KR102188565B1 - 디스플레이 패널 검사장치 - Google Patents

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KR102188565B1
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김석한
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Abstract

본 발명은 베이스; 상기 베이스의 상부에 구비되고, 디스플레이 패널이 안착되며, 상기 디스플레이 패널을 상기 베이스에서 이송시키는 스테이지 유닛; 상기 스테이지 유닛의 이동경로 상부에 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 1 프로브 유닛; 상기 제 1 프로브 유닛 뒤에 이어서 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 2 프로브 유닛; 상기 스테이지 유닛과 상기 제 1 프로브 유닛 사이에 구비되어, 상기 스테이지 유닛이 이송되어 올 때 상기 디스플레이 패널을 인식하여 상기 디스플레이 패널과 상기 제 1 프로브 유닛과의 위치를 정렬하기 위한 카메라 유닛; 상기 제 2 프로브 유닛 뒤에 구비되어, 상기 제 1, 2 프로브 유닛에 공급할 프로브가 적재된 카세트 유닛; 및 상기 제 2 프로브 유닛과 상기 카세트 유닛 사이에 구비되어, 상기 카세트 유닛에 적제된 프로브를 상기 제 1, 2 프로브 유닛으로 이송시키는 프로브 교체 유닛; 을 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
본 발명의 디스플레이 패널 검사장치에 의하면 단일 패널에 다양한 크기의 셀을 구성하여 디스플레이 패널을 교체하지 않고 한번에 테스트를 수행할 수 있는 효과가 있다. 또한 프로브를 교체할 때, 로봇팔이 적용되어 프로브 교체를 신속하고 정확하게 할 수 있는 효과가 있다. 따라서 디스플레이 패널의 생산성 및 수율이 높아지는 효과가 발휘된다.

Description

디스플레이 패널 검사장치{Display Panel Test Device}
본 발명은 평판 디스플레이등의 기판을 검사할 때 사용하는 패널 검사장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 페널의 종류에는 액정 디스플레이(LCD)패널이나, 유기 발광다이오드(OLED)방식의 디스플레이 패널이 있다. 이런 디스플레이 패널은 두께를 매우 얇게 제작할 수 있는 등의 장점으로 최근 사용량이 많아 그 제작도 늘어나고 있다.
위와 같은 평판 디스플레이 패널은 그 제조 과정에서 디스플레이 패널을 구성하는 글래스의 불량 여부 등을 검사하기 위해 테스트를 거치게 된다. 그 중 일 예로 LCD 방식 패널에서 수행하는 패턴 어레이 검사를 들 수 있다. 패턴 어래이 검사 외에도 다양한 종류의 테스트가 수 회에 걸쳐 수행될 수 있으며, 그 테스트 종류에 따라 여러 종류의 테스트 장치가 사용될 수 있다.
여기서는 패턴 어레이 테스트 장치를 기준으로 설명하도록 한다.
디스플레이 글래스가 스테이지 상에 거치되고, 테스트를 수행하는 테스트장치 측으로 스테이지가 이송된다. 스테이지 및 테스트장치 중 적어도 어느 하나가 상하, 전후, 좌우 방향으로 이동되는 방식으로 글래스와 테스트기판에 구비된 프로브유닛의 위치가 대응되도록 정렬된다. 프로브유닛과 글래스는 서로 전기적으로 연결되고 테스트를 위한 신호의 송출로 글래스의 테스트가 수행된다.
종래에는 위와 같은 검사 장비에는 스테이지 상에 한 종류의 글래스만을 거치하여 검사를 수행하였다. 즉, 소형, 중형, 대형의 단일 크기만을 가지는 글래스만을 테스트할 수 있었다.
하지만 다양한 크기의 디스플레이 패널이 요구되고 있어, 단일 크기의 글래스만 테스트하는 것은 글래스의 교체 시간 등으로 인해 검사시간이 증대되어 생산속도가 저하되는 문제점이 있었다.
따라서 이와 같은 문제점을 해소하기 위해 다양한 크기의 글래스를 한번에 테스트할 수 있는 테스트 장비의 개발이 요구되고 있다.
[특허문헌 0001] 등록특허 제10-1174861호 "디스플레이 디스플레이 패널 테스트기판의 교체장치" (공고 2012.08.20.)
본 발명의 목적은 단일 패널에 다양한 크기의 셀을 구성하여 디스플레이 패널을 교체하지 않고 한번에 테스트를 수행할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다. 또한 프로브를 교체할 때, 로봇팔이 적용되어 프로브 교체를 신속하고 정확하게 할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 베이스; 상기 베이스의 상부에 구비되고, 디스플레이 패널이 안착되며, 상기 디스플레이 패널을 상기 베이스에서 이송시키는 스테이지 유닛; 상기 스테이지 유닛의 이동경로 상부에 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 1 프로브 유닛; 상기 제 1 프로브 유닛 뒤에 이어서 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 2 프로브 유닛; 상기 스테이지 유닛과 상기 제 1 프로브 유닛 사이에 구비되어, 상기 스테이지 유닛이 이송되어 올 때 상기 디스플레이 패널을 인식하여 상기 디스플레이 패널과 상기 제 1 프로브 유닛과의 위치를 정렬하기 위한 카메라 유닛; 상기 제 2 프로브 유닛 뒤에 구비되어, 상기 제 1, 2 프로브 유닛에 공급할 프로브가 적재된 카세트 유닛; 및 상기 제 2 프로브 유닛과 상기 카세트 유닛 사이에 구비되어, 상기 카세트 유닛에 적제된 프로브를 상기 제 1, 2 프로브 유닛으로 이송시키는 프로브 교체 유닛; 을 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 스테이지 유닛은 상기 디스플레이 패널이 안착되는 플레이트; 및 상기 베이스에 구비되고 상기 플레이트를 지지하며 상기 플레이트의 전후좌우 이동과 회전 이동 및 승강 이동이 가능하게 구비된 구동부; 를 포함하고, 상기 플레이트에는 상기 디스플레이 패널을 하면에서 지지하는 다수 개의 지지핀이 상면에 돌출되어 형성된 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 제 1 프로브 유닛은 상기 베이스 상부에 구비되는 프로브 프레임; 상기 디스플레이 패널과 접촉하여 전기적신호로 불량여부를 검출하는 프로브핀을 포함하는 프로브; 및 상기 프로브 프레임에 결합되어 상기 프로브를 수평방향에서 전후좌우로 이동 가능하게 구비된 프로브 스테이지; 를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 제 2 프로브 유닛은 상기 베이스 상부에 구비된 프로브 프레임; 상기 디스플레이 패널과 접촉하여 전기적신호로 불량여부를 검출하는 프로브핀을 포함하는 프로브; 및 상기 프로브 프레임에 결합되어 상기 프로브를 수평방향에서 전후좌우로 이동 가능하게 구비된 프로브 스테이지; 를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 프로브 스테이지는 상기 프로브와 인접한 위치에 구비되어 상기 프로브와 함께 이동되면서 상기 디스플레이 패널의 위치를 감지하되, 자체적으로도 수평방향에서 좌우로 이동 가능한 정렬 카메라; 및 상기 정렬 카메라를 통해 감지된 디스플레이 패널의 위치 정보를 통해 상기 프로브의 이동을 제어하는 제어부; 를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 프로브 프레임은 상기 프로브 스테이지를 수직방향으로 승강시키는 승강부를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 카메라 유닛은 상기 스테이지 유닛의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 겐트리 프레임에 설치되는 카메라를 포함하되, 상기 카메라는 상기 디스플레이 패널 위를 좌우로 이동하도록 구비되는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 플레이트는 일단에 상기 프로브와 상기 디스플레이 패널의 접촉으로 생긴 이물질을 제거할 수 있는 클리닝 패드를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 카세트 유닛은 내부에 여러 개의 프로브가 적재되도록 복수의 층으로 마련되는 선반을 구비하는 본체; 및 상기 본체 내부에 설치되어, 상기 선반을 수직방향으로 이동 가능하도록 구비되는 리프트; 를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 프로브 교체 유닛은 상기 베이스에 구비되는 지지프레임; 프로브 이송을 수행하는 교체부; 및 상기 지지프레임에 결합되어 상기 교체부를 전후 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송수단; 를 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 교체부는 상기 이송수단에 결합되는 몸체; 프로브가 안착되는 안착 베이스; 및 상기 몸체 상부에 설치되고, 상기 안착 베이스를 하면에서 지지하며 상기 안착 베이스를 전후 방향으로 이동 가능하게 구비되는 로봇팔; 을 포함하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
상기 로봇팔은 수평방향으로 회전 가능하게 상기 안착 베이스 하면에 연결되는 상팔부; 및 수평방향으로 회전 가능하게 상기 몸체 상면에 연결되는 하팔부; 를 포함하고, 상기 안착 베이스가 상기 몸체 위를 전후 방향으로 이동하도록 상기 상팔부 일단과 상기 하팔부 일단은 링크 구조로 연결된 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
본 발명의 디스플레이 패널 검사장치는 단일 패널에 다양한 크기의 셀을 구성하여 디스플레이 패널을 교체하지 않고 한번에 테스트를 수행할 수 있는 효과가 있다. 또한 프로브를 교체할 때, 로봇팔이 적용되어 프로브 교체를 신속하고 정확하게 할 수 있는 효과가 있다. 따라서 디스플레이 패널의 생산성 및 수율이 높아지는 효과가 발휘된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치에 대한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 3은 다양한 크기의 셀을 가지는 디스플레이 패널을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 카세트 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 프로브 교체 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 교체부를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 교체부의 이동을 나타낸 순서도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부되는 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한상세한 기술은 생략된다.
이하에서 본 발명의 실시예들을 첨부된 도면을 참고로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치에 대한 정면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다. 도 3은 다양한 크기의 셀을 가지는 디스플레이 패널을 나타낸 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 카세트 유닛을 나타낸 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 프로브 교체 유닛을 나타낸 사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 교체부를 나타낸 사시도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 교체부의 이동을 나타낸 순서도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치는 베이스(100), 베이스(100)의 상부에 구비되고, 디스플레이 패널이 안착되며, 디스플레이 패널을 베이스(100)에서 이송시키는 스테이지 유닛(200), 스테이지 유닛(200)의 이동경로 상부에 구비되고, 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 1 프로브 유닛(300), 제 1 프로브 유닛(300) 뒤에 이어서 구비되고, 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 2 프로브 유닛(400), 스테이지 유닛(200)과 제 1 프로브 유닛(300) 사이에 구비되어, 스테이지 유닛(200)이 이송되어 올 때 디스플레이 패널을 인식하여 디스플레이 패널과 제 1 프로브 유닛(300)과의 위치를 정렬하기 위한 카메라 유닛(500), 제 2 프로브 유닛(400) 뒤에 구비되어, 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)에 공급할 프로브가 적재된 카세트 유닛(600) 및 제 2 프로브 유닛(400)과 카세트 유닛(600) 사이에 구비되어, 카세트 유닛(600)에 적제된 프로브를 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)으로 이송시키는 프로브 교체 유닛(700)을 포함하여 구성된다.
베이스(100)는 바닥면과 접하며 넓게 형성된 판상의 부재이다. 베이스(100)에는 스테이지 유닛(200), 제 1 프로브 유닛(300), 제 2 프로브 유닛(400), 카메라 유닛(500) 및 프로브 교체 유닛(700)이 상부에 결합되고, 베이스(100)는 위 구성요서들을 지지한다.
베이스(100)는 판상의 부재로 한정되지는 않고 바닥면에 견고하게 지지될 수 있는 프레임 형태를 가질 수도 있다. 하지만 본 발명의 검사장치는 바닥면에 대해서 평평하게 수평을 유지하는 것이 요구되기 때문에 베이스(100)는 석정반을 포함하는 판상의 형태가 바람직하다.
스테이지 유닛(200)은 베이스(100)의 상면에 형성되는 레일을 따라 수평하게 전후좌우 이동이 가능하게 구비될 수 있다. 스테이지 유닛(200)은 본 발명의 검사장치의 검사대상물인 디스플레이 패널이 상면에 안착되는 플레이트(210)와 베이스(100)에 구비되고 상기 플레이트(210)를 지지하며 플레이트(210)의 전후좌우 이동과 회전 이동 및 승강 이동이 가능하도록 구비되는 구동부(230)를 포함하여 구성된다.
플레이트(210)는 상면이 편평하게 형성되어 디스플레이 패널의 저면이 플레이트(210)의 상면에 접하여 안착될 수 있도록 구비된다. 플레이트(210)에는 상기 디스플레이 패널을 하면에서 지지하는 다수 개의 지지핀(211)이 상면에 돌출되어 형성된다. 지지핀(211)은 디스플레이 패널을 승강 가능하게 구비될 수 있다. 지지핀(211)은 디스플레이 패널의 크기에 따라 선택적으로 플레이트(210)의 내측으로 삽입될 수 있도록 구성될 수 있다.
구동부(230)는 플레이트(210)와 베이스(100)를 상호 연결하고, 플레이트(210)가 지탱될 수 있도록 구비된다. 플레이트(210)가 베이스(100)의 상부에서 수평한 면을 기준으로 전후진 및 좌측과 우측으로 이동이 가능하게 형성된다. 즉, 플레이트(210)는 구동부(230)에 의해 디스플레이 패널를 x-y-θ축 방향(θ는 90° 미만)으로 구동이 가능하게 형성될 수 있다.
또한, 플레이트(210)는 일부를 높이거나 낮출 수 있도록 구비되어 플레이트(210)가 수평을 유지할 수 있도록 구동될 수 있다. 플레이트(210)는 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되도록 구비될 수 있다.
이러한 구동부(230)의 작동은 다수 개의 모터구동을 통해 구현될 수 있다. 그리고 유압을 통한 실린더의 작동을 통해 구현될 수도 있다. 이는 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 구동수단의 결합으로 구현될 수 있을 것이다. 따라서 구동부(230)의 상세한 구조는 본 발명이 속하는 당업자라면 알 수 있으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 프로브 유닛은 제 1 프로브 유닛(300)과 제 2 프로브 유닛(400)으로 구성된다. 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)은 모두 스테이지 유닛(200)의 이동경로상에 설치되는데 제 1 프로브 유닛(300)이 제 2 프로브 유닛(400)의 앞에 구비된다.
제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)은 베이스(100)의 상부에 구비되는 프로브 프레임(310, 410)에 설치된다. 따라서 프로브 프레임(310, 410)은 이송되는 스테이지 유닛(200)이 하부로 통과할 수 있는 공간을 형성한다.
프로브 프레임(310, 410)에는 프로브 스테이지(340, 440)가 결합되고, 프로브 스테이지(340, 440)의 하부에는 프로브핀(331, 431)을 포함하는 프로브(330, 430)가 구비된다. 프로브(330, 430)는 프로브 스테이지(340, 440)의 하부에서 교체가 가능하도록 구비된다.
프로브 스테이지(340, 440)는 프로브(330, 430) 및 정렬 카메라(341, 441)가 수평한 상태를 유지할 수 있도록 기울기의 조절이 가능하게 구성된다. 프로브(330, 430) 및 정렬 카메라(341, 441)는 동일한 간격을 유지하며 수평면상에서 전후좌우로 이동이 가능하게 작동된다. 프로브핀(330, 430)은 디스플레이 패널과 접촉하여 전기적신호로 불량여부를 검출한다.
프로브 스테이지(340, 440)에는 프로브(330, 430)와 인접한 위치에 구비되어 상기 프로브(330, 430)와 함께 이동되면서 디스플레이 패널의 위치를 감지는 정렬 카메라(341, 441)가 구비된다. 정렬 카메라(341, 441)는 자체적으로도 수평방향에서 좌우로 이동이 가능하다.
그리고 프로브 스테이지(340, 440)는 정렬 카메라(341, 441)를 통해 감지된 디스플레이 패널의 위치 정보를 통해 상기 프로브(330, 430)의 이동을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
제 2 프로브 유닛(400)에 구성된 프로브 프레임(410)은 프로브 스테이지(440)를 수직방향으로 승강시킬 수 있는 승강부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 제 1 프로브 유닛(300)의 프로브(330)을 교체할 때, 승강부(미도시)가 수직 위로 올라가 후술할 프로브 교체 유닛(700)이 제 1 프로브 유닛(300)의 프로브(330) 교체를 용이하게 할 수 있다.
제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)의 연속되 배치 및 스테이지 유닛(200)의 플레이트(210)가 전후좌우 및 회전 이동할 수 있는 것을 통해 다양한 셀(C)을 가지는 디스플레이 패널(P)의 테스트를 수행할 수 있다.
카메라 유닛(500)에는 제 1 프로브 유닛(300)과의 위치를 정렬하는데 사용하는 카메라(520)가 구성되는데, 카메라(520)는 스테이지 유닛(200)의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 겐트리 프레임(510)에 구비된다. 그리고 카메라(520)는 겐트리 프레임(510) 상에서 디스플레이 패널 위를 좌우로 이동한다.
플레이트(210)에는 일단에 프로브(330, 430)와 디스플레이 패널의 접촉으로 생긴 이물질을 제거할 수 있는 클리닝 패드(213)가 구성될 수 있다. 클리닝 패드(213)는 프로브(330, 430)와 디스플레이 패널의 반복된 접촉으로 생기는 이물질을 제거하여 테스트의 정확도를 높여줄 수 있다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 프로브들을 적재하여 보관하는 카세트 유닛(600)은 본체(610), 리프트(630)로 구성된다. 본체(610)에는 내부에 여러 개의 프로브가 적재되도록 복수의 층으로 마련되는 선반(620)을 구비한다. 이 선반(620)은 여러 개의 층으로 구성될 수 있고, 각 층마다 프로브들이 적재된다. 이런 선반은(620)에는 리프트(630)가 설치되어 수직방향으로 이동이 가능하다. 리프트(630)는 본체(610)의 내부에 설치되어 선(620)과 본체(610)를 연결한다.
프로브 교체 유닛(700)은 카세트 유닛(600)에 적재된 프로브들을 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)의 프로브 스테이지(340, 440)에 이송하여 교체하기 위한 것이다. 프로브 교체 유닛(700)은 지지프레임(710), 교체부(720) 및 이송수단(730)으로 구성된다.
지지프레임(710)은 베이스(100)에 구비되며, 제 2 프로브 유닛(400)의 뒤에 구비된다. 즉 지지프레임(710)은 제 2 프로브 유닛(400)과 카세트 유닛(600)의 사이에 구비된다. 교체부(720)는 프로브 이송을 수행하고, 이송수단(730)은 지지프레임(710)에 결합되어 교체부(720)를 전후 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 프로브는 교체부에 적재되어 카세트 유닛(600)에서 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)으로 이송되거나 제 1, 2 프로브 유닛(300, 400)에서 카세트 유닛(600)으로 이송된다.
교체부(720)는 몸체(721), 안착 베이스(723) 및 로봇팔(750)로 구성된다. 몸체(721)는 이송수단(730)에 결합되고, 몸체(721)를 통해 교체부(720)의 이동이 이루어진다. 안착 베이스(723)는 로봇팔(750)로 몸체(721)와 연결되는데 안착 베이스(723)의 상면에 프로브가 안착되어 이동하는 것이다.
로봇팔(750)은 몸체(721)의 상부에 설치되고, 안착 베이스(723)를 하면에서 지지한다. 로봇팔(750)은 안착 베이스(723)를 전후 방향으로 이동 가능하게 몸체(721)에 구비되는 것이다.
이런 로봇팔(750)은 상팔부(751), 하팔부(753)로 구성된다. 상팔부(751)는 수평방향으로 회전 가능하게 상기 안착 베이스 하면에 연결되고, 하팔부(753)는 수평방향으로 회전 가능하게 몸체(721) 상면에 연결된다. 이때, 안착 베이스(723)가 몸체(721) 위를 전후 방향으로 가로질러서 이동하도록 상팔부(751)의 일단과 하팔부(753)의 일단은 링크 구조로 연결된다.
이상에서 설명된 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100: 베이스
200: 스테이지 유닛
300: 프로브 유닛
400: 제 2 프로브 유닛
500: 카메라 유닛
600: 카세트 유닛
700: 프로브 교체 유닛

Claims (12)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 구비되고, 디스플레이 패널이 안착되며, 상기 디스플레이 패널을 상기 베이스에서 이송시키는 스테이지 유닛;
    상기 스테이지 유닛의 이동경로 상부에 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 1 프로브 유닛;
    상기 제 1 프로브 유닛 뒤에 이어서 구비되고, 상기 디스플레이 패널의 불량을 검출하는 제 2 프로브 유닛;
    상기 스테이지 유닛과 상기 제 1 프로브 유닛 사이에 구비되어, 상기 스테이지 유닛이 이송되어 올 때 상기 디스플레이 패널을 인식하여 상기 디스플레이 패널과 상기 제 1 프로브 유닛과의 위치를 정렬하기 위한 카메라 유닛;
    상기 제 2 프로브 유닛 뒤에 구비되어, 상기 제 1, 2 프로브 유닛에 공급할 프로브가 적재된 카세트 유닛; 및
    상기 제 2 프로브 유닛과 상기 카세트 유닛 사이에 구비되어, 상기 카세트 유닛에 적제된 프로브를 상기 제 1, 2 프로브 유닛으로 이송시키는 프로브 교체 유닛; 을 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지 유닛은,
    상기 디스플레이 패널이 안착되는 플레이트; 및
    상기 베이스에 구비되고 상기 플레이트를 지지하며 상기 플레이트의 전후좌우 이동과 회전 이동 및 승강 이동이 가능하게 구비된 구동부; 를 포함하고,
    상기 플레이트에는 상기 디스플레이 패널을 하면에서 지지하는 다수 개의 지지핀이 상면에 돌출되어 형성된 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 프로브 유닛은,
    상기 베이스 상부에 구비되는 프로브 프레임;
    상기 디스플레이 패널과 접촉하여 전기적신호로 불량여부를 검출하는 프로브핀을 포함하는 프로브; 및
    상기 프로브 프레임에 결합되어 상기 프로브를 수평방향에서 전후좌우로 이동 가능하게 구비된 프로브 스테이지; 를 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 프로브 유닛은,
    상기 베이스 상부에 구비된 프로브 프레임;
    상기 디스플레이 패널과 접촉하여 전기적신호로 불량여부를 검출하는 프로브핀을 포함하는 프로브; 및
    상기 프로브 프레임에 결합되어 상기 프로브를 수평방향에서 전후좌우로 이동 가능하게 구비된 프로브 스테이지; 를 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는,
    상기 프로브와 인접한 위치에 구비되어 상기 프로브와 함께 이동되면서 상기 디스플레이 패널의 위치를 감지하되, 자체적으로도 수평방향에서 좌우로 이동 가능한 정렬 카메라; 및
    상기 정렬 카메라를 통해 감지된 디스플레이 패널의 위치 정보를 통해 상기 프로브의 이동을 제어하는 제어부; 를 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 프로브 프레임은,
    상기 프로브 스테이지를 수직방향으로 승강시키는 승강부를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 카메라 유닛은,
    상기 스테이지 유닛의 이동경로 상부를 가로질러 배치되는 겐트리 프레임에 설치되는 카메라를 포함하되, 상기 카메라는 상기 디스플레이 패널 위를 좌우로 이동하도록 구비되는 디스플레이 패널 검사장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 플레이트는,
    일단에 상기 프로브와 상기 디스플레이 패널의 접촉으로 생긴 이물질을 제거할 수 있는 클리닝 패드를 더 포함하는 디스플레이 패널 검사장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트 유닛은,
    내부에 여러 개의 프로브가 적재되도록 복수의 층으로 마련되는 선반을 구비하는 본체; 및
    상기 본체 내부에 설치되어, 상기 선반을 수직방향으로 이동 가능하도록 구비되는 리프트; 를 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 교체 유닛은,
    상기 베이스에 구비되는 지지프레임;
    프로브 이송을 수행하는 교체부; 및
    상기 지지프레임에 결합되어 상기 교체부를 전후 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송수단; 를 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 교체부는,
    상기 이송수단에 결합되는 몸체;
    프로브가 안착되는 안착 베이스; 및
    상기 몸체 상부에 설치되고, 상기 안착 베이스를 하면에서 지지하며 상기 안착 베이스를 전후 방향으로 이동 가능하게 구비되는 로봇팔; 을 포함하는,
    디스플레이 패널 검사장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 로봇팔은,
    수평방향으로 회전 가능하게 상기 안착 베이스 하면에 연결되는 상팔부; 및
    수평방향으로 회전 가능하게 상기 몸체 상면에 연결되는 하팔부; 를 포함하고,
    상기 안착 베이스가 상기 몸체 위를 전후 방향으로 이동하도록 상기 상팔부 일단과 상기 하팔부 일단은 링크 구조로 연결된 디스플레이 패널 검사장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220099737A (ko) 2021-01-07 2022-07-14 박병옥 온도를 제어하여 열화 성능을 검사하는 검사 시스템
KR20220099738A (ko) 2021-01-07 2022-07-14 박병옥 표시장치의 신호선 테스트용 시스템
KR102504856B1 (ko) * 2022-07-22 2023-02-28 에이치비솔루션㈜ 대형 프로브 카드를 사용하여 디스플레이 패널을 검사하는 장치 및 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100008339U (ko) * 2010-03-30 2010-08-20 (주) 루켄테크놀러지스 이물에 의한 컨텍 불량을 방지할 수 있는 탭 아이씨 직접 컨텍 타입의 프로브 유니트
KR101174861B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-20 (주)버금시스템 디스플레이 글래스 테스트기판의 교체장치
KR101795615B1 (ko) * 2017-08-14 2017-11-09 주식회사 프로이천 디스플레이 패널의 에이징 테스트를 위한 프로브 블록

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100008339U (ko) * 2010-03-30 2010-08-20 (주) 루켄테크놀러지스 이물에 의한 컨텍 불량을 방지할 수 있는 탭 아이씨 직접 컨텍 타입의 프로브 유니트
KR101174861B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-20 (주)버금시스템 디스플레이 글래스 테스트기판의 교체장치
KR101795615B1 (ko) * 2017-08-14 2017-11-09 주식회사 프로이천 디스플레이 패널의 에이징 테스트를 위한 프로브 블록

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220099737A (ko) 2021-01-07 2022-07-14 박병옥 온도를 제어하여 열화 성능을 검사하는 검사 시스템
KR20220099738A (ko) 2021-01-07 2022-07-14 박병옥 표시장치의 신호선 테스트용 시스템
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