KR101036112B1 - 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치 - Google Patents

프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

프로브 바의 교체를 자동으로 수행하는 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치가 개시된다. 어레이 테스트 장치는 프로브 바와, 프로브 프레임 및, 프로브 바 교체부를 포함한다. 프로브 바는 기판에 전압을 인가한다. 프로브 프레임은 프로브 바를 결합시킨다. 프로브 바 교체부는 프로브 바를 프로브 프레임에 대해 분리 또는 결합시킨다. 따라서, 기판의 패턴 변경 또는 기판의 투입 방향 변경 시, 프로브 바를 자동으로 교체할 수 있다. 이에 따라, 프로브 바의 수작업 교체에 소요되던 인력 및 시간을 크게 절감할 수 있다.
프로브, 어레이, 테스트

Description

프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치{Apparatus for array test with auto changing unit of probe bar}
이 기술은 디스플레이의 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 기판에 형성된 전극의 전기적 결함을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
디스플레이 패널은 LCD, PDP 및, OLED 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD는 TFT기판과, 컬러필터 및 공통전극이 형성되어 TFT기판과 대향 배치된 컬러기판과, TFT기판과 컬러기판 사이에 형성된 액정 및, 백라이트 유닛으로 구성된다.
이 경우, TFT기판 위에 형성된 TFT전극의 결함은 어레이 테스트 장치(Array tester)에 의하여 검사된다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장치의 사시도이다. 도 1을 참조하여 어레이 테스트 공정을 설명한다. 어레이 테스트 장치(400)에 설치된 모듈레이터(420) 및 TFT전극에 일정한 전압을 인가하고, 모듈레이터(420)가 TFT기판(490)에 근접하도록 하여 이들 사이에 전기장이 발생되도록 한다. 이때, TFT기판(490)에 형성된 TFT전 극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 전기장의 크기가 작아진다.
이 경우, 전기장의 크기에 따라 모듈레이터(420)를 통과하는 빛의 양이 변경된다. 촬상부(460)는 광원(430)으로부터 조사된 빛이 모듈레이터(420)를 통과하는 양을 검출함으로써 TFT기판(490)의 결함 여부를 판별할 수 있다.
또한, 종래의 어레이 테스트 장치(400)는 프로빙 어셈블리(410)를 포함한다. 프로빙 어셈블리(Probing assembly 410)는 TFT기판(490)에 형성된 전극에 전압을 인가하여, 몇 가지 종류의 기능적인 테스트를 수행하기 위한 구동신호를 공급한다. 즉, 프로빙 어셈블리(410)는 프로브 프레임(412) 및, 프로브 프레임(412)에 결합되는 프로브 바(411)를 구비한다. 프로브 바(411)는 TFT기판(490) 전극에 접촉되는 프로브 핀을 구비한다.
종래의 어레이 테스트 장치는 검사될 기판의 패턴 변경 시, 기판의 패턴에 상응하도록 프로브 바를 교체하여야 한다. 이와 더불어, 프로브 바의 배향 각도는 기판의 투입 방향에 따라 가로(0°) 및 세로(90°) 방향으로 조정되도록 구성되어야 한다.
예를 들어, 프로브 바는 프로브 핀의 개수에 따라 24핀 타입, 16핀 타입 등으로 구분되며, 기판의 패턴 변경 및 기판의 투입 방향에 상응되도록 24핀 가로타입, 24핀 세로타입, 16핀 가로타입, 16핀 세로타입 중 적절한 것이 채택된다.
하지만, 종래의 어레이 테스트 장치에서 프로브 바는 수작업으로 교체되었기 때문에, 시간이 많이 소요되고, 교체작업이 어려워 인력 소모가 큰 문제점이 있었다.
이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 어레이 테스트 장치의 프로브 바가 자동으로 교체되도록 한다.
어레이 테스트 장치는 기판에 전압을 인가하는 프로브 바 및 프로브 바를 결합시키는 프로브 프레임을 구비하며, 프로브 바를 프로브 프레임에 대해 분리 또는 결합시키는 프로브 바 교체부를 포함한다.
또한, 프로브 바 교체부는 프로브 바를 결합 또는 분리시키는 착탈부 및, 착탈부를 프로브 프레임에 대해 일방향으로 이동시키는 구동부를 포함한다.
이 경우, 구동부는 착탈부를 X축, Y축 및, Z축 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다.
또한, 어레이 테스트 장치는 프로브 프레임으로부터 분리된 프로브 바 또는 프로브 프레임에 결합될 프로브 바를 보관하는 프로브 바 저장부를 더 구비할 수 있다.
이 경우, 프로브 바 저장부는 프로브 프레임에 인접하게 배치되며, 프로브 바 교체부는 프로브 바 저장부와 프로브 프레임의 사이를 이동하는 것이 바람직하다.
따라서, 기판의 패턴 변경 또는 기판의 투입 방향 변경 시, 프로브 바를 프로브 프레임으로부터 자동으로 교체할 수 있다. 이에 따라, 프로브 바의 수작업 교체에 소요되던 인력 및 시간을 크게 절감할 수 있다.
또한, 프로브 바의 자동 교체 시스템은 프로브 바의 배향각도를 자동으로 변경하는 시스템과 비교하여도, 프로브 바의 각도 변경에 필요한 구동수단을 요구하지 않기 때문에 어레이 테스트 장치의 제작비용을 절감할 수 있다.
이하 첨부된 도면에 따라서 어레이 테스트 장치의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 일 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 프로브 바 교체부의 확대 사시도이며, 도 4는 일 실시 예에 따른 프 로빙 어셈블리 및 프로브 바 교체부의 측면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 어레이 테스트 장치(100)는 로딩부(70)와, 언로딩부(80)와, 모듈레이터(20)와, 검출부(60)와, 광원(30)과, 프로빙 어셈블리(300) 및, 프로브 바 교체부(200)를 포함한다.
로딩부(70)는 테스트될 기판(90)을 어레이 테스트 장치(100) 내로 진입되게 한다. 로딩부(70)를 통해 들어온 기판(90)은 테스트가 이루어지는 후술할 광원(30)의 상부까지 이송된다. 로딩부(70)는 로딩 플레이트 및 복수의 에어홀(71)들을 구비할 수 있다. 기판(90)의 이송은 기판(90) 하면에 에어홀(71)들로부터 고압의 에어를 분사하여 기판(90)을 로딩 플레이트에서 부상시킨 상태로 그립(Grip)수단(95)을 이용해 이송시키는 방식 등에 의해 달성될 수 있다.
언로딩부(80)는 테스트 완료된 기판(90)을 이송시켜 어레이 테스트 장치(100) 외부로 배출되게 한다. 언로딩부(80)는 언로딩 플레이트 및 복수의 에어홀(81)들을 구비할 수 있다. 기판(90)의 이송은 로딩부(70)와 같은 방식으로, 기판(90) 하면에 에어홀(81)들로부터 고압의 에어를 분사하여 기판(90)을 언로딩 플레이트에서 부상시킨 상태로 그립수단을 이용해 이송시키는 방식 등에 의해 달성될 수 있다.
모듈레이터(20)는 기판(90)의 상측에 배치되는 것으로, 기판(90)의 상면과 매우 인접하게 위치된다. 모듈레이터(20)는 전극층 및 전광물질층을 구비할 수 있다. 모듈레이터의 전극층은 기판(90)의 전극층과 전기장을 형성하는 것으로, ITO(Indium Tin Oxide)나 CNT(Carbon Nano Tube) 물질 등이 사용될 수 있다. 또한, 모듈레이터의 전광물질층은 전기장의 세기에 따라 통과되는 빛의 광량을 변경시키는 것으로, 액정(LC:Liquid Crystal), 무기EL(Electro Luminance), PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal) 등을 사용할 수 있다.
일 예로, 전압이 기판(90)의 전극층 및 모듈레이터(20)의 전극층에 인가되면 기판(90)의 불량 유무에 따라 모듈레이터(20)의 특정 물성치가 변경된다. 즉, 모듈레이터(20)는 테스트될 기판(90)에 형성된 전극층이 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되며 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 기판(90)에 형성된 전극층이 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써 빛이 통과할 수 없게 된다.
한편, 어레이 테스트 장치(100)는 옵틱척(Optic chuck)을 더 구비할 수 있다. 옵틱척은 테스트될 기판(90)의 하측에 배치되어 기판(90)을 안착시킨다. 옵틱척은 빛을 투과시키는 유리와 같은 투광 소재로 이루어진다. 옵틱척은 기판(90)을 흡착 및 부상시키는 복수의 에어홀들을 구비할 수 있다.
검출부(60)는 모듈레이터(20)의 상측에 배치된다. 검출부(60)는 모듈레이터(20)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판(90) 전극층의 불량 유무를 검출한다. 일 예로, 검출부(60)는 기판(90)에 형성된 전극층의 정상 여부에 따라 투과되는 빛의 양을 촬상하고 그 데이터를 신호처리부를 통해 판별하여 기판(90)의 불량 유무를 검출할 수 있다.
광원(30)은 기판(90)을 기준으로 모듈레이터(20)와 반대 방향측에 배치된다. 광원(30)은 모듈레이터(20)를 향해 빛을 조사한다. 광원(30)으로부터 나온 빛은 옵 틱척, 기판(90), 모듈레이터(20)를 순차적으로 지나 검출부(60)에 도달한다. 광원(30)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정할로겐 램프 및 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다.
프로빙 어셈블리(300)는 프로브 바(310) 및, 프로브 프레임(320)을 구비한다.
프로브 바(310)는 프로브 핀(312)을 구비한다. 프로브 핀(312)은 기판(90) 전극에 전압을 인가한다. 또한, 프로브 프레임(320)은 프로브 바(310)를 결합시킨다.
즉, 프로브 프레임(320)은 리니어 모터(321)를 구비한다. 리니어 모터(321)는 X축 방향으로 길게 형성되어 프로브 프레임(320)에 고정된다. 리니어 모터(321)에 X축 슬라이드 부재(311)가 연결되며, X축 슬라이드 부재(311)는 프로브 프레임(320)에 대해 X축 방향으로 슬라이드 가능하다.
또한, X축 슬라이드 부재(311)에 Z축 구동부(315)가 연결되며, 프로브 바(310)는 Z축 구동부(315)에 연결된다. 또한, 프로브 프레임(320)은 Y축 슬라이드 부재(330)에 결합된다. Y축 슬라이드 부재(330)는 Y축 가이드 레일(340)에 연결되어, Y축 방향으로 슬라이드 가능하다.
따라서, 프로브 프레임(320)은 기판(90)에 대해 Y축 방향으로 구동 가능하며, 프로브 바(310)는 기판(90)에 대해 X축, Y축 및, Z축 방향으로 구동 가능하다. 프로브 바(310)에 형성된 프로브 핀(312)은 기판(90)의 상부에서 X축 및 Y축 방향으로 이동하고 Z축 방향으로 승강되면서 기판(90) 전극에 접촉될 수 있다.
프로브 바 교체부(200)는 프로브 바(310)를 프로브 프레임(320)에 대해 분리 또는 결합시킨다.
검사될 기판(90) 전극의 패턴 변경 시, 기판(90) 전극의 패턴에 상응하도록 프로브 바(310)가 교체되어야 한다. 또한, 로딩부(70)의 기판(90) 투입 방향에 따라, 프로브 바(310)의 배향 각도는 가로(0°) 및 세로(90°) 방향으로 조정되어야 한다.
즉, 프로브 바(310)는 프로브 핀(312)의 개수에 따라 24핀 타입, 16핀 타입 등으로 구분될 수 있다. 따라서, 기판(90) 전극의 패턴 변경 및 기판(90)의 투입 방향에 따라, 프로브 바(310)는 24핀 가로타입, 24핀 세로타입, 16핀 가로타입, 16핀 세로타입 중에서 채택되어야 한다.
이와 같이, 프로브 바(310)를 프로브 프레임(320)으로부터 교체하여야 할 때, 프로브 바 교체부(200)가 작동하여 프로브 바(310)를 프로브 프레임(320)으로부터 자동으로 교체한다. 결국, 프로브 바의 수작업 교체에 소요되는 인력 및 시간을 크게 절감할 수 있게 된다.
또한, 프로브 바를 자동으로 교체하는 시스템은 프로브 바의 배향각도를 자동으로 변경하는 시스템과 비교하여도, 프로브 바의 각도 변경에 필요한 구동수단을 요구하지 않아 제작비용을 절감하는 장점을 갖는다. 비록, 프로브 바의 자동교체 시스템도 프로브 바 교체부의 구동에 필요한 구동수단을 요구하기는 하지만, 다수의 프로브 바를 각각 구동시키는 시스템보다 간단한 구조를 갖고도 같은 목적을 달성할 수 있다.
이 경우, 프로브 바 교체부(200)는 착탈부(220) 및, 구동부를 구비할 수 있다.
착탈부(220)는 프로브 바(310)를 결합 또는 분리시킨다. 착탈부(220)와 프로브 바(310)의 결합 또는 분리는 다양한 방식으로 달성될 수 있다. 예를 들어, 실린더 타입, 기구적 레버 타입, 진공 흡착 타입, 전자석 고정 타입 등의 방식을 이용하여, 프로브 바(310)를 착탈부(220)와 결합 또는 분리시킬 수 있다.
구동부는 착탈부(220)를 프로브 프레임(320)에 대해 X축, Y축 및, Z축 방향 중 적어도 일 방향으로 구동시킨다. 바람직하게는, 구동부는 X축 구동부(230)와, Y축 구동부(240) 및, Z축 구동부(250)를 구비한다.
X축 구동부(230)는 착탈부(220)를 X축 방향으로 구동시킨다. 또한, Y축 구동부(240)는 착탈부(220)를 Y축 방향으로 구동시킨다. 이와 더불어, Z축 구동부(250)는 착탈부(220)를 Z축 방향으로 구동시킨다. 따라서, 구동부는 3축 이동이 가능하다.
프로브 바 교체부(200)의 구성을 바람직한 실시 예를 참고하여 상세히 설명하기로 한다.
X축 구동부(230)는 프레임(270)에 결합된다. 프레임(270)은 기판(90)의 이송방향(Y축)과 직교되는 X축 방향으로 길게 형성된다. X축 구동부(230)에 캐리지(231)가 연결되며, 캐리지(231)는 X축 방향으로 슬라이드 안내되도록 구성되어 있다.
또한, Z축 구동부(250)는 캐리지(231)에 결합된다. Z축 구동부(250)는 안내 레일을 구비하며, 안내레일에 Y축 구동부(240)가 연결된다. Y축 구동부(240)는 Z축 구동부(250)의 안내레일에 슬라이드 안내되어, Z축 방향으로 승하강되게 구성되어 있다.
또한, Y축 구동부(240)에 캐리지(241)가 연결되며, 캐리지(241)는 Y축 구동부에 가이드되어 Y축 방향으로 슬라이드 된다. 캐리지(241)는 착탈부(220)와 결합된다.
결국, 착탈부(220)는 프로빙 어셈블리(300)에 대해 X축, Y축 및, Z축 방향으로 이동 가능하다. 이 경우, X축 구동부(230)와, Y축 구동부(240) 및, Z축 구동부(250)는 리니어 모터 등으로 이루어질 수 있다.
한편, 어레이 테스트 장치(100)는 프로브 바 저장부(210)를 더 구비할 수 있다.
프로브 바 저장부(210)는 프로브 프레임(320)으로부터 분리된 프로브 바(310)를 보관하거나, 프로브 프레임(320)에 결합될 프로브 바(310')를 보관하는 기능을 한다. 프로브 바 저장부(210)에 보관되는 프로브 바(310')는 24핀 가로타입, 24핀 세로타입, 16핀 가로타입, 16핀 세로타입 등일 수 있다.
프로브 바 저장부(210)는 프로브 프레임(320)에 인접하게 배치되는 것이 바람직하다. 프로브 바 저장부(210)는 프로브 바 교체부(200)의 프레임(270)에 일체로 결합될 수 있다. 이 경우, 프로브 바 교체부(200)는 프로브 바 저장부(210)와 프로브 프레임(320) 사이를 이동한다.
프로브 바 교체부(200)의 작동을 설명하면, 착탈부(220)는 X축 구동부(230), Y축 구동부(240) 및, Z축 구동부(250)에 의해 구동되어 프로브 프레임(320)에 결합된 프로브 바(310) 위치까지 이동한다. 착탈부(220)는 프로브 바(310)와 결합되면서 프로브 바(310)를 프로브 프레임(320)으로부터 분리시킨다.
이후에, 착탈부(220)는 다시 X축 구동부(230), Y축 구동부(240) 및, Z축 구동부(250)에 의해 구동되어 프로브 바 저장부(210) 위치까지 이동한다. 착탈부(220)는 프로브 바(310)와 분리되면서 프로브 바(310)를 프로브 바 저장부(210)에 보관한다.
이후에, 착탈부(220)는 교체될 프로브 바(310') 위치까지 이동되며, 프로브 바(310')와 결합된다. 그리고, 착탈부(220)는 X축 구동부(230), Y축 구동부(240) 및, Z축 구동부(250)에 의해 구동되어 프로브 프레임(320) 위치까지 이동된다. 착탈부(220)는 프로브 바(310')와 분리되면서 프로브 바(310')를 프로브 프레임(320)에 결합시킨다.
도 2에는 프로빙 어셈블리 및 프로브 바 교체부가 각각 한 쌍이 설치된 것을 도시하였으나, 프로빙 어셈블리 및 프로브 바 교체부는 검사될 기판의 사이즈에 따라 각각 단일개로 설치될 수 있다.
한편, 전술한 실시 예에서 프로브 바 교체부의 구동부가 X축, Y축 및, Z축 방향으로 직선 구동되는 것을 설명하였으나, 구동부의 구성은 다른 실시 예를 통해서도 구현 가능하다. 예를 들어, 구동부는 축을 중심으로 회전되는 로봇의 형태일 수 있고, 가이드 슬롯을 따라 유선형으로 구동되는 로봇의 형태일 수 있다. 즉, 프로브 바 교체부의 구동부의 구성은 어레이 테스트 장치 내의 설치공간에 적절하도 록 다양하게 변경되어 설계될 수 있다.
지금까지 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치는 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당업자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래의 어레이 테스트 장치의 사시도.
도 2는 일 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도.
도 3은 일 실시 예에 따른 프로브 바 교체부의 확대 사시도.
도 4는 일 실시 예에 따른 프로빙 어셈블리 및 프로브 바 교체부의 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 모듈레이터 30 : 광원
60 : 촬상부 70 : 로딩부
80 : 언로딩부 90 : 기판
100 : 어레이 테스트 장치 200 : 프로브 바 교체부
210 : 프로브 바 저장부 220 : 착탈부
230 : X축 구동부 240 : Y축 구동부
250 : Z축 구동부 300 : 프로빙 어셈블리
310 : 프로브 바 320 : 프로브 프레임

Claims (5)

  1. 기판에 전압을 인가하는 프로브 바 및 상기 프로브 바와 결합하는 프로브 프레임을 구비하는 어레이 테스트 장치에 있어서,
    상기 프로브 바를 상기 프로브 프레임에 대해 분리 또는 결합시키는 프로브 바 교체부를 포함하며,
    상기 프로브 바 교체부는,
    상기 프로브 프레임에 결합된 프로브 바 위치로 이동하여 상기 결합된 프로브 바와 결합되면서 상기 프로브 프레임으로부터 분리시키며, 교체될 프로브 바가 위치된 곳으로 이동하여 상기 교체될 프로브 바와 결합한 후 상기 프로브 프레임으로 이동하여 상기 교체될 프로브 바를 상기 프로브 프레임에 결합시키는 착탈부; 및
    상기 착탈부를 상기 프로브 프레임에 대해 적어도 일 방향으로 이동시키는 구동부;
    를 포함하는 어레이 테스트 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 착탈부를 X축, Y축 및, Z축 방향으로 이동시키는 어레이 테스트 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 프레임으로부터 분리된 프로브 바 또는 상기 프로브 프레임에 결합될 프로브 바를 보관하는 프로브 바 저장부;를 더 구비하는 어레이 테스트 장 치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 프로브 바 저장부는 상기 프로브 프레임에 인접하게 배치되며, 상기 프로브 바 교체부는 상기 프로브 바 저장부와 프로브 프레임 사이를 이동하는 어레이 테스트 장치.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101129195B1 (ko) 2010-12-20 2012-03-27 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
CN103033956A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN108122518A (zh) * 2016-11-28 2018-06-05 昆山国显光电有限公司 响应时间的测试方法及装置
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102339087B1 (ko) * 2021-07-07 2021-12-15 (주)티에스이 오작동 방지 가능한 프로브 블록 어레이 테스트 장치

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103105186A (zh) * 2011-11-14 2013-05-15 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 自动更换测针系统及方法
KR101286250B1 (ko) * 2011-11-23 2013-07-12 양 전자시스템 주식회사 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치
JP6137725B2 (ja) * 2012-12-04 2017-05-31 日本電産リード株式会社 搬送装置及び接触子組立装置
CN105355162B (zh) * 2015-11-30 2018-06-05 惠州市德赛自动化技术有限公司 一种显示屏检测治具及运动平台
KR101872876B1 (ko) * 2016-10-17 2018-07-11 (주)영우디에스피 오엘이디 패널용 프로브 유닛 교환 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050073663A (ko) * 2004-01-09 2005-07-18 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 어레이 기판 테스트 장비
KR20060047026A (ko) * 2004-11-12 2006-05-18 삼성전자주식회사 어레이 테스트 시스템
KR100756559B1 (ko) 2006-07-31 2007-09-07 윤남중 대형 세탁기의 세탁유 클리닝 장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090082737A (ko) * 2008-01-28 2009-07-31 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치용 모듈레이터
CN101299125B (zh) * 2008-07-03 2010-10-13 塔工程有限公司 阵列测试器
KR101470591B1 (ko) * 2008-08-04 2014-12-11 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050073663A (ko) * 2004-01-09 2005-07-18 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 어레이 기판 테스트 장비
KR20060047026A (ko) * 2004-11-12 2006-05-18 삼성전자주식회사 어레이 테스트 시스템
KR100756559B1 (ko) 2006-07-31 2007-09-07 윤남중 대형 세탁기의 세탁유 클리닝 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101129195B1 (ko) 2010-12-20 2012-03-27 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
CN103033956A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN103033956B (zh) * 2011-09-30 2015-10-21 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN108122518A (zh) * 2016-11-28 2018-06-05 昆山国显光电有限公司 响应时间的测试方法及装置
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102339087B1 (ko) * 2021-07-07 2021-12-15 (주)티에스이 오작동 방지 가능한 프로브 블록 어레이 테스트 장치

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