인가하는 경우 이들 사이에 전기장이 형성된다.
전광 물질층(154)은 상기 모듈레이터 전극층(155)과 패널 전극(5) 사이에 배치된 것으로, 상기 모듈레이터 전극층(155)과 패널 전극(5) 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 상기 입사면(152a)을 통하여 입사되는 빛의 통과 량이 변경되 도록 한다. 이를 위하여 상기 전광 물질층(154)은 전기장의 세기에 따라서 입사되는 빛을 편광시키는 소재를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 전광 물질층(154)은 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)일 수 있다.
상기 전광 물질층(154)의 출사면에는 투광 기판(156)이 결합되어서, 상기 투광 기판(156)에 상기 전광 물질층(154)이 지지되어 있을 수 있다. 또한, 상기 전광 물질층(154)의 입사면에는 상기 전광 물질층(154)을 보호하는 보호층(153)이 결합될 수 있다.
출사면(152b)은 상기 전광 물질층(154)을 통과한 빛을 외부로 출사하는 부분이다.
결함 검출부(157)는 상기 모듈레이터(152)의 출사면(152b)을 통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극(5)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 상기 결함 검출부(157)는 비전(vision) 장치(158) 및 상기 비전 장비와 연결된 모니터(159)를 구비할 수 있으며, 이로써 육안으로 상기 패널 전극(5)의 결함을 검출할 수 있다. 이 경우 상기 모니터는 컴퓨터에 구비되어 있을 수 있다.
이 경우 패널(2)은 전광 기기에 사용되는 패널(2)로서, 그 전면에 패널 전극(5)들이 배치되어 있다. 이 경우 상기 패널(2)이 평판 디스플레이용 패널일 수 있으며, 그 일예로서 상기 패널(2)이 그 전면에 TFT가 형성된 LCD용 TFT 패널일 수가 있다.
본 발명에 의하면, 광원(151)에서 출사되는 빛이 먼저 패널(2)의 배면으로 입사되어 패널 전극(5)이 형성된 전면으로 출사된다. 그 후 모듈레이터(152)로 입 사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양이 조절되고 난 후에, 상기 모듈레이터(152)의 출사면(152b)을 통하여 외부로 출사된다. 상기 출사면(152b)으로 출사된 빛은 결함 검출부(157)에서 확인된다.
통상 LCD의 경우 TFT 패널의 배면에 위치한 백라이트로부터 빛이 TFT 패널과 액정을 통과하여 상기 TFT 패널의 전면에 합착되며 공통전극이 형성된 필터 패널 전면으로 방출되며, 상기 필터 패널 전면으로 방출된 빛을 육안으로 보게 된다.
실제, 시청자가 LCD를 통하여 시청하는 경우, 필터 패널 전방에 시청자가 위치하여 LCD 화면을 감상하게 된다. 따라서 본 발명인 어레이 테스트 장비(100)는 실제적으로 LCD 화면을 감상하는 메카니즘과 동일한 구조를 가지고 있다. 이로 인하여 테스트 장비(100)는 패널의 검출 여부를 보다 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는 결함 검출부(157)와 모듈레이터(152) 사이의 광로에 패널 전극(5)과 같은 별도의 부재가 배치되지 않는다.
만약 결함 검출부(157)가 패널 전극(5) 배면에 배치되고, 상기 광원(151)으로부터의 빛이 모듈레이터(152)를 통과한 후 패널(2)을 통과하여 상기 결함 검출부(157)에 수광된다면, 상기 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)에서의 편광 정도와 함께 패널(2)에 의한 빛 왜곡현상을 함께 검출하게 된다. 다시 말하면, 모듈레이터(152)를 통과한 빛이 패널(2)을 통과하면서 다시 산란 또는 반사를 일으키게 되어서 모듈레이터(152)를 통과한 빛의 편광 정도를 직접적으로 검출할 수 없다. 이에 따라서 상기 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양을 정확하게 검출하기 어렵게 된 다. 또한 상기 정확한 검출을 위해서는 모듈레이터(152)를 통과하는 빛과 다른 요인을 제거하는 작업이 필요하게 되어서 보다 많은 시간이 필요하게 된다.
본 발명에서는 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)로부터 통과하는 빛을 직접적으로 수광할 수 있다. 이로 인하여 별도 부품에 의하여 산란 등을 받지 않게 되어서 정확하고 신속하게 패널 전극(5)의 결함 여부를 파악할 수 있게 된다.
이 경우, 상기 광원(151)과, 패널(2)의 테스트할 패널 전극(5)과, 모듈레이터(152)와, 비전 장치(158)는 일렬로 배치될 수 있으며, 이로써 미러 등의 광로를 변경하는 부재가 별도로 배치될 필요가 없게 된다.
본 발명에 의하면, 복수의 패널들을 순차적으로 이동시키면서 패널 로딩, 패널 테스트 및 패널 언로딩 작업을 동시에 행할 수 있음으로써, 테스트 장비의 테스트 시간을 감축시킬 수 있다.
또한, 패널의 결함을 검출하기 위하여 테스트 모듈이 제1축 방향으로 이동하지 않는 구조를 가짐으로써, 테스트 모듈의 이동으로 인하여 패널 쪽으로 미세 먼지가 발생 및 상기 미세먼지로 인하여 패널이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 패널을 이동하는 이동 정렬 수단이 패널을 바르게 위치하도록 정렬하는 작업을 동시에 행함으로써, 패널 정렬이 간단하여지고 신속하게 할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따 라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (11)

  1. 테스트 받을 패널이 로딩되는 로딩부;
    상기 로딩부의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩부에서 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부;
    상기 로딩부 및 테스트부 중 적어도 하나에 설치되며, 상기 패널의 정렬 여부를 판단하는 정렬 판단부; 및
    상기 패널을 하부로부터 지지한 채로 상기 로딩부로부터 테스트부로 이송시키며, 상기 정렬 판단부의 판단에 따라서 상기 패널을 정렬하는 이동 정렬 모듈을 구비하고,
    상기 이동 정렬 모듈은: 상기 로딩부에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된 적어도 두개의 가이드 레일과; 상기 가이드 레일과 동일한 방향을 가진 제1축 방향과, 상기 제1축 방향과 교차하는 제2축 방향으로 이동 가능하게 각각의 가이드 레일마다 설치된 적어도 두 개의 패널 이동 부재들을 구비하는 어레이 테스트 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패널 이동 부재들은 각각: 상기 가이드 레일 각각을 따라서 제1축 방향으로 이동 가능하게 상기 가이드 레일에 결합된 제1 이동 부재들과; 상기 제1 이동 부재들 각각을 제1축 방향으로 이동 구동하는 제1 구동 부재들과; 상기 제1 이동
    부재들에 제2축 방향으로 이동 가능하게 결합된 제2 이동 부재들과; 상기 제2 이동 부재들에 결합된 흡착 블록들을 구비하고,
    상기 패널 이동 부재들 중 적어도 하나는, 상기 제2 이동 부재를 제2축 방향으로 이동 구동하는 제2 구동 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 가이드 레일들 및 패널 이동 부재들은 로딩부의 중심을 기준으로 좌우에 2개가 설치되고,
    상기 패널 이동 부재 중 하나에 상기 제2 구동 부재가 구비되며,
    다른 패널 이동 부재에 구비된 제2 이동 부재는 제2축 방향으로 자유 이동 가능하도록 상기 제1 이동 부재에 결합된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 LM 가이드(linear motion guide) 레일이고, 상기 제1 이동 부재는 상기 LM 가이드 레일을 따라서 이동하는 런너 블록인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2 구동 부재는, 상기 제1 이동 부재에 설치된 스테핑 모터를 구비하 고,
    상기 제2 이동 부재는 상기 스테핑 모터와 볼스크류 결합되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡착 블록에는, 상기 흡착 블록을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀이 형성되고,
    상기 흡착 홀에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡착 블록은 승, 하강 가능하도록 상기 제2 이동 부재에 결합되며,
    상기 패널 이동 부재는, 상기 흡착 블록을 승하강 구동하는 승하강 구동 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩부는:
    상기 가이드 레일과 인접하여 설치되며, 상기 패널이 그 상측에 위치하며, 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀들이 형성된 복수의 로딩 플레이트와;
    상기 블로잉 홀들을 통하여 상기 로딩 플레이트의 상측으로 정압을 공급하는 정압 공급 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 테스트부는:
    적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어 상기 패널이 그 상측에서 테스트 받으며, 투광 소재의 테스트 플레이트; 및
    상기 테스트 플레이트 상측에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비하여, 상기 광원으로부터 발생한 빛이 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 테스트 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  10. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 정렬 판단부는:
    상기 로딩부 및 테스트부 중 적어도 하나에, 적어도 두 지점에 배치되는 촬영부와;
    상기 촬영부의 촬영 신호를 전달받아서 상기 패널의 정렬 여부를 판단하는 중앙 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 로딩부는, 상기 가이드 레일과 인접하여 설치되며, 상기 패널이 그 상측에 위치하며, 상기 패널의 얼라인 마크와 대응되는 위치에 정렬 홀이 배치된 적어도 하나의 로딩 플레이트를 구비하고,
    상기 촬영부는 상기 정렬 홀 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.
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