KR20090082737A - 어레이 테스트 장치용 모듈레이터 - Google Patents

어레이 테스트 장치용 모듈레이터 Download PDF

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KR20090082737A
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Abstract

본 발명은 어레이 테스트 장치용 모듈레이터에 관한 것으로, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치용 모듈레이터는: 고정 블록의 하면에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 상기 기판 전극들과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극부와, 상기 전기장의 세기에 따라서 특정 물성치가 변경되는 물성 변경부를 구비하는 모듈레이터 본체와; 상기 모듈레이터 본체를 중심으로 양측에 각각 적어도 하나 이상 배치되며, 다수의 미세 구멍으로 통하여 상기 기판 방향으로 공압(空壓)을 배출하는 다공성(多孔性) 물질부를 구비하는 다공 유닛들과; 상기 다공 유닛의 다공성 물질부 중 적어도 하나를 관통하며, 그 출구를 통해 기판 방향으로 소정의 부압(負壓)을 배출하는 적어도 하나의 부압 공급관;들을 구비한다.

Description

어레이 테스트 장치용 모듈레이터{A modulator for an array tester}
본 발명은 기판에 형성된 전극들의 전기적 결함 여부를 검사하는 어레이 테스트 장치에 구비된 모듈레이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판과 일정 유격을 가지고 배치되고, 상기 기판의 전극과 상기 모듈레이터에 구비된 전극 사이에 발생된 전기장의 세기에 따라서 특정 물성 치가 변경되는 어레이 테스트 장치용 모듈레이더에 관한 것이다.
전광 기기란 전기에너지를 공급받아서 빛을 발하는 장치로서, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함하는 개념이다.
상기 전광 기기는, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트를 구비한다.
이 경우, TFT 기판 위에 형성된 TFT 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 상기 어레이 테스트 장치는 모듈레이터를 구비하며, 이 경우, 상기 모듈레이터는, 상기 TFT 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극부를 구비한다.
따라서 상기 모듈레이터가 TFT 패널에 접근된 상태에서 상기 모듈레이터 전극 및 TFT 전극에 각각 일정한 전압을 인가하게 되면, 이들 사이에 전기장이 발생한다. 이때에, TFT 패널에 형성된 전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 전기장의 크기가 작아지게 되며, 따라서 상기 검출된 전기장의 크기에 따라서 TFT 패널의 결함 여부를 검출하게 된다.
상기 기판 전극의 결함 여부를 테스트하는 동안에는, 상기 모듈레이터의 전극과 기판의 전극 사이가 평행하여야 한다. 또한, 모듈레이터의 전극과 기판 전극 사이에 충분한 전기장을 형성되면서도 기판 또는 모듈레이터의 충돌 또는 접함으로써 발생하는 스크래치나 파손 등을 방지하기 위해서는, 기판과 모듈레이터 사이가 수 내지 수십 ㎛로 최대한 인접한 상태에서 이격 배치되어야 한다.
또한, 상기 모듈레이터가 상기 기판의 다른 전극들을 테스트하기 위하여 상기 기판 및 모듈레이터 사이가 상대운동하는 경우에는, 기판과 모듈레이터 사이가 충분히 이격되어야 한다.
종래에는 상기 기판과 모듈레이터 사이의 간격을 조절하기 위해서, 모듈레이터가, 일정 압력의 공기를 상기 기판 방향으로 분출하는 복수의 노즐 유닛들을 구비하였다. 이 경우, 상기 모듈레이터 일측 및 타측에 배치된 노즐 유닛들 각각은, 상대적으로 저압의 공기를 분출하는 저압용 노즐 유닛과, 상대적으로 고압의 공기를 분출하는 고압용 노즐 유닛이 교번하여 배치된다.
이에 따르면, 기판과 모듈레이터가 상대운동을 하는 경우에는 저압용 노즐 유닛과 고압용 노즐 유닛이 동시에 작동하여 상기 기판과 모듈레이터 사이의 간격을 크게 하고, 모듈레이터가 기판 전극의 결함을 테스트하는 경우에는 저압용 노즐 유닛만 작동하여서 상기 기판과 모듈레이터 사이의 간격을 최소화하도록 한다. 이 경우에는, 모듈레이터는 상기 공기 분출 노즐 유닛의 작동에 의하여 자유롭게 승, 하강하도록 배치되어 있다.
그러나 기판과 모듈레이터 사이의 이격거리를 노즐 유닛을 사용하여 제어하는 경우, 상기 노즐 유닛의 노즐로부터 분출되는 공기의 분사면적이 제한됨으로써, 상기 기판과 모듈레이터 사이가 평행 안정화되지는 시점이 늦춰지게 되고, 평행 시점 전에 모듈레이터의 하강 등으로 인한 모듈레이터의 흔들림을 방지하기 어렵다. 특히, 고압용 및 저압용 노즐 유닛을 작동시켜서 모듈레이터와 기판 사이가 상대 운동한 다음, 모듈레이터가 기판 전극 결함 테스트를 위하여 고압용 노즐 유닛의 작동을 중지하고 저압용 노즐 유닛만 작동하여 기판과 모듈레이터 사이를 최대한 근접시키는 시점에서는 상기 문제점이 보다 심각해진다.
이 시점에는, 고압용 노즐 유닛으로부터 고압의 공기가 기판으로 분사되지 않기 때문에, 상기 모듈레이터가 기판 방향으로 하강하게 된다. 이로 인하여 모듈레이터가 미세하게 쿨렁거리게 되는데, 저압용 노즐 유닛으로부터 분출된 공기의 분사 면적만으로는 상기 모듈레이터의 쿨렁거림을 안정적 및 신속하게 멈추게 하기 어렵다.
상기 모듈레이터의 흔들림이 큰 경우에는, 상기 모듈레이터와 기판 사이가 충돌하거나 접촉할 수 있으며, 이에 따라서 기판 또는 모듈레이터 상에 스크래치 또는 크랙이 발생할 수도 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치용 모듈레이터는: 고정 블록의 하면에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 상기 기판 전극들과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극부와, 상기 전기장의 세기에 따라서 특정 물성치가 변경되는 물성 변경부를 구비하는 모듈레이터 본체와; 상기 모듈레이터 본체를 중심으로 양측에 각각 적어도 하나 이상 배치되며, 다수의 미세 구멍으로 통하여 상기 기판 방향으로 공압(空壓)을 배출하는 다공성(多孔性) 물질부를 구비하는 다공 유닛들과; 상기 다공 유닛의 다공성 물질부 중 적어도 하나를 관통하며, 그 출구를 통해 기판 방향으로 소정의 부압(負壓)을 배출하는 적어도 하나의 부압 공급관;을 구비한다.
이 경우, 상기 다공 유닛들은, 상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치된 저압용 다공성 물질부를 구비하고, 상기 부압 공급관은, 상기 저압용 다공성 물질부를 관통하도록 배치되는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 부압 공급관은 상기 모듈레이터 본체와 기판 사이가 좁아지는 시점으로부터 상기 모듈레이터 본체와 기판 사이가 근접된 상태가 안정화되는 시점 까지 기판 상으로 배출되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은, 상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 역삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치되며, 상기 저압용 다공성 물질부보다 상대적으로 고압을 기판 상에 배출하는 고압용 다공성 물질부를 더 구비할 수 있다.
이 경우, 상기 모듈레이터와 기판 사이가 충분히 이격될 필요가 경우에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 고압용 다공성 물질부에서 공압의 기체가 기판 상으로 배출되고, 상기 모듈레이터 본체가 기판으로 접근하는 동안 또는 어레이 테스트가 실시되는 시점에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 부압 공급관으로부터 공압이 기판 상으로 배출되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치된 고압 제공 관들을 더 구비할 수 있다.
이 경우, 상기 모듈레이터와 기판 사이가 충분히 이격될 필요가 경우에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 고압 제공 관에서 공압의 기체가 기판 상으로 배출되고, 상기 모듈레이터 본체가 기판으로 접근하는 동안 또는 어레이 테스트가 실시되는 시점에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 부압 공급관으로부터 공압이 기판 상으로 배출되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면 넓은 표면을 가진 다공성 물질부의 미세 구멍을 통하여 압 력을 제공한다. 이에 따라서, 작동 유체의 분사면적이 커지게 됨으로써, 상기 기판과 모듈레이터 사이가 평행 안정화되지는 시점이 단축되고, 상기 평행 시점 전에 모듈레이터의 하강 등으로 인한 모듈레이터의 흔들림이 방지되어서 전체적인 어레이 테스트 시간이 단축된다.
이와 더불어, 어레이 테스트 중에 소정량의 부압을 기판 상에 제공함으로써,기판과 모듈레이터 간의 평행도가 유지될 수 있음으로써, 보다 정확한 테스트가 실시될 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 모듈레이터를 구비한 어레이 테스트 장치의 일례를 개략적으로 도시한 사시도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장치(10)란 기판(2)에 형성된 기판 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다.
상기 기판(2)은 평판 디스플레이 패널에 구비된 하나의 패널일 수 있으며, 예를 들어 TFT LCD 기판에서 TFT가 형성된 TFT 패널일 수 있다.
어레이 테스트 장치(10)는 테스트 모듈(50)과, 로딩부(20)와, 테스트부(30)와, 언로딩부(40)를 구비할 수 있다.
로딩부(20)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(22)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(22)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어, 테스트 받을 기판이 이에 지지되어 테스트부(30)로 이동되도록 한다.
테스트부(30)는 상기 로딩부(20)의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 플레이트(22)를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트된다.
테스트 모듈(50)은 상기 테스트부(30) 상측 또는 하측 또는 상, 하측에 배치되어서 상기 테스트 플레이트 상에 배치된 기판 전극의 오류 여부를 검출한다. 상기 테스트 모듈(50)은 상기 기판의 전극에 인접 배치된 모듈레이터(100)를 구비하고, 여기에 상기 모듈레이터의 빛 통과 여부를 촬영하는 촬영 장치(55)를 더 구비할 수 있다.
언로딩부(40)는 상기 테스트부(30) 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 기판이 상기 테스트부(30)로부터 여기로 이송되어 외부로 이동된다. 이 경우 언로딩부(40)는, 상기 테스트 완료된 패널이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 하는 언로딩 플레이트(42)를 구비할 수 있다.
이 경우 상기 로딩부(20)의 로딩 플레이트(22)와, 언로딩부(40)의 언로딩 플레이트(42)에는 압력을 기판 방향으로 공급하여 상기 기판을 이동시키는 공기 홀(24, 44)들이 있을 수 있고, 이와 더불어 로딩부(20) 및 언로딩부(40)에는 상기 기판들을 흡착하는 흡착판(70)이 있을 수 있다.
상기 테스트 모듈(50)은 X축 레일(60)을 따라서 X축으로 평행 이동할 수 있다. 또한, 기판은 로딩부(20), 테스트부(30), 언로딩부(40)를 거치면서 Y축 방향으로 이송된다. 따라서 기판과 테스트 모듈(50)을 상대 운동시키면서 기판의 전극들을 테스트할 수 있다.
그러나 본 발명에 적용될 수 있는 어레이 테스트 장치(10)는 도 1에 한정되는 것은 아니다. 기판은 고정 지지판에 고정되고, 테스트 모듈(50)이 X, Y축으로 이동되면서 기판 전극의 오류 여부를 테스트할 수도 있고, 테스트 모듈(50)이 수평 방향으로 고정되고, 기판이 X, Y축으로 이동하면서 기판 전극의 오류 여부를 테스트 받을 수도 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치용 모듈레이터(100)를 도시한 사시도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치용 모듈레이터(100)는 모듈레이터 본체(120)와, 다공 유닛(130)들과, 적어도 하나의 부압 공급관(240)을 구비한다.
모듈레이터 본체(120)는 고정 블록(110)의 하면에 승강 가능하도록 결합된다.
상기 고정 블록(110)은 모듈레이터 본체(120)가 외부 촬영 장치에 노출될 수 있도록 빈 관 형상을 할 수 있다. 상기 고정 블록(110) 위에는 촬영 장치(55, 도 1 참조)가 배치될 수 있다.
이 경우, 상기 모듈레이터 본체(120)가 그 외곽에 배치된 프레임(160)에 결합되고, 상기 프레임이 상기 고정 블록(110)에 승강 가능하도록 결합되어 있을 수 있다.
상기 모듈레이터 본체(120)가 고정 블록(110)에 승강 가능하도록 결합되는 기구는 다양하다. 그 하나의 예로서, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 고정 블록(110)의 하면에 가이드 홈(112)이 형성되고, 상기 프레임(160)에는 끼움홀(162)이 형성되며, 상기 가이드 홈(112)과 끼움홀(162)을 가이드 부재(140)가 삽입되도록 할 수 있다.
상기 끼움홀(162)은 상기 프레임(160) 하측에 형성된 하측 끼움홀부(163)와, 상기 하측 끼움홀부보다 작은 직경으로 단차져서 형성된 상측 끼움홀부(164)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 부재(140)는, 상기 가이드 홈(112)에 삽입 결합된 결합부(141)와, 상기 상측 끼움홀부(164)보다 작은 직경 및 큰 길이를 가지는 가이드 샤프트(142)와, 상기 가이드 샤프트(142)의 하측에 상기 상측 끼움홀부(164)보다 큰 직경을 가진 걸림턱부(143)를 구비한다. 따라서 상기 프레임이 상기 가이드 샤프트(142)를 따라서 일정 구간을 자유롭게 승하강하며 고정 블록(110)과의 간격(K1, K2)을 조절할 수 있다.
그러나 본 발명에서 상기 모듈레이터 본체(120)가 고정 블록(110)에 승강하는 기구는 이에 한정되지 않는다.
다시 도 2로 되돌아가서, 상기 모듈레이터 본체(120)는 모듈레이터 전극부(123)와, 물성 변경부(125)를 구비한다. 모듈레이터 전극부(123)는 기판의 전극들과의 사이에 자기장을 형성한다. 상기 모듈레이터 전극부(123)는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 CNT(Carbon Nano Tube) 등의 소재로 이루어질 수 있으며, 통상 공통전극의 기능을 한다.
물성 변경부(125)는 상기 모듈레이터 전극부(123)와 상기 기판 전극 사이의 전기장의 세기에 따라서 특정 물성치가 변경된다. 상기 물성 변경부(125)는 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal) 필름일 수 있다. 상기 PDLC 필름은 상기 모듈레이터 전극부(123)와 기판의 전극 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부(123)와 기판 전극 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 이를 통과하는 입사되는 빛의 통과 량이 변경되도록 편광 시키는 소재이다.
이 경우, 모듈레이터 본체(120)는 투광 기판(121)을 더 구비할 수 있다. 상기 투광 기판(121)은 빛을 통과시키며 소정 이상의 강성을 가진 소재로 이루어지며, 그 일 측면에 차례로 모듈레이터 전극부(123)와, 물성 변경부(125)가 결합될 수 있다.
상기 물성 변경부(125) 하면에는 반사부재 및/또는 보호필름(127)이 형성될 수도 있다.
도 4는 본 발명에 구비된 모듈레이터 본체(120) 및 다공 유닛들을 도시한 평면도이고, 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 단면도이다. 도 2, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 다공 유닛(130)은 다공성(多孔性) 물질부(134)를 구비한다. 이 경우, 상기 다공 유닛들도 상기 프레임(160)에 설치될 수 있다.
상기 다공성 물질부(134)는 상기 모듈레이터 본체를 중심으로 양측에 각각 적어도 하나 이상 배치되며, 다수의 미세 구멍(134a)으로 통하여 상기 기판 방향으로 공압(空壓)을 배출한다.
상기 다공성 물질부(134)로부터 기판 상으로 배출되는 공압에 의하여, 모듈레이터 본체와 기판 사이에 최적의 이격 거리를 가질 수 있다. 상기 다공성 물질부(134)는 다공성 세라믹일 수 있다.
상기 다공성 물질부(134)는 챔버부(133)에 연결될 수 있다. 상기 챔버부(133)는 압력을 외부로부터 공급받아서 다공성 물질부에 전달한다. 이 경우, 고정 블록(110)에는 상기 챔버부(133)에 압력을 제공하기 위한 밸브(116, 118)와, 연결관(117, 119)들이 형성될 수 있다.
상기 다공성 물질부(134)의 미세 구멍 직경(氣孔)(P)은 1㎛ 내지 300㎛ 인 것이 바람직하다. 상기 다공성 물질부(134)의 미세 구멍 직경(P)이 1㎛ 이하일 경우에는 다공성 물질이라 볼 수 없으며, 상기 다공성 물질부(134)의 미세 구멍 직경(P)이 300㎛ 이상인 경우에는 기공의 사이즈가 커서 기판 방향으로 제공하는 압력이 낮아지기 때문이다.
이와 더불어 상기 다공성 물질부(134)의 기공율(氣孔率)은 체적비로 40%이하인 것이 바람직하다.
상기 다공성 물질부(134)는 미세 구멍(134a)이 전체 면에 골고루 형성되어 있다. 이에 따라서 다공성 물질부(134)에서 공급되는 압력은 상기 다공성 물질부(134)의 표면 넓이만큼 큰 면적을 통하여 균등하게 전달됨으로써, 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판 사이가 보다 안정적으로 소정 위치에 이격될 수 있다.
특히 어레이 테스트를 위하여 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판 사이가 근접하는 시에, 다공성 물질부(134)의 넓은 표면을 통하여 공압이 배출된다. 따라서 모듈레이터 본체(120)가 흔들리는 것을 최대한 방지하며 신속히 소정 위치에서 기판과 평행되게 된다. 이에 따라서, 모듈레이터 본체(120)가 기판과 충돌하거나 접촉되는 것을 방지하여, 모듈레이터 본체 또는 기판이 스크래치나 파손 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
부압 공급관(240) 각각은, 상기 다공성 물질부(134) 중 적어도 하나를 관통하며, 그 출구를 통해 기판 방향으로 부압(負壓)을 배출한다. 상기 다공성 물질부(134)로부터 방출되는 공압은 모듈레이터 본체(120) 및 기판 사이로부터 외부로 방출된다. 이 경우, 외부와의 압력의 차이로 인하여 모듈레이터의 흔들림이 발생하게 되는데, 상기 부압 공급관이 상기 외부로 방출되는 압력의 적어도 일부를 흡수하게 됨으로써 상기 흔들림을 방지할 수 있게 된다.
이에 따라서, 상기 부압 공급관(240)으로부터 기판 상으로 부압이 작동하게 되면, 모듈레이터 본체(120)의 흔들림을 보다 신속하게 멈추게 할 뿐만 아니라, 모듈레이터 본체와 기판과의 평행 상태를 지속시킬 수 있게 된다.
이 경우, 상기 고정 블록(110)에는, 상기 부압 공급관(240)로 부압을 부여하기 위한 부압 밸브(114)와, 부압 연결관(115)이 형성될 수 있다.
이 경우, 상기 다공 유닛(131)은 저압용 다공성 물질부(134L)와 저압용 챔버부(133L)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 저압용 다공성 물질부(134L)는 모듈레이터 본체(120)의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체(120)의 중앙부를 중심으로 한 가상 삼각형(t1)의 각 꼭짓점을 중심으로 배치된다. 또한, 상기 고정 블록(110)에는, 상기 저압용 다공성 물질부(134L)로 부압을 부여하기 위한 저압용 밸브(116)와, 저압용 연결관(117)이 형성될 수 있다.
상기 저압용 챔버부(133)는 상기 각각의 저압용 다공성 물질부(134L)와 연통한다.
상기 저압용 다공성 물질부(134L)는, 상기 모듈레이터 본체(120)가 기판에 접근된 상태에서 어레이 테스트를 실시하는 경우에 공압을 배출함으로써, 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판(2) 사이의 간격(G2)이 인접한 상태, 예를 들어 10㎛∼20㎛로 유지되도록 한다.
이 경우, 상기 부압 공급관(240)은 상기 저압용 다공성 물질부(134L)를 관통하도록 배치되도록 할 수 있다. 상기 어레이 테스트 중에 부압 공급관(240)으로부터 부압이 발생함으로써, 모듈레이터 본체와 기판 사이에 있는 고압의 공기의 적어도 일부가 상기 부압 공급관(240)을 통하여 빠져 나감으로써, 상기 공기가 외부로 급격하게 빠져나가는 것을 방지하여서 모듈레이터 본체가 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 부압 공급관(240)으로부터의 부압은, 어레이 테스트를 실시하기 위하여 모듈레이터 본체(120)가 기판에 접근하는 상태 및 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판 사이가 충분히 접근한 상태에서 안정화되는 상태까지만 배출되도록 할 수도 있다. 즉, 상기 모듈레이터 본체와 기판 사이가 가까워지면, 이들 사이의 압력이 점점 더 고압이 되고, 이 상태에서 외부로 급격히 공기가 빠져나가려고 한다. 이때, 부압 공급관(240)으로부터의 부압이 배출되면, 상기 외부로 빠져나가던 공기의 적어도 일부가 부압 공급관(240)으로 빠져나가게 됨으로써, 모듈레이터가 꿀렁거리는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 부압 공급관(240)은 일종의 댐퍼(damper) 기능을 하게 된다.
상기 다공 유닛(130)은 고압용 다공 물질부(134H)들을 더 구비할 수 있다.
상기 고압용 다공성 물질부(134H)는 고압용 챔버부(133H)와 연통할 수 있다. 상기 고압용 다공성 물질부(134H)는 상기 모듈레이터 본체(120)의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체(120)의 중앙부를 중심으로 한 가상 역삼각형(t2)의 각 꼭짓점을 중심으로 각각 배치될 수 있다.
즉, 상기 모듈레이터 본체(120)의 일측 외곽에, 저압용 다공성 물질부(134L)와, 고압용 다공성 물질부(134H)와, 저압용 다공성 물질부(134L)가 차례로 배치되고, 모듈레이터 본체(120)의 타측 외곽에, 고압용 다공성 물질부(134H)와, 저압용 다공성 물질부(134L)과, 고압용 다공성 물질부(134H)가 차례로 배치될 수 있다. 상기 저압용 다공성 물질부(134L) 및 고압용 다공성 물질부(134H)가 각각 삼각형 구조이므로, 모듈레이터 본체(120)가 안정적으로 위치할 수 있도록 한다.
이 경우, 상기 고정 블록(110)에는, 상기 고압용 다공성 물질부(134H)로 부압을 부여하기 위한 고압용 밸브(118)와, 고압용 연결관(119)이 형성될 수 있다.
따라서 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 모듈레이터 본체(120)가 기판(2)과 충분한 이격 거리를 가질 필요가 있는 경우에는, 상기 고압용 다공성 물질부(134H) 및 저압용 다공성 물질부(134L)로부터 압력이 기판 방향으로 분출된다. 이에 따라서 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판(2) 사이의 간격(G1)을 충분히, 예를 들어 80㎛ ∼ 120㎛로 유지시킨다.
또한, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 모듈레이터 본체(120)가 기판(2)에 접근되는 상태나, 어레이 테스트를 실시하는 상태에는 상기 고압용 다공성 물질부(134H)로부터는 압력이 배출되지 않고, 저압용 다공성 물질부(134L) 및 부압 공급관(240)으로부터 압력이 배출된다. 이에 따라서 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판(2) 사이의 간격(G2)이 인접한 상태, 예를 들어 10㎛∼20㎛로 유지되며, 이 상태에서 어레이 테스트가 실시된다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명은 고압용 다공성 물질부(134H) 대 신 고압 제공 관(250)들을 더 구비할 수 있다.
상기 고압 제공 관(250)들은 상기 저압용 다공성 물질부(134L)에 인접하여 배치될 수 있다. 이와 달리 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 저압용 다공성 물질부(134L)들 각각이 상기 모듈레이터 본체(120)의 일측 외곽 및 타측 외곽을 따라서 길게 형성되고, 상기 고압 제공 관(250)들이 상기 저압용 다공성 물질부(134L)를 관통하도록 형성될 수도 있다.
상기 고정 블록(110)에는, 상기 고압 제공 관(250)으로 저압용 다공성 물질부보다 상대적으로 고압의 공기를 공급하기 위한 고압 밸브(253)와, 고압 연결관(254)이 형성될 수 있다.
이 경우, 상기 고압 제공 관(250)은 모듈레이터 본체(120)의 중앙부를 중심으로 한 가상 삼각형 또는 역삼각형의 각각 꼭짓점에 대략 위치할 수 있다.
이에 따르면, 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 기판과 모듈레이터 본체(120) 사이를 충분히 이격시켜서 상기 모듈레이터 본체 또는 기판이 수평 운동하기 위해서는 고압 제공 관(250)들 및 저압용 다공성 물질부(134L)로부터 일정 압력을 가진 공기를 기판 상으로 배출한다. 이에 따라서 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판(2) 사이의 간격(G1)을 충분히, 예를 들어 80㎛ ∼ 120㎛로 유지시킨다.
또한, 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 모듈레이터 본체(120)가 기판(2)에 접근되는 상태나, 어레이 테스트를 실시하는 상태에는 상기 고압 제공 관(250)으로부터는 압력이 배출되지 않고, 저압용 다공성 물질부(134L) 및 부압 공급관(240)으로부터 압력이 배출된다. 이에 따라서 상기 모듈레이터 본체(120)와 기판(2) 사이의 간격(G2)이 인접한 상태, 예를 들어 10㎛∼20㎛로 유지되며, 이 상태에서 어레이 테스트가 실시된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 모듈레이터를 구비한 어레이 테스트 장치의 일예를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장치용 모듈레이터를 도시한 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 각각 도 2의 A부를 확대 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 모듈레이터에 구비된 모듈레이터 본체와, 다공성 물질부와, 부압 공급부를 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 2의 모듈레이터에 구비된 다공성 물질부와 부압 공급부의 작동을 도시한 사시도들이다.
도 7은 도 2의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 8a 및 도 8b는 도 7의 모듈레이터에 구비된 다공성 물질부와 부압 공급부와, 고압 제공 관들의 작동을 도시한 단면도이다.

Claims (8)

  1. 기판에 형성된 전극의 전기적 결함 여부를 검사하는 어레이 테스트 장치에 구비된 모듈레이터에 있어서,
    고정 블록의 하면에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 상기 기판 전극들과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극부와, 상기 전기장의 세기에 따라서 특정 물성치가 변경되는 물성 변경부를 구비하는 모듈레이터 본체;
    상기 모듈레이터 본체를 중심으로 양측에 각각 적어도 하나 이상 배치되며, 다수의 미세 구멍으로 통하여 상기 기판 방향으로 공압(空壓)을 배출하는 다공성(多孔性) 물질부를 구비하는 다공 유닛들; 및
    상기 다공 유닛의 다공성 물질부 중 적어도 하나를 관통하며, 그 출구를 통해 기판 방향으로 소정의 부압(負壓)을 배출하는 적어도 하나의 부압 공급관;
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다공 유닛들은, 상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치된 저압용 다공성 물질부를 구비하고,
    상기 부압 공급관은, 상기 저압용 다공성 물질부를 관통하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 부압 공급관은 상기 모듈레이터 본체와 기판 사이가 좁아지는 시점으로부터 상기 모듈레이터 본체와 기판 사이가 근접된 상태가 안정화되는 시점까지 기판 상으로 배출되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 역삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치되며, 상기 저압용 다공성 물질부보다 상대적으로 고압을 기판 상에 배출하는 고압용 다공성 물질부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 모듈레이터와 기판 사이가 충분히 이격될 필요가 경우에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 고압용 다공성 물질부에서 공압의 기체가 기판 상으로 배출되고,
    상기 모듈레이터 본체가 기판으로 접근하는 동안 또는 어레이 테스트가 실시되는 시점에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 부압 공급관으로부터 공압이 기판 상으로 배출되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 타측 외곽에 상기 모듈레이터 본체의 중앙부를 중심으로 한 가상 역삼각형의 각 꼭짓점을 중심으로 배치된 고압 제공 관들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 저압용 다공성 물질부들은 상기 모듈레이터 본체의 일측 외곽 및 상기 모듈레이터 본체의 타측 외곽을 따라서 배치되고, 상기 고압 제공관은 상기 저압용 다공성 물질부를 관통하도록 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 모듈레이터와 기판 사이가 충분히 이격될 필요가 경우에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 고압 제공 관에서 공압의 기체가 기판 상으로 배출되고,
    상기 모듈레이터 본체가 기판으로 접근하는 동안 또는 어레이 테스트가 실시되는 시점에는, 상기 저압용 다공성 물질부 및 부압 공급관으로부터 공압이 기판 상으로 배출되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치용 모듈레이터.
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