KR20120077293A - 어레이 테스트 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터를 글라스패널로부터 소정의 간격으로 이격시키기 위하여 글라스패널을 향하여 기체를 분사하는 구성을 배제할 수 있거나 글라스패널을 향하여 분사되는 기체의 압력을 줄일 수 있는 구성을 구비함으로써, 글라스패널을 향하여 분사되는 고압의 기체에 의하여 글라스패널이 손상되는 문제를 해결할 수 있다.
Description
본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
글라스패널의 검사를 위하여, 광원과, 전광물질층이 구비되는 모듈레이터와, 촬상유닛이 구비되는 어레이 테스트 장치가 사용된다. 모듈레이터와 글라스패널에 일정한 전압을 가한 상태에서 모듈레이터를 글라스패널에 인접되도록 하면, 글라스패널에 결함이 없는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지만, 글라스패널에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되는데, 어레이 테스트 장치는 이러한 모듈레이터와 글라스패널 사이의 전기장의 크기를 검출하고 이를 이용하여 글라스패널의 결함여부를 검출한다.
글라스패널의 정확한 검사를 위한 중요한 인자 중 하나는 모듈레이터와 글라스패널 사이의 간격이다. 모듈레이터와 글라스패널 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위하여 글라스패널을 향하여 기체를 분사하고, 분사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터가 글라스패널로부터 부상하여 글라스패널과 소정의 간격으로 유지되도록 하고 있다. 그러나, 이러한 종래의 방식은 모듈레이터를 부상시키기 위하여 글라스패널을 향하여 직접 고압의 기체를 분사하므로 기체의 압력에 의하여 글라스패널 및 글라스패널상에 배치된 전자소자가 손상될 수 있는 문제점이 있다. 또한, 분사되는 기체 중에 이물질이 포함되는 경우에는 분사되는 기체의 압력에 의하여 이물질이 글라스패널 및 글라스패널상에 배치된 전자소자와 충돌하여 글라스패널 및 글라스패널상에 배치된 전자소자를 파손시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 모듈레이터를 글라스패널로부터 소정의 간격으로 이격시키기 위하여 글라스패널을 향하여 분사되는 기체에 의하여 글라스패널이 손상되는 문제를 해결할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널에 대향하도록 배치되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터의 주위에 배치되는 고정블록과, 상기 모듈레이터와 연결되며 상기 고정블록에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록과, 상기 고정블록과 상기 이동블록의 사이에 구비되어 상기 모듈레이터를 상기 글라스패널로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 모듈레이터이동유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터를 글라스패널로부터 소정의 간격으로 이격시키기 위하여 글라스패널을 향하여 기체를 분사하는 구성을 배제할 수 있거나 글라스패널을 향하여 분사되는 기체의 압력을 줄일 수 있는 구성을 구비함으로써, 글라스패널을 향하여 분사되는 기체에 의하여 글라스패널이 손상되는 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
도 6은 도 5의 테스트모듈의 하측면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
도 6은 도 5의 테스트모듈의 하측면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치(10)는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(20)과, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(30)과, 테스트유닛(30)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.
로딩유닛(20)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제1지지플레이트(22)를 포함하여 구성되고, 언로딩유닛(40)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사가 완료된 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제2지지플레이트(42)를 포함하여 구성된다. 로딩유닛(20)의 제1지지플레이트(22)와 언로딩유닛(40)의 제2지지플레이트(42)에는 글라스패널(P)의 하측면을 향하여 공기를 분사하여 글라스패널(P)을 부양시키기 위한 공기구멍(24)(44)이 형성될 수 있다. 또한, 로딩유닛(20) 및 언로딩유닛(40)에는 글라스패널(P)의 하측면을 흡착한 후 직선형으로 이동하면서 글라스패널(P)을 이송시키기 위한 글라스패널이송유닛(70)이 구비될 수 있다.
테스트유닛(30)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(31)와, 투광지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(32)과, 투광지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)상의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(33)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 테스트모듈(32)은 투광지지플레이트(31)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈이송유닛(60)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있고, 테스트모듈(32)은 테스트모듈이송유닛(60)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(32)은, 광원(321)과, 광원(321)으로부터 출사되는 광의 방향을 조절하는 하프프리즘(322)과, 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다.
모듈레이터(120)는, 글라스패널(P)에 인접되게 배치되는 반사층(121)과, 글라스패널(P)과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 통과하는 광의 광량을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)(122)과, 전원(미도시)과 연결되는 모듈레이터전극층(123)과, 모듈레이터전극층(123)의 상측에 배치되는 투광블록(124)으로 구성될 수 있다. 반사층(121)은 얇은 막 형태의 반사필름으로 이루어질 수 있으며, 유리에 반사막이 코팅된 미러 형태의 반사유리로 이루어질 수 있다. 반사층(121)이 반사유리로 이루어지는 경우에는 반사층(121)이 반사필름으로 이루어진 경우에 비하여 경도가 향상되므로 글라스패널(P)과의 접촉에 의한 스크래치 등의 손상을 방지할 수 있다.
전광물질층(122)은 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어질 수 있는데, 예를 들면, 전기장의 크기에 따라 광량을 변화시키는 액정(LC, liquid crystal)으로 이루어질 수 있다. 또한, 전광물질층(122)은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(123)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(122)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 광원(321)에서 발광되고 하프프리즘(322)을 통하여 모듈레이터(120)로 입사된 후 모듈레이터(120)의 반사층(121)으로부터 반사되는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(90)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고 촬상유닛(90)으로 촬상한 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.
한편, 테스트유닛(30)은, 상술한 바와 같이, 광원(321)이 테스트모듈(32)에 구비되고 모듈레이터(120)에 반사층(121)이 구비되는 반사방식의 구성 외에도, 도 3에 도시된 바와 같이, 광원(321)이 투광지지플레이트(31)의 하측, 즉, 모듈레이터(120)에 대향하는 투광지지플레이트(31)의 일측에 반대되는 타측에 구비되며, 광원(321)에서 발광되어 모듈레이터(120)를 투과하는 광의 광량을 측정하여 글라스패널(P)의 결함여부를 검출하는 투과방식으로 구성될 수 있다. 이러한 투과방식의 테스트유닛(30)은 글라스패널(P)이 탑재되는 지지플레이트(31)가 광을 투과할 수 있는 재질로 형성되며, 글라스패널(P)에 대향하는 모듈레이터(120)의 일측에 보호층(125)이 구비될 수 있다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(30)으로는 이러한 반사방식의 구성 및 투과방식의 구성이 모두 적용될 수 있다.
도 4는 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향으로 이동이 가능하게 설치되는 구성을 나타낸 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 테스트모듈(32)은, 모듈레이터(120)의 주위에 배치되는 고정블록(110)과, 모듈레이터(120)와 연결되며 고정블록(110)에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록(130)과, 고정블록(110)과 이동블록(130)의 사이에 구비되어 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향(상측방향)으로 이동시키는 모듈레이터이동유닛(200)을 포함하여 구성될 수 있다.
이동블록(130)은 고정블록(110)의 하측에 승강이 가능하게 지지되는데, 이에 따라, 모듈레이터(120)가 이동블록(130)을 통하여 테스트모듈(32)에 승강이 가능하게 지지될 수 있다. 고정블록(110)의 상측에는 전술한 촬상유닛(90)이 배치될 수 있다.
모듈레이터이동유닛(200)은, 이동블록(130)의 하측에서 상측방향으로 이동블록(130)을 향하여 기체를 분사하는 기체분사유닛(210)을 포함하여 구성될 수 있다. 기체분사유닛(210)은, 이동블록(130)의 하측에 위치되며 이동블록(130)을 향하여 개방되는 기체토출구(211)와, 기체토출구(211)와 연통되는 기체통로(212)와, 기체통로(212)와 연통되어 기체통로(212)를 통하여 기체토출구(211)로 기체를 공급하는 기체공급장치(213)를 포함하여 구성될 수 있다. 기체토출구(211)는 모듈레이터(120)를 중심으로 이동블록(130)의 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있으며, 이와 같은 경우, 기체토출구(211)의 배치간격을 일정하게 설정하는 것이 이동블록(130)이 균일한 높이로 상승될 수 있도록 하는 데에 바람직하다. 한편, 이동블록(130)의 둘레에는 기체토출구(211)에 대향하도록 연장되어 기체토출구(211)로부터 분사되는 기체가 충돌하는 연장부(131)가 형성될 수 있다. 기체통로(212)는 적어도 일부가 고정블록(110)의 내부에 내장되는 구성이 적용될 수 있다. 기체공급장치(213)로부터 공급되는 기체는 공기나 비활성기체가 될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)의 검사를 위하여 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 인접하는 경우, 기체공급장치(213)의 구동에 의하여 기체가 기체토출구(211)를 통하여 이동블록(130)을 향하여 하측에서 상측방향으로 분사된다. 그리고, 분사되는 기체가 이동블록(130)의 하측에 충돌되는 것에 의하여 이동블록(130)이 상측방향으로 부상하면, 이동블록(130)과 연결되는 모듈레이터(120)가 상측방향으로 이동하며, 이에 따라, 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)의 상측면으로부터 소정의 간격으로 이격된 상태에서 글라스패널(P)의 상측면과 평행한 자세를 유지한다. 따라서, 모듈레이터(120)와 글라스패널(P)은 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에서 적절한 전기장이 형성될 수 있는 간격으로 이격되며, 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)과 충돌되거나 접촉되는 것이 방지된다. 한편, 기체토출구(211)를 통하여 공급되는 기체의 압력을 조절하는 것을 통하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 조절할 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터(120)가 연결되는 이동블록(130)을 향하여 이동블록(130)의 하측에서 상측방향으로 기체를 분사시키는 것을 통하여 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)과 적절한 간격이 유지되도록 상승시킬 수 있으므로, 종래의 경우와 같이 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 구성을 배제할 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 종래의 경우에 발생할 수 있는 글라스패널(P) 및 글라스패널(P)상의 전자소자가 손상되는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향(상측방향)으로 이동시키는 모듈레이터이동유닛(200)은, 이동블록(130)의 하측에서 상측방향으로 이동블록(130)을 향하여 기체를 분사하는 제1기체분사유닛(210)을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는 이동블록(130)으로부터 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사유닛(220)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
제1기체분사유닛(210)은, 이동블록(130)의 하측에 위치되며 이동블록(130)을 향하여 개방되는 기체토출구(211)와, 기체토출구(211)와 연통되는 기체통로(212)와, 기체통로(212)와 연통되어 기체통로(212)를 통하여 기체토출구(211)로 기체를 공급하는 기체공급장치(213)를 포함하여 구성될 수 있다.
제2기체분사유닛(220)은, 이동블록(130)의 하측에서 글라스패널(P)을 향하여 개방되는 기체토출구(221)와, 기체토출구(221)와 연통되는 기체통로(222)와, 기체통로(222)와 연통되어 기체통로(222)를 통하여 기체토출구(221)로 기체를 공급하는 기체공급장치(223)를 포함하여 구성될 수 있다. 기체토출구(221)는 모듈레이터(120)를 중심으로 이동블록(130)의 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있으며, 이와 같은 경우, 기체토출구(221)의 배치간격은 일정하게 설정되는 것이 모듈레이터(120)가 균일한 높이로 상승될 수 있도록 하는 데에 바람직하다. 기체통로(222)는 적어도 일부가 이동블록(130)의 내부에 내장되는 구성이 적용될 수 있다. 기체공급장치(223)로부터 공급되는 기체는 공기나 비활성기체가 될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)와 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)는 모듈레이터(120)의 둘레방향으로 서로 교대로 배치될 수 있다. 이러한 경우에는, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)로부터 분사되는 상측방향으로의 기체의 압력과 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)로부터 분사되는 하측방향으로의 기체의 압력이 서로 중복되지 아니하고 분포되므로, 이동블록(130)이 균일한 높이로 상승될 수 있는 효과가 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1기체분사유닛(210)의 기체공급장치(213)와 제2기체분사유닛(220)의 기체공급장치(223)는 서로 독립된 별개의 장치로 구성될 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1기체분사유닛(210)의 기체공급장치(213)와 제2기체분사유닛(220)의 기체공급장치(223)는 하나의 기체공급장치(213)(223)로 구성될 수 있다. 하나의 기체공급장치(213)(223)가 구비되는 구성은 각 토출구(211)(221)로 기체를 공급하는 구성을 단순화시킬 수 있다. 한편, 하나의 기체공급장치(213)(223)로부터 각 기체통로(212)(222)로 연통되는 도관(214)(224)상에는 각 토출구(211)(221)로 공급되는 압력을 조절하는 레귤레이터(215)(225)가 구비되는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)의 검사를 위하여 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 인접하는 경우, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)를 통하여 이동블록(130)을 향하여 하측에서 상측방향으로 기체가 분사되면 이동블록(130)이 상측방향으로 부상함에 따라 모듈레이터(120)가 상측방향으로 이동하며, 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)를 통하여 글라스패널(P)을 향하여 기체가 분사되면 글라스패널(P)의 상측면에 충돌한 후 반사되는 기체의 압력에 의하여 모듈레이터(120)가 상측방향으로 이동한다. 그리고, 이와 같은 모듈레이터(120)의 상측방향으로의 이동에 의하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P)은 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에서 적절한 전기장이 형성될 수 있는 간격으로 이격될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격시키는 동작을 제1기체분사유닛(210)과 제2기체분사유닛(220)으로 분담시킬 수 있으므로, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력을 종래의 경우에 비하여 줄일 수 있고, 글라스패널(P)에 높은 압력의 기체를 분사하는 종래의 경우에 발생할 수 있는 글라스패널(P) 및 글라스패널(P)상의 전자소자가 손상되는 문제를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
한편, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)와 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)로부터 분사되는 기체의 압력을 조절하는 것을 통하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 조절할 수 있는데, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)로부터 분사되는 기체의 압력을 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)로부터 분사되는 기체의 압력에 비하여 크게 하는 것이, 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)로부터 분사되는 기체의 압력을 줄여 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 것에 의하여 발생할 수 있는 문제점을 해소하는 데에 있어 바람직하다.
이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격되는 방향(상측방향)으로 이동시키는 모듈레이터이동유닛(200)은, 고정블록(110)과 이동블록(130)에 서로 대향하도록 구비되어 모듈레이터(120)가 승강하는 방향(상하측방향)으로 척력을 발생시키는 제1자성부재(241) 및 제2자성부재(242)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1자성부재(241) 및/또는 제2자성부재(242)로는 영구자석이 적용될 수 있으며, 전기코일이 구비된 전자석이 적용될 수 있다. 제1자성부재(241)는 고정블록(110)에 설치될 수 있으며, 제2자성부재(242)는 이동블록(130)의 둘레에 연장되게 형성되는 연장부(131)에 설치될 수 있다. 제1자성부재(241) 및 제2자성부재(242)는 모듈레이터(120)의 둘레방향으로 복수로 배치될 수 있으며, 이와 같은 경우, 제1자성부재(241) 및 제2자성부재(242)의 배치간격은 일정하게 설정되는 것이 모듈레이터(120)가 균일한 높이로 상승될 수 있도록 하는 데에 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)의 검사를 위하여 모듈레이터(120)가 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 인접하는 경우, 제1자성부재(241)와 제2자성부재(242) 사이의 척력에 의하여 이동블록(130)이 상측방향으로 이동함에 따라 모듈레이터(120)가 상측방향으로 이동하며, 이와 같은 모듈레이터(120)의 상측방향으로의 이동에 의하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P)은 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에서 적절한 전기장이 형성될 수 있는 간격으로 이격될 수 있다. 제1자성부재(241)와 제2자성부재(242)의 자력의 크기를 조절하는 것을 통하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 조절할 수 있는데, 제1자성부재(241) 또는 제2자성부재(242)가 전자석으로 이루어지는 경우에 있어서의 자력의 크기 전기코일로 인가되는 전력의 크기를 조절하는 것을 통하여 수행될 수 있다.
본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 고정블록(110)과 이동블록(130)에 서로 대향하도록 구비되는 제1자성부재(241)와 제2자성부재(242) 사이의 척력에 의하여, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)과 적절한 간격이 유지되도록 상승시킬 수 있으므로, 종래의 경우와 같이 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 구성을 배제할 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 종래의 경우에 발생할 수 있는 글라스패널(P) 및 글라스패널(P)상의 전자소자가 손상되는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.
한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에는, 이동블록(130)의 하측에서 상측방향으로 이동블록(130)을 향하여 기체를 분사하는 제1기체분사유닛(210)이 더 구비될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격시키는 동작을 제1자성부재(241) 및 제2자성부재(242)와 제1기체분사유닛(210)으로 분담시킬 수 있는 효과가 있으며, 제1기체분사유닛(210)의 기체토출구(211)로부터 분사되는 기체의 압력을 조절하는 것을 통하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 조절할 수 있으므로, 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에는, 이동블록(130)으로부터 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사유닛(220)이 더 구비될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 모듈레이터(120)를 글라스패널(P)로부터 이격시키는 동작을 제1자성부재(241) 및 제2자성부재(242)와 제1기체분사유닛(210)으로 분담시킬 수 있으므로, 글라스패널(P)을 향하여 분사되는 기체의 압력을 종래의 경우에 비하여 줄일 수 있고, 글라스패널(P)에 높은 압력의 기체를 분사하는 종래의 경우에 발생할 수 있는 문제를 해소할 수 있는 효과가 있다. 또한, 제2기체분사유닛(220)의 기체토출구(221)로부터 분사되는 기체의 압력을 조절하는 것을 통하여 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 조절할 수 있으므로, 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에는, 이동블록(130)의 하측에서 상측방향으로 이동블록(130)을 향하여 기체를 분사하는 제1기체분사유닛(210)과, 이동블록(130)으로부터 글라스패널(P)을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사유닛(220)이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다.
32: 테스트모듈 90: 촬상유닛
110: 고정블록 120: 모듈레이터
130: 이동블록 200: 모듈레이터이동유닛
110: 고정블록 120: 모듈레이터
130: 이동블록 200: 모듈레이터이동유닛
Claims (6)
- 글라스패널에 대향하도록 배치되는 모듈레이터;
상기 모듈레이터의 주위에 배치되는 고정블록;
상기 모듈레이터와 연결되며 상기 고정블록에 승강이 가능하게 지지되는 이동블록; 및
상기 고정블록과 상기 이동블록의 사이에 구비되어 상기 모듈레이터를 상기 글라스패널로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 모듈레이터이동유닛을 포함하는 어레이 테스트 장치. - 제1항에 있어서,
상기 모듈레이터이동유닛은 상기 이동블록을 향하여 상기 이동블록의 하측에서 상측방향으로 기체를 분사하는 제1기체분사유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치. - 제2항에 있어서,
상기 이동블록으로부터 상기 글라스패널을 향하여 기체를 분사하는 제2기체분사유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치. - 제3항에 있어서,
상기 제1기체분사유닛 및 상기 제2기체분사유닛은 기체가 분사되는 기체토출구를 각각 포함하여 구성되고, 상기 제1기체분사유닛의 기체토출구와 상기 제2기체분사유닛의 기체토출구는 상기 모듈레이터의 둘레방향으로 서로 교대로 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치. - 제3항에 있어서,
상기 제1기체분사유닛 및 상기 제2기체분사유닛은 기체가 분사되는 기체토출구를 각각 포함하여 구성되고, 상기 제1기체분사유닛의 기체토출구로부터 분사되는 기체의 압력은 상기 제2기체분사유닛의 기체토출구로부터 분사되는 기체의 압력에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 모듈레이터이동유닛은 상기 고정블록과 상기 이동블록에 서로 대향하도록 구비되어 상기 모듈레이터가 승강하는 방향으로 척력을 발생시키는 제1자성부재 및 제2자성부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
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