JP2010014552A - アレイテスト装備 - Google Patents

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俊浩 潘
Dong Chul Jung
東▲チュル▼ 丁
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Abstract

【課題】アレイテスト装備を提供する。
【解決手段】本発明の望ましい実施形態によるアレイテスト装備は、テストされるパネルを同時に下側から支持する互いに離隔された複数のローディングプレートを備えるローディング部と、ローディング部と第1軸方向に隣接して配されて、ローディング部から移送されたパネルの電気的欠陷をテストするテスト部と、パネルを下部で吸着した状態で、ローディング部からテスト部に移送させるパネル移送アセンブリーと、を備え、パネル移送アセンブリーは、ローディングプレートの間に第1軸方向に設けられたガイドレールと、ガイドレールに第1軸方向に移動可能に結合された第1移動部材と、第1駆動部材に第1軸方向と交差する第2軸方向に移動可能に結合された第2移動部材と、第2移動部材に結合された吸着ブロックと、を備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、アレイテスト装備に係り、より詳細には、平板ディスプレイパネルの電気的欠陥の有無をテストするアレイテスト装備に関する。
平板ディスプレイパネルは、通常、上部及び下部基板の間に電極が形成されている。例えば、TFT−LCDパネルは、TFTパネルと、フィルターパネルと、前記TFTパネルとフィルターパネルとの間に注入された液晶と、バックライトとを備える。この場合、TFTパネルは、下部基板及び前記下部基板上に形成されたTFT(Thin Film Transistor)を備える。また、前記フィルターパネルは、上部基板と、前記上部基板上に形成されたカラーフィルター及び共通電極と、を備えて、前記TFTパネルと対向配置される。
前記TFTパネルのようなパネルの欠陥は、アレイテスト装備によって検査される。
図1は、従来のアレイテスト装備を示す斜視図である。図1に図示されたように、従来のアレイテスト装備10は、テストベース20と、パネル定着板30と、モジュール移動機構40と、テストモジュール50とを備える。
パネル定着板30は、前記テストベース20に設けられて、テストされる少なくとも一つ以上のパネル2を下側から支持する。この場合、後述するテストモジュール50は、その構成要素がいずれもパネル定着板30の一側方向に位置するので、前記パネル定着板30は透明な素材からなされない。
テストモジュール50は、パネル2の電極の欠陥を検出する。
モジュール移動機構40は、前記テストベース20に設けられてテストモジュール50を水平移動させる機能を果たす。この場合、前記モジュール移動機構40は、X軸ガントリー42及びY軸ガントリー44を備える。Y軸ガントリー44は、前記テストベース20の両側部からY軸方向に延設され、X軸ガントリー42は、その両端部が前記Y軸ガントリー44に結合されて全体的にX軸方向に延設される。前記X軸ガントリー42は、前記Y軸ガントリー44に沿ってY軸方向に移動する。テストモジュール50は、前記X軸に沿って移動するように前記X軸ガントリー44に結合される。
したがって、前記テストモジュール50は、X軸ガントリー44と連動してY軸方向に移動し、前記X軸ガントリー42に沿ってX軸方向に移動可能である。
図1において、パネル2は固定された状態で、テストモジュール50がX,Y軸方向に移動しながらパネルの欠陥の有無を検出する。これにより、テストモジュールが移動しながら振動を発生し、前記振動によって微細粒子が前記パネル上に落ちる問題が発生する。
これと同様に、前記パネル2を前記パネル定着板30にローディングする作業と、パネルの欠陥の有無を検出する作業と、前記パネル定着板30から前記パネル2をアンローディングする作業が、前記パネル定着板30からなされるために、前記ローディング、検出、アンローディング作業が同時に行われることができない。
また、パネル2が、パネル定着板30にローディングするか、あるいはパネル定着部30からアンローディングする場合、前記テストモジュール50が妨害にならない位置にいなければならない。これにより、前記アレイテスト装備のテスト時間が延びるという問題点がある。
一方、前記したように、テストされるパネル2は、前記パネル定着板30上に定着されており、前記テストモジュール50が水平及び垂直方向に動きながらパネルの欠陥の有無を検査する。すなわち、パネル2を検査するために、図2のように、テストモジュール50に備えられた光源と、モジュレーターと、カメラとが移動しなければならない。ところが、テストモジュールの光源とモジュレーターとカメラとの間に正確な整列が必要であるが、前記パネルの欠陥の有無の検出のためにテストモジュールが移動しなければならないので、前記光源とモジュレーターとカメラとの間の整列がずれる恐れがあり、前記整列がずれる場合、前記光源、モジュレーター及びカメラ間の整列を再び合わせなければならないという問題点がある。
本発明は、前記問題点を含む多様な問題点を解決するためのものであって、テスト装備のテスト時間を短縮させることができ、テストモジュールを構成する構成要素間の整列がずれない構造を有したアレイテスト装備を提供することである。
本発明の他の目的は、パネルの欠陥を検出するためにテストモジュールが移動しないか、または最小限の距離を移動する構造を有したアレイテスト装備を提供することである。
本発明のまた他の目的は、パネルの整列を簡単かつ正確に行える構造を有したアレイテスト装備を提供することである。
したがって、本発明の望ましい実施形態によるアレイテスト装備は、ローディング部と、テスト部と、パネル移送アセンブリーとを備える。
ローディング部は、テストされるパネルを同時に下側から支持する互いに離隔された複数のローディングプレートを備える。テスト部は、前記ローディング部と第1軸方向に隣接して配されて、前記ローディング部から移送されたパネルの電気的欠陥をテストする。パネル移送アセンブリーは、前記パネルを下部で吸着した状態で、前記ローディング部からテスト部に移送させるものであって、ガイドレールと、第1移動部材と、第2移動部材と、吸着ブロックとを備える。
ガイドレールは、前記ローディングプレートの間に前記第1軸方向に設けられる。第1移動部材は、前記ガイドレールに第1軸方向に移動可能に結合される。第2移動部材は、前記第1駆動部材に前記第1軸方向と交差する第2軸方向に移動可能に結合される。吸着ブロックは、前記第2移動部材に結合される。
この場合、前記ローディング部は、互いに離隔された少なくとも3個以上のローディングプレートを備え、前記パネル移送アセンブリーのうち少なくとも一つは、前記第1移動部材を前記第1軸に移動させる第1駆動部材と、前記第2移動部材を前記第2軸方向に移動させる第2駆動部材とをさらに備えることができる。
また、前記ローディング部は、互いに離隔された3個以上のローディングプレートを備え、前記第2駆動部材が備えられていないパネル移送アセンブリーには、前記第2移動部材が前記第1移動部材に前記第2軸方向に自由移動するように結合されることもできる。
一方、本発明の他の実施形態によるアレイテスト装備は、前記ローディング部、前記テスト部、前記第1移動部材、前記第1駆動部材、前記第2移動部材及び前記第2駆動部材を備え、前記吸着ブロックを前記パネル移送アセンブリーごとに独立的に駆動させる。
前記第2駆動部材は、前記第1移動部材の移動方向と垂直方向である第2軸方向にピストンリーダーが移動可能になるように、前記第1移動部材に設けられたシリンダー装置をさらに備え、前記第2移動部材は、その一側が前記ピストンリーダーと連動して前記第2軸方向に移動可能になるように前記第1移動部材と結合され、他側が前記吸着ブロックと結合されうる。また、前記第2駆動部材は、前記第1移動部材の移動方向と垂直方向である第2軸方向に回転軸が形成されて前記第1移動部材に設けられたステッピングモータを備え、前記第2移動部材は、前記ステッピングモータとボールスクリュー結合されることもできる。
一方、前記吸着ブロックには、前記吸着ブロックを上下に貫通する少なくとも一つの吸着ホールが形成され、前記吸着ホールに負圧を提供する負圧提供装置をさらに備えることができる。
また、前記ガイドレールは、LMガイド(Linear Motion guide)レールであり、前記第1移動部材は、前記LMガイドレールに沿って移動するランナーブロックであり得る。
また、前記吸着ブロックは、前記第2移動部材に昇降自在に結合され、前記パネル移送アセンブリーは、前記吸着ブロックを昇降駆動する昇降駆動部材をさらに備えることが望ましい。
一方、前記整列判断部は、撮影部と中央処理部とをさらに備えることができる。この場合、撮影部は、前記ローディング部及びテスト部のうち少なくとも一つに、少なくとも二つの地点に配され、中央処理部は、前記撮影部の撮影信号を伝達されて前記パネルの整列如何を判断する。
一方、前記テストモジュールが、第2軸方向に移動可能になるように結合された第2軸移送アセンブリーをさらに備えることができる。
本発明によれば、パネルの欠陥を検出するためにテストモジュールが第1軸方向に移動しない構造を有することによって、テストモジュールの移動によるパネル側への微細ホコリの発生、及び前記微細ホコリによるパネルの損傷を防止できる。
また、パネル移送アセンブリーが、パネルの移送作業、及びパネルの位置整合作業を同時に行うことによって、パネル整列が簡単になって迅速にできる。
前記本発明の目的と利点は、添付した図面とともに望ましい実施形態が詳しく説明されることによって、より明らかになる。
以下、添付した図面を参照して、本発明を詳しく説明する。
図2は、本発明の望ましい実施形態によるアレイテスト装備100の斜視図であり、図3は、図2からローディングプレートを除去した状態を示す斜視図である。この場合、アレイテスト装備100とは、パネル2に形成されたパネル電極5(図8参照)の電気的欠陥をテストする装備である。この場合、パネル2とは、電光機器に備えられたパネルであり、例えば、TFT−LCD基板のうちTFTが形成されたTFTパネルであり得る。
図2及び図3に図示されたように、本発明の実施形態によるアレイテスト装備100は、ローディング部110と、テスト部120と、テストモジュール150とを備える。
ローディング部110は、少なくとも2個以上のローディングプレート112を備える。前記ローディングプレート112は、互いに遊隙を有して並んで配されてテストされるパネル2がその上側にローディングされる。前記ローディングプレート112は、前記テストされるパネル2がここに定着または所定の間隔を有して浮き上がってテスト部120に移動させる。
テスト部120は、前記ローディング部110の一側に配され、ここで、前記ローディングプレート112に沿って移送されたパネルの電気的欠陥がテストされる。前記テスト部120は、透光素材からなるテストプレート122を備える。
前記テストモジュール150は、前記テストプレート122上に配されて、前記パネルのエラーの有無を検出する。前記テストモジュール150については、後に詳しく説明する。
本発明の実施形態によるアレイテスト装備100は、整列判断部170をさらに備えることができる。前記整列判断部170は、前記ローディング部110及びテスト部120 のうち少なくとも一つに設けられ、前記パネル2の整列如何を判断する。
前記整列判断部170は、撮影部172と、中央処理部(図示せず)とを備えることができる。撮影部172は、前記ローディング部110及びテスト部120のうち少なくとも一つに配されてパネル2の整列状態を撮影する。中央処理部は、前記撮影部172の撮影信号を伝達されて前記パネルの整列如何を判断する。
この場合、前記撮影部172は、ローディング部110及びテスト部120にそれぞれ配されうる。
また、前記撮影部172は、ローディング部110の複数箇所に設けられることもできる。この場合、前記撮影部172が、特に、図3に図示されたように、前記ローディング部120の対角線方向にそれぞれ設けられうる。この場合、前記撮影部172が、前記パネルのアラインマーク(align mark)8の下側に配されうる。もし、前記ローディング部110にローディングプレート112が備わっていれば、前記撮影部172は、前記ローディングプレート112の下側に配されうる。この場合、前記ローディングプレート112の前記撮影部172に対応する部分には、整列ホール117が形成されうる。前記整列ホール117は、前記パネルに形成されたアラインマーク8と同一の位置に配置させて、前記パネル2が正しく整列されるようにする。前記撮影部172は、前記パネル2の上側に配されることもでき、この場合には、ローディングプレートに整列ホール117が不要である。
一方、前記撮影部172の位置は、前記した位置に限定されるものではない。例えば、前記撮影部172は、テスト部120の複数箇所に設けられることもできる。この場合、前記撮影部172が、前記撮影部172の対角線方向にそれぞれ設けられうる。前記撮影部172が、対角線方向に設けられることによって、前記パネルの反りの有無までも判断しうる。
本発明の実施形態によるアレイテスト装備100は、アンローディング部130をさらに備えることができる。この場合、アンローディング部130は、前記テスト部120の一側に配されて前記テスト完了したパネル2が前記テスト部120から前記アンローディング部130に移送されてアンローディングされる。この場合、アンローディング部130は、アンローディングプレート132を備えることができる。前記アンローディングプレート132は、前記テスト完了したパネル2を、ここに定着させるか、または所定の間隔ほど浮揚させて移動させる。
パネルは、少なくとも一つのパネル移送アセンブリー160によって少なくとも前記ローディング部110からテスト部120に移動する。特に、図3に図示されたように、パネル移送アセンブリー160は、少なくとも一つのガイドレール162と、少なくとも一つのパネル移動部材163とを備えることができる。この場合、前記パネル移動部材163は、第1移動部材164と、吸着ブロック166とを備える。
ガイドレール162は、前記ローディングプレート112の間に前記パネル2の進行方向と平行な第1軸(図3では、Y軸)に設けられる。第1移動部材164は、前記ガイドレール162に沿って移動可能に設けられる。吸着ブロック166は、前記第1移動部材164の上側に設けられて前記パネルを下側から吸着する。
すなわち、ローディングプレート上にテスト用パネル2がローディングされれば、吸着ブロック166が、前記パネルを下側から接しながら支持する。この状態で、前記第1移動部材164がガイドレール162に沿って移動しながら前記パネル2をテスト部120に移動させる。この場合、ガイドレール162は、LM(Liner Motion)ガイドレールであり、第1移動部材164は、前記LMガイドレール上に配されたランナーブロックであり、したがって、前記ガイドレール及び第1移動部材は、LMガイド結合されている。これにより、パネル移送アセンブリー160が、パネルを正確な位置に移動させることができる。
前記吸着ブロック166には、前記吸着ブロック166を上下に貫通する少なくとも一つの吸着ホール167が形成されうる。この場合、パネル移送アセンブリー160は、前記吸着ホール167に負圧を提供する負圧提供装置をさらに備えることができる。また、前記吸着ブロックは、ゴム材質からなりうる。
一方、前記アンローディング部130は、少なくとも2個以上のアンローディングプレート132を備えることができる。前記アンローディングプレート132は、互いに遊隙を有して並んで配されてテスト完了したパネルがその上側に位置する。この場合、前記パネル移送アセンブリー160は、前記アンローディングプレート132の間にも配されることもできる。すなわち、ガイドレール162が、前記アンローディングプレート132の間に前記パネルの進行方向と平行な第1軸方向に設けられ、第1移動部材164は、前記ガイドレール162に沿って移動可能に設けられ、吸着ブロック166が、前記第1移動部材164の上側に設けられて前記テスト用パネルを下側から吸着するように配されうる。これにより、ローディング部110に配されたパネル移送アセンブリー160がパネルを吸着してテスト部120に移動させ、前記テスト部120からアンローディング部130にはアンローディング部130に配されたパネル移送アセンブリー160がパネルを移動させることができる。
これにより、パネルをテスト部120に移動させる作業と、テスト完了したパネルをアンローディング部130に移動させる作業を連動して実施することができ、結果的に前記アレイテスト装備の作業速度が増加する。
一方、前記ローディングプレート112には、前記ローディングプレート112の上側に形成された複数のブロイング(blowing)ホール114が形成されうる。この場合、本発明のアレイテスト装備100は、前記ブロイングホール114を通じて前記パネルの下面に定圧を供給して、前記パネルを前記ローディングプレート112から所定距離の遊隙を有して浮揚させる定圧供給装置(図示せず)をさらに備えることができる。
これとともに、前記アンローディングプレート132にも、前記アンローディングプレート132の上側に形成された複数のブロイングホール134が形成されうる。この場合、本発明のアレイテスト装備100は、前記アンローディングプレートに形成されたブロイングホール134を通じて前記パネルの下面に定圧を供給して前記パネルが前記アンローディングプレート132から所定距離の遊隙を有して浮揚させる定圧供給装置(図示せず)をさらに備えることができる。
したがって、ローディングプレート112またはアンローディングプレート132のブロイングホール114,134を通じて定圧が前記ローディングプレート112またはアンローディングプレート132上に形成されれば、パネルが前記ローディングプレート112またはアンローディングプレート132の上側に浮揚され、この状態で、吸着ブロック166に支持された状態で第1軸方向に沿って移動する。本発明によれば、前記パネル2が、ローディングプレート112またはアンローディングプレート132に接していない状態で移動するので、パネル2とローディングプレート112またはパネル2とアンローディングプレート132との間の接触抵抗力が発生しない。これにより、吸着ブロック166が、小さな力しか有していなくても前記パネルを移動させることができる。
図4は、図3のA部を拡大した図面であり、図5は、図4のパネル移動アセンブリーを分解した図面である。
図3ないし図5を参照すれば、パネル移動部材163は、第2移動部材168をさらに備えることができる。
第2移動部材168は、前記第1移動部材164に結合されたものであって、第2軸方向に所定距離だけ移動可能に配される。この場合、前記パネル移動部材163のうち少なくとも一つは、第2駆動部材172をさらに備えることができる。前記第2駆動部材172は、前記第2移動部材168を第2軸方向に移動駆動する。本発明には、第2移動部材168のそれぞれを駆動するように、前記第2移動部材168のそれぞれと結合された複数の第2駆動部材172を備えることができる。
これと異なって、本発明は、パネル移動部材163の一部が第2駆動部材162を備えていないこともある。この場合、第2駆動部材172によって第2軸方向に駆動されない第2移動部材168は、第2軸方向には自由運動(free motion)可能になるように第1移動部材164に結合されうる。したがって、前記パネル2が第2移動部材168の吸着ブロック166に定着された状態で、第2駆動部材163が第2移動部材168を第2軸方向に移動するように駆動させれば、前記パネル2が第2軸方向に移動してこれとともに第2軸方向に自由運動する他の第2移動部材168も第2軸方向に移動する。
この場合、前記第2駆動部材163は、前記第1移動部材に設けられたステッピングモータ173を備え、前記第2移動部材168は、前記ステッピングモータ173とボールスクリュー結合されうる。
すなわち、第2駆動部材168は、ステッピングモータ173とともに、前記ステッピングモータ173に結合されて第2軸方向に延設されて前記ステッピングモータ173の駆動力によって回転する駆動軸174と、前記駆動軸174に結合されて前記駆動軸174が回転するにつれて前進または後進するものであって、その一側が前記第2移動部材168に結合されるボールスクリュー175を備えることができる。この場合、前記第1移動部材164には、第2移動部材168の移動をガイドするLMスケール(linearscale)165を備えることができる。
前記ボールスクリュー装置は、LMガイド装置に比べて低価でありながら、第2移動部材の位置制御が簡単で正確になるという長所がある。
しかし、本発明において、第2駆動部材172は、ボールスクリュー装置にのみ限定されず、LMガイド装置やシリンダー装置などの他の直動装置であり得る。
一方、前記吸着ブロック166は、昇降自在になるように前記第2移動部材168に結合され、前記パネル移動アセンブリー160は、前記吸着ブロック166を昇降駆動する昇降駆動部材180をさらに備えることができる。前記昇降駆動部材180は、シリンダー182と、ピストンロッド183とを備えたシリンダー装置であり得る。前記シリンダー182は、前記第2移動部材168に結合される。前記ピストンロッド183は、前記シリンダー182の内側空間に昇降自在に配されたピストンと、ピストンから上側に延設され、その一側が前記吸着ブロック166と結合される上下にかけて延設されたロッドとを備える。この場合、前記吸着ブロックとピストンロッドとの間に軸受184が介在されることができる。
前記昇降駆動部材180は、ローディングプレート上に浮揚されているパネル方向に前記吸着ブロックを上昇させて前記パネルを支持させ、吸着ブロックがパネルを支持する必要がない場合には、前記吸着ブロック166を所定の距離だけ下降させる。
前記吸着ブロック166には、前記吸着ブロック166を上下に貫通する少なくとも一つの吸着ホール167が形成されうる。この場合、移動整列モジュール160は、前記吸着ホール167に負圧を提供する負圧提供装置をさらに備えることができる。また、前記吸着ブロックは、ゴム材質からなりうる。
一方、前記ローディングプレート112は、図2に図示されたように、3個以上が並んで配され、それぞれのパネル移送アセンブリー160が、互いに隣接するローディングプレート112の間のうち少なくとも2領域に配されうる。
この場合、前記パネル移動アセンブリー160は、図2及び6に図示されたように、少なくとも2個のガイドレール162と、少なくとも2個のパネル移動部材とを備えることができる。前記ガイドレール162は、前記ローディング部110に前記パネル2の進行方向と平行な第1軸方向に設けられる。前記ガイドレールのそれぞれにパネル移動部材163が設けられる。この場合、前記パネル移動部材163は、前記ガイドレール162と同一の方向を有した第1軸(図2では、Y軸)方向と、前記第1軸方向と交差する第2軸(図2では、X軸)方向に移動可能に設けられる。
これを図6及び図7の構造を例として説明すれば、ローディング部110の左側に第1パネル移送アセンブリー160aが配され、ローディング部の右側に第2パネル移送アセンブリー160bが配されうる。
この場合、前記第1パネル移送アセンブリー160a,160bは、独立的に動作することができる。これにより、第1パネル移送アセンブリー160aの吸着ブロック166aと第2パネル移送アセンブリー160bの吸着ブロック166bとが第1軸方向と相異なる位置に置かれてあり、これにより、前記パネルを回転させることができる。すなわち、図7に図示されたように、前記第1,2パネル移送アセンブリー160a,160bの吸着ブロック166a,166bにパネル2を定着させた後、前記第1パネル移送アセンブリー160aに備えられた吸着ブロック166aの第1軸移送距離と第2パネル移送アセンブリー160bに備えられた吸着ブロック166bの第1軸移送距離とが異なるようにすれば、前記パネル2を回転させることもできる。これにより、パネル移送アセンブリー160によって、パネルが第1,2軸移動とともに、回転も可能になる。
再び図2に戻って、前記テスト部120は、透光プレート122と、テストモジュール150とを備える。透光プレート122は、少なくともパネルのテスト領域がその上側に配されて、パネル2が前記透光プレート122の上側でテストされるようにする。
テストモジュール150は、前記パネル2の電気的欠陥の有無を検出する。前記テストモジュール150に関しては、後に詳しく説明する。
この場合、テストモジュール150は固定されていることもでき、これと異なって、X軸ガントリーに沿って第2軸方向に移動できる。これは、前記パネルがパネル移送アセンブリー160によって第1軸方向に移動するので、前記テストモジュール150を少なくとも第1軸方向には移動させる必要がないためである。この場合、前記X軸ガントリーは、前記アレイテスト装備の本体に設けられたLMガイドであり得る。
以下、本発明の実施形態によるアレイテスト装備の作動を説明する。
パネルが、ユーザーやローディング装備によって先にローディングプレート112の上 側に移動する。この場合、ローディングプレート112の上側には、ブロイングホール114を通じて定圧が形成されており、これにより、パネル2が、ローディングプレート112の上側に一定の遊隙を有して浮揚される。その状態で、吸着ブロックが前記パネル2を吸着してテスト部120の方向に移動させる。前記テスト部120に移動したパネル2は、テスト部120に設けられたテストモジュール150によって欠陥の有無をテストされる。この場合、前記テストモジュール150は、テスト部の上側に固定された状態にまたはX軸ガントリーに沿って第2軸方向(図面では、X軸方向)に移動しながらパネルの欠陥の有無を検出する。その後にテスト完了したパネル2は、アンローディング部130のアンローディングプレート132の上側に移動する。この場合、前記アンローディングプレート132の上側にもブロイングホール134を通じて定圧が形成されているので、前記パネル2は、前記アンローディングプレート132上に浮揚される。パネルの既定の部分がアンローディング部130に位置すれば、前記アンローディング部に配されたパネル移送アセンブリー160が前記パネル2の先端を支持して移動させる。その後に作業者やアンローディング装置によってパネルが前記アレイテスト装備からアンローディングされる。
図8は、本発明のアレイテスト装備に備えられたテストモジュール150の一例を示す図面である。図8を参照すれば、テストモジュール150は、光源151と、モジュレーター152と、欠陥検出部157とを備える。この場合、光源151は、前記パネル2の前面側及び背面側のうち一つの方向に配され、前記モジュレーター152及び欠陥検出部157は、前記パネル2を基準に前記光源151と反対方向に位置する。
光源151は、前記パネル2の前面に配された電極5をテストするための光を調査する。前記光源151は、パネル2の背面側に配されうる。この場合、前記光源151から出る光は、キセノン、ナトリウム、クリスタルハロゲンランプ、レーザーなどを含んだ多種の光であり得る。
モジュレーター152は、パネルを基準に前記光源と反対方向に配される。図7には、前記光源がパネルの背面に位置するので、モジュレーターは、パネル2の前面2b側に配される。
前記モジュレーターは、入射面152aと、モジュレーター電極層155と、電光物質層154と、出射面152bとを備える。入射面152aは、前記光源151部から前記パネル2の背面2a側に入射して前面2b側に出射された光が入射される部分である。
モジュレーター電極層155は、前記パネル電極5と平行に配されて前記パネル電極5と電場を形成する。より詳しく説明すれば、前記モジュレーター電極層155は、外部から一定の電圧を印加される共通電極の機能を果たす。したがって、前記モジュレーター電極層155がパネル電極5と一定間隔以下の間隔を有するように配置され、前記パネル電極5及びモジュレーター電極層155にそれぞれ所定の電圧を印加する場合、これらの間に電場が形成される。
電光物質層154は、前記モジュレーター電極層155とパネル電極5との間に配されたものであって、前記モジュレーター電極層155とパネル電極5との間に形成される電場の大きさによって前記入射面152aを通じて入射される光の通過量を変更させる。そのために前記電光物質層154は、電場の強さによって入射される光を偏光させる素材を備えることができる。この場合、前記電光物質層154は、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)であり得る。
前記電光物質層154の出射面には、透光基板156が結合されて、前記透光基板156に前記電光物質層154が支持されている。また、前記電光物質層154の入射面には、前記電光物質層154を保護する保護層153が結合されうる。
出射面152bは、前記電光物質層154を通過した光を外部に出射する部分である。
欠陥検出部157は、前記モジュレーター152の出射面152bを通じて出射された光量によって前記パネル電極5の電気的欠陥の有無を検出する。この場合、前記欠陥検出部157は、ビジョン(vision)装置158及び前記ビジョン装備と連結されたモニター159を備えることができ、これにより、肉眼で前記パネル電極5の欠陥を検出できる。この場合、前記モニターは、コンピュータに備えられうる。
この場合、パネル2は、電光機器に使われるパネル2であって、その前面にパネル電極5が配されている。この場合、前記パネル2が平板ディスプレイ用パネルであり、その一例として、前記パネル2がその前面にTFTが形成されたLCD用TFTパネルであり得る。
本発明によれば、光源151から出射される光が先にパネル2の背面に入射されてパネル電極5が形成された前面に出射される。次いで、モジュレーター152に入射されて前記パネル2の欠陥の有無によって外部に出射される光量が調節された後に、前記モジュレーター152の出射面152bを通じて外部に出射される。前記出射面152bに出射された光は、欠陥検出部157で確認される。
通常のLCDの場合、TFTパネルの背面に位置したバックライトから光がTFTパネルと液晶とを通過して前記TFTパネルの前面に合着されて共通電極が形成されたフィルターパネル前面に放出され、前記フィルターパネル前面に放出された光を肉眼で見えるようになる。
実際、視聴者がLCDを通じて視聴する場合、フィルターパネル前方に視聴者が位置してLCD画面を感想する。したがって、本発明であるアレイテスト装備100は、実質的にLCD画面を感想するメカニズムと同一構造を有している。これにより、テスト装備100は、パネルの検出の有無をより正確に検出できる。
また、本発明のアレイテスト装備100は、欠陥検出部157とモジュレーター152 との間の光路にパネル電極5のような別途の部材が配置されない。
もし、欠陥検出部157がパネル電極5の背面に配され、前記光源151からの光がモジュレーター152を通過した後、パネル2を通過して前記欠陥検出部157に受光されるならば、前記欠陥検出部157がモジュレーター152での偏光程度と、パネル2による光の歪曲現象をともに検出する。言い換えれば、モジュレーター152を通過した光がパネル2を通過しながら、また散乱または反射を起こして、モジュレーター152を通過した光の偏光程度を直接的に検出することができなくなる。これにより、前記欠陥検出部157が、モジュレーター152に入射されて前記パネル2の欠陥の有無によって外部に出射される光量を正確に検出することが難しくなる。また、前記正確な検出のためには、モジュレーター152を通過する光と他の要因を除去する作業が必要になってさらに長い時間が必要となる。
本発明では、欠陥検出部157が、モジュレーター152から通過する光を直接的に受光することができる。これにより、別途部品によって散乱などを受けなくなって正確かつ迅速にパネル電極5の欠陥の有無を把握させうる。
この場合、前記光源151と、パネル2のテストするパネル電極5と、モジュレーター152と、ビジョン装置158は、一列に配されることができ、これにより、ミラーなどの光路を変更する部材が別途に配される必要がなくなる。
本発明は、図面に図示した一実施形態を参考に説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の保護範囲は、特許請求の範囲によってのみ決まるべきである。
本発明は、平板ディスプレイパネルの電気的欠陥の有無をテストするアレイテスト装備関連の技術分野に適用可能である。
従来のアレイテスト装備を示す概念図である。 本発明の実施形態によるアレイテスト装備を示す斜視図である。 図2からローディングプレートを除去した状態の、パネル移送アセンブリーを示す斜視図である。 図3のA部を拡大した斜視図である。 図4のパネル移動アセンブリーを分解した分解斜視図である。 パネル移送アセンブリーのパネルを回転させる段階を示す平面図である。 パネル移送アセンブリーのパネルを回転させる段階を示す平面図である。 図2のテストモジュールを示す概念図である。
符号の説明
2 パネル
5 パネル電極
110 ローディング部
112 ローディングプレート
114,134 ブロイングホール
120 テスト部
122 テストプレート
130 アンローディング部
132 アンローディングプレート
150 テストモジュール
151 光源
152 モジュレーター
152a モジュレーター入射面
152b モジュレーター出射面
154 電光物質層
155 モジュレーター電極層
157 欠陥検出部
160 パネル移送アセンブリー
162 ガイドレール
164 第1移動部材
166 吸着ブロック
167 吸着ホール
168 第2移動部材
172 シリンダー装置

Claims (11)

  1. テストされるパネルを同時に下側から支持する互いに離隔された複数のローディングプレートを備えるローディング部と、
    前記ローディング部と第1軸方向に隣接して配されて、前記ローディング部から移送されたパネルの電気的欠陥をテストするテスト部と、
    前記パネルを下部で吸着した状態で、前記ローディング部からテスト部に移送させるパネル移送アセンブリーと、を備え、
    前記パネル移送アセンブリーは、
    前記ローディングプレートの間に前記第1軸方向に設けられたガイドレールと、
    前記ガイドレールに第1軸方向に移動可能に結合された第1移動部材と、
    前記第1駆動部材に前記第1軸方向と交差する第2軸方向に移動可能に結合された第2移動部材と、
    前記第2移動部材に結合された吸着ブロックと、を備えることを特徴とするアレイテスト装備。
  2. 前記ローディング部は、互いに離隔された少なくとも3個以上のローディングプレートを備え、
    前記パネル移送アセンブリーのうち少なくとも一つは、前記第1移動部材を前記第1軸に移動させる第1駆動部材と、前記第2移動部材を前記第2軸方向に移動させる第2駆動部材と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のアレイテスト装備。
  3. 前記ローディング部は、互いに離隔された3個以上のローディングプレートを備え、
    前記第2駆動部材が備えられていないパネル移送アセンブリーには、前記第2移動部材が前記第1移動部材に前記第2軸方向に自由移動するように結合されたことを特徴とする請求項2に記載のアレイテスト装備。
  4. テストされるパネルを下側から支持する互いに離隔された3個以上のローディングプレートを備えるローディング部と、
    前記ローディング部と第1軸方向に隣接して配されて、前記ローディング部から移送されたパネルの電気的欠陥をテストするテスト部と、
    前記ローディング部及びテスト部のうち少なくとも一つに設けられ、前記パネルの整列如何を判断する整列判断部と、
    前記パネルを下部から支持した状態で、前記ローディング部からテスト部に移送させ、前記整列判断部の判断によって前記パネルを整列する二つ以上のパネル移送アセンブリーと、を備え、
    前記パネル移送アセンブリーのそれぞれは、
    前記ローディングプレートの間に前記第1軸方向に設けられたガイドレールと、
    前記ガイドレールに第1軸方向に移動可能に結合された第1移動部材と、
    前記第1移動部材を第1軸方向に移動させる第1駆動部材と、
    前記第1駆動部材に前記第1軸方向と交差する第2軸方向に移動可能に結合された第2移動部材と、
    前記第2移動部材を第2軸方向に移動させる第2駆動部材と、
    前記第2移動部材に結合された吸着ブロックと、を備え、
    前記吸着ブロックのそれぞれは、独立的に駆動されることを特徴とするアレイテスト装備。
  5. 前記整列判断部は、
    前記ローディング部及びテスト部のうち少なくとも一つに、少なくとも二つの地点に配される撮影部と、
    前記撮影部の撮影信号を伝達されて前記パネルの整列如何を判断する中央処理部と、を備えることを特徴とする請求項4に記載のアレイテスト装備。
  6. 前記第2駆動部材は、前記第1移動部材の移動方向と垂直方向である第2軸方向にピストンリーダーが移動可能になるように、前記第1移動部材に設けられたシリンダー装置をさらに備え、
    前記第2移動部材は、その一側が前記ピストンリーダーと連動して、前記第2軸方向に移動可能になるように前記第1移動部材と結合され、他側が前記吸着ブロックと結合されることを特徴とする請求項2ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
  7. 前記第2駆動部材は、前記第1移動部材の移動方向と垂直方向である第2軸方向に回転軸が形成されて前記第1移動部材に設けられたステッピングモータを備え、
    前記第2移動部材は、前記ステッピングモータとボールスクリュー結合されることを特徴とする請求項2ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
  8. 前記吸着ブロックには、前記吸着ブロックを上下に貫通する少なくとも一つの吸着ホールが形成され、
    前記吸着ホールに負圧を提供する負圧提供装置をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
  9. 前記ガイドレールは、LMガイド(Linear Motion guide)レールであり、前記第1移動部材は、前記LMガイドレールに沿って移動するランナーブロックであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
  10. 前記吸着ブロックは、前記第2移動部材に昇降自在に結合され、
    前記パネル移送アセンブリーは、前記吸着ブロックを昇降駆動する昇降駆動部材をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
  11. 前記テストモジュールは、第2軸方向に移動可能になるように結合された第2軸移送アセンブリーをさらに備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうち何れか一項に記載のアレイテスト装備。
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