CN1790032A - 显示用面板的检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种显示用面板的检查装置，其目的在于防止由附着于显示用面板的电极上的灰尘导致的探头及探测单元的损伤。检查装置用于检查显示用面板，该显示用面板是矩形的、且具有在与其平行的面内在一方向上隔有间隔形成的多个电极。检查装置包括：配置区域形成装置，其形成配置显示用面板的配置区域；异物检测装置，其对附着于配置于配置区域的显示用面板的电极上的异物进行检测，并在存在异物时输出异物信号。

Description

显示用面板的检查装置

技术领域

本发明涉及一种如液晶显示面板那样具有配置成至少一列的多个电极的显示用面板的检查装置。

背景技术

对如液晶显示面板那样具有配置成至少一列的多个电极的显示用面板进行检查的装置一般具有这样的构造，即，将分别接触于显示用面板的电极的多个触头即探头组装于基板座上形成探测单元，将该探测单元组装于装置的框架上，将显示用面板放置在配置于框架内的检查台上，由检查台使显示用面板向X、Y、Z三方向移动，由此按压显示用面板的电极和探头。(参照日本特开平1044738号公报、日本特开平7454677号公报)

在这样的检查装置中，探头和显示用面板的电极之间的电连接状态受附着于显示用面板的电极上的灰尘较大影响，有时会造成电连接不良，不能对显示用面板进行正确的检查。

特别是有较大异物附着在电极上时，当将探头按压在电极时，由于探头是在与较大异物接触的状态下被按压，从而会损伤探头自身，另外，使用探头的探测单元的其他部件被按压于较大异物上，从而会使其他部件破损。

发明内容

本发明的目的在于防止由附着于显示用面板的电极上的灰尘导致的探头及探测单元的损伤。

本发明的检查装置，用于检查显示用面板，该显示用面板是矩形的显示用面板、且具有在与其平行的面内在一方向上隔有间隔设置形成的多个电极，这样的检查装置包括：配置区域形成装置，其形成配置所述显示用面板的配置区域；异物检测装置，其对附着于配置于所述配置区域的显示用面板的所述电极上的异物进行检测，在存在异物时输出异物信号。

所述异物检测装置可包括：线传感器，其对所述电极的上表面进行拍摄；移动装置，其使该线传感器和所述显示用面板在所述一方向上相对移动；判定装置，其根据所述线传感器的输出信号判定有无异物，输出所述异物信号。

所述异物检测装置可包括：面传感器，其对包括所述电极的上表面的范围进行拍摄；判定装置，其根据该面传感器的输出信号判定异物的有无，输出所述异物信号。

所述异物检测装置包括：位移计，其对所述电极的上表面的高度位置进行测量；移动装置，其使该位移计与所述显示用面板在所述一方向上相对移动；判定装置，其根据所述位移计的输出信号判定有无异物，输出所述异物信号。

检查装置还可以包括报告装置，其接收所述异物信号、报告异物存在。

检查装置还可以包括交接装置，其用于将所述显示用面板相对于所述配置区域进行交接，该交接装置接收所述异物信号，将该显示用面板从所述配置区域除去；所述配置区域形成装置包括形成所述配置区域的台。

检查装置还可以包括输送装置，其用于形成所述配置区域，并且将所述显示用面板输送至所述配置区域，该输送装置接收所述异物信号，将该显示用面板从所示配置区域除去。

检查装置还包括对所述电极进行清扫的面板清扫装置。可以使所述面板清扫装置和所述显示用面板在所述一方向上相对移动。

在本发明的检查装置中，通过发生异物信号，可由人手或自动机械将该显示用面板从检查装置除去，由此，可防止由异物导致的探测单元的探头或其他部件的损伤。

附图说明

图1是表示本发明的检查装置的第1实施例的外观的正视图。

图2是图1所示检查装置的右视图。

图3是表示配置于图1所示检查装置内部的清扫部及检查部的附近的一实施例的立体图。

图4是表示配置于图1所示检查装置内部的面板清扫装置及各种移动装置的放大立体图。

图5是表示图1所示检查装置的电路的一实施例的框图。

图6是表示本发明的检查装置的第2实施例中清扫部附近的一

实施例的立体图。

图7是表示本发明的检查装置的第3实施例的内部构造和外观的右视图。

图8是表示本发明的检查装置的第4实施例的内部构造和外观的右视图。

图9是图8所示检查装置的面板交接位置近旁的省略了交接装置的俯视图。

图10是表示图8所示检查装置的面板交接位置近旁的一实施例的立体图。

图11是表示本发明的检查装置的第5实施例的内部构造和外观的右视图。

具体实施方式

(第1实施例)

参照图1至图4，检查装置10应用于将长方形的液晶显示面板作为要检查的显示用面板12的目视点亮检查。检查装置10被制造成：在将面板12倾斜配置的状态下，由操作员的肉眼进行检查。

在以下的说明中，将面板12的长边缘的方向称为X方向(第1方向)，将面板12的短边缘的方向称为Y方向(第2方向)，将垂直于面板12的方向称为Z方向(第3方向)。另外，将向X、Y及Z方向延伸的轴线分别称为X轴线、Y轴线及Z轴线。并且，将操作员目视点亮了的面板12的一侧的方向称为前方，将与目视侧相反的一侧的方向称为后方。

面板12具有多个第1电极14和多个第2电极16，该多个第1电极14和多个第2电极16在与面板12的长方形的边中、相邻的X方向和Y方向的边对应的2个端缘上，在X方向和Y方向上隔有间隔地形成(参照图3和图4)。

检查装置10包括：壳体18、对面板12的电极14和电极16进行清扫的清扫部20和进行面板12的点亮检查的检查部22。清扫部20和检查部22在X方向上隔有间隔地组装于设置于壳体18内部的支承构件(未图示)。

壳体18的前表面上部形成为倾斜面部24。倾斜面部24具有开口26和开口28，该开口26和开口28用于在与清扫部20和检查部22的位置对应的部位进行面板12的交接和目视检查。开口26和开口28具有比面板12大、且其角部形成为圆角的矩形形状。

检查部22包括形成有开口30的探测基座32、配置于探测基座32的多个探测块34、承受面板12的检查台36。开口30被用作操作员目视点亮了的面板12的孔，并且该开口30具有比面板12大、且其角部形成为圆角的矩形形状。

探测块34使其前端侧向开口30的中心侧突出，以使从Z方向看其时，配置于各探测块34的多个探头的前端与配置于检查台36的面板12上的电极14和电极16重叠。探测基座32和检查台36都是支承于壳体18，探头可以是针式、叶片式等任何一种。

清扫部20包括对面板12进行预校准的预校准装置38和位于预校准装置38的周围、且配置于壳体18内的X方向上的面板清扫装置(第1清扫装置)40及配置于Y方向上的面板清扫装置42(第2清扫装置)。

X方向的面板清扫装置(第1清扫装置)40由X移动装置44(第1移动装置)、Y移动装置46(第2移动装置)及Z移动装置48(第3移动装置)使其向X方向、Y方向及Z方向移动，以使其对排列于X方向的电极14进行清扫。

Y方向的面板清扫装置(第2清扫装置)42由X移动装置50(第4移动装置)、Y移动装置52(第5移动装置)及Z移动装置54(第6移动装置)使其向X方向、Y方向及Z方向移动，以使其对排列于Y方向的电极16进行清扫。

检查装置10还包括一对面板输送装置56、56。该面板输送装置56、56同步地将配置于检查部22上的面板12从检查部22向清扫部20进行输送、将配置于清扫部20上的面板12从清扫部20向检查部22进行输送。

各面板输送装置56具有支承于壳体18的托架移动机构58、由托架移动机构58使其分别向X方向移动的一对托架62、62和组装于各托架62上的一对臂64。

各臂64具有在X方向隔有间隔设置的2个夹具66、66。各臂64通过如气缸机构那样的往复驱动装置68驱动而向Y方向移动，使该臂64的夹具66与对面的臂64的夹具66进行面板12的夹持、解除。

两臂64、64朝相接近的方向移动时，该两臂64、64的夹具66共同夹持配置于清扫部20或检查部22上的面板12的向X方向延伸的一对边。

通过托架62和托架62向X方向移动，从而将由两臂64、臂64的夹具66夹持的面板12从清扫部20向检查部22或从检查部22向清扫部20输送。

通过由往复驱动装置68使臂64、64在检查部22或清扫部20中朝相分离的方向移动，从而使输送至检查部22或清扫部20的面板12从夹具66释放，送到检查部22或清扫部20。

(关于检查台)

检查台36包括支承于壳体18上的Z台70、组装于Z台70上的XYθ台72和组装于XYθ台72上的卡盘顶部74。

卡盘顶部74真空吸附配置于其上的面板12。虽然未图示，来自背面的照明用的背照灯配置于卡盘顶部74内。

配置于卡盘顶部74内的背照灯从检查装置10的电源被接通开始持续点亮至该电源被停止为止。

卡盘顶部74具有2组推杆76和定位销78。该2组推杆76和定位销78用于定位而使所承受的面板12的电极14和电极16的配置位置与探测块34的位置对应。

当面板12配置于卡盘顶部74的上表面时，该面板12被2组推杆76和推杆76按压到配置于与这些推杆相反的一侧的定位销78上。由此，使面板12相对于卡盘顶部74进而相对于探测块34定位。

XYθ台72在使卡盘顶部74进而使其所承受的面板12相对于探测块34向X方向及Y方向移动时，并且，使其绕向Z方向延伸的轴线旋转一定角度。由此，可使卡盘74及其所承受的面板12相对于探测块34正确定位。

检查部22的Z台70隔着XYθ台72使卡盘顶部74进而使其所承受的面板12相对于探测块34向Z方向移动。由此，安装于卡盘顶部74上的面板12的电极14和电极16与探测块34的探头接触而被电连接。

(关于预校准装置)

预校准装置38包括组装于壳体18的支承构件上的Z台80和组装于Z台80上的面板承受部82。

在检查装置10中，面板承受部82作为形成配置面板12的配置区域的配置区域形成装置而起作用。

面板承受部82具有用于将承受的面板12配置于面板承受部82的中央位置的2组对中心构件84、84。

面板12配置于面板承受部82的上表面时，通过2组对中心构件84朝相接近的方向移动，面板12被对中心。由此，该面板12被相对于面板承受部82进而相对面板清扫装置40、面板清扫装置42及托架62、62定位。

(关于面板清扫装置)

清扫部20的Z台80通过使面板承受部82相对于2组托架62、62向Z方向直接移动，可以使安装于面板承受部82的面板12移动至X方向的面板清扫装置40及Y方向的面板清扫装置42的清扫待机位置。

移动装置44、移动装置46、移动装置48、移动装置50、移动装置52、移动装置54分别都是如以下说明那样由用作为固定部件的直线导轨和用作为可动部件的直线块构成。

用于X方向的面板清扫装置40的Y移动装置46具有支承于壳体18上的向Y方向延伸的直线导轨86和在Y方向可移动地组装于直线导轨86上的直线块88。

用于X方向的面板清扫装置40的X移动装置44具有以单臂梁状组装于直线块88、并向X方向延伸的直线导轨90和在X方向可移动地组装于直线导轨90上的直线块92。

用于X方向的面板清扫装置40的Z移动装置48具有组装于直线块92、并向Z方向延伸的直线导轨94和在Z方向可移动地组装于直线导轨94上的直线块96。

用于Y方向的面板清扫装置42的X移动装置50具有支承于壳体18、并向X方向延伸的直线导轨98和在X方向可移动地组装于直线导轨98上的直线块100。

用于Y方向的面板清扫装置42的Y移动装置52具有以单臂梁状组装于直线块100上的、并向Y方向延伸的直线导轨102和在Y方向可移动地组装于直线导轨102上的直线块104。

用于Y方向的面板清扫装置42的Z移动装置54具有组装于直线块104上、并向Z方向延伸的直线导轨106和在Z方向可移动地组装于直线导轨106上的直线块108。

直线导轨86、90、94、98、102及106与直线块88、92、96、100、104及108构成至少直线导向装置的一部分。

如图4所示，Z移动装置48及Z移动装置54分别作为控制装置而起作用，该控制装置控制推压力，该推压力使X方向的面板清扫装置40的清扫带110及Y方向的面板清扫装置42的清扫带112分别在张紧辊114及张紧辊116的位置与电极14及电极16接触。

如图4所示，X方向的面板清扫装置40及Y方向的面板清扫装置42，除了清扫带110及清扫带112与张紧辊114及张紧辊116之外，还分别具有安装于直线块96上的安装板118及安装于直线块108上的安装板120、在X方向隔有间隔地配置于安装板118上的带辊122、卷绕辊126及在Y方向上隔有间隔地配置于安装板120上的带辊124、卷绕辊128。

面板清扫装置40的清扫带110、张紧辊114、带辊122、卷绕辊126及面板清扫装置42的清扫带112、张紧辊116、带辊124和卷绕辊128，分别由安装于安装板118上的罩130及安装于安装板120上的罩132来保护。

清扫带110、张紧辊114、带辊122和卷绕辊126及清扫带112、张紧辊116、带辊124和卷绕辊128可以分别安装于罩130及罩132上。

X方向的面板清扫装置40的张紧辊114、带辊122及卷绕辊126在X方向上隔有间隔地设置并相互平行地向Y方向延伸。Y方向的面板清扫装置42的张紧辊116、带辊124及卷绕辊128在Y方向上隔有间隔地设置并相互平行地向X方向延伸。

张紧辊114在X方向上配置于带辊122与卷绕辊126之间，并且，其比带辊122和卷绕辊126更靠面板12一侧；张紧辊116在Y方向上配置于带辊124与卷绕辊128之间，并且，其比带辊124和卷绕辊128更靠面板12一侧。

清扫带110及清扫带112分别卷绕于带辊122及带辊124上。清扫带110及清扫带112分别从带辊122经张紧辊114的面板12一侧及从带辊124经张紧辊116的面板12一侧而延伸，至少其前端部卷绕于卷绕辊126及卷绕辊128上。

X方向的面板清扫装置40及Y方向的面板清扫装置42分别通过未图示的驱动装置使卷绕辊126及卷绕辊128旋转，借助清扫带110使带辊122从动及借助清扫带112使带辊124从动。

作为清扫带110、清扫带112可以使用将微细的研磨剂或粘接剂涂敷于树脂带的一侧面上的带、布带等。在使用布带时，可以在清扫时将水一样的液体添加到布带上。

辊114、辊116、辊122、辊124、辊126、辊128都具有长尺寸部。可以使用卷轴等其他构件取代这些辊。

(关于异物检查装置)

检查装置10还包括为对附着于面板12的电极14及电极16上的异物进行检测而配置于清扫部20上的X方向异物传感器140及Y方向异物传感器142、使异物传感器140及异物传感器142分别相对于面板12向X方向及Y方向移动的移动装置144及移动装置146。

异物传感器140及异物传感器142分别是在Y方向及X方向将如CCD元件那样的多个传感器元件配置成一列的线传感器，以使其分别对电极14及电极16的上表面进行拍摄。

异物传感器140、异物传感器142的输出信号供给至图5所示的异物判定装置148。异物判定装置148根据异物传感器140、异物传感器142的输出信号而判定异物的有无，在存在异物时，将表现其存在的异物信号输出至控制装置150。

移动装置144及移动装置146分别由直线电动机构成，该直线电动机使用在X方向上可移动地安装于直线导轨90上的或在Y方向上可移动地安装于直线导轨102上的直线块152、安装于直线块152上的直线导轨154和向Z方向可移动地安装于直线导轨154上的直线块156。

异物传感器140及异物传感器142分别通过L字形的安装构件158安装于直线块156上。

控制装置150在异物信号输入时，控制报告装置153，以使其报告有异物附着于该显示面板12的电极14或电极16上。

由此，控制装置150与异物传感器140及异物传感器142、移动装置144及移动装置146、判定装置148等一起构成异物检测装置，该异物检测装置对附着于面板12的电极14、电极16上的异物进行检测，在有异物存在时输出异物信号。

控制装置150还对检查台36、预校准装置38、面板清扫装置40及面板清扫装置42、移动装置44、移动装置46、移动装置48、移动装置50、移动装置52及移动装置54、面板输送装置56及面板输送装置56、面板拍摄装置155及面板点亮装置157等进行控制。

面板拍摄装置155包括异物传感器140、异物传感器142、和异物传感器140的移动装置144及异物传感器142的移动装置146。面板点亮装置157包括探测基座32及探测块34。

探测基座32、探测块34、检查台36、预校准装置38、面板清扫装置40、面板清扫装置42、移动装置44、移动装置46、移动装置48、移动装置50、移动装置52、移动装置54、移动装置144、移动装置146、面板输送装置56、异物传感器140、异物传感器142等构成为：即，在卡盘顶部74及面板承受部82上倾斜地承受各面板12时，以倾斜的状态输送该面板12，在使该面板12处于倾斜的状态下，进行对该面板12的清扫、异物检查及点亮检查。

(第1实施例的动作)

检查装置10例如如以下这样动作。

首先，由人手将要检查的显示用面板12配置于清扫部20的预校准装置38上。

接下来，由控制装置150控制预校准装置38，以使其对面板12进行对中心。由此，预校准装置38的各对中心构件83被驱动，面板12被定位于面板承受部82的中央，并保持该状态。

接下来，由控制装置150控制移动装置44、移动装置50、移动装置46及移动装置52。由此，面板清扫装置40及面板清扫装置42分别由这些的移动装置移动，而使得从Z方向看清扫装置40、清扫装置42时，清扫带110与电极14重叠，而且清扫带112与电极16重叠。

接下来，由控制装置150控制Z移动装置48及Z移动装置54，以使面板清扫装置40及面板清扫装置42向面板12移动。由此，电极14及电极16的一端部分别接触于位于张紧辊114的面板12一侧的清扫带110的部位及位于张紧辊116的面板12一侧的清扫带112的部位。

接下来，由控制装置150控制卷绕辊126及卷绕辊128的驱动装置，以使清扫带110及清扫带112分别从带辊122及带辊124拉出。由此，使卷绕辊126及卷绕辊128旋转，分别卷绕清扫带110及清扫带112。另外，带辊122及带辊124分别借助被拉出的清扫带110及清扫带112而随着卷绕辊126及卷绕辊128的旋转而从动旋转。

在上述状态下，分别由X移动装置44及Y移动装置52使X方向的面板清扫装置40及Y方向的面板清扫装置42从X方向及Y方向上的面板12的一端部向另外一端部移动。此时，清扫带110及清扫带112分别在张紧辊114的面板12一侧的部位及张紧辊116的面板12一侧的部位与电极14及电极16接触，并且向X方向及Y方向接触移动，从而清扫带110及清扫带112擦去附着于电极14及电极16上的灰尘等异物。

如上所述，在进行面板12的清扫时，由控制装置150控制面板拍摄装置155。由此，由移动装置144使异物传感器140与面板清扫装置40同步地从X方向上的面板12的一端部向另一端部移动、由移动装置146使异物传感器142与面板清扫装置42同步地从Y方向上的面板12的一端部向另一端部移动，同时对面板12的电极14及电极16进行拍摄。

异物传感器140及异物传感器142的输出信号供给至异物判定装置148，用于异物判定装置148判定异物的有无。

异物判定装置148在有异物存在时，将表示其异物存在的异物信号输出至控制装置150，在没有异物时，将表示其没有异物的正常信号输出至控制装置150。

在输入异物信号时，控制装置150对报告装置153进行控制，使其报告该显示面板12的电极14或电极16上有异物附着，并且，控制装置150对预校准装置38进行控制，使其解除对面板12的保持。报告装置153可以使用如蜂鸣器、显示灯、CRT之类的显示装置等。

由此，操作员可以知道该面板12有异物存在，将该面板12从预校准装置38除去，将新的面板12配置于预校准装置38上。

新的面板12被配置于预校准装置38上时，控制装置150再次实行上述控制，以使对新的面板12进行清扫和异物检查。

在输入正常信号时，控制装置150对预校准装置38进行控制，以使其将该面板12送至一侧的输送装置56，从另一侧的输送装置接收检查结束的面板12。

与上述的清扫及异物检查并行，配置于检查台36上的面板12的目视点亮装置如以下这样进行。

首先，控制装置150对检查台36进行控制，以使其对面板12相对于配置于探测块34上的探头进行定位，然后将面板12的电极14及电极16按压在这些探头上。

接下来，控制装置150对面板点亮装置56进行控制，对各探头通电。在该时刻，配置于卡盘顶部74上的背照灯已经点亮。由此，可进行由操作员对面板12的目视检查。

目视点亮检查的结果，由操作员将表示良品的良品信号或表示不良品的不良品信号输入至控制装置150。

从异物判定装置148向控制装置150输入正常信号，并且又输入良品信号或不良品信号的任一个时，控制装置150对面板输送装置56、面板输送装置56进行控制，以使其将检查台36上的面板12移动到预校准装置38，并且将预校准装置38上的面板12移动到检查台36。

在预校准装置38和输送装置56之间进行面板交接时，对中心构件84进行夹持着的面板12的释放及检查结束的面板的夹持。

控制装置150还对报告装置153进行控制，以使其报告向检查台36输送中的面板12是良品还是不良品。由此，操作员将输送至预校准装置38的面板12从预校准装置38取下，根据其是否良品而将其移至规定的位置。

以后，并行进行如上所述的异物有无的检查和面板12的目视点亮检查。

(第2实施例)

在上述实施例中，设置清扫装置40、清扫装置42及异物传感器140、异物传感器142各为2组，取而代之，也可以仅设1组，来进行面板12的电极14、电极16的清扫及异物检查。

参照图6，清扫部160中，取代未设有清扫装置42和异物传感器142而使θ台162支承于未图示的Z台80，并且，通过使面板支承部82支承于θ台162，从而形成预校准装置38，该θ台162使面板支承部82绕向Z方向延伸的θ轴线旋转至少90度。

清扫部160如以下那样进行面板12的电极14及电极16的清扫和异物检查。

首先，由清扫装置40对电极14及电极16中的任一方进行清扫，并且，由异物传感器140进行拍摄。

接下来，由θ台162使面板支承部82旋转规定的角度θ(90度)后，由清扫装置40对电极14及电极16中的另一方进行清扫，并且，由异物传感器140进行拍摄。

接下来，根据异物传感器140的输出信号，在图5所示的异物判定装置148中判定异物的有无。

在图6所示的实施例中，也可以使面板支承部82支承于Z台80，使Z台80支承于θ台162。

(第3实施例)

本发明也不限定于这样的装置，即，由卡盘顶部74及面板支承部82倾斜支承各面板12，在倾斜的状态下输送该面板12，在使该面板倾斜的状态下，对该面板12进行清扫、异物检查及点亮检查的装置。

本发明还可以适用于以下这些装置等其他类型的检查装置，例如，由卡盘顶部74及面板支承部82向上支承各面板12，在该状态下进行输送，在该状态下进行清扫、异物检查及点亮检查的装置；由面板支承部82向上支承各面板12，在该状态下进行清扫及异物检查，然后使其转向为倾斜状态后送到输送装置，在倾斜的状态下进行点亮检查的检查装置。

参照图7，检查装置164中，预校准装置38具有使其绕向X方向延伸的轴线旋转一定角度的旋转装置165。

检查装置164还包括盒部168和交接部172，该盒部168以水平状态将多个面板12收容于盒子166中，该交接部172配置有将面板12相对于预校准装置38及盒子166进行交接的机器人170。

机器人170将检查完的面板12从面板支承部82移至盒子规定的部位，将新的面板12从盒子166的其他部位移至面板支承部82，是一般的交接机器人。

检查装置164是在水平状态下进行面板支承部82与自动装置170间的面板12交接、对面板12进行清扫及异物检查的，由旋转装置165使Z台80及面板支承部82转向，从而在倾斜状态下进行输送装置56、输送装置56与面板支承部82之间的面板交接。

在检查装置164中，检查台36、预校准装置38、输送装置56、控制装置150等与检查装置10同样地进行动作。

(第4实施例)

参照图8至图10，检查装置174包括形成于清扫部20下侧的面板输送部176。

面板输送部176配置有输送装置178、多个定位构件180和交接装置182，该输送装置178对面板12进行输送，该定位构件180使输送来的面板12相对于面板清扫装置40及面板清扫装置42和异物传感器140及异物传感器142定位，该交接装置182进行相对于面板支承部82与输送装置178的面板12交接。

输送装置178具有多个辊组合体184，该辊组合体184分别将多个辊在旋转轴轴线方向上彼此间隔有间隔地安装于旋转轴上。辊组合体184在面板12的输送方向(在图示中的例子上是X方向)上隔有间隔，并可自由旋转地支承在X方向长的长方形的框186上，还通过未图示的驱动机构使其同步旋转。

定位构件180配置于由交接装置182决定的面板12相对于输送装置178的交接位置。

定位构件180与图3中的对中心构件84相同，通过用相对的定位构件180夹持面板12的相对的边，从而对面板12进行对中心，并且，将面板12维持为不能移动的状态。

定位构件180在面板12输送到交接位置之前是在其上端部位于输送装置178的面板输送路的下方的待机位置的状态下待机。

但是，当面板12被输送到交接位置时，定位构件180的上端部突出到面板输送路，夹持面板12。

另外，定位构件180在面板12的清扫及异物检查结束时，返回待机位置。

交接装置182具有一对导轨188、托架190和多个面板夹持机构192，该一对导轨188在X方向上隔有间隔设置并向前后方向延伸，该托架190在前后方向可移动地支承于两导轨188上，这些面板夹持机构192安装于托架190的下侧。

托架190使在X方向上隔有间隔地设置的向前后方向延伸的一对可移动体196可移动地支承于导轨188，彼此间在前后方向上隔有间隔地设置的向X方向延伸的一对支承杆198安装于两可移动体196上。可移动体196由未图示的驱动源使其向前后方向移动。

托架190仅在进行面板12相对于输送装置178的交接时，移动至由交接装置182进行交接的交接位置的上方。

面板夹持机构192是如气缸机构那样的往复运动机构，具有由被供给压缩空气的缸筒及相对该缸筒进行往复运动的活塞杆。另外，当活塞杆的往复运动的方向为上下方向时，气缸安装于支承杆198的下侧，并使活塞杆同步进行伸缩。

各面板夹持机构192在连杆的下端具有进行面板12的吸附及解除其吸附的吸附盘200。吸附盘200通过连接于未图示的真空源而对面板12进行吸附，通过开放成大气压而解除面板12的吸附。

在检查装置174中，位于清扫部20下方的多个辊组合体184和面板夹持机构192作为形成面板12的配置区域的配置区域形成装置而起作用。

检查装置174如以下这样进行动作。

由输送装置178将面板12输送至清扫部20下方的交接位置时，定位构件180进行动作。由此，该面板12相对于清扫装置40、清扫装置42及异物传感器140、异物传感器142定位，并且被维持为不能移动。

接下来，与检查装置10的情况相同，清扫装置40及清扫装置42分别由驱动装置44、46、48及驱动装置50、52、54驱动，由这些清扫带对面板12的电极进行清扫。

另外，与检查装置10的情况相同，异物传感器140及异物传感器142分别由驱动装置144、驱动装置146驱动，对面板12的电极进行摄影。异物传感器140及异物传感器142的输出信号被应用于图5所示的异物判定装置148对异物有无的判定。

当存在异物时，定位构件180下降至待机位置，由此，该面板12由输送装置178输送至比交接位置更靠下游的不良品除去位置，在不良品除去位置由人手或交接自动装置将其从输送装置178除去。

当不存在异物时，托架190移动至输送装置178的上方，面板夹持机构192进行动作。由此，面板12被吸附盘200吸附，被抬起到上方。

接下来，托架190向预校准装置38的上方移动，将保持着的面板12送到预校准装置38上。

接下来，预校准装置38进行动作，进行面板12的对中心与夹持。

其后，检查台36、预校准装置38、输送装置56、控制装置150等进行与图7所示的检查装置164同样的动作。由此，检查结束的面板12被送到预校准装置38上。

检查结束的面板12从预校准装置38被送至托架190，由托架190移至输送装置178。

其后，检查结束的面板12被输送至比交接位置更靠下游的良品回收位置，在良品回收位置由人手或交接自动装置将其从输送装置178除去。

(第5实施例)

作为异物传感器140、异物传感器142，可以如图11所示的检查装置202那样使用如摄像机的CCD照相机204来取代使用线传感器。CCD照相机204配置于壳体18，作为对预校准装置38上的整个面板12进行摄影的面传感器而起作用。

检查装置202虽然是图7及图8所示类型的检查装置的例子，但图1所示的检查装置也可以使用上述的面传感器。

在上述实施例中，虽然无论哪一个都是在清扫装置进行的清扫后对异物的有无进行检查，也可以在进行异物有无的检查后对面板12进行清扫。

产业上的可利用性

1.一种自动点亮检查装置，将对检查台36上的面板进行摄影的CCD照相机之类的面传感器配置于检查部22，在控制装置150或数据处理装置中进行该面传感器的输出信号的图像处理。

2.一种显示用面板的检查装置，可检查具有配置成1列的多个电极的显示用面板，或在与2、3或4边对应的边缘部分别具有多个电极的显示用面板等其他类型的显示用面板。

3.一种显示用面板的检查装置，可检查封入有液晶的液晶显示面板的玻璃基板、等离子显示面板、有机EL等其他类型的显示用面板。

4.一种检查装置，作为其他类型的面板清扫装置，可使用如空气喷射式装置那样的其他类型的装置。

5.一种检查装置，取代线传感器而使用具有至少清洗的检测区域的如高度检测器那样的位移计来作为异物传感器。

本发明并不限于上述实施例，可在不脱离本发明的宗旨下进行各种变更。

Claims (9)

1.一种显示用面板的检查装置，用于检查显示用面板，该显示用面板是矩形的显示用面板、且具有在与其平行的面内在一方向上隔有间隔地形成的多个电极，其特征在于，包括：

配置区域形成装置，其形成配置所述显示用面板的配置区域；异物检测装置，其对附着于配置于所述配置区域的显示用面板的所述电极上的异物进行检测，在存在异物时输出异物信号。

2.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述异物检测装置包括：线传感器，其对所述电极的上表面进行摄影；移动装置，其使该线传感器和所述显示用面板在所述一方向上相对移动；判定装置，其根据所述线传感器的输出信号判定有无异物，输出所述异物信号。

3.根据权利要求2所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述异物检测装置包括：面传感器，其对包括所述电极的上表面的范围进行摄影；判定装置，其根据该面传感器的输出信号判定有无异物，输出所述异物信号。

4.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述异物检测装置包括：位移计，其对所述电极的上表面的高度位置进行测量；移动装置，其使该位移计与所述显示用面板在所述一方向上相对移动；判定装置，其根据所述位移计的输出信号判定有无异物，输出所述异物信号。

5.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述检查装置还包括报告装置，其接收所述异物信号，报告异物存在。

6.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述检查装置还包括交接装置，其用于对所述配置区域交接所述显示用面板，该交接装置接收所述异物信号，将该显示用面板从所述配置区域除去；所述配置区域形成装置包括形成所述配置区域的台。

7.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述检查装置还包括输送装置，其用于形成所述配置区域，并且用于将所述显示用面板输送至所述配置区域，该输送装置接收所述异物信号后，将该显示用面板从所示配置区域除去。

8.根据权利要求1所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述检查装置还包括对所述电极进行清扫的面板清扫装置。

9.根据权利要求8所述的显示用面板的检查装置，其特征在于，所述面板清扫装置和所述显示用面板在所述一方向上相对移动。

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