KR20200131958A - 어레이 테스터 - Google Patents

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KR20200131958A
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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터는 모듈레이터 유닛과, 상기 모듈레이터 유닛이 결합되고, 상기 모듈레이터 유닛을 고정하는 모듈레이터 장착유닛을 포함하는 어레이 테스터 바디 유닛을 포함하고, 상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 모듈레이터 유닛이 상기 어레이 테스터 바디 유닛에 결합되는 방향과 동축방향으로 상기 모듈레이터 유닛을 고정한다.

Description

어레이 테스터{Array Tester}
본 발명은 모듈레이터 장착유닛을 포함하는 어레이 테스터에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구 및 개발되어 왔다.
그 중에서 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 의하여 성능이 더욱 향상된 액정표시장치는, 현재 화질이 우수하고, 소형화, 경량화 및 저전력화 등의 장점으로 인하여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT)을 대체하면서 많이 사용되고 있다.
평판표시장치의 하나인 액정표시장치는, 휴대 가능한 핸드폰, PDA(Personal Digital Assistant) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 등과 같은 소형 제품뿐만 아니라 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 TV 및 컴퓨터의 모니터 등의 중대형 제품에 이르기까지 다양하게 사용되고 있다.
액정표시장치는, 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
이러한 액정표시장치는, 복수의 픽셀 패턴을 형성한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하 TFT라 함) 기판과 컬러 필터층을 형성한 컬러필터 기판 사이에, 전기적인 신호가 인가됨에 따라 광의 투과 여부를 결정하는 액정층을 구비한다.
이와 같은 액정표시장치는 제조공정중에 TFT 기판에 형성된 게이트라인 또는 데이터라인의 단선 또는 오픈 기타 TFT 기판 상의 회로불량 등의 결함을 테스트하는 공정을 수행하게 된다.
또한, 기판 위에 형성된 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 그리고 어레이 테스트 장치는 픽스바디 유닛과 모듈레이터 유닛이 결합된 프리바디 유닛을 포함한다. 모듈레이터 유닛은 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극과, 상기 전기장의 크기에 따라서 물성이 변하는 물성변화부를 구비한다.
모듈레이터 유닛은 기판 일부분에 대하여 어레이 테스트를 실시 후에, 인접하는 다음 테스트 위치로 이동하여서 어레이 테스트를 반복하게 된다.
한편, 종래기술에 따른 어레이 테스터는 프리바디 유닛에 모듈레이터 유닛을 결합시키기 위해 모듈레이터 유닛을 진공흡착하고, 프리바디 유닛의 양측에서 모듈레이터 유닛을 고정시킨다.
상기한 방법으로 모듈레이터 유닛을 프리바디 유닛의 측부에서 결합시킴에 따라, 모듈레이터 유닛은 프리바디 유닛에 결합된 후 위치편차가 발생된다.
그리고 모듈레이터 유닛의 위치편차가 발생될 경우 별도의 추가공정을 통해 모듈레이터 유닛의 위치를 보정해야 한다.
본 발명의 목적은 모듈레이터 유닛의 위치편차를 최소화시킬 수 있는 어레이 테스터를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 모듈레이터 유닛의 위치보정을 위한 추가공정이 요구되지 않는 어레이 테스터를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터는 모듈레이터 유닛과, 상기 모듈레이터 유닛이 결합되고, 상기 모듈레이터 유닛을 고정하는 모듈레이터 장착유닛을 포함하는 어레이 테스터 바디 유닛을 포함하고, 상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 모듈레이터 유닛이 상기 어레이 테스터 바디 유닛에 결합되는 방향과 동축방향으로 상기 모듈레이터 유닛을 고정한다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 어레이 테스터 바디유닛은 픽스바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 이동가능하도록 결합된 프리바디 유닛을 포함하고, 상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 프리바디 유닛에 결합되고, 상기 모듈레이터 유닛은 모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되고 상기 모듈레이터의 외주를 커버하는 바디 프레임을 포함할 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 바디 프레임의 하부를 지지하는 회동 및 승강 지지부와, 상기 바디 프레임을 흡착고정하는 진공흡착부와, 상기 바디 프레임이 상기 진공흡착부에 흡착결합된 상태인지 여부를 확인하는 센서부를 포함한다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 회동 및 승강 지지부는 상기 바디 프레임을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 회동 또는 승강시키는 구동장치를 포함한다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 지지부재는 상기 구동장치에 연결된 축부재와, 상기 축부에 연결되고 직교방향으로 연장된 연장지지부재를 포함하고, 상기 지지부재는 전체적으로 “ㄴ” 형상으로 이루어질 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 픽스바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와, 상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와, 상기 모듈레이터 및 글라스 패널 사이의 거리를 검출하는 센서를 포함하고, 상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 거리의 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정한다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 모듈레이터와 상기 센서는 상기 글라스 패널과의 거리방향에 대하여 동일면에 위치될 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 복수개가 결합될 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 프리바디 유닛에는 제1 댐퍼부재 고정부가 형성되고, 상기 픽스바디에는 제2 댐퍼부재 고정부가 형성되고, 상기 프리바디 유닛은 일측이 상기 제1 댐퍼부재 고정부에 결합되고, 타측이 상기 제2 댐퍼부재 고정부에 결합되는 댐퍼부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 댐퍼부재는 내측 댐퍼부재와 외측 댐퍼부재를 포함하고, 상기 제1 댐퍼부재 고정부는 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 제1 외측 댐퍼부재 고정부를 포함하고, 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부는 상기 프리바디 유닛의 외측 가장자리부에 형성되고, 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 비하여 상기 프리바디 유닛의 내측에 형성되고, 상기 제2 댐퍼부재 고정부는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부에 대응되는 제2 내측 댐퍼부재 고정부와, 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 대응되는 제2 외측 댐퍼부재 고정부를 포함하고, 상기 내측 댐퍼부재는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 상기 제2 내측 댐퍼부재 고정부에 결합되고, 상기 외측 댐퍼부재는 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부와 상기 제2 외측 댐퍼부재 고정부에 결합될 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 내측 댐퍼부재와 상기 외측 댐퍼부재는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 각각 결합된 경우, 상기 프리바디 유닛이 승강되는 방향에 대하여 높이 편차를 갖도록 이루어질 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부는 상기 프리바디 유닛의 모서리에 4개 형성되고, 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 3개 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터에 있어서, 상기 댐퍼부재는 불소고무로 이루어질 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 의하면 모듈레이터 유닛의 위치편차가 최소화되어 테스트 성능이 향상된다.
또한, 본 발명에 의하면 모듈레이터 유닛 장착 후, 위치보정을 위한 추가공정을 생략할 수 있어 생산성이 향상된다.
본 발명의 기술적 사상의 실시예는, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 저면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해사시도.
도 4는 도 1에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 모듈레이터 장착유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 5는 도 2에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 모듈레이터 유닛이 분해된 상태의 개략적인 구성도이다.
도 6은 도 2에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 A-A 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터의 모듈레이터 유닛 결합방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도 8은 도 7에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 구성도이다.
도 9는 도 8에 도시한 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 사용상태도이다.
도 10은 도 2에 도시한 어레이 테스터의 프리바디 유닛에 결합된 댐퍼부재를 개략적으로 도시한 구성도로서, 도 10의 (a)는 프리바디 유닛의 사시도이고, 도 10의 (b)는 픽스바디 유닛의 저면도이다.
도 11은 도 10에 도시한 댐퍼부재 결합구조를 개략적을 도시한 구성도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터를 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 저면도이다.
도시한 바와 같이, 어레이 테스터(1000)는 어레이 테이스 바디 유닛인 픽스바디 유닛(1100) 및 프리바디 유닛(1200)과 갭보정 유닛(1300), 모듈레이터 유닛(1400), 모듈레이터 장착유닛(1500)을 포함한다.
보다 구체적으로, 모듈레이터 유닛(1400)은 프리바디 유닛(1200)에 결합되고, 프리바디 유닛(1200)은 픽스바디 유닛(1100)에 갭보정 유닛(1300)에 의해 이동가능하도록 결합된다.
모듈레이터(1410)는 바디프레임(1420)에 결합되고, 바디프레임은 모듈레이터의 외주를 커버한다. 또한, 글라스 패널에 모듈레이터(1410)가 대향되도록 바디프레임(1420)은 프리바디 유닛(1100)에 장착된다.
이를 위해 모듈레이터 장착유닛(1500)은 프리바디 유닛(1100)에 결합되고, 모듈레이터 유닛(1400)은 모듈레이터 장착유닛(1500)에 의해 프리바디 유닛(1200)에 고정시킨다.
이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 모듈레이터 장착유닛의 세부구성 및 작동관계에 대하여 보다 자세히 기술한다.
도 3은 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해사시도이고, 도 4는 도 1에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 모듈레이터 장착유닛을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 5는 도 2에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 모듈레이터 유닛이 분해된 상태의 개략적인 구성도이다. 도 6은 도 2에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 A-A 단면도이다.
도시한 바와 같이, 어레이 테스터(1000)의 프리바디 유닛(1200)에는 모듈레이터 장착유닛(1500)이 결합되고, 모듈레이터 유닛(1400)은 모듈레이터 장착유닛(1500)에 의해 프리바디 유닛(1200)에 고정된다.
보다 구체적으로, 모듈레이터 장착유닛(1500)은 회동 및 승강 지지부(1510), 진공흡착부(1520) 및 센서부(1530)를 포함한다.
회동 및 승강 지지부(1510)는 구동장치(1511) 및 지지부재(1512)를 포함한다. 지지부재(1512)는 구동장치(1511)에 결합되고, 구동장치(1511)는 지지부재(1512)를 회동시키거나 승강시킨다. 이를 위해 구동장치(1511)는 회동모터와 승강모터를 포함할 수 있다. 또한, 구동장치(1511)는 공압구동부로 구현될 수도 있다.
지지부재(1512)는 구동장치(1511)에 연결된 축부재(1512a)와, 상기 축부에 연결되고 직교방향으로 연장된 연장지지부재(1512b)를 포함한다.
또한, 지지부재(1512)는 전체적으로 “ㄴ” 형상으로 이루어질 수 있다.
진공흡착부(1520)는 모듈레이터 유닛(1400)의 바디프레임(1420)에 흡착력을 제공하고 바디프레임(1420)을 프리바디 유닛(1200)에 고정시키기 위한 것이다.
또한, 센서부(1530)는 모듈레이터 유닛(1400)이 프리바디 유닛(1200)에 흡착결합된 상태인지 여부를 확인하기 위한 것으로, 진공흡착부(1520)에 인접하도록 프리바디 유닛에 장착된다.
본 발명의 일실시예에 따른 모듈레이터 장착유닛은 상기한 바와 같이 이루어지고, 모듈레이터 유닛(1400)을 흡착시켜 프리바디 유닛(1200)에 1차로 결합시키고, 회동 및 승강 지지부(1510)의 지지부재(1512)를 통해 회동시키고(화살표 R로 도시함), 상승시켜 모듈레이터 유닛(1400)의 바디프레임(1420) 하부를 지지한다.
이때, 구동장치(1511)는 지지부재(1512)를 바디프레임(1420) 측으로 회동시키고, 지지부재(1512)를 상승시켜 바디프레임(1420)의 하부를 지지한다.
이에 따라, 모듈레이터 유닛(1400)의 승강방향(도 10에 Y축으로 도시함)으로 지지한다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터의 모듈레이터 유닛 결합방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도시한 바와 같이, 어레이 테스터의 모듈레이터 유닛 결합방법(S1000)은 모듈레이터 유닛 위치설정 단계(S1100), 모듈레이터 유닛 흡착단계(S1200) 및 회동 및 승강 지지부 작동단계(S1300)를 포함한다.
보다 구체적으로, 모듈레이터 유닛 위치설정 단계(S1100)는 진공흡착부에 대향되도록 모듈레이터 유닛을 위치시키는 단계이다.
모듈레이터 유닛 흡착단계(S1200)는 진공흡착부를 통해 모듈레이터 유닛을 프리바디 유닛에 흡착결합시킨다. 이 때, 센서부는 모듈레이터 유닛이 흡착결합된 상태를 확인한다.
로터리 실린더 작동단계(S1300)는 센서부에 의해 모듈레이터 유닛이 프리바디 유닛에 흡착된 상태가 확인된 경우, 회동 및 승강 지지부(1510)의 구동장치(1511)는 지지부재(1512)를 회동시키고, 상승시켜 모듈레이터 유닛의 하부를 지지한다.
도 8은 도 7에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 구성도이고, 도 9는 도 8에 도시한 피에조 갭조정 유닛의 개략적인 사용상태도이다.
피에조 갭보정 유닛(1300)은 제1 결합바디(1310), 제2 결합바디(1320), 피에조 엑추에이터(1330) 및 센서(1340)를 포함한다.
제1 결합바디(1310)는 픽스바디 유닛(1100)에 결합(도 2에 도시됨)되고, 제2 결합바디(1320)는 프리바디 유닛(1200)에 결합된다.
제1 결합바디(1310)는 피에조 엑추에이터(1330)의 일측부에 결합되고, 제2 결합바디(1320)는 피에조 엑추에이터(1330)의 타측부에 결합된다.
이에 따라 피에조 엑추에이터(1330)의 변위에 의해 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)는 상대적 변위가 발생된다. 그리고 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)의 상대적 변위에 의해 픽스바디 유닛(1100)과 프리바디 유닛(1200)은 상대적 위치변위가 발생된다.
또한, 피에조 엑추에이터(1330)의 변위는 0~40㎛ 이고, 이에 따라 픽스바디 유닛(1100)에 대한 프리바디 유닛(1200)의 가동변위는 0~40㎛이 될 수 있다.
센서(1340)는 글라스 패널과 모듈레이터(1410) 사이의 갭을 측정하기 위한 것으로, 제2 결합바디(1320)에 장착된다.
글라스 패널에 대향된 모듈레이터(1410)와 동일하게 위치되도록, 센서(1340)는 제2 결합바디(1320)에 의해 프리바디 유닛(1200)에 장착될 수 있다.
즉, 상기 글라스 패널과 상기 모듈레이터의 상기 갭 방향인 글라스 패널과의 이격거리에 대한 방향(도 10에 Y축으로 도시함)에 대하여, 모듈레이터(1410)와 센서(1340)는 동일면으로 위치될 수 있다.
피에조 갭보정 유닛(1300)은 상기한 바와 같이 이루어지고, 센서(1340)에 의해 검출된 정보를 통해 피에조 엑추에이터(1330)는 변위되고, 제1 결합바디(1310)와 제2 결합바디(1320)는 상대적 변위가 발생된다.
또한, 안정적이고 정확한 위치조정을 위해 피에조 갭보정 유닛(1300)은 프리바디 유닛(1200)에 복수개가 장착될 수 있다. 또한, 도 3은 3개의 피에조 갭보정 유닛(1300)이 이격된 상태로 프리바디 유닛(1200)에 장착된 일실시예를 도시한 것이다.
도 10은 도 2에 도시한 어레이 테스터의 프리바디 유닛에 결합된 댐퍼부재를 개략적으로 도시한 구성도로서, 도 10의 (a)는 프리바디 유닛의 사시도이고, 도 10의 (b)는 픽스바디 유닛의 저면도이고, 도 11은 도 10에 도시한 댐퍼부재 결합구조를 개략적을 도시한 구성도이다.
도시한 바와 같이, 댐퍼부재(1220)는 프리바디 유닛(1200)과 픽스바디 유닛(1100)에 결합되어 프리바디 유닛의 승강방향과 어레이 테스터의 진행방향에 대한 진동을 감쇄시키기 위한 것이다. 댐퍼부재는 마모에 따른 이물방지를 위해 불소고무로 이루어질 수 있다.
프리바디 유닛(1200)에는 제1 댐퍼부재 고정부(도1211, 1212)가 형성되고, 픽스바디 유닛(1100)에는 제2 댐퍼부재 고정부(1111, 1112)가 형성된다.
댐퍼부재(1220)의 일측은 제1 댐퍼부재 고정부(1211, 1212)에 결합되고, 타측은 제2 댐퍼부재 고정부(1111, 1112)에 결합된다.
또한, 댐퍼부재(1220)는 내측 댐퍼부재(1221)와 외측 댐퍼부재(1222)를 포함한다.
댐퍼부재(1221, 1222)에는 제1 댐퍼부재 고정부(1211, 1212)와 제2 댐퍼부재 고정부(1111, 1112)가 각각 삽입되는 제1 홈(1221a, 1222a)과 제2 홈(1221b, 1222b)이 형성된다.
제1 댐퍼부재 고정부(1211, 1212)는 제1 내측 댐퍼부재 고정부(1211)와 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)를 포함하고, 제2 댐퍼부재 고정부(1111, 1112)는 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)와 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)를 포함한다.
또한, 제1 내측 댐퍼부재 고정부(1211)와 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)는 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)와 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)에 각각 대향되도록 형성된다.
또한, 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)는 픽스바디 유닛(1100)의 외측 가장자리부에 형성되고, 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)는 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)에 비하여 픽스바디 유닛(1100)의 내측에 형성될 수 있다.
또한, 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)는 프리바디 유닛(1200)의 외측 가장자리부에 형성되고, 제1 내측 댐퍼부재 고정부(1211)는 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)에 비하여 프리바디 유닛(1200)의 내측에 형성될 수 있다.
또한, 도 7의 (b)는 이에 대한 일실시예로서 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)는 픽스바디 유닛(1100)의 외측 가장자리에 4개 형성되고, 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)는 픽스바디 유닛(1100)의 내측에 3개 형성된 것을 도시한 것이다.
그리고 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)와 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)에 결합되는 4개의 외측 댐퍼부재(1222)는 픽스바디 유닛(1100)과 프리바디 유닛(1200)의 외측 코너에 대한 진동을 댐핑시킨다.
또한, 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)와 제1 내측 댐퍼부재 고정부(1211)에 결합되는 3개의 내측 댐퍼부재(1221)는 프리바디 유닛이 승강되는 축방향에 대한 위치 진동을 댐핑시킬 수 있다.
또한, 내측 댐퍼부재(1221)와 외측 댐퍼부재(1222)는 상기 프리바디 유닛이 승강되는 방향에 대하여 높이 편차를 갖도록 내측 댐퍼부재(1221)는 제2 내측 댐퍼부재 고정부(1111)와 제1 내측 댐퍼부재 고정부(1211)에 결합되고, 외측 댐퍼부재(1222)는 제2 외측 댐퍼부재 고정부(1112)와 제1 외측 댐퍼부재 고정부(1212)에 결합될 수 있다.
또한, 상기한 바에 따라 내측 댐퍼부재(1221)와 외측 댐퍼부재(1222)의 높이 편차에 의해 프리바디 유닛(1200)이 승강되는 축방향에 대하여 어레이 테스터는 2중 댐핑이 가능하게 된다.
또한, 제1 외측 댐퍼부재 고정부는 프리바디 유닛의 모서리에 4개 형성되고, 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 3개 형성되고, 피에조 갭보정 유닛(1300)은 프리바디 유닛(1200)의 일측에 1개, 상기 프리바디 유닛(1200)의 타측에 2개가 장착될 수 있다.
또한, 3개의 제1 내측 댐퍼부재 고정부 중에서 1개는 프리바디 유닛의 타측에 장착된 2개의 피에조 갭보정 유닛 사이에 형성되고, 2개의 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 상기 프리바디 유닛의 일측에 장착된 1개의 피에조 갭보정 유닛 양측에 형성된다.
또한, 3개의 내측 댐퍼부재는 각각 제1 내측 댐퍼부재 고정부에 결합됨에 따라, 2개의 피에조 갭보정 유닛 사이에 하나의 내측 댐퍼부재가 위치되고, 개의 피에조 갭보정 유닛 양측에 2개의 내측 댐퍼부재가 위치된다.
상기한 바와 같이 이루어지고, 픽스바디 유닛(1100)에 프리바디 유닛(1200)을 이동가능하도록 결합시킬 경우, 댐퍼부재(1220)는 제1 댐퍼부재 고정부(1210)와 제2 댐퍼부재 고정부에 동시에 결합된다.
이에 따라, 글라스 패널에 대향된 어레이 테스터(1000)의 이동방향(도 10에 Y축으로 도시함)의 이동과, 길이방향으로 연장된 글라스 패널에 대한 어레이 테스터(1000)의 이동방향(도 10에 X축으로 도시함) 발생되는 진동은 댐퍼부재(1220)에 의해 감쇄된다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000: 어레이 테스터 1100: 픽스바디 유닛
1111: 제2 내측 댐퍼부재 고정부 1112: 제2 외측 댐퍼부재 고정부
1200: 프리바디 유닛 1210: 제1 댐퍼부재 고정부
1211: 제1 내측 댐퍼부재 고정부 1212: 제1 외측 댐퍼부재 고정부
1220: 댐퍼부재 1221: 내측 댐퍼부재
1222: 외측 댐퍼부재 1300: 갭보정 유닛
1310: 제1 결합바디 1320: 제2 결합바디
1330: 피에조 엑추에이터 1340: 센서
1400: 모듈레이터 유닛 1410: 모듈레이터
1420: 바디프레임 1500: 모듈레이터 장착유닛
1510: 회동 및 승강 지지부 1520: 진공흡착부
1530: 센서부 1511: 구동장치
1512: 지지부재

Claims (14)

  1. 모듈레이터 유닛; 및
    상기 모듈레이터 유닛이 결합되고, 상기 모듈레이터 유닛을 고정하는 모듈레이터 장착유닛을 포함하는 어레이 테스터 바디 유닛을 포함하고,
    상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 모듈레이터 유닛이 상기 어레이 테스터 바디 유닛에 결합되는 방향과 동축방향으로 상기 모듈레이터 유닛을 고정하는
    어레이 테스터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 어레이 테스터 바디유닛은
    픽스바디 유닛과, 상기 픽스바디 유닛에 이동가능하도록 결합된 프리바디 유닛을 포함하고,
    상기 모듈레이터 장착유닛은 상기 프리바디 유닛에 결합되고,
    상기 모듈레이터 유닛은 모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되고 상기 모듈레이터의 외주를 커버하는 바디 프레임을 포함하는
    어레이 테스터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 모듈레이터 장착유닛은
    상기 바디 프레임의 하부를 지지하는 회동 및 승강 지지부와,
    상기 바디 프레임을 흡착고정하는 진공흡착부와,
    상기 바디 프레임이 상기 진공흡착부에 흡착결합된 상태인지 여부를 확인하는 센서부를 포함하는
    어레이 테스터.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 회동 및 승강 지지부는
    상기 바디 프레임을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 회동 또는 승강시키는 구동장치를 포함하는
    어레이 테스터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지지부재는
    상기 구동장치에 연결된 축부재와, 상기 축부에 연결되고 직교방향으로 연장된 연장지지부재를 포함하고,
    상기 지지부재는 전체적으로 “ㄴ” 형상으로 이루어진
    어레이 테스터.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 픽스바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛을 더 포함하는
    어레이 테스터.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은
    상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와, 상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와, 상기 모듈레이터 및 글라스 패널 사이의 거리를 검출하는 센서를 포함하고,
    상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 거리의 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정하는
    어레이 테스터.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 모듈레이터와 상기 센서는 상기 글라스 패널과의 거리방향에 대하여 동일면에 위치된
    어레이 테스터.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 복수개가 결합된
    어레이 테스터.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 프리바디 유닛에는 제1 댐퍼부재 고정부가 형성되고, 상기 픽스바디에는 제2 댐퍼부재 고정부가 형성되고,
    상기 프리바디 유닛은 일측이 상기 제1 댐퍼부재 고정부에 결합되고, 타측이 상기 제2 댐퍼부재 고정부에 결합되는 댐퍼부재를 더 포함하는
    어레이 테스터.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 댐퍼부재는 내측 댐퍼부재와 외측 댐퍼부재를 포함하고,
    상기 제1 댐퍼부재 고정부는 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 제1 외측 댐퍼부재 고정부를 포함하고,
    상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부는 상기 프리바디 유닛의 외측 가장자리부에 형성되고, 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 비하여 상기 프리바디 유닛의 내측에 형성되고,
    상기 제2 댐퍼부재 고정부는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부에 대응되는 제2 내측 댐퍼부재 고정부와, 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 대응되는 제2 외측 댐퍼부재 고정부를 포함하고,
    상기 내측 댐퍼부재는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 상기 제2 내측 댐퍼부재 고정부에 결합되고,
    상기 외측 댐퍼부재는 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부와 상기 제2 외측 댐퍼부재 고정부에 결합된
    어레이 테스터.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 내측 댐퍼부재와 상기 외측 댐퍼부재는 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부와 상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부에 각각 결합된 경우, 상기 프리바디 유닛이 승강되는 방향에 대하여 높이 편차를 갖는
    어레이 테스터.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제1 외측 댐퍼부재 고정부는 상기 프리바디 유닛의 모서리에 4개 형성되고, 상기 제1 내측 댐퍼부재 고정부는 3개 형성된
    어레이 테스터.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 댐퍼부재는 불소고무로 이루어진
    어레이 테스터.
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