KR20120077291A - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 프로브핀이 글라스패널상의 전극에 가압되는 과정 또는 프로브핀을 통하여 전극으로 전기신호가 인가되는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 효율적으로 제거할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}
본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
글라스패널의 검사를 위하여, 복수의 프로브핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 어레이 테스트 장치가 이용되는데, 이러한 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브핀을 검사대상이 되는 글라스패널에 배열된 복수의 전극에 대응되도록 위치시키고, 복수의 프로브핀을 복수의 전극에 가압한 후, 복수의 프로브핀을 통하여 복수의 전극에 전기신호를 인가하는 과정을 포함하여 진행된다.
복수의 프로브핀을 복수의 전극에 가압하는 과정에서 프로브핀과 전극 사이의 마찰에 의하여 프로브핀이나 전극으로부터 미세한 파티클이 발생할 수 있다. 또한, 복수의 프로브핀을 통하여 복수의 전극에 전기신호를 인가하는 과정에서 프로브핀과 전극 사이에서 방전현상이 발생할 수 있으며 이러한 방전현상에 의하여 프로브핀이나 전극으로부터 미세한 파티클이 발생할 수 있다. 이러한 파티클은 프로브핀과 전극 사이의 통전을 방해하며 글라스패널상의 다른 부품에 부착되어 전기적인 오류를 일으키는 원인이 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 프로브핀이 글라스패널상의 전극에 가압되는 과정 또는 프로브핀을 통하여 전극으로 전기신호가 인가되는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 제거할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브모듈지지프레임에 설치되는 프로브모듈과, 상기 프로브모듈에 설치되고, 글라스패널의 전극으로 전기신호를 인가시키는 프로브핀이 구비되는 프로브바와, 상기 프로브바의 일측에 구비되어 상기 프로브핀과 상기 글라스패널의 전극 사이에서 발생되는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀과 글라스패널의 전극 사이에서 발생하는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛을 포함하여 구성됨으로써, 파티클이 프로브핀과 전극 사이의 통전을 방해하는 문제점 및 파티클이 글라스패널상의 다른 부품에 부착되어 전기적 오류를 일으키는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 프로브모듈에 구비되는 파티클제거유닛이 도시된 사시도이다.
도 5는 도 3의 파티클제거유닛이 설치된 어레이 테스트 장치의 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 파티클제거유닛이 도시된 도면이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 파티클제거유닛이 도시된 도면이다.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 파티클제거유닛이 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(10)과, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다.
테스트유닛(20)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전극(E)으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 길이방향(X축방향)으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(50)에 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)으로 이동이 가능하게 설치된다. 프로브모듈(23)에는 복수의 프로브핀(60)을 구비하는 프로브바(70)와, 프로브바(70)를 Z축방향으로 승강시키는 승강유닛(80)과, 프로브바(70)의 일측에 구비되어 프로브핀(60)과 글라스패널(P)의 전극(E) 사이에서 발생하는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛(90)을 포함하여 구성될 수 있다.
프로브모듈지지프레임(50)은 Y축구동유닛(51)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브모듈(23)을 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(52)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(51) 및/또는 X축구동유닛(52)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.
승강유닛(80)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더를 포함하는 액추에이터나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브바(70)를 Z축방향으로 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(80)은, 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치된 상태에서, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)을 가압할 수 있도록 프로브바(70)를 하강시키는 역할을 수행한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 파티클제거유닛(90)은, 글라스패널(P)에 대향하는 프로브바(70)의 일측에서 복수의 프로브핀(60)에 인접되게 설치되며 자력을 발생시키는 자성부재(91)를 포함하여 구성될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 자성부재(91)는 프로브바(70)의 하측면에 설치될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 자성부재(91)는 프로브바(70)의 측면에 설치될 수 있다. 자성부재(91)로는 영구자석으로 적용될 수 있으며, 전원(미도시)와 연결되는 전자석이 적용될 수 있다. 이러한 자성부재(91)는 복수의 프로브핀(60)이 복수의 전극(E)에 가압되는 과정 또는 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되는 과정에서 프로브핀(60) 및/또는 전극(E)으로부터 발생되는 파티클을 자력으로 흡인하는 역할을 수행한다. 자성부재(91)로 전자석이 적용되는 경우에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브모듈지지프레임(50)의 일측에는 프로브모듈(23)이 접근이 가능한 위치에 자성부재(91)에 부착된 후 자성부재(91)로부터 이탈되는 파티클을 수납하는 수납부재(92)가 설치될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 프로브핀(60)이 전극(E)에 가압되는 과정 또는 프로브핀(60)을 통하여 전극(E)으로 전기신호가 인가되는 과정에서 자성부재(91)에는 전원이 연결되어 자성부재(91)로 파티클이 부착될 수 있으며, 전극(E)으로 전기신호가 인가되는 과정이 완료된 후에는 프로브모듈(23)이 수납부재(92)로 이동하고 자성부재(91)로의 전원의 연결이 차단되면서 자성부재(91)에 부착된 파티클이 자성부재(91)로부터 이탈되면서 수납부재(92)에 수납될 수 있다.
이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 로딩유닛(10)의 동작에 의하여 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치되면, 테스트유닛(20)에 의하여 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하기 전에, 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하는 과정이 진행된다.
프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하기 위하여, 먼저, 프로브모듈(23)은 프로브모듈지지프레임(50)이 Y축구동유닛(51)의 동작에 의하여 Y축방향으로 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있으며, X축구동유닛(52)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있다. 프로브모듈(23)의 X축방향 및/또는 Y축방향으로의 이동에 의하여 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)이 형성된 위치로 이동하며, 이에 따라, 프로브바(70)에 설치된 복수의 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 인접되는 위치로 이동된다.
그리고, 승강유닛(80)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 하강되면 프로브바(70)의 하측으로 돌출된 복수의 프로브핀(60)은 복수의 전극(E)을 각각 가압하게 된다. 이러한 상태에서 프로브바(70)의 하측으로 돌출된 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되면, 테스트유닛(20)의 테스트모듈(22)이 동작하면서 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하는 과정이 진행된다.
이때, 프로브핀(60)과 전극(E)의 물리적 또는 전기적 접촉에 의하여 프로브핀(60) 및/또는 전극(E)으로부터 발생되는 파티클은 자성부재(91)에 부착되어 프로브핀(60) 또는 글라스패널(P)로부터 제거될 수 있다. 그리고, 자성부재(91)로 전자석이 적용되는 경우에는, 전극(E)으로 전기신호가 인가되는 과정이 완료된 후, 프로브모듈(23)의 이동에 의하여 자성부재(91)가 수납부재(92)의 상면에 위치될 수 있으며, 자성부재(91)로 인가되는 전원이 차단되면서 자성부재(91)에 부착된 파티클이 자성부재(91)로부터 이탈되어 수납부재(92)에 수납될 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)과 글라스패널(P)의 전극(E) 사이에서 발생되는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛(90)을 포함하여 구성함으로써, 파티클이 프로브핀(60)과 전극(E) 사이의 통전을 방해하는 문제점 및 파티클이 글라스패널(P)상의 다른 부품에 부착되어 전기적인 오류를 일으키는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 프로브핀(60)과 글라스패널(P)의 전극(E) 사이에서 발생하는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛(90)은, 프로브바(70)의 일측에 설치되는 자성부재(91)와, 글라스패널(P)을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛(92)을 포함하여 구성될 수 있다.
가스분사유닛(92)은, 글라스패널(P)에 대향하는 프로브바(70)의 일측에 구비되며 가스가 토출되는 토출구(921)와, 토출구(921)와 연통되고 프로브바(70)의 길이방향으로 연장되는 통로(922)와, 통로(922)와 연통되어 토출구(921)를 향하여 가스를 공급하는 가스공급장치(923)를 포함하여 구성될 수 있다. 통로(922)는 프로브바(70)의 내부에 배치될 수 있다. 가스공급장치(923)로부터 공급되는 가스는 공기나 비활성기체가 될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 도 8에 도시된 바와 같이, 파티클제거유닛(90)에 글라스패널(P)을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛(92)이 구비되므로 프로브핀(60)이나 전극(E)에 부착된 파티클을 분사되는 가스를 이용하여 프로브핀(60)이나 전극(E)으로부터 분리시킬 수 있으므로, 파티클을 자성부재(91)에 원활하게 부착시켜 제거할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 9 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 프로브핀(60) 또는 글라스패널(P)의 전극(E)에서 발생되는 파티클을 제거하기 위한 파티클제거유닛(90)은, 프로브핀(60)이나 글라스패널(P)의 전극(E)에 부착되는 파티클을 흡입하는 파티클흡입유닛(93)을 포함하여 구성될 수 있다.
파티클흡입유닛(93)은, 글라스패널(P)에 대향하는 프로브바(70)의 일측에 구비되며 파티클이 흡입되는 흡입구(931)와, 흡입구(931)와 연통되고 프로브바(70)의 길이방향으로 연장되는 통로(932)와, 통로(932)와 연통되는 부압원(933)을 포함하여 구성될 수 있다. 통로(932)는 프로브바(70)의 내부에 배치될 수 있다. 통로(932)와 부압원(933)의 사이에는 흡입되는 파티클을 필터링하는 필터(934)가 구비되는 것이 바람직하다.
이와 같은 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)과 전극(E)의 물리적 또는 전기적 접촉에 의하여 프로브핀(60) 및/또는 전극(E)으로부터 발생되는 파티클을 파티클흡입유닛(93)을 이용하여 제거할 수 있는 효과가 있다.
이하, 도 12 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 12 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서, 프로브핀(60) 또는 글라스패널(P)의 전극(E)에서 발생되는 파티클을 제거하기 위한 파티클제거유닛(90)은, 글라스패널(P)을 향하여 가스를 분사하는 가스분사유닛(92)과, 프로브핀(60)이나 글라스패널(P)의 전극(E)에 부착되는 파티클을 흡입하는 파티클흡입유닛(93)을 포함하여 구성될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 제4실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 파티클흡입유닛(93)을 이용하여 파티클을 흡입하여 제거하는 것과 동시에 가스분사유닛(92)을 이용하여 프로브핀(60)이나 전극(E)에 부착된 파티클을 분사되는 가스를 통하여 프로브핀(60)이나 전극(E)으로부터 원활하게 분리되어 흡입구(931)로 흡입되도록 할 수 있으므로, 프로브핀(60)이나 전극(E)에 부착되는 파티클을 더욱 효율적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브핀(60)과 글라스패널(P)의 전극(E) 사이에서 발생하는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛(90)을 포함하여 구성함으로써, 파티클이 프로브핀(60)과 전극(E) 사이의 통전을 방해하는 문제점 및 파티클이 글라스패널(P)상의 다른 부품에 부착되어 전기적인 오류를 일으키는 문제점을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브모듈은 글라스패널뿐만 아니라 전극이 형성되는 다양한 형태의 기판의 검사를 위하여 기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 장치에 적용될 수 있다.
20: 테스트유닛 23: 프로브모듈
60: 프로브핀 70: 프로브바
80: 승강유닛 90: 파티클제거유닛

Claims (6)

  1. 프로브모듈지지프레임에 설치되는 프로브모듈;
    상기 프로브모듈에 설치되고, 글라스패널의 전극으로 전기신호를 인가시키는 프로브핀이 구비되는 프로브바; 및
    상기 프로브바의 일측에 구비되어 상기 프로브핀과 상기 글라스패널의 전극 사이에서 발생되는 파티클을 제거하는 파티클제거유닛을 포함하는 어레이 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파티클제거유닛은 상기 프로브바의 일측에 설치되며 자력을 발생시키는 자성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 자성부재는 전자석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 프로브모듈지지프레임의 일측에는 자성부재로부터 이탈되는 파티클을 수납하는 수납부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 파티클제거유닛은 가스를 분사하는 가스분사유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 파티클제거유닛은 파티클을 흡입하는 파티클흡입유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
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