JP2006194858A - 表示用パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 表示用パネルの電極に付着している塵埃によるプローブ及びプローブユニットの損傷を防止することにある。
【解決手段】 検査装置は、矩形の表示用パネルであってこれと平行の面内で一方向に間隔をおいて形成された複数の電極を有する表示用パネルの検査に用いられる。検査装置は、表示用パネルが配置される配置領域を形成する配置領域形成装置と、配置領域に配置された表示用パネルの電極に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置とを含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのように少なくとも一列に配置された複数の電極を有する表示用パネルの検査装置に関する。

液晶表示パネルのように少なくとも一列に配置された複数の電極を有する表示用パネルを検査する装置は、一般に、表示用パネルの電極に個々に接触される複数の接触子すなわちプローブをベースプレートに組み付けプローブユニットを形成し、そのプローブユニットを装置のフレームに組み付け、表示用パネルをフレーム内に配置された検査テージに載せ、表示用パネルを検査ステージによりＸ，Ｙ，Ｚの三方向へ移動させ、それにより表示用パネルの電極とプローブとを押圧する構造となっている（例えば、特許文献１，２を参照）。

そのような検査装置において、プローブと表示用パネルの電極との電気的接続状態は、表示用パネルの電極に付着した塵埃に大きく影響され、時には電気的接続不良となって、表示用パネルの正確な検査をすることができないことがある。

特に、大きい異物が電極に付着した状態で、プローブを電極に押圧すると、プローブが大きい異物に接触した状態で押圧されることによりプローブ自体が損傷し、またプローブを用いたプローブユニットの他の部品が大きい異物に押圧されることによりその部品が破損してしまう。

特開平１０４４７３８号公報 特開平７４５４６７７号公報

本発明の目的は、表示用パネルの電極に付着している塵埃によるプローブ及びプローブユニットの損傷を防止することにある。

本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルであってこれと平行の面内で一方向に間隔をおいて形成された複数の電極を有する表示用パネルの検査に用いられる。そのような検査装置は、前記表示用パネルが配置される配置領域を形成する配置領域形成装置と、前記配置領域に配置された表示用パネルの前記電極に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置とを含む。

前記異物検出装置は、前記電極の上面を撮影するラインセンサと、該ラインセンサと前記表示用パネルとを前記一方向に相対的に移動させる移動装置と、前記ラインセンサの出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含むことができる。

前記異物検出装置は、前記電極の上面を含む範囲を撮影するエリアセンサと、該エリアセンサの出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含むことができる。

前記異物検出装置は、前記電極の上面の高さ位置を測定する変位計と、該変位計と前記表示用パネルとを前記一方向に相対的に移動させる移動装置と、前記変位計の出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含むことができる。

検査装置は、さらに、前記異物信号を受けて、異物が存在することを報知する報知手段を含むことができる。

検査装置は、さらに、前記表示用パネルを前記配置領域に対し受け渡す受け渡し装置であって、前記異物信号を受けて、その表示用パネルを前記配置領域から除去する受け渡し装置を含み、前記配置領域形成装置は前記配置領域を形成するステージを含むことができる。

検査装置は、さらに、前記配置領域を形成すると共に前記表示用パネルを前記配置領域に搬送する搬送装置であって、前記異物信号を受けて、その表示用パネルを前記配置領域から除去する搬送装置を含むことができる。

検査装置は、さらに、前記電極を清掃するパネル清掃装置を含むことができる。前記パネル清掃装置と前記表示用パネルとは前記一方向に相対的に移動されるようにしてもよい。

本発明に係る検査装置においては、異物信号が発生されたことにより、その表示用パネルを人手又は自動機械により検査装置から除去することができる。そのため、異物によるプローブユニットのプローブや他の部品の損傷を防止することができる。

［第１の実施例］

図１から図４を参照するに、検査装置１０は、長方形の液晶表示パネルを検査すべき表示用パネル１２とする目視点灯検査に用いられる。検査装置１０は、パネル１２を斜めに配置した状態で、作業者の肉眼による検査に用いられるように製造されている。

以下の説明では、パネル１２の長い端縁の方向をＸ方向（第１の方向）といい、パネル１２の短い端縁の方向をＹ方向（第２の方向）といい、パネル１２に垂直の方向をＺ方向（第３の方向）という。また、Ｘ，Ｙ及びＺ方向へ伸びる軸線を、それぞれ、Ｘ，Ｙ及びＺ軸線という。さらに、作業者が点灯されたパネル１２を目視する側の方向を前方といい、目視する側と反対側の方向を後方という。

パネル１２は、長方形の辺のうち、隣り合うＸ方向及びＹ方向の辺に対応する２つの端縁に、Ｘ方向及びＹ方向に間隔をおいて形成された複数の第１の電極１４及び複数の第２の電極１６（図３及び４参照）を有している。

検査装置１０は、筐体１８と、パネル１２の電極１４及び１６を清掃する清掃部２０と、パネル１２の点灯検査をする検査部２２とを含む。清掃部２０及び検査部２２は、Ｘ方向に間隔をおいて筐体１８の内部に備えられた支持部材（図示せず）に組み付けられている。

筐体１８の前面上部は、傾斜面部２４とされている。傾斜面部２４は、清掃部２０及び検査部２２の位置に対応した箇所にパネル１２の受渡し及び目視検査に用いる開口２６及び２８を有する。開口２６及び２８は、パネル１２より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。

検査部２２は、開口３０が形成されているプローブベース３２と、プローブベース３２に配置された複数のプローブブロック３４と、パネル１２を受ける検査ステージ３６とを含む。開口３０は、作業者が点灯されたパネル１２を目視する穴として利用され、またパネル１２より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。

プローブブロック３４は、これをＺ方向から見たとき、各プローブブロック３４に配置された複数のプローブの先端が検査ステージ３６に配置されたパネル１２の電極１４及び１６に重なるように、先端側を開口３０の中心側に突出させている。プローブベース３２及び検査ステージ３６は、いずれも、筐体１８に支持されている。プローブは、ニードルタイプ、ブレードタイプ等、いずれの種類のものであってもよい。

清掃部２０は、パネル１２のプリアライメントをするプリアライメント装置３８と、プリアライメント装置３８の周りにあって筐体１８内に配置されたＸ方向及びＹ方向のパネル清掃装置（第１及び第２の清掃装置）４０及び４２を含む。

Ｘ方向のパネル清掃装置（第１の清掃装置）４０は、Ｘ方向に配列された電極１４を清掃するように、Ｘ、Ｙ及びＺ移動装置（第１，第２及び第３の移動装置）４４，４６及び４８により、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動される。

Ｙ方向のパネル清掃装置（第２の清掃装置）４２は、Ｙ方向に配列された電極１６を清掃するように、Ｘ、Ｙ及びＺ移動装置（第４，第５及び第６の移動装置）５０，５２及び５４により、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動される。

検査装置１０は、また、清掃部２０及び検査部２２に配置されているパネル１２及び１２をそれぞれ検査部２２から清掃部２０へ及び清掃部２０から検査部２２へ同時期に搬送する一対のパネル搬送装置５６，５６を含む。

各パネル搬送装置５６は、筐体１８に支持されたキャリア移動機構５８と、キャリア移動機構５８によりＸ方向へ個々に移動される一対のキャリア６２，６２と、各キャリア６２に組み付けられた一対のアーム６４とを有する。

各アーム６４は、Ｙ方向に間隔をおいた２つのホルダ６６，６６を有している。各アーム６４は、エアーシリンダ機構のような往復駆動装置６８によりＹ方向に移動されて、それのホルダ６６と相手のアーム６４のホルダ６６とにパネル１２の挟持と解放とを行わせる。

両アーム６４及び６４が相寄る方向へ移動されると、それら両アーム６４，６４のホルダ６６は清掃部２０又は検査部２２に配置されているパネル１２のＸ方向へ伸びる一対の辺を共同して挟持する。

両アーム６４，６４のホルダ６６に挟持されたパネル１２は、キャリア６２及び６２がＸ方向へ移動することにより、清掃部２０から検査部２２へ又はその逆に搬送される。

検査部２２又は清掃部２０に搬送されたパネル１２は、アーム６４及び６４が検査部２２又は清掃部２０において往復駆動装置６８により相離れる方向へ移動されることにより、ホルダ６６から解放されて、検査部２２又は清掃部２０に渡される。

［検査ステージについて］

検査ステージ３６は、筐体１８に支持されたＺステージ７０と、Ｚステージ７０に組み付けられたＸＹθステージ７２と、ＸＹθステージ７２に組み付けられたチャックトップ７４とを含む。

チャックトップ７４は、これに配置されたパネル１２を真空的に吸着する。図示してはいないが、背面からの照明用のバックライトは、チャックトップ７４内に配置されている。

チャックトップ７４に配置されたバックライトは、検査装置１０の電源がオンにされたときからその電源がオフにされるときまで、連続的に点灯される。

チャックトップ７４は、受けたパネル１２の電極１４及び１６の配置位置をプローブブロック３４の位置に対応させるいわゆる位置決めのための２組のプッシャー７６及び位置決めピン７８を備えている。

パネル１２がチャックトップ７４の上面に配置されると、そのパネル１２は、２組のプッシャー７６及び７６によりそれらと反対側に配置された位置決めピン７８に押圧される。これにより、パネル１２はチャックトップ７４ひいてはプローブブロック３４に対して位置決められる。

ＸＹθステージ７２は、チャックトップ７４ひいてはこれに受けられたパネル１２をプローブブロック３４に対して、Ｘ方向及びＹ方向に移動させると共に、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、チャックトップ７４及びこれに受けられたパネル１２はプローブブロック３４に対して正確に位置決められる。

検査部２２のＺステージ７０は、ＸＹθステージ７２を介してチャックトップ７４ひいてはこれに受けられたパネル１２をプローブブロック３４に対してＺ方向に移動させる。これにより、チャックトップ７４に取り付けられたパネル１２の電極１４及び１６とプローブブロック３４のプローブとが接触して電気的に接続される。

［プリアライメント装置について］

プリアライメント装置３８は、筐体１８の支持部材に組み付けられたＺステージ８０と、Ｚステージ８０に組み付けられたパネル受け８２とを含む。

検査装置１０においては、パネル受け８２はパネル１２を配置する配置領域を形成する配置領域形成装置として作用する。

パネル受け８２は、受けたパネル１２をパネル受け８２の中央位置に配置するための２組のセンターリング部材８４及び８４を備えている。

パネル１２がパネル受け８２の上面に配置されると、２組のセンターリング部材８４が相寄る方向へ移動されることにより、パネル１２はセンターリングをされる。これにより、そのパネル１２はパネル受け８２ひいてはパネル清掃装置４０，４２及びキャリア６２，６２に対して位置決めされる。

［パネル清掃装置について］

清掃部２０のＺステージ８０は、パネル受け８２を２組のキャリア６２，６２に対してＺ方向に直接移動させて、パネル受け８２に取り付けられたパネル１２をＸ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４０及び４２の清掃待機位置に移動させることができる。

移動装置４４，４６，４８，５０，５２，５４のそれぞれは、以下に説明するように、固定子としてのリニアレールと、可動子としてのリニアブロックとを用いるリニアモータで構成されている。

Ｘ方向のパネル清掃装置４０用のＹ移動装置４６は、筐体１８に支持されてＹ方向へ伸びるリニアレール８６と、Ｙ方向に移動可能にリニアレール８６に組み付けられたリニアブロック８８とを有している。

Ｘ方向のパネル清掃装置４０用のＸ移動装置４４は、リニアブロック８８に片持ち梁状に組み付けられてＸ方向へ伸びるリニアレール９０と、Ｘ方向に移動可能にリニアレール９０に組み付けられたリニアブロック９２とを有している。

Ｘ方向のパネル清掃装置４０用のＺ移動装置４８は、リニアブロック９２に組み付けられてＺ方向へ伸びるリニアレール９４と、Ｚ方向に移動可能にリニアレール９４に組み付けられたリニアブロック９６とを有している。

Ｙ方向のパネル清掃装置４２のＸ移動装置５０は、筐体１８に支持されてＸ方向へ伸びるリニアレール９８と、Ｘ方向に移動可能にリニアレール９８に組み付けられたリニアブロック１００とを有している。

Ｙ方向のパネル清掃装置４２のＹ移動装置５２は、リニアブロック１００に片持ち梁状に組み付けられてＹ方向へ伸びるリニアレール１０２と、Ｙ方向に移動可能にリニアレール１０２に組み付けられたリニアブロック１０４とを有している。

Ｙ方向のパネル清掃装置４２のＺ移動装置５４は、リニアブロック１０４に組み付けられてＺ方向へ伸びるリニアレール１０６と、Ｚ方向に移動可能にリニアレール１０６に組み付けられたリニアブロック１０８とを有している。

リニアレール８６，９０，９４，９８，１０２及び１０６とリニアブロック８８，９２，９６，１００，１０４及び１０８とは、少なくともリニアガイド装置の一部を構成している。

図４に示すように、Ｚ移動装置４８及び５４は、それぞれ、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４０及び４２の清掃テープ１１０及び１１２をテンションロール１１４及び１１６の位置において電極１４及び１６に接触させる押圧力を制御する制御装置としても作用する。

図４に示すように、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４０及び４２は、それぞれ、清掃テープ１１０及び１１２並びにテンションロール１１４及び１１６のほかに、さらに、リニアブロック９６及び１０８に取り付けられた取付板１１８及び１２０と、取付板１１８及び１２０にＸ方向及びＹ方向に間隔をおいて配置されたテープロール１２２及び１２４と、巻取ロール１２６及び１２８とを有する。

パネル清掃装置４０及び４２の清掃テープ１１０及び１１２と、テンションロール１１４及び１１６と、テープロール１２２及び１２４と、巻取ロール１２６及び１２８とは、それぞれ、取付板１１８及び１２０に取り付けられたカバー１３０及び１３２により保護されている。

清掃テープ１１０及び１１２と、テンションロール１１４及び１１６と、テープロール１２２及び１２４と、巻取ロール１２６及び１２８とを、それぞれ、カバー１３０及び１３２に取り付けてもよい。

Ｘ方向のパネル清掃装置４０のテンションロール１１４、テープロール１２２及び巻取ロール１２６は、Ｘ方向へ間隔をおいてＹ方向へ互いに平行に伸びている。Ｙ方向のパネル清掃装置４２のテンションロール１１６、テープロール１２４及び巻取ロール１２８は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ互いに平行に伸びている。

テンションロール１１４及び１１６は、それぞれ、Ｘ方向及びＹ方向においてテープロール１２２及び１２４と巻取ロール１２６及び１２８との間に配置されていると共に、テープロール１２２及び１２４並びに巻取ロール１２６及び１２８よりもパネル１２の側とされている。

清掃テープ１１０及び１１２は、それぞれ、テープロール１２２及び１２４に巻かれている。清掃テープ１１０及び１１２は、それぞれ、テープロール１２２及び１２４からテンションロール１１４及び１１６のパネル１２の側を経て伸びて、少なくとも先端部を巻取ロール１２６及び１２８に巻かれている。

Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４０及び４２は、それぞれ、巻取ロール１２６及び１２８を図示しない駆動装置により回転させてテープロール１２２及び１２４を清掃テープ１１０及び１１２により従動させる。

清掃テープ１１０，１１２として、微細な研磨剤や粘着材を樹脂テープの一方の面にコーティングしたテープ、布テープ等を用いることができる。後者の場合、清掃時に水のような液体が布テープに添加される。

ロール１１４，１１６，１２２，１２４，１２６，１２８は、長尺部を備えている。それらロールの代わりに、リールのような他の部材を用いてもよい。

［異物検出装置について］

検査装置１０は、さらに、パネル１２の電極１４及び１６に付着している異物を検出するように清掃部２０に配置されたＸ方向及びＹ方向の異物センサ１４０及び１４２と、異物センサ１４０及び１４２をそれぞれパネル１２に対しＸ方向又はＹ方向に移動させる移動装置１４４及び１４６とを含む。

異物センサ１４０及び１４２は、それぞれ、電極１４及び１６の上面を撮影するように、ＣＣＤ素子のような複数のセンサ素子をＹ方向及びＸ方向に一列に配置したラインセンサである。

異物センサ１４０、１４２の出力信号は、図５に示す異物判定装置１４８に供給される。異物判定装置１４８は、異物センサ１４０，１４２の出力信号を基に異物の有無を判定して、異物が存在するとき、その旨を表す異物信号を制御装置１５０に出力する。

移動装置１４４及び１４６のそれぞれは、リニアレール９０又は１０２にＸ方向又はＹ方向に移動可能に取り付けられたリニアブロック１５２と、リニアブロック１５２に取り付けられたリニアレール１５４と、リニアレール１５４にＺ方向へ移動可能に取り付けられたリニアブロック１５６とを用いるリニアモータで構成されている。

異物センサ１４０及び１４２のそれぞれは、Ｌ字状の取付部材１５８により、リニアブロック１５６に取り付けられている。

制御装置１５０は、異物信号が入力すると、その表示パネル１２の電極１４又は１６に異物が付着していることを報知させるように、報知装置１５３を制御する。

このため、制御装置１５０は、異物センサ１４０及び１４２、移動装置１４４及び１４６、判定装置１４８等と共に、パネル１２の電極１４，１６に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置を構成している。

制御装置１５０は、さらに、検査ステージ３６、プリアライメント装置３８、パネル清掃装置４０及び４２、移動装置４４，４６，４８，５０，５２及び５４、パネル搬送装置５６及び５６、パネル撮影装置１５５、並びにパネル点灯装置１５７等を制御する。

パネル撮影装置１５５は、異物センサ１４０，１４２と、それらの移動装置１４４及び１４６とを含む。パネル点灯装置１５７は、プローブベース３２及びプローブブロック３４を含む。

プローブベース３２、プローブブロック３４、検査ステージ３６、プリアライメント装置３８、パネル清掃装置４０，４２、移動装置４４，４６，４８，５０，５２，５４，１４４，１４６、パネル搬送装置５６、異物センサ１４０，１４２等は、各パネル１２をチャックトップ７４及びパネル受け８２に斜めに受け、そのパネル１２を斜めの状態で搬送し、そのパネルを斜めの状態で、そのパネル１２の清掃、異物検査、及び点灯検査をするように、構成されている。

［第１の実施例の動作］

検査装置１０は、例えば、以下のように動作する。

先ず、検査すべき表示用パネル１２が人手により清掃部２０のプリアライメント装置３８に配置される。

次いで、パネル１２のセンターリングをするように、プリアライメント装置３８が制御装置１５０により制御される。これにより、プリアライメント装置３８の各センターリング部材８４が駆動されて、パネル１２がパネル受け８２の中央に位置決めされて、その状態に保持される。

次いで、移動装置４４，５０，４６及び５２が制御装置１５０により制御される。これにより、清掃装置４０，４２をＺ方向から見たとき、清掃テープ１１０及び１１２が電極１４及び１６に重なるように、パネル清掃装置４０及び４２が、それぞれ、それらの移動装置により移動される。

次いで、パネル清掃装置４０及び４２をパネル１２に向けて移動させるように、Ｚ移動装置４８及び５４が制御装置１５０により制御される。これにより、テンションロール１１４及び１１６のパネル１２の側に位置している清掃テープ１１０及び１１２の箇所が電極１４及び１６の一端部に接触される。

次いで、清掃テープ１１０及び１１２をテープロール１２２及び１２４から引き出すように、巻取ロール１２６及び１２８の駆動装置が制御装置１５０により制御される。これにより、巻取ロール１２６及び１２８が回転されて、清掃テープ１１０及び１１２を巻き取る。また、テープロール１２２及び１２４は、それぞれ、引き出される清掃テープ１１０及び１１２により巻取ロール１２６及び１２８の回転に従動される。

上記状態で、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４０及び４２が、それぞれ、Ｘ移動装置４４及びＹ移動装置５２により、Ｘ方向及びＹ方向におけるパネル１２の一端部から他端部に向けて移動される。このとき、清掃テープ１１０及び１１２が、それぞれ、テンションロール１１４及び１１６のパネル１２側の箇所において電極１４及び１６に接触しつつ、Ｘ方向及びＹ方向に接触移動されるから、清掃テープ１１０及び１１２は電極１４及び１６に付着している塵埃等の異物を拭き取る。

上記のようにパネル１２の清掃が行われている間、パネル撮影装置１５５が制御装置１５０により制御される。これにより、異物センサ１４０及び１４２が、それぞれ、移動装置１４４及び１４６によりパネル清掃装置４０及び４２と同期して、Ｘ方向及びＹ方向におけるパネル１２の一端部から他端部に向けて移動されつつ、パネル１２の電極１４及び１６を撮影する。

異物センサ１４０及び１４２の出力信号は、異物判定装置１４８に供給されて、異物判定装置１４８における異物の有無を判定に用いられる。

異物判定装置１４８は、異物が存在すると、その旨を表す異物信号を制御装置１５０に出力し、異物が存在しないと、その旨を表す正常信号を制御装置１５０に出力する。

制御装置１５０は、異物信号が入力すると、その表示パネル１２の電極１４又は１６に異物が付着していることを報知させるように、報知装置１５３を制御すると共に、パネル１２の保持を解除させるように、プリアライメント装置３８を制御する。報知装置１５３として、ブザー、表示灯、ＣＲＴのような表示装置等を用いることができる。

これにより、作業者は、そのパネル１２に異物が存在することを知ることができ、そのパネル１２をプリアライメント装置３８から除去し、新たなパネル１２をプリアライメント装置３８に配置する。

新たなパネル１２がプリアライメント装置３８に配置されると、制御装置１５０は新たなパネル１２について清掃と異物検査を行うように、上記の制御を再度実行ずる。

制御装置１５０は、正常信号が入力すると、そのパネル１２を一方の搬送装置５６に渡し、検査済みのパネル１２を他方の搬送装置５６から受けるように、プリアライメント装置３８を制御する。

上記のような清掃及び異物検査と並行して、検査ステージ３６に配置されているパネル１２の目視点灯検査が以下のように行われる。

先ず、制御装置１５０は、プローブブロック３４に配置されたプローブに対するパネル１２の位置決めをし、次いでパネル１２の電極１４，１６をそれらのプローブに押圧するように、検査ステージ３６を制御する。

次いで、制御装置１５０は、各プローブに通電するようにパネル点灯装置５６を制御する。この時点においては、チャックトップ７４に配置されたバックライトが既に点灯されている。このため、作業者によるパネル１２の目視点灯検査が行われる。

目視点灯検査の結果、良品であるか不良品であるかを示す良品信号又は不良品信号が作業者により制御装置１５０に入力される。

制御装置１５０に、正常信号が異物判定装置１４８から入力すると共に、良品信号及び不良品信号のいずれが入力すると、制御装置１５０は、検査ステージ３６上のパネル１２をプリアライメント装置３８に移すと共に、プリアライメント装置３８上のパネル１２を検査ステージ３６に移すように、パネル搬送装置５６，５６を制御する。

プリアライメント装置３８と搬送装置５６との間におけるパネルの受け渡しのとき、センターリング部材８４は、挟持しているパネル１２の解放と、検査済みのパネルの挟持とを行う。

制御装置１５０は、また、検査ステージ３６に搬送中のパネル１２が良品であるか、不良品であるかを報知するように報知装置１５３を制御する。これにより、作業者は、プリアライメント装置３８に搬送されたパネル１２をプリアライメント装置３８から除去して、その良否に応じて定められた位置に移す。

以後、上記のように、異物の有無検査とパネル１２の目視点灯検査とが並行して行われる。

［第２の実施例］

上記実施例において、清掃装置４０，４２及び異物センサ１４０，１４２を２組ずつ設ける代わりに、１組だけ設けて、パネル１２の電極１４，１６の清掃及び異物検査をするようにしてもよい。

図６を参照するに、清掃部１６０は、清掃装置４２と異物センサ１４２とを備えていない代わりに、パネル受け８２をＺ方向へ伸びるθ軸線の周りに少なくとも９０度回転させるθステージ１６２を図示していないＺステージ８０に支持させると共に、パネル受け８２をθステージ１６２に支持させることにより、プリアライメント装置３８を形成している。

清掃部１６０は、以下のようにパネル１２の電極１４及び１６の清掃と異物検査とを行う。

先ず、電極１４及び１６のいずれか一方を、清掃装置４０により清掃すると共に、異物センサ１４０により撮影する。

次いで、パネル受け８２をθステージ１６２により所定の角度θ（９０度）回転させた後、電極１４及び１６の他方を清掃装置４０により清掃すると共に、異物センサ１４０により撮影する。

次いで、異物センサ１４０の出力信号を基に、図５に示す異物判定装置１４８において異物の有無を判定する。

図６に示す実施例において、パネル受け８２をＺステージ８０に支持させ、Ｚステージ８０をθステージ１６２に支持させてもよい。

［第３の実施例］

本発明は、また、各パネル１２をチャックトップ７４及びパネル受け８２に斜めに受け、そのパネル１２を斜めの状態で搬送し、そのパネルを斜めの状態で、そのパネル１２の清掃、異物検査、及び点灯検査をする装置に限定されない。

例えば、各パネル１２を、チャックトップ７４及びパネル受け８２に上向きに受け、その状態で搬送し、その状態で清掃、異物検査、及び点灯検査をする装置、各パネル１２を、パネル受け８２に上向きに受けてその状態で清掃及び異物検査をし、斜めに転向させて搬送装置に渡し、斜めの状態で点灯検査をする検査装置等、他のタイプの検査装置にも適用することができる。

図７を参照するに、検査装置１６４は、Ｘ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる回転装置１６５をプリアライメント装置３８に備えている。

検査装置１６４は、さらに、複数のパネル１２を水平状態にカセット１６６に格納したカセット部１６８と、プリアライメント装置３８及びカセット１６６に対するパネル１２の受け渡しを行うロボット１７０が配置された受け渡し部１７２とを含む。

ロボット１７０は、検査済みのパネル１２をパネル受け８２からカセットの所定の箇所に移し、新たなパネル１２をカセット１６６の他の箇所からパネル受け８２に移す一般的な受け渡しロボットである。

検査装置１６４は、パネル受け８２とロボット１７０との間におけるパネル１２の受け渡し、パネル１２の清掃、及び異物検査を水平状態で行い、Ｚステージ８０及びパネル受け８２を回転装置１６５により転向させて搬送装置５６，５６とパネル受け８２との間のパネルの受け渡しを傾斜状態で行う。

検査装置１６４においても、検査ステージ３６、プリアライメント装置３８、搬送装置５６、制御装置１５０等は、検査装置１０と同様に動作する。
［第４の実施例］

図８から図１０を参照するに、検査装置１７４は、清掃部２０の下側に形成されたパネル搬送部１７６を含む。

パネル搬送部１７６には、パネル１２を搬送する搬送装置１７８と、搬送されてきたパネル１２をパネル清掃装置４０及び４２と異物センサ１４０及び１４２に対して位置決める複数の位置決め部材１８０と、パネル受け８２と搬送装置１７８とに対するパネル１２の受け渡しをする受け渡し装置１８２が配置されている。

搬送装置１７８は、それぞれが複数のローラを回転軸にこれの軸線方向に間隔をおいた状態に取り付けた複数のローラ組立体１８４を備える。ローラ組立体１８４は、パネル１２の搬送方向（図示の例では、Ｘ方向）に間隔をおいており、またＸ方向に長い長方形の枠１８６に回転自在に支持されており、さらに図示しない駆動機構により同期して回転される。

位置決め部材１８０は、受け渡し装置１８２による搬送装置１７８に対するパネル１２の受け渡し位置に配置されている。

位置決め部材１８０は、図３におけるセンターリング部材８４と同様に、パネル１２の対向する辺を対向する位置決め部材１８０で挟むことにより、パネル１２のセンターリングをすると共に、パネル１２を移動不能に維持する。

位置決め部材１８０は、パネル１２が受け渡し位置に搬送されてくるまでは、その上端部が搬送装置１７８によるパネル搬送路の下方の待機位置に位置する状態に待機されている。

しかし、パネル１２が受け渡し位置に搬送されると、位置決め部材１８０は、その上端部がパネル搬送路に突出されて、パネル１２を挟む。

また、位置決め部材１８０は、パネル１２の清掃及び異物検査が終了すると、待機位置に戻される。

受け渡し装置１８２は、Ｘ方向に間隔をおいて前後方向に伸びる一対のレール１８８と、両レール１８８に前後方向に移動可能に支持されたキャリア１９０と、キャリア１９０の下側に取り付けられた複数のパネルキャッチ機構１９２とを備える。

キャリア１９０は、Ｘ方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる一対の可動体１９６をレール１８８に移動可能に支持させ、前後方向に間隔をおいてＸ方向に伸びる一対の支持バー１９８を両可動体１９６に取り付けている。可動体１９６は、図示しない駆動源により前後方向に移動される。

キャリア１９０は、搬送装置１７８に対するパネル１２の受け渡しをするときだけ、受け渡し装置１８２による受け渡し位置の上方に移動される。

パネルキャッチ機構１９２は、圧縮空気が供給されるシリンダ並びにこのシリンダに対し往復運動をするロッドを備えたエアーシリンダ機構のような往復運動機構であり、またロッドの往復運動の方向が上下方向となる状態にシリンダにおいて支持バー１９８の下側に取り付けられており、さらにロッドを同期して伸縮させる。

各パネルキャッチ機構１９２は、パネル１２の吸着及びその解除を行う吸着パッド２００をロッドの下端に有している。吸着パッド２００は、これが図示しない真空源に接続されることによりパネル１２を吸着し、大気圧に開放されることによりパネル１２の吸着を解除する。

検査装置１７４においては、清掃部２０の下方に位置する複数のローラ組立体１８４と、パネルキャッチ機構１９２とが、パネル１２の配置領域を形成する配置領域形成装置として作用する。

検査装置１７４は、以下の通り動作する。

パネル１２が搬送装置１７８により清掃部２０の下方の受け渡し位置に搬送されると、位置決め部材１８０が動作される。これにより、そのパネル１２が、清掃装置４０，４２及び異物センサ１４０，１４２に対して位置決められると共に、移動不能に維持される。

次いで、清掃装置４０及び４２が、それぞれ、検査装置１０の場合と同様に、駆動装置４４，４６，４８及び５０，５２，５４により駆動されて、それらの清掃テープによりパネル１２の電極を清掃する。

また、検査装置１０の場合と同様に、異物センサ１４０及び１４２がそれぞれ駆動装置１４４及び１４６により駆動されて、パネル１２の電極を撮影する。異物センサ１４０及び１４２の出力信号は、図５に示す異物判定装置１４８において異物の有無の判定に用いられる。

異物が存在すると、位置決め部材１８０が待機位置に下降される。これにより、そのパネル１２は、搬送装置１７８により受け渡し位置より下流の不良品除去位置に搬送されて、不良品除去位置において人手又は受け渡しロボットにより搬送装置１７８から除去される。

異物が存在しないと、キャリア１９０が搬送装置１７８の上方に移動され、パネルキャッチ機構１９２が動作する。これにより、パネル１２は、パッド２００に吸着されて、上方に持ち上げられる。

次いで、キャリア１９０がプリアライメント装置３８の上方へ移動されて、保持しているパネル１２をプリアライメント装置３８に渡す。

次いで、プリアライメント装置３８が動作してパネル１２のセンターリングと挟持とを行う。

その後、検査ステージ３６、プリアライメント装置３８、搬送装置５６、制御装置１５０等が図７に示す検査装置１６４と同様に動作する。これにより、検査済みのパネル１２がプリアライメント装置３８に渡される。

検査済みのパネル１２は、プリアライメント装置３８からキャリア１９０に渡されて、キャリア１９０により搬送装置１７８に移される。

その後、検査済みのパネル１２は、受け渡し位置より下流の良品回収位置に搬送されて、良品回収位置において人手又は受け渡しロボットにより搬送装置１７８から除去される。

［第５の実施例］

異物センサ１４０，１４２として、ラインセンサを用いる代わりに、図１１に示す検査装置２０２のように、ビデオカメラのようなＣＣＤカメラ２０４を用いてもよい。ＣＣＤカメラ２０４は、プリアライメント装置３８上のパネル１２全体を撮影するエリアセンサとして作用するように、筐体１８に配置されている。

検査装置２０２は図７及び図８に示すタイプの検査装置の例であるが、図１に示すタイプの検査装置も上記のようなエリアセンサを用いてもよい。

上記の実施例は、いずれも、清掃装置による清掃後に異物の有無を検査しているが、異物の有無検査の後にパネル１２を清掃してもよい。

本発明は、以下のようなタイプの検査装置にも適用することができる。

１．検査ステージ３６上のパネル１２を撮影するＣＣＤカメラのようなエリアセンサを検査部２２に配置し、そのエリアセンサの出力信号の画像処理を制御装置１５０又はデータ処理装置において行う自動点灯検査装置。

１列に配置された複数の電極を備える表示用パネル、２．３又は４つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極を備える表示用パネル等、他のタイプの表示用パネルの検査装置。

３．液晶が封入された液晶表示パネル用のガラス基板、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの検査装置。

４．他のタイプのパネル清掃装置として、空気噴射式の装置のような他のタイプの装置を用いた検査装置。

５．少なくとも洗浄の検出領域を持つ高さ検出器のような変位計をラインセンサの代わりに異物センサとして用いた検査装置。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係る検査装置の第１の実施例の外観を示す正面図である。 図１に示す検査装置の右側面図である。 図１に示す検査装置の内部に配置されている清掃部及び検査部の付近の一実施例を示す斜視図である。 図１に示す検査装置の内部に配置されているパネル清掃装置及び各種の移動装置の拡大斜視図である。 図１に示す検査装置の電気回路の一実施例を示すブロック図である。 本発明に係る検査装置の第２の実施例における清掃部付近の一実施例を示す斜視図である。 本発明に係る検査装置の第３の実施例の内部構造と外観とを示す右側面図である。 本発明に係る検査装置の第４の実施例の内部構造と外観とを示す右側面図である。 図８に示す検査装置におけるパネルの受け渡し位置近傍の受け渡し装置を省略した平面図である。 図８に示す検査装置におけるパネルの受け渡し位置近傍の一実施例を示す斜視図である。 本発明に係る検査装置の第５の実施例の内部構造と外観とを示す右側面図である。

符号の説明

１０，１６４，１７４，２０２ 検査装置
１２ 表示用パネル
１４，１６ 表示用パネルの電極
１８ 筐体
２０ 清掃部
２２ 検査部
２４ 傾斜面部
２６，２８，３０ 開口
３２ プローブベース
３４ プローブブロック
３６ 検査ステージ
３８ プリアライメント装置
４０，４２ パネル清掃装置
４４，４６，４８，５０，５２，５４ 移動装置
５６ 搬送装置
５８ キャリア移動機構
６２ キャリア
６４ アーム
６６ ホルダ
６８ 往復駆動装置
７０ 検査ステージのＺステージ
７２ 検査ステージのＸＹθステージ
７４ チャックトップ
７６ プッシャー
７８ 位置決めピン
８０ プリアライメント装置のＺステージ
８２ パネル受け（配置領域形成装置）
８４ センターリング部材
１１０，１１２ 清掃テープ
１１４，１１６ テンションロール）
１１８，１２０ 取付板
１２２，１２４ テープロール
１２６，１２８ 巻取ロール
１３０，１３２ カバー
１４０，１４２ 異物センサ
１４４，１４６ 移動装置
１４８ 異物判定装置
１５０ 制御装置
１６０ 清掃部
１６２ θステージ
１６５ 回転装置
１７６ パネル搬送部
１７８ 搬送装置
１８０ 位置決め部材
１８２ 受け渡し装置
１８８ レール
１９０ キャリア
１９２ パネルキャッチ機構
２０４ ＣＣＤカメラ（エリアセンサ）

Claims (9)

1. 矩形の表示用パネルであってこれと平行の面内で一方向に間隔をおいて形成された複数の電極を有する表示用パネルの検査装置であって、
   前記表示用パネルが配置される配置領域を形成する配置領域形成装置と、前記配置領域に配置された表示用パネルの前記電極に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置とを含む、表示用パネルの検査装置。
2. 前記異物検出装置は、前記電極の上面を撮影するラインセンサと、該ラインセンサと前記表示用パネルとを前記一方向に相対的に移動させる移動装置と、前記ラインセンサの出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
3. 前記異物検出装置は、前記電極の上面を含む範囲を撮影するエリアセンサと、該エリアセンサの出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含む、請求項２に記載の表示用パネルの検査装置。
4. 前記異物検出装置は、前記電極の上面の高さ位置を測定する変位計と、該変位計と前記表示用パネルとを前記一方向に相対的に移動させる移動装置と、前記変位計の出力信号を基に異物の有無を判定して、前記異物信号を出力する判定装置とを含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
5. さらに、前記異物信号を受けて、異物が存在することを報知する報知手段を含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
6. さらに、前記表示用パネルを前記配置領域に対し受け渡す受け渡し装置であって、前記異物信号を受けて、その表示用パネルを前記配置領域から除去する受け渡し装置を含み、前記配置領域形成装置は前記配置領域を形成するステージを含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
7. さらに、前記配置領域を形成すると共に前記表示用パネルを前記配置領域に搬送する搬送装置であって、前記異物信号を受けて、その表示用パネルを前記配置領域から除去する搬送装置を含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
8. さらに、前記電極を清掃するパネル清掃装置を含む、請求項１に記載の表示用パネルの検査装置。
9. 前記パネル清掃装置と前記表示用パネルとは前記一方向に相対的に移動される、請求項８に記載の表示用パネルの検査装置。
   
   

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