KR101140257B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는 소정의 간격으로 배치되어 기판을 지지하는 복수의 지지플레이트, 상기 복수의 지지플레이트 사이에 배치되며, 상기 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착부, 상기 흡착부를 승강시키는 승강부, 상기 흡착부를 지지하는 지지부 및 상기 흡착부가 경사 자유도를 갖도록 상기 흡착부와 상기 지지부를 연결하는 연결부를 포함한다.

Description

어레이 테스트 장치{APPARATUS FOR TESTING ARRAY}

본 발명은 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(FPD, flat panel display)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(LCD, liquid crystal display), 플라즈마디스플레이(PDP, plasma display panel), 전계방출디스플레이(FED, field emission display), 유기발광다이오드(OLED, organic light emitting diodes) 등이 개발되어 사용되고 있다.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(TFT, thin film transistor) 및 화소전극을 형성한다.

이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "기판"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 테스트하는 공정을 수행하게 된다.

어레이 테스트 장치는 기판을 테스트하기 위한 테스트부, 기판을 지지하기 위한 지지플레이와, 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착부와, 상기 흡착부를 승강시키기 위한 승강부와, 상기 흡착부를 기판이 이송되는 방향과 평행한 방향으로 이동시키기 위한 이동부를 포함하여 구성될 수 있다.

테스트부는, 광원과, 모듈레이터와, 카메라를 포함하여 구성될 수 있다. 모듈레이터와 기판에 일정한 전압을 가한 상태에서 모듈레이터를 기판에 인접하도록 하면, 기판에 결함이 없는 경우에는 모듈레이터와 기판 사이에 전기장이 형성되지만, 기판에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터와 기판 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되는데, 어레이 테스트 장치는 이러한 모듈레이터와 기판 사이의 전기장의 크기를 검출하고 이를 이용하여 기판의 결함여부를 검출하게 된다.

상기 지지플레이트는 기판을 부양시키기 위한 공기가 분사되는 공기구멍이 형성될 수 있으며, 공기구멍은 공기를 공급하는 정압원과 연결될 수 있다. 상기 공기구멍을 통해 분사되는 공기에 의해 기판은 상기 지지플레이트 상에서 부양되어 지지된다.

이러한 구성에 의하여, 지지플레이트의 상부로 기판이 반입되어 지지되면 흡착부가 상승하여 기판의 저면을 흡착하여 지지한다. 이와 같은 상태에서 기판의 저면을 흡착한 흡착부가 상기 이동부에 의해 테스트부로 이송됨에 따라 기판이 테스트부로 이송된다.

도 1은 종래의 어레이 테스트 장치의 흡착부의 사시도이다. 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 흡착부는 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착판(100)과 상기 흡착판(100)을 지지하기 위한 지지대(101)와 상기 흡착판(100)의 경사를 조절하기 위한 경사조절용볼트(102)를 포함하여 구성될 수 있다. 흡착판(100)에는 공기가 통과하는 흡착홀이 형성될 수 있고, 흡착홀에는 공기를 흡입하는 부압원이 연결될 수 있다.

지지플레이트는 가공상, 재질상 및/ 또는 기후상 조건으로 인하여 굴곡을 가질 수 있고, 지지플레이트 간에 높이 또한 미세한 차이가 있을 수 있다. 따라서, 지지플레이트에 기판이 탑재되어 지지될 때, 흡착판(100)이 기판의 저면을 정확하게 흡착하기 위해서는, 흡착판(100)의 경사가 흡착판(100)이 대향하는 기판의 저면의 경사에 일치하도록 조정되어야 한다. 흡착판(100)의 경사가 흡착판(100)이 대향하는 기판의 저면의 경사와 일치하여야만, 흡착판(100)이 기판의 저면과 흡착 시에 리크(leak)가 발생하지 않고 정확하게 기판을 흡착할 수 있다.

도 2는 경사조절용볼트(102)를 확대하여 도시한 도면이고 도 3은 종래의 어레이 테스트 장치의 흡착부의 평면 투시도이다. 도 3에 도시된 바와 같이 흡착부는 4개의 경사조절용볼트(102)를 포함하고 있으며, 상기 4개의 경사 조절용 볼트(102)를 조절하여 흡착판(100)의 경사를 조절한다. 상기 흡착판(100)의 경사를 상기 경사조절용볼트(102)를 이용하여 조정하는 경우에, 흡착판(100)의 경사를 기판(S)의 저면의 경사에 일치하도록 정확하게 조정하는 것이 어렵기 때문에, 흡착판(100)의 경사가 상기 흡착판(100)에 대응하는 기판(S)의 저면의 경사와 일치하지 않을 수 있다.

도 4는 종래의 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판이 접촉할 때를 상태를 도시한 도면이다. 상기 도 4에 도시된 바와 같이, 경사조절용볼트(102)를 이용하여 흡착판(100)의 경사를 기판(S)의 저면의 경사에 따라 조정하는 경우에, 흡착판(100)의 경사를 기판(S)의 저면의 경사에 따라 정확하게 조정하는 것이 어렵기 때문에 흡착판(100)의 경사가 기판(S)의 저면의 경사와 일치하지 않을 수 있다. 이로 인하여 흡착판(100)이 기판(S)의 저면과 접촉 시에 간극(103)이 생겨 흡착판(100)이 기판(S)를 흡착할 시에 리크(leak)가 발생할 수 있다. 그 결과, 흡착판(100)과 기판(S) 사이에 흡착이 제대로 이루어지지 않아, 기판(S)의 이송이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다.

따라서, 흡착판(100)이 기판의(S) 저면을 흡착 시에 흡착판(100)의 경사가 흡착판(100)이 대향하는 기판(S)의 저면의 경사에 일치하도록 조정되어, 흡착이 원활하게 이루어지도록 하는 어레이 테스트 장치의 구조가 요구된다.

본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 흡착판의 경사가 흡착판이 대향하는 기판의 저면의 경사에 일치하도록 조정되어, 흡착판이 기판의 저면을 흡착 시에, 리크의 발생 없이 흡착판이 기판을 정확하게 흡착할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치는 소정의 간격으로 배치되어 기판을 지지하는 복수의 지지플레이트, 상기 복수의 지지플레이트 사이에 배치되며, 상기 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착부, 상기 흡착부를 승강시키는 승강부, 상기 흡착부를 지지하는 지지부 및 상기 흡착부가 경사 자유도를 갖도록 상기 흡착부와 상기 지지부를 연결하는 연결부를 포함한다.

상기 승강부에 의해 상기 흡착부가 상승하여 상기 기판의 저면과 접촉될 시에, 상기 흡착부가 상기 기판의 저면에 흡착되도록 상기 흡착부의 경사가 조절될 수 있다.

상기 연결부는 볼 조인트(ball joint)일 수 있다.

상기 어레이 테스트 장치는 상기 볼 조인트의 볼이 회전하지 않도록 고정하는 고정부를 더 포함할 수 있다.

상기 어레이 테스트 장치는 상기 기판의 전기적 결함여부를 테스트하기 위한 테스트부와 상기 테스트부로 상기 기판을 이송시키기 위해 상기 흡착부를 이동시키는 이동부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 의할 때, 어레이 테스트 장치에서 흡착판의 경사가 흡착판이 대향하는 기판의 저면의 경사에 일치하도록 정확하게 조정될 수 있다.

또한, 흡착판이 리크의 발생 없이 기판의 저면을 흡착할 수 있고, 기판의 이송이 원활하게 수행될 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 종래의 어레이 테스트 장치의 흡착부의 사시도이다.
도 2는 도 1에서의 경사조절용볼트를 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 종래의 어레이 테스트 장치의 흡착부의 평면 투시도이다.
도 4는 종래의 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판이 접촉할 때의 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 일 실시예에 따른, 어레이 테스트 장치의 사시도를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도를 도시한 도면이다.
도 7은 도 5의 로딩부에서 지지플레이트를 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 8은 도 5에서 기판이송유닛에서 이동부를 제외한 상태를 확대 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8의 IV-IV선을 따라 취한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판의 저면이 접촉하는 상태의 제1예를 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판의 저면이 접촉하는 상태의 제2예를 도시한 도면이다.

본 발명의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 구조, 역할 및 기능 등을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 오로지 특허청구범위에 기재된 청구항의 범주에 의하여 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

한편, 본 발명의 실시예에 있어서, 각 구성요소들, 기능 블록들 또는 수단들은 하나 또는 그 이상의 하부 구성요소로 구성될 수 있으며, 각 구성요소들이 수행하는 전기, 전자, 기계적 기능들은 전자 회로, 집적 회로, ASIC (Application Specific Integrated Circuit) 등 공지된 다양한 소자들 또는 기계적 요소들로 구현될 수 있으며, 각각 별개로 구현되거나 2 이상이 하나로 통합되어 구현될 수도 있다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 일 실시예에 따른, 어레이 테스트 장치의 사시도를 도시한 도면이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 프레임(10)과, 기판을 테스트하는 테스트부(20)와, 기판을 테스트부(20)로 로딩하는 로딩부(30)와, 테스트부(20)로부터 기판을 언로딩하는 언로딩부(40)를 포함하여 구성될 수 있다.

테스트부(20)는 기판의 전기적 결함여부를 테스트하는 역할을 한다. 테스트부(20)는, 로딩부(30)에 의하여 로딩된 기판이 배치되는 테스트플레이트(21)와, 테스트플레이트(21)상에 배치된 기판의 전기적 결함여부를 테스트하는 테스트모듈(22)과, 테스트플레이트(21)상에 배치된 기판의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22) 및 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(도시하지 않음)을 포함하여 구성될 수 있다.

테스트모듈(22)은 테스트플레이트(21)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 지지대(223)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 그리고, 테스트모듈(22)은 지지대(223)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다. 테스트모듈(22)은 테스트플레이트(21)상에 배치된 기판의 상측에 배치되어 기판의 결함여부를 검출한다. 테스트모듈(22)은, 테스트플레이트(21)상에 배치된 기판(S)에 인접되는 모듈레이터(221)와, 모듈레이터(221)를 촬상하는 촬상장치(222)를 포함하여 구성될 수 있다.

이러한 테스트부(20)는 반사방식 및 투과방식으로 두 가지의 형태로 나눌 수 있다. 반사방식의 경우에는, 광원이 테스트모듈(22)과 함께 배치되고, 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에 반사층이 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광된 광이 모듈레이터(221)로 입사된 후 모듈레이터(221)의 반사층으로부터 반사될 때, 반사되는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 투과방식의 경우에는, 광원이 테스트플레이트(21)의 하측에 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광되어 모듈레이터(221)를 투과하는 광의 광량을 측정함으로써, 기판(S)의 결함여부를 검출하게 된다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트부(20)로는 이러한 반사방식 및 투과방식이 모두 적용될 수 있다.

테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에는, 기판과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 반사되는 광량(반사방식의 경우) 또는 투과되는 광량(투과방식의 경우)을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)이 구비된다. 전광물질층은, 기판과 모듈레이터(221)에 전기가 인가될 때 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어져 전광물질층으로 입사되는 광의 광량을 변경한다. 이러한 전광물질층은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)으로 이루어질 수 있다.

로딩부(30)는 테스트의 대상이 되는 기판을 지지함과 아울러 기판을 테스트부(20)로 이송시키는 역할을 수행하며, 언로딩부(40)는 테스트가 완료된 기판을 지지함과 아울러 이송시키는 역할을 수행한다.

도 6은 도 5의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도를 도시한 도면이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은, X축방향으로 연장되는 프로브헤드지지대(231)와, 프로브헤드지지대(231)에 프로브헤드지지대(231)의 길이방향(X축방향)을 따라 소정의 간격으로 배치되며 복수의 프로브핀(232)이 구비되는 프로브헤드(233)와, 프로브헤드(233)와 연결되어 프로브헤드(233)를 상하방향(Z축방향)으로 승강시키는 승강유닛(234)을 포함하여 구성될 수 있다.

프로브헤드지지대(231)는 지지대이동유닛(235)과 연결되어 기판이 로딩부(30)로부터 테스트부(20)로 로딩되는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브헤드(233)에는 프로브헤드(233)를 프로브헤드지지대(231)에 프로브헤드지지대(231)의 길이방향(X축방향)으로 이동시키는 헤드이동유닛(236)이 설치될 수 있다. 지지대이동유닛(235) 및/또는 헤드이동유닛(236)으로는 리니어모터 또는 볼스크류와 같은 직선이송기구가 적용될 수 있다.

승강유닛(234)으로는 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브헤드(234)를 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(234)은, 기판(S)이 테스트플레이트(21)상에 배치된 상태에서 프로브핀(232)이 기판(S)의 전극(S1)을 가압할 수 있도록 프로브헤드(234)를 하강시키는 역할을 수행한다.

로딩부(30) 및 언로딩부(40)는 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 기판(S)이 탑재되는 복수의 지지플레이트(50)와, 기판(S)을 이송시키기 위한 기판이송유닛(60)이 구비될 수 있다.

지지플레이트(50)에는 기판(S)을 부양시키기 위한 공기가 분사되는 공기구멍(51)이 형성될 수 있으며, 공기구멍(51)은 공기를 공급하는 정압원(도시하지 않음)과 연결될 수 있다.

도 7은 도 5의 로딩부에서 지지플레이트를 제거한 상태를 도시한 사시도이고, 도 8은 도 5에서 기판이송유닛에서 이동부를 제외한 상태를 확대 도시한 사시도이다.

도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 기판이송유닛(60)은 상기 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착부(63)와, 상기 흡착부(63)를 지지하는 지지부(65)와, 상기 흡착부(63)와 상기 지지부(65)를 연결하는 연결부(64)와, 상기 흡착부(63)를 상하방향(Z방향)으로 승강시키기 위한 승강부(66)와, 흡착부(63)를 테스트부(20)으로 이동시키기 위한 이동부를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 이동부는 가이드레일(61)과 가이드레일(61)에 이동가능하게 설치되는 슬라이딩부(62)를 포함할 수 있다.

상기 슬라이딩부(62)상에 상기 흡착부(63), 연결부(64) 및 지지부(65)가 탑재되고, 상기 슬라이딩부(62)는 상기 가이드레일(61)상에서 이동할 수 있다.

흡착부(63)는 판 구조로 될 수 있으며, 공기가 통과하는 흡착홀이 형성될 수 있고, 흡착홀에는 공기를 흡입하는 부압원(도시하지 않음)이 연결될 수 있다. 상기 공기의 흡입에 의해 흡착부(63)는 기판(S)의 저면을 흡착할 수 있다.

도 9는 도 8의 IV-IV선을 따라 취한 단면도이다. 상기 도 9에 도시된 바와 같이, 연결부(64)는 흡착부(63)와 지지부(65)를 연결하며, 연결부(64)는 볼 조인트(ball joint)로 구성될 수 있다. 지지부(65)는 볼 조인트의 볼(67)을 감싸기 위한 하우징(68)를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는 볼 조인트의 볼(67)의 회전을 정지시키기 위한 고정부(69)를 포함할 수 있다. 상기 도 9의 고정부(69)는 회전에 의해 이동하여 끝이 볼(67)의 표면과 접촉하여 볼(67)의 회전을 정지시키는 나사로 구성될 수 있다. 상기 나사는 하나 이상 구비될 수 있으며, 수동으로 나사를 회전시켜 나사의 끝이 볼(67)의 표면과 접촉되도록 하여 볼(67)의 회전을 정지시키도록 구성하거나, 별도의 구동부를 마련하여 자동으로 나사를 회전시켜 나사의 끝이 볼(67)의 표면과 접촉되도록 하여 볼(67)의 회전을 정지시키도록 구성할 수 있다. 상기 도 9에서는 고정부(69)의 일례로 나사를 도시한 것에 불과하며, 상기 고정부에는 다양한 구조가 적용될 수 있다. 예를 들어, 고정부는 예를 들어, 볼(67)과 하우징(68)에 자력이 발생하여 서로 결합하는 구조도 가능하다.

상기 연결부(64)와 연결된 흡착부(63)는 상기 연결부(64)의 볼 조인트의 볼(67)의 회전에 의해 상기 흡착부(63)는 X-Y방향으로 경사가 소정의 경사 범위 내에서 자유롭게 조정될 수 있는 경사 자유도를 가지게 된다. 상기 소정의 경사 기판(S)의 저면의 경사도를 예상하여 상기 하우징(68)의 개구의 크기에 의해 조정할 수 있다.

도 9에서, 연결부(64)의 볼 조인트는 지지부(65)와 결합하는 구성을 도시하고 있지만, 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 연결부(64)의 볼 조인트는 흡착부(63)와 결합하도록 구성할 수도 있다. 즉, 연결부(64)는 흡착부(63)와 지지부(65) 중 어느 하나와 볼 조인트로 결합될 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판의 저면이 접촉하는 상태의 제1예를 도시한 도면이고, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 있어서, 흡착부와 기판의 저면이 접촉하는 상태의 제2예를 도시한 도면이다.

상기 도 10과 도 11에 도시된 바와 같이, 지지플레이트(50)의 상부로 기판(S)이 반입되어 지지플레이트(50)상에서 분사되는 공기(도 9에서 화살표로 도시)에 의해 기판(S)이 지지된다. 흡착부(63)와 지지부(65)를 연결하는 연결부(64)가 볼 조인트로 구성되기 때문에, 상기 승강부(66)에 의해 흡착부(63)가 상승하여 기판(S)의 저면과 접촉 시에, 흡착부(63)는 기판(S)이 흡착부(63)를 향하여 가하는 압력에 의해 상기 기판(S)의 저면의 경사에 따라 경사가 조절된다. 흡착부(63)가 기판(S)의 저면과 접촉 시에, 흡착부(63)의 경사가 기판(S) 저면의 경사에 따라 조정되므로, 흡착부(63)의 경사가 정확하게 기판(S)의 저면의 경사와 일치하게 된다.

이와 같이 경사가 조정되면, 상기 고정부(69)에 의해 볼(67)을 고정시켜 상기 흡착부(63)의 경사를 고정시킨다.

그리고 나서, 흡착부(63)의 흡착홀에서 공기를 흡입하여 기판(S)의 저면을 흡착한다. 흡착부(63)의 경사가 기판(S)의 저면에 일치하도록 조정되었기 때문에, 흡착홀에서 공기를 흡입할 때, 리크(leak)가 발생하는 일 없이, 흡착부(63)가 기판(S)의 저면을 정확하게 흡착하게 된다.

상기와 같이 흡착부(63)에 의해 기판의 저면이 정확하게 흡착되기 때문에 슬라이딩부(62)가 가이드레일(61)을 따라 이동하면서 기판(S)을 테스트부(20)로 원활하게 이송시킨다. 가이드레일(61)으로는 리니어모터와 같은 직선이송기구가 적용될 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어 당업자는 각 구성요소의 재질, 크기 등을 적용 분야에 따라 변경하거나, 개시된 실시형태들을 조합 또는 치환하여 본 발명의 실시예에 명확하게 개시되지 않은 형태로 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것으로 한정적인 것으로 이해해서는 안 되며, 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다고 하여야 할 것이다.

10: 프레임 20: 테스트부
21: 테스트플레이트 22: 테스트모듈
23: 프로브모듈 30: 로딩부
40: 언로딩부 50: 지지플레이트
51: 공기구멍 60: 기판이송유닛
61: 가이드레일 62: 슬라이딩부
63: 흡착부 64: 연결부
65: 지지부 66: 승강부
67: 볼 68: 하우징
69: 고정부 100: 흡착판
101: 지지대 102: 경사조절용볼트
221: 모듈레이터 222: 촬상장치
223: 지지대 231: 프로브헤드지지대
233: 프로브헤드 234: 승강유닛
235: 지지대이동유닛 236: 헤드이동유닛

Claims (5)

1. 소정의 간격으로 배치되어 기판을 지지하는 복수의 지지플레이트;
   상기 복수의 지지플레이트 사이에 배치되며, 상기 기판의 저면을 흡착하기 위한 흡착부;
   상기 흡착부를 승강시키는 승강부;
   상기 흡착부를 지지하는 지지부; 및
   상기 흡착부가 경사 자유도를 갖도록 상기 흡착부와 상기 지지부를 연결하는 연결부를 포함하는,
   어레이 테스트 장치.
   
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 승강부에 의해 상기 흡착부가 상승하여 상기 기판의 저면과 접촉될 시에, 상기 흡착부가 상기 기판의 저면에 흡착되도록 상기 흡착부의 경사가 조절되는,
   어레이 테스트 장치.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 연결부는 볼 조인트(ball joint)인 것을 특징으로 하는
   어레이 테스트 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 어레이 테스트 장치는
   상기 볼 조인트의 볼이 회전하지 않도록 고정하는 고정부를 더 포함하는
   에레이 테스터 장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 어레이 테스트 장치는
   상기 기판의 전기적 결함여부를 테스트하기 위한 테스트부와;
   상기 테스트부로 상기 기판을 이송시키기 위해 상기 흡착부를 이동시키는 이동부를 더 포함하는
   어레이 테스트 장치.
   

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