KR20120069141A

KR20120069141A - 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서

Info

Publication number: KR20120069141A
Application number: KR1020100130555A
Authority: KR
Inventors: 이병권; 박학철; 김용일
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2010-12-20
Filing date: 2010-12-20
Publication date: 2012-06-28
Also published as: KR101763620B1; CN102553845B; TW201242672A; CN102553845A

Abstract

본 발명은 기판상에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서나 기판상에 액정을 도포하는 액정도포장치 등에 구비되어 노즐을 자동으로 세정할 수 있는 노즐세정장치에 대하여 제시한다. 본 발명에 따른 노즐세정장치는 노즐을 세정하는 과정을 자동으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서 {APPARATUS FOR CLEANING NOZZLE AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}

본 발명은 노즐을 자동으로 세정하는 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비된 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.

그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.

이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐이 장착된 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛을 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임으로 구성된다.

이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대위치를 변화시켜가면서 기판상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.

이와 같이 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐의 토출구의 주변에 페이스트가 부착될 수 있는데, 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착되는 경우에는 노즐의 토출구가 폐색되어 페이스트의 토출이 원활하게 진행되지 않는 문제점이 발생될 수 있다. 따라서, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하는 과정에 노즐의 토출구 주변에 페이스트가 부착되었는지를 확인하여 부착된 페이스트를 제거하는 작업이 요구된다.

그러나, 종래의 경우에는, 작업자가 육안으로 노즐을 확인하면서 페이스트가 노즐에 부착되었는지를 확인한 후 노즐에 페이스트가 부착된 경우에는 작업자가 직접 수작업으로 노즐을 닦으면서 노즐에 부착된 페이스트를 제거하였으므로, 노즐을 세정하는 과정에 많은 시간이 소요되었고, 이에 따라, 공정의 효율이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 노즐의 세정을 자동으로 수행하도록 함으로써 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 노즐세정장치 및 노즐세정장치를 구비하는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 노즐세정장치는, 노즐의 접근이 가능한 위치에 설치되는 한 쌍의 가압부재와, 상기 한 쌍의 가압부재를 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 이동장치와, 상기 한 쌍의 가압부재의 사이로 세정테이프를 공급하는 세정테이프공급장치를 포함하여 구성될 수 있다.

본 발명에 따른 노즐세정장치 및 노즐세정장치를 구비한 페이스트 디스펜서는, 노즐을 세정하는 과정을 자동으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 노즐세정장치가 설치된 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 노즐세정장치의 설치위치가 다른 예가 도시된 페이스트 디스펜서의 사시도이다.
도 5는 도 1의 노즐세정장치의 사시도이다.
도 6은 도 5의 노즐세정장치의 한 쌍의 가압부재, 이동장치 및 회전장치가 도시된 사시도이다.
도 7은 도 5의 노즐세정장치의 세정테이프공급장치가 도시된 사시도이다.
도 8은 도 7의 세정테이프공급장치의 회전감지장치가 도시된 개략도이다.
도 9 내지 도 12는 도 5의 노즐세정장치를 이용하여 노즐을 세정하는 과정이 순차적으로 도시된 개략도이다.
도 13은 도 5의 노즐세정장치를 이용하여 노즐을 세정하는 과정의 일례가 도시된 개략도이다.
도 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 노즐세정장치가 도시된 사시도이다.
도 15 및 도 16은 도 14의 노즐세정장치를 이용하여 노즐을 세정하는 과정이 도시된 개략도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 노즐세정장치 및 노즐세정장치를 구비한 페이스트 디스펜서에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지(20)의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드레일(30)과, 한 쌍의 가이드레일(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)과, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되고 페이스트가 토출되는 노즐(53) 및 변위센서(54)가 장착되는 디스펜싱 헤드유닛(50)과, 노즐(53)을 세정하는 노즐세정장치(60)와, 페이스트의 도포동작 및 노즐세정장치(60)의 동작을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.

프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축테이블(21)과 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축테이블(22)이 설치될 수 있다. 이에 따라, 스테이지(20)는 X축테이블(21) 및 Y축테이블(22)에 의하여 X축방향 및 Y축방향으로 이동될 수 있다. 물론, X축테이블(21) 및 Y축테이블(22) 중 어느 하나만이 적용되어, 스테이지(20)를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.

디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)의 양단에는 가이드레일(30)과 연결되는 가동자(41)가 설치될 수 있다. 가이드레일(30)과 가동자(41)의 상호작용에 의하여 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)이 가이드레일(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 디스펜싱 헤드유닛(50)은 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.

디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 디스펜싱 헤드유닛(50)에는 헤드지지대(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 디스펜싱 헤드유닛(50)이 헤드지지대(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.

이와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY장비좌표계에 따라 X축방향 및/또는 Y축방향으로 이동될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(50)은, 페이스트가 충진되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 간격을 측정하기 위한 변위센서(54)와, 노즐(53) 및 변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동유닛(55)과, 노즐(53) 및 변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동유닛(56)을 포함하여 구성될 수 있다.

변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되고 기판(S)에서 반사된 후 수광부(542)에 결상되는 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 간격을 계측하는 역할을 수행한다.

또한, 디스펜싱 헤드유닛(50)에는 기판(S)에 형성된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적에 관한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 측정하는 데에 이용될 수 있다.

또한, 디스펜싱 헤드유닛(50)에는 노즐(53)과 인접한 부위에 기판(S)을 향하도록 설치되는 촬상장치(58)가 구비될 수 있다. 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동 및 디스펜싱 헤드유닛(50)의 X축방향으로의 이동에 의하여 노즐(53)이 이동할 때, 이러한 촬상장치(58)는 노즐(53)의 현재의 위치를 측정하는 데에 이용될 수 있다.

노즐세정장치(60)는 페이스트 디스펜서에 탈착이 가능하게 설치될 수 있다. 노즐세정장치(60)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 스테이지(20)상에 설치될 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 스테이지(20)를 이동시키는 X축테이블(21)상에 설치될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 프레임(10)상에 설치될 수 있다. 이와 같이, 노즐세정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치와 관련하여, 디스펜싱 헤드유닛(50)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동 또는 스테이지(20)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동에 의하여, 노즐(53)이 노즐세정장치(60)로 접근할 수 있는 범위 내라면, 노즐세정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치는 한정되지 않는다. 물론, 노즐세정장치(60)에 별도의 이동기구를 설치하고, 노즐세정장치(60)가 디스펜싱 헤드유닛(50)에 장착된 노즐(53)로 접근하도록 이동되는 구성이 적용될 수 있다.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 노즐세정장치(60)는, 각 부품이 지지되는 지지체(61)와, 노즐(53)의 접근이 가능한 위치에 설치되는 한 쌍의 가압부재(62)와, 한 쌍의 가압부재(62)를 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 이동장치(63)와, 한 쌍의 가압부재(62)를 회전시키는 회전장치(64)와, 한 쌍의 가압부재(62)의 사이로 세정테이프(65)를 공급하는 세정테이프공급장치(66)와, 노즐(53)과 한 쌍의 가압부재(62)와의 정렬을 위하여 노즐(53)을 한 쌍의 가압부재(62)의 사이로 안내하는 안내유닛(67)을 포함하여 구성될 수 있다.

한 쌍의 가압부재(62)는 서로 대향하는 면이 수직면을 이루도록 형성될 수 있으며, 한 쌍의 가압부재(62)의 서로 대향하는 면에는 쿠션부재(621)가 부착되는 것이 바람직하다. 이러한 쿠션부재(621)는 한 쌍의 가압부재(62)가 세정테이프(65)를 노즐(53)로 가압하는 경우에 노즐(53)에 세정테이프(65)가 긴밀하게 밀착되도록 하는 역할을 수행할 수 있다.

이동장치(63)로는 한 쌍의 가압부재(62)와 각각 연결되어 전력의 인가에 따라 한 쌍의 가압부재(62)를 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 액추에이터가 적용될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 이동장치(63)가 한 쌍의 가압부재(62) 중 하나의 가압부재(62)에만 연결되는 구성이 적용될 수 있으며, 이동장치(63)로 유압 또는 공압에 의하여 동작하는 실린더를 포함하는 액추에이터, 리니어모터 또는 볼스크류장치 등 한 쌍의 가압부재(62) 중 적어도 하나를 이동시키는 직선이동기구가 적용될 수 있다.

회전장치(64)는 한 쌍의 가압부재(62)가 직선형으로 이동이 가능하게 설치되는 지지부재(641)와 연결되어 지지부재(641)를 회전시키는 역할을 수행한다. 이러한, 회전장치(64)로는 전기모터 등의 회전기구가 적용될 수 있다.

세정테이프(65)는 소정의 장력을 가지며 페이스트가 부착되는 성질이 가진 재질로 형성될 수 있다. 세정테이프(65)에는, 예를 들면, 아세톤과 같은 페이스트를 용해할 수 있는 성분으로 이루어진 물질이 부착될 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 세정테이프공급장치(66)는 세정테이프(65)가 감겨진 상태로 공급되는 제1릴(661)과, 노즐(53)을 닦아낸 세정테이프(65)가 감겨지는 제2릴(662)과, 지지체(61)에 회전이 가능하게 설치되어 제1릴(661)이 탈착이 가능하게 연결되는 한 쌍의 제1축(663)과, 지지체(61)에 회전이 가능하게 설치되어 제2릴(662)이 탈착이 가능하게 연결되는 한 쌍의 제2축(664)과, 제1축(663)과 연결되어 세정테이프(65)의 장력을 유지하는 장력유지장치(665)와, 제2축(664)을 회전시키기 위한 구동모터(666)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1축(663)에서 제1릴(661)이 임의로 회전되는 것을 방지할 수 있도록, 제1축(663)에는 회전방지돌출부(663a)가 돌출될 수 있으며, 제1릴(661)에는 회전방지돌출부(663a)가 삽입되는 회전방지홈(661a)이 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제2축(664)에서 제2릴(662)이 임의로 회전되는 것을 방지할 수 있도록, 제2축(664)에는 회전방지돌출부(664a)가 돌출될 수 있으며, 제2릴(662)에는 회전방지돌출부(664a)가 삽입되는 회전방지홈(662a)이 형성될 수 있다.

장력유지장치(665)는 한 쌍의 제1축(663)과 연결되어 세정테이프(65)의 공급 시 제1축(663)이 회전되는 방향의 반대방향으로 제1축(663)에 소정의 회전력을 가하는 모터로 구성될 수 있다. 이러한, 장력유지장치(665)는 제1축(663)에 작용하는 토크를 일정하게 유지시키는 것을 통하여 세정테이프(65)의 장력을 일정하게 유지시키는 역할을 수행할 수 있다.

구동모터(666)는 한 쌍의 제2축(664)에 모두 연결될 수 있으나, 한 쌍의 제2축(664) 중 어느 하나에만 구동모터(666)가 연결되고 한 쌍의 제2축(664)이 서로 전동벨트(667)로 연결되어 하나의 구동모터(666)에 의하여 한 쌍의 제2축(664)이 회전되는 구성이 적용될 수 있다.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제2축(664) 중 적어도 어느 하나에는 제2축(664)의 회전을 감지하는 회전감지장치(668)가 구비되는 것이 바람직하다. 회전감지장치(668)은, 예를 들면, 한 쌍의 제2축(664) 중 적어도 하나에 설치되어 제2축(664)과 함께 회전하며 제2축(664)의 둘레로부터 연장되도록 형성되고 적어도 하나의 슬롯(664a)을 가지는 회전부재(664b)와, 회전부재(664b)의 일측 및 타측에 각각 배치되는 발광부(664c) 및 수광부(664d)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한, 회전감지장치(668)는 발광부(664c)에서 발광된 광이 회전부재(664b)의 슬롯(664a)를 통과하는지 여부 및 통과하는 횟수를 감지하여 제2축(664)의 회전여부 및 회전량을 계측하는 역할을 수행한다. 다만, 본 발명은 상기한 구성에 한정되지 아니하며, 회전감지장치(668)로 구동모터(666)와 연결될 수 있는 엔코더와 같이 제2축(664)의 회전여부 및 회전량을 감지할 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 제어유닛은 회전감지장치(668)에 의하여 계측된 제2축(664)의 회전에 관한 데이터를 이용하여 장력유지장치(665)가 동작되도록 제어할 수 있으며, 이에 따라, 세정테이프(65)의 장력의 크기는 미리 설정된 최적의 범위로 유지될 수 있다.

안내유닛(67)은, 한 쌍의 가압부재(62)와 인접되는 부분에 설치되는 수광센서(671)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 수광센서(671)는 변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광하는 레이저를 수광하여 미리 설정된 노즐(53)과 변위센서(54) 사이의 간격을 근거로 하여 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(64)의 사이에 정확하게 위치되도록 노즐(53)을 안내하는 역할을 수행한다.

또한, 안내유닛(67)은, 한 쌍의 가압부재(62)와 인접되는 부분에 배치되는 기준부재(672)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 기준부재(672)는 디스펜싱 헤드유닛(50)에 장착된 촬상장치(58)로 촬상될 수 있으며, 제어유닛은 촬상장치(58)에 의하여 촬상된 이미지 및 미리 설정된 노즐(53)과 촬상장치(58) 사이의 간격을 근거로 하여 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)의 사이에 정확하게 위치될 수 있도록 노즐(53)을 안내하는 역할을 수행한다. 기준부재(672)에는 십자형이나 일자형의 인식용 마크가 형성될 수 있다.

여기에서, 안내유닛(67)은 수광센서(671) 또는 기준부재(672) 중 적어도 어느 하나를 포함하도록 구성될 수 있다. 이와 같은 안내유닛(66)은 노즐(53)이 다른 구성부품에 충돌되지 아니하고 한 쌍의 가압부재(62) 사이로 정확하게 이동될 수 있도록 노즐(53)과 한 쌍의 가압부재(62)를 정렬시키는 역할을 수행한다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 노즐세정장치(60)의 동작에 대하여 설명한다.

페이스트를 기판(S)상에 도포하는 과정에서 노즐(53)의 토출구 및 그 주변에는 페이스트가 부착될 수 있는데, 이를 제거하기 위하여 제어유닛은 일정한 주기마다 노즐(53)을 세정하도록 제어할 수 있다. 이와 같은 노즐(53)의 세정동작은, 예를 들면, 기판(S)이 페이스트 디스펜서로 반입되기 전이나 반입된 후와 같이 일정한 시점에서 수행될 수 있으며, 페이스트 디스펜서로 반입된 기판(S)상에 페이스트를 도포하는 과정 중에 수시로 수행될 수 있다.

노즐(53)의 세정을 위하여, 제1축(663)에는 세정테이프(65)가 감겨진 제1릴(661)이 위치되며, 제2축(664)에는 세정테이프(65)가 감겨질 제2릴(662)가 위치된다. 그리고, 세정테이프(65)는 장력유지장치(665)에 의하여 소정의 장력이 유지된 상태로 한 쌍의 가압부재(62)의 사이에 배치된다. 이러한 상태에서, 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)의 사이로 이동된다.

이때, 안내유닛(67)으로 노즐세정장치(60)에 수광센서(671)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광되는 레이저가 노즐세정장치(60)에 구비된 수광센서(671)에 수광되는 위치를 감지하고, 이로부터 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)와 정렬되는 위치로 이동되었는지를 측정하면서, 헤드유닛(50)을 이동시켜 노즐(53)을 한 쌍의 가압부재(62)의 사이로 이동시킬 수 있다.

또한, 안내유닛(67)으로 노즐세정장치(60)에 기준마크(672)가 구비되는 경우에는, 헤드유닛(50)에 장착된 촬상장치(58)로 기준마크(672)를 촬상하여 촬상된 기준마크(672)의 중심이 촬상장치(58)의 촬상중심과 일치하는지를 측정하면서, 기준마크(672)의 중심이 촬상중심과 일치되도록 헤드유닛(50)을 이동시키는 과정을 통하여 노즐(53)을 한 쌍의 가압부재(62)의 사이로 이동시킬 수 있다.

또한, 노즐(53)을 한 쌍의 가압부재(62)와 정렬되는 위치로 이동시키는 과정에서, 디스펜싱 헤드유닛(50)의 Z축구동유닛(56)이 동작하여 노즐(53)이 상하방향으로 변위될 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)의 사이에 위치되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 이동장치(63)의 동작에 의하여 한 쌍의 가압부재(62)가 서로 인접되는 방향으로 이동하며, 이에 따라, 도 11에 도시된 바와 같이, 노즐(53)에 세정테이프(65)가 긴밀하게 밀착시킨다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(50)의 이동에 의하여 노즐(53)은 한 쌍의 가압부재(62)가 서로 인접되는 방향과 수직인 방향으로 이동된다. 노즐(53)의 토출구의 주변에 부착된 페이스트는 세정테이프(65)에 부착되면서 노즐(53)의 토출구로부터 제거된다. 이때, 노즐(53)은 세정테이프(65)와 밀착된 상태에서 반복적으로 직선형으로 이동할 수 있다. 그리고, 노즐(53)이 세정테이프(65)와 밀착된 상태에서 한 쌍의 가압부재(62)의 사이를 통과하면, 이동장치(63)의 동작에 의하여 한 쌍의 가압부재(62)가 서로 이격되는 방향으로 이동하고, 구동모터(666)의 동작에 의하여 제2축(664)가 회전되면서 제2릴(662)에는 페이스트가 부착된 세정테이프(65)가 감기게 되면서 한 쌍의 가압부재(62)의 사이에는 추후의 노즐(53)의 세정을 위한 페이스트가 부착되지 아니한 세정테이프(65)가 위치된다. 이상과 같이, 노즐(53)에 대한 세정과정이 완료되면, 디스펜싱 헤드유닛(50)이 이동하여 노즐(53)이 기판(S)상에 페이스트를 도포하기 전의 도포대기위치로 복귀될 수 있다.

한편, 도 13에 도시된 바와 같이, 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)의 사이에 위치되고, 한 쌍의 가압부재(62)가 서로 인접되게 이동되어 노즐(53)에 세정테이프(65)가 밀착된 상태에서, 회전장치(64)의 동작에 의하여 한 쌍의 가압부재(62)가 회전될 수 있다. 한 쌍의 가압부재(62)의 회전에 의하여 세정테이프(65)는 노즐(53)에 밀착된 상태에서 노즐(53)의 토출구의 둘레를 따라 회전되므로, 노즐(53)에 부착된 페이스트를 더욱 효율적으로 제거할 수 있다. 한 쌍의 가압부재(62)의 회전은 일방향 및 일방향과 반대되는 방향으로 반복적으로 수행될 수 있다. 또한, 한 쌍의 가압부재(62)는 0도를 초과하는 각도로, 1회전 또는 1회전 이상으로 회전될 수 있다.

한편, 제1릴(661)에 감겨진 세정테이프(65)가 모두 사용된 경우에는 새로운 세정테이프(65)가 감겨진 제1릴(661)로 교체될 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 노즐세정장치(60) 및 노즐세정장치(60)를 구비한 페이스트 디스펜서는, 노즐(53)에 부착된 페이스트를 제거하는 작업을 자동적으로 수행할 수 있으므로, 작업자가 수작업으로 노즐(53)을 세정하는 종래의 경우에 비하여 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. 또한, 세정테이프공급장치(66)에 의하여 페이스트를 제거한 세정테이프(65)가 자동적으로 교환되므로 노즐(53)을 효율적으로 세정할 수 있는 효과가 있다.

이하, 도 14 내지 도 16을 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 따른 노즐세정장치 및 노즐세정장치를 구비한 페이스트 디스펜서에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 노즐세정장치(60)는, 한 쌍의 가압부재(62)를 상승시키거나 하강시키는 승강유닛(70)과, 한 쌍의 가압부재(62)를 이동시키는 이동유닛(80)을 포함하여 구성될 수 있다. 승강유닛(70)으로는 노즐세정장치(60)의 지지체(61)와 연결되어 지지체(61)를 상승시키거나 하강시키는 유압 또는 공압에 의하여 동작하는 실린더를 포함하는 액추에이터, 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다. 또한, 이동유닛(80)으로는 노즐세정장치(60)의 지지체(61)와 연결되어 지지체(61)를 이동시키는 유압 또는 공압에 의하여 동작하는 실린더를 포함하는 액추에이터, 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.

이러한, 승강유닛(70) 또는 이동유닛(80)은 디스펜싱 헤드유닛(50)의 이동에 의하여 노즐(53)이 노즐세정장치(60)로 접근하는 과정에서, 노즐(53)이 한 쌍의 가압부재(62)의 정확한 위치로 용이하게 위치될 수 있도록 한 쌍의 가압부재(62)의 수직방향으로의 위치 및 수평방향으로의 위치를 조절하는 역할을 수행할 수 있다.

특히, 승강유닛(70)은 한 쌍의 가압부재(62)가 노즐(53)을 사이에 두고 서로 인접되는 방향으로 이동하여 노즐(53)에 세정테이프(65)가 밀착되는 상태에서 동작할 수 있는데, 이와 같은 경우, 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 세정테이프(65)는 노즐(53)에 밀착된 상태에서 노즐(53)의 외주면을 따라 수직방향으로 이동하므로, 노즐(53)에 부착된 페이스트를 더욱 효율적으로 제거할 수 있다. 승강유닛(70)의 구동에 의한 한 쌍의 가압부재(62)의 상승 및 하강은 반복적으로 수행될 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 따른 노즐세정장치(60)는, 한 쌍의 가압부재(62)를 상승시키거나 하강시키는 승강유닛(70)과, 한 쌍의 가압부재(62)를 이동시키는 이동유닛(80)을 포함하여 구성되므로, 노즐(53)을 용이하게 한 쌍의 가압부재(62) 사이의 정확한 위치로 이동시킬 수 있는 효과가 있으며, 특히, 승강유닛(70)의 동작에 의하여 노즐(53)의 세정효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에서는 노즐세정장치가 페이스트 디스펜서에 적용되는 경우를 예를 들어 설명하였으나, 본 발명에 따른 노즐세정장치는 페이스트 디스펜서에 적용될 수 있을 뿐만 아니라, 기판상에 액정을 도포하는 액정도포장치나 반도체 제조공정에서 기판상에 접착제 등의 액체를 공급하는 액체공급장치에도 적용될 수 있다.

50: 디스펜싱 헤드유닛 53: 노즐
54: 변위센서 58: 촬상장치
60: 노즐세정장치 62: 가압부재

Claims

노즐의 접근이 가능한 위치에 설치되는 한 쌍의 가압부재;
상기 한 쌍의 가압부재를 서로 인접되는 방향 및 서로 이격되는 방향으로 이동시키는 이동장치; 및
상기 한 쌍의 가압부재의 사이로 세정테이프를 공급하는 세정테이프공급장치를 포함하는 노즐세정장치.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가압부재를 회전시키는 회전장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제1항에 있어서,
상기 세정테이프공급장치는,
상기 세정테이프가 감겨진 상태로 공급되는 제1릴;
상기 노즐을 닦아낸 세정테이프가 감겨지는 제2릴;
상기 제1릴이 탈착이 가능하게 연결되는 제1축;
상기 제2릴이 탈착이 가능하게 연결되는 제2축; 및
상기 제2축을 회전시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제3항에 있어서,
상기 제2축에는 제2축의 회전을 감지하는 회전감지장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제3항에 있어서,
상기 세정테이프공급장치는, 상기 제1축과 연결되어 상기 세정테이프의 장력을 유지하는 장력유지장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제1항에 있어서,
상기 노즐을 상기 한 쌍의 가압부재의 사이로 안내하는 안내유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제6항에 있어서,
상기 안내유닛은, 상기 노즐에 인접되게 설치되는 변위센서의 발광부로부터 발광되는 레이저를 수광하도록 상기 한 쌍의 가압부재와 인접되는 부분에 설치되는 수광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제6항에 있어서,
상기 안내유닛은, 상기 노즐에 인접되게 설치되는 촬상장치에 의하여 촬상되도록 상기 한 쌍의 가압부재와 인접되는 부분에 배치되는 기준부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가압부재를 상승시키거나 하강시키는 승강유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가압부재를 이동시키는 이동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐세정장치.
기판이 탑재되는 스테이지;
페이스트가 토출되는 노즐이 장착되는 디스펜싱 헤드유닛;
상기 디스펜싱 헤드유닛이 이동이 가능하게 설치되는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임; 및
청구항 제1항 내지 청구항 제10항 중 어느 한 항의 노즐세정장치를 포함하는 페이스트 디스펜서.