KR20110042733A - 기판위치결정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판위치결정장치는 기판이 탑재되는 스테이지에 구비되어 기판을 수평방향으로 이동시키거나 기판을 회전시키는 기판위치조절유닛을 포함하여 구성됨으로써, 기판의 위치조절을 위하여 스테이지가 이동하는 종래의 구성에 비하여 기판의 위치를 조절하는 데에 소요되는 구동력을 줄일 수 있으며 기판의 위치조절을 정확하고 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
기판, 위치조절, 위치결정

Description

기판위치결정장치 및 방법 {APPARATUS AND METHOD FOR POSITIONING SUBSTRATE}
본 발명은 기판에 소정의 처리를 수행하는 장치에 구비되어 스테이지에 반입된 기판의 위치를 결정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display: FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층 내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.
이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛을 지지하는 헤드지지대를 포함하여 구성된다.
이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판의 상대위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판 상으로 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.
이와 같이 기판 상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 스테이지로 기판이 반입되면 노즐에 대한 기판의 위치를 정렬하는 과정이 수행되어야 하는데, 이러한 과정은 기판을 회전시키거나 수평방향으로 이동시키는 동작을 통하여 수행된다.
그러나, 종래의 경우에는 기판을 회전시키거나 수평방향으로 이동시키기 위하여 기판이 탑재된 스테이지 전체를 회전시키거나 수평방향으로 이동시켰으므로, 스테이지를 구동시키기 위한 구성이 복잡하였으며, 스테이지를 구동하기 위한 구동력이 크다는 단점이 있었다. 특히, 대면적의 기판이 탑재될 수 있도록 스테이지가 대형화되는 경우에는 이러한 단점이 더욱 커지는 문제점이 있고, 대형화된 스테이지를 정밀하게 이동시키거나 회전시키는 것이 어려워지면서 기판의 위치조절을 정확하고 용이하게 수행할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 위치조절을 정확하고 용이하게 수행할 수 있는 기판위치결정장치 및 방법을 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판위치결정장치는, 하나 이상의 통공이 구비되는 스테이지와, 상기 스테이지상에 반입되는 기판과 접촉되는 패드, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부 및 상기 패드를 회전시키는 패드회전부를 포함하는 기판위치조절유닛과, 상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 기판위치조절장치는, 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판위치결정장치는, 하나 이상의 통공이 구비되는 스테이지와, 상기 스테이지상에 반입되는 기판과 접촉되는 패드, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부 및 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 포함하는 기판위치조절유닛과, 상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 상기 기판위치조절유닛은 상기 스테이지에 복수로 마련되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 패드이동부는, 상기 패드를 제1방향으로 이동시키는 제1이동부와, 상기 패드를 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이동시키는 제2이동부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 패드에는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 상기 관통홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되는 구성이 적용될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 기판위치결정장치는 상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공을 통하여 가스를 배출시키는 가스배출유닛을 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판위치결정방법은, 적어도 하나의 통공이 구비되는 스테이지와, 상기 스테이지상에 탑재된 기판과 접촉되는 패드, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부, 상기 패드를 회전시키는 패드회전부 및 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 포함하는 기판위치조절유닛과, 상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하는 기판위치결정장치를 이용한 기판의 위치를 결정하는 방법에 있어서, (a) 상기 스테이지상에 기판이 반입되는 단계와, (b) 상기 패드승강부에 의하여 상기 패드가 상승되는 단계와, (c) 상기 패드상에 상기 기판이 부착되는 단계와, (d) 상기 가스공급유닛으로부터 상기 스테이지의 통공으로 가스가 공급되어 상기 기판이 부상하는 단계와, (e) 상기 패드회전부에 의하여 상기 패드가 회전되거나 상기 패드이동부에 의하여 상기 패드가 수평방향으로 이동되면서 상기 기판의 위치를 조절하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 상기 (b) 단계는 상기 (a) 단계 이전에 수행될 수 있다.
또한, 상기 패드에는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 상기 관통홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되며, 상기 (c) 단계는 상기 패드의 관통홀을 통하여 상기 가스흡입유닛으로 가스가 흡입되어 상기 기판이 상기 패드상에 흡착되는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판위치결정장치는 스테이지에 구비된 기판위치조절유닛에 의하여 기판을 수평방향으로 이동시키거나 기판을 회전시키면서 기판의 위치를 조절할 수 있으므로, 기판의 위치조절을 위하여 스테이지가 이동하는 종래의 구성에 비하여 기판의 위치를 조절하는 데에 필요한 구동력을 줄일 수 있으며 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판위치결정장치 및 방법에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명하면 다음과 같다.
<제1실시예>
이하 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치는, 하나의 이상의 통공(11)이 구비되고 기판이 안착되는 스테이지(10)와, 스테이지(10)에 배치되어 스테이지(10)에 안착된 기판(S)을 수평방향으로 이동시키 는 기판위치조절유닛(20)과, 스테이지(10)의 통공(11)과 연통되어 통공(11)으로 가스를 공급하는 가스공급유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 기판(S)을 스테이지(10)상에 흡착하기 위하여 스테이지(10)의 통공(11)과 연통되어 통공(11)을 통하여 가스를 배출하는 가스배출유닛(40)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판위치조절유닛(20)은 스테이지(10)에 적어도 하나 이상으로 구비될 수 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 기판위치조절유닛(20)은, 기판(S)과 접촉되는 패드(21)와, 패드(21)를 승강시키는 패드승강부(22)와, 패드(21)를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부(23)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 패드(21)에는 하나 이상의 관통홀(211)이 형성될 수 있고, 관통홀(211)에는 관통홀(211)을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛(50)이 연통될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 가스흡입유닛(50)의 동작에 의하여 가스가 관통홀(211)을 통하여 흡입되면서, 기판(S)이 패드(21)의 상면에 견고하게 흡착될 수 있다. 여기에서, 관통홀(211)은 패드(21)의 상면의 면적에 대응될 수 있는 면적을 차지할 수 있도록 소정의 횟수로 굴곡지게 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 패드승강부(22)는 유압 또는 공기압에 의하여 작동하는 실린더(221)와, 실린더(221)와 패드(21)를 연결하는 로드(222)를 포함하여 구성될 수 있다. 본 발명은 패드승강부(22)가 실린더(221) 및 로드(222)를 포함하는 구성에 한정되지 아니하며, 패드승강부(22)로는 회전모터와 볼스크류가 연결된 구조 또는 리니어모터가 채용된 구조 등 패드(21)를 상승 및 하강시킬 수 있는 다 양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 패드승강부(22)는 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에 패드(21)의 상면에 기판(S)이 접촉되도록 패드(21)를 상승시키는 역할을 수행하고, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작이 완료된 경우에 기판(S)으로부터 패드(21)가 이격되도록 패드(21)를 하강시키는 역할을 수행한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 패드이동부(23)는, 패드승강부(22)의 하측이 지지되는 지지부재(231)와, 지지부재(231)와 연결되는 볼스크류(232)와, 볼스크류(232)를 회전시키는 회전모터(233)를 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여 회전모터(233)의 회전운동이 볼스크류(232)를 통하여 직선운동으로 변환되며, 이에 따라, 볼스크류(232)와 연결된 지지부재(231)가 직선 이동하게 되고, 지지부재(231)의 직선 이동에 의하여 패드승강부(22)가 직선 이동하게 되며, 결과적으로 패드(21)가 직선 이동한다. 한편, 본 발명의 제1실시예에서는 패드이동부(23)가 패드승강부(22)를 직선 이동시키기 위하여 회전모터(233) 및 볼스크류(232)가 적용된 구성에 대하여 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 패드이동부(23)는 유압 또는 공기압에 의하여 동작하는 실린더나 리니어모터와 같이 패드승강부(22)를 직선 이동시킬 수 있는 다양한 구성으로 될 수 있다. 또한, 본 발명의 제1실시예에서는 패드이동부(23)가 패드승강부(22)를 이동시키는 것을 통하여 패드(21)가 직선 이동하는 구성을 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 패드(21)와 패드이동부(23)가 직접 연결되어 패드(21)를 직접 직선 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 가스공급유닛(30)은, 스테이지(10)의 통공(11)과 연통하는 유로(12)와 연결되는 가스공급밸브(31)와, 가스공급밸브(31)와 연결되는 정압원(32)을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 가스공급유닛(30)은 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에 유로(12) 및 통공(11)을 통하여 스테이지(10)와 기판(S) 사이에 가스를 공급하여 기판(S)을 스테이지(10)의 상면으로부터 부상시키는 역할을 수행한다. 가스공급유닛(30)에 의하여 기판(S)이 스테이지(10) 상면으로부터 부상함에 따라 기판(S)과 스테이지(10) 상면 사이의 마찰이 방지되므로, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 용이하게 수행할 수 있으면서 기판(S)의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치에는 가스배출유닛(40)이 더 구비될 수 있는데, 이 가스배출유닛(40)은, 스테이지(10)의 통공(11)과 연통하는 유로(12)와 연결되는 가스배출밸브(41)와, 가스배출밸브(41)와 연결되는 부압원(42)을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 가스배출유닛(40)은 기판(S)의 위치를 조절하는 동작이 완료된 경우에 스테이지(10)와 기판(S) 사이의 가스를 통공(11) 및 유로(12)를 통하여 배출시켜 기판(S)을 스테이지(10)의 상면에 흡착시키는 역할을 수행한다. 가스배출유닛(40)에 의하여 기판(S)이 스테이지(10) 상면에 견고하게 흡착될 수 있다.
한편, 기판(S)을 패드(21)에 흡착시키기 위한 가스흡입유닛(50)은 기판(S)을 스테이지(10) 상면에 흡착시키기 위한 가스배출유닛(40)의 부압원(42)과 연결될 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치의 동 작에 대하여 설명한다.
먼저, 기판(S)이 스테이지(10)상에 반입되면, 스테이지(10)에 인접되도록 설치되는 카메라 또는 위치센서와 같은 측정장비를 이용하여, 스테이지(10)상의 적절한 위치에 기판(S)이 반입되었는지 여부를 측정한다. 기판(S)이 스테이지(10)상의 적절한 위치에 반입된 경우에는 기판(S)에 소정의 처리를 하는 작업을 수행하지만, 기판(S)이 스테이지(10)상의 적절한 위치에 반입되지 아니한 경우에는 기판(S)의 위치를 조절하는 작업이 수행된다.
기판(S)의 위치의 조절을 위하여, 먼저, 기판위치조절유닛(20)의 패드(21)가 패드승강부(22)에 의하여 상승되며, 이에 따라, 패드(21)의 상면에 기판(S)이 부착된다. 여기에서, 기판(S)이 스테이지(10)상에 반입되기 전에 기판위치조절유닛(20)의 패드(21)를 미리 상승시킨 후 기판(S)이 반입됨과 동시에 기판(S)이 패드(21)의 상면에 부착되도록 할 수 있다.
한편, 가스흡입유닛(50)이 구비되는 경우에는, 가스흡입유닛(50)의 동작에 의하여 패드(21)의 관통홀(211)을 통하여 기판(S)과 패드(21) 사이의 가스가 흡입될 수 있으며, 이에 따라 기판(S)이 패드(21)의 상면에 흡착될 수 있다.
그리고, 상기한 과정과 동시에 또는 순차적으로, 가스공급유닛(30)으로부터 유로(12) 및 통공(11)을 통하여 가스가 공급되며, 이에 따라 기판(S)이 스테이지(10) 상면으로부터 부상한다.
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 패드이동부(23)의 동작에 의하여 패드(21)가 수평방향으로 이동되며, 이에 따라, 패드(21)에 부착된 기판(S)이 수평방 향으로 이동할 수 있다.
그리고, 기판(S)이 수평방향으로 이동되는 것에 의하여 기판(S)의 위치를 조절하는 동작이 완료된 경우에는, 가스공급유닛(30) 및 가스흡입유닛(50)의 동작이 정지되는 것과 동시에 또는 순차적으로 가스배출유닛(40)이 동작하며, 이에 따라, 스테이지(10)와 기판(S) 사이의 가스가 통공(11) 및 유로(12)를 통하여 배출되면서 기판(S)이 스테이지(10)의 상면에 흡착된다.
이상과 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치는 스테이지(10)에 구비된 기판위치조절유닛(20)에 의하여 기판(S)이 수평방향으로 이동되면서 기판(S)의 위치가 조절되므로, 기판의 위치조절을 위하여 스테이지가 이동하는 종래의 구성에 비하여 기판(S)의 위치를 조절하는 데에 필요한 구동력을 줄일 수 있으며 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
<제2실시예>
이하, 도 7 및 도 8를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 기판위치결정장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판위치결정장치에서, 기판위치조절유닛(20)의 패드이동부(23)는, 패드(21)를 제1방향으로 이동시키는 제1이동부(234)와, 패드(21)를 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이동시키는 제2이동부(235)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1이동부(234) 및 제2이동부(235)는 전술한 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 패드승강부(22)의 하측이 지지되는 지지부 재(231)와, 지지부재(231)와 연결되는 볼스크류(232)와, 볼스크류(232)를 회전시키는 회전모터(233)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 패드이동부(23)는 유압 또는 공기압에 의하여 동작하는 실린더나 리니어모터와 같이 패드승강부(22)를 직선 이동시킬 수 있는 다양한 구성으로 될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 스테이지(10)의 상면으로부터 부상된 상태에서 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에, 도 8에 도시된 바와 같이, 패드(21)의 상면에 부착된 기판(S)는 제1이동부(234)의 동작에 의하여 제1방향(A)으로 수평 이동할 수 있고, 제2이동부(235)의 동작에 의하여 제1방향(A)과 직교하는 제2방향(B)으로 수평 이동할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판위치결정장치는, 패드(21)가 제1방향 및 제1방향과 직교하는 제2방향으로 수평 이동될 수 있으므로, 기판(S)의 위치조절을 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
<제3실시예>
이하, 도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 기판위치결정장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판위치결정장치에서, 기판위치조절유닛(20)은, 기판(S)과 접촉되는 패드(21)와, 패드(21)를 승강시키는 패드승강부(22)와, 패드(21)를 회전시키는 패드회전부(24)를 포함하여 구성될 수 있다.
패드회전부(24)는 패드승강부(22)의 상측에 구비되는 회전모터(241)와, 회전모터(241)의 구동력을 패드(21)로 전달하기 위하여 회전모터(241)와 패드(21)를 연결하는 회전축(242)을 포함하여 구성될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)이 스테이지(10)의 상면으로부터 부상된 상태에서 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에, 도 10에 도시된 바와 같이, 패드(21)의 상면에 부착된 기판(S)은 패드회전부(24)의 동작에 의하여 회전될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 제3실시예에 따른 기판위치결정장치는, 패드(21)가 패드회전부(24)에 의하여 회전될 수 있으므로, 이에 따라, 기판(S)을 회전시킬 수 있으므로, 기판(S)의 위치조절을 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
<제4실시예>
이하, 도 11 내지 도 16을 참조하여 본 발명의 제4실시예에 따른 기판위치결정장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서 설명한 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 기판위치결정장치에서, 기판위치조절유닛(20)은, 기판(S)과 접촉되는 패드(21)와, 패드(21)를 승강시키는 패드승강부(22)와, 패드(21)를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부(23)와, 패드(21)를 회전시키는 패드회전부(24)를 포함하여 구성될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에, 도 12에 도시된 바와 같이, 패드(21)의 상면에 부착된 기판(S)은 패드이동 부(23)에 의하여 수평 이동될 수 있으며, 패드회전부(24)의 동작에 의하여 회전될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 위치조절을 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 패드이동부(23)는, 전술한 제2실시예에서 설명한 바와 같이, 패드(21)를 제1방향으로 이동시키는 제1이동부(234)와, 패드(21)를 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이동시키는 제2이동부(235)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 수행하는 경우에, 도 12에 도시된 바와 같이, 기판(S)은 회전될 수 있을 뿐만 아니라 제1방향(A) 및 제1방향(A)과 직교하는 제2방향(B)으로 수평 이동될 수 있으므로, 기판(S)의 위치조절을 더욱 정확하게 수행할 수 있다.
한편, 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 기판위치결정장치는, 기판조절유닛(20)이 스테이지(10)의 중앙으로부터 편심되는 위치에 복수개가 마련될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 도 15에 도시된 바와 같이, 복수의 기판조절유닛(20)의 패드(21)가 제1방향(A) 또는 제2방향(B)으로 이동되는 것에 의하여 기판(S)이 제1방향(A) 또는 제2방향(B)으로 이동될 수 있다. 이와 같이, 복수의 기판조절유닛(20)이 마련되는 경우에는 기판(S)을 복수의 지지점에서 지지할 수 있으므로, 기판(S)의 위치를 조절하는 동작을 더욱 안정적으로 수행할 수 있다.
한편, 도 16에 도시된 바와 같이, 스테이지(10)에 한 쌍의 기판조절유닛(20)이 구비될 수 있는데, 이러한 경우에는, 한 쌍의 기판조절유닛(20) 중 하나의 기판조절유닛(20)의 패드(21)가 제1방향 또는 제2방향으로 수평 이동하고, 나머지 하나 의 기판조절유닛(20)의 패드(21)가 회전되는 것에 의하여, 기판(S)이 회전될 수 있다. 이 경우, 회전되는 패드(21)는 회전모터(241)의 동작에 의하여 회전될 수 있으나, 제1방향 또는 제2방향으로 수평 이동하는 패드(21)의 이동에 의하여 아이들 상태에서도 회전될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판위치결정장치는, 기판(S)의 위치를 조절하는 과정에서, 기판(S)을 수평방향으로 이동시킬 뿐만 아니라 회전시킬 수 있으므로, 기판(S)의 위치조절을 용이하고 정확하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판위치결정장치는 페이스트 디스펜서에 적용될 수 있을 뿐만 아니라, 기판 상에 액정을 도포하는 액정도포장치와 같이 반도체제조공정에서 기판에 대하여 소정의 처리를 수행하는 장치에 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판위치결정장치의 스테이지가 도시된 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판위치결정장치의 스테이지의 횡단면도이다.
도 3은 도 1의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 측면도이다.
도 4는 도 3의 기판위치조절유닛의 평면도이다.
도 5는 도 3의 기판위치조절유닛의 패드의 개략도이다.
도 6은 도 1의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 작동상태도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 평면도이다.
도 8은 도 7의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 작동상태도이다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 측면도이다.
도 10은 도 9의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 작동상태도이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 측면도이다.
도 12 및 도 13은 도 11의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 작동상태도이다.
도 14는 도 11의 기판위치결정장치의 스테이지의 평면도이다.
도 15 및 도 16은 도 14의 기판위치결정장치의 기판위치조절유닛의 작동상태 도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
10: 스테이지 20: 기판위치조절유닛
21: 패드 22: 패드승강부
23: 패드이동부 24: 패드회전부
30: 가스공급유닛 40: 가스배출유닛
50: 가스흡입유닛 S: 기판

Claims (10)

  1. 하나 이상의 통공이 구비되는 스테이지;
    상기 스테이지상에 반입되는 기판과 접촉되는 패드와, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부와, 상기 패드를 회전시키는 패드회전부를 포함하는 기판위치조절유닛; 및
    상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하는 기판위치결정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판위치조절장치는, 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판위치결정장치.
  3. 하나 이상의 통공이 구비되는 스테이지;
    상기 스테이지상에 반입되는 기판과 접촉되는 패드와, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부와, 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 포함하는 기판위치조절유닛;
    상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하는 기판위치결정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판위치조절유닛은 상기 스테이지에 복수로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판위치결정장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 패드이동부는,
    상기 패드를 제1방향으로 이동시키는 제1이동부; 및
    상기 패드를 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이동시키는 제2이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판위치결정장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 패드에는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 상기 관통홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되는 것을 특징으로 하는 기판위치결정장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공을 통하여 가스를 배출시키는 가스배출유닛을 더 포함하는 기판위치결정장치.
  8. 적어도 하나의 통공이 구비되는 스테이지와, 상기 스테이지상에 탑재된 기판과 접촉되는 패드, 상기 패드를 승강시키는 패드승강부, 상기 패드를 회전시키는 패드회전부 및 상기 패드를 수평방향으로 이동시키는 패드이동부를 포함하는 기판위치조절유닛과, 상기 스테이지의 통공과 연통되어 상기 통공으로 가스를 공급하는 가스공급유닛을 포함하는 기판위치결정장치를 이용한 기판의 위치를 결정하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 스테이지상에 기판이 반입되는 단계;
    (b) 상기 패드승강부에 의하여 상기 패드가 상승되는 단계;
    (c) 상기 패드상에 상기 기판이 부착되는 단계;
    (d) 상기 가스공급유닛으로부터 상기 스테이지의 통공으로 가스가 공급되어 상기 기판이 부상하는 단계; 및
    (e) 상기 패드회전부에 의하여 상기 패드가 회전되거나 상기 패드이동부에 의하여 상기 패드가 수평방향으로 이동되면서 상기 기판의 위치를 조절하는 단계를 포함하는 기판의 위치결정방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 (b) 단계는 상기 (a) 단계 이전에 수행되는 것을 특징으로 하는 기판의 위치결정방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 패드에는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 상기 관통홀을 통하여 가스를 흡입하는 가스흡입유닛이 연통되며,
    상기 (c) 단계는 상기 패드의 관통홀을 통하여 상기 가스흡입유닛으로 가스가 흡입되어 상기 기판이 상기 패드상에 흡착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 위치결정방법.
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